一種可以提高p型背面鈍化電池效率的熱處理方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，包括以下步驟：（a）在做完刻蝕的硅片正面沉積氮化硅層，背面蒸鍍?nèi)趸X；（b）對(duì)硅片的背面進(jìn)行激光開(kāi)槽處理，然后依次印刷背極背場(chǎng)和正銀，并完成燒結(jié)；（c）將金屬化完成的電池片在無(wú)氧無(wú)氫狀態(tài)下進(jìn)行低溫退火處理。這種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法可以增加鈍化層中固定負(fù)電荷密度，從而增強(qiáng)場(chǎng)效應(yīng)鈍化作用，并且退火過(guò)程中Si/Al2O3界面生成SiOx薄層，從而使Si/Al2O3界面缺陷密度降低，最終降低了背面復(fù)合，提高了背鈍化電池的少子壽命，最終對(duì)于電池的開(kāi)壓、電流以及FF都有較好的改善。
【專利說(shuō)明】一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】:
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制備領(lǐng)域，尤其涉及一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法。
[0002]【背景技術(shù)】:
目前，背面鈍化電池作為一種新興的高效電池技術(shù)，有效的鈍化了電池的背面復(fù)合，并降低了背表面的反射率，從而有效地吸收了長(zhǎng)波段的光，使得電池效率有了大步的飛躍；并且由于鈍化層的介入，電池片的翹曲度也得到了一定的改善。
[0003]隨著量產(chǎn)的深入，背鈍化電池的由于背場(chǎng)歐姆接觸不是很好等問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致Rs偏大FF偏小，而最終發(fā)現(xiàn)，通過(guò)短時(shí)間的低溫退火可以使得FF有著較好的改善，并且由于背面場(chǎng)鈍化效應(yīng)的加強(qiáng)，電池的開(kāi)壓和電流也有一定的提升。
[0004]
【發(fā)明內(nèi)容】
:
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，其能夠保在增加有限成本的情況下，改善背鈍化電池的FF和效率。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，包括以下步驟:
Ca)在做完刻蝕的硅片正面沉積氮化硅層，背面蒸鍍?nèi)趸X；
(b)對(duì)硅片的背面進(jìn)行激光開(kāi)槽處理，然后依次印刷背極背場(chǎng)和正銀，并完成燒結(jié)；
(C)將金屬化完成的電池片在無(wú)氧無(wú)氫狀態(tài)下進(jìn)行低溫退火處理。
[0006]優(yōu)選的，所述步驟(a)中三氧化二鋁的厚度為lOOnm。
[0007]優(yōu)選的，所述步驟(b)中激光開(kāi)槽的寬度為50um。
[0008]優(yōu)選的，所述步驟(c)中氧含量和氫含量均小于3%,退火溫度為150?350°C,時(shí)間為5?IOmin。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益之處在于:這種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法可以增加鈍化層中固定負(fù)電荷密度，從而增強(qiáng)場(chǎng)效應(yīng)鈍化作用，并且退火過(guò)程中SiAi2O3界面生成Siox薄層，從而使SiAi2O3界面缺陷密度降低，最終降低了背面復(fù)合，提高了背鈍化電池的少子壽命，最終對(duì)于電池的開(kāi)壓、電流以及FF都有較好的改善。
[0010]【具體實(shí)施方式】:
下面通過(guò)【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0011]一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，包括以下步驟:
(a)在做完刻蝕的硅片正面沉積氮化硅層，背面蒸鍍?nèi)趸X，所述三氧化二鋁的厚度為IOOnm ；
(b)對(duì)硅片的背面進(jìn)行激光開(kāi)槽處理，激光開(kāi)槽的寬度為50um，然后依次印刷背極背場(chǎng)和正銀，并完成燒結(jié)；
(c)將金屬化完成的電池片在無(wú)氧無(wú)氫狀態(tài)下進(jìn)行低溫退火處理，所述氧含量和氫含量均小于3%，退火溫度為150?350°C，時(shí)間為5?lOmin。
[0012]其【具體實(shí)施方式】如下。[0013]實(shí)施例一:
取10片完成金屬化的背鈍化電池放進(jìn)用氮?dú)鉃楸Ｗo(hù)氣的鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐中，將氧含量和氫含量均控制在小于3%的狀態(tài)下，爐溫控制在150°c，然后加熱5min，接著測(cè)試電性能，與之前相比較，電池的開(kāi)壓提升了 0.5mv，電流提升了 15mA，ff提升了 0.015%，效率提升了
0.05%。
[0014]實(shí)施例二:
取10片完成金屬化的背鈍化電池放進(jìn)用氮作為保護(hù)氣的鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐中，將氧含量和氫含量均控制在小于3%的狀態(tài)下，爐溫控制在200°C，然后加熱8min，接著測(cè)試電性能，與之前相比較，電池的開(kāi)壓提升了 1.5mv，電流提升了 40mA，ff提升了 0.1%，效率提升了
0.18%。
[0015]實(shí)施例三:
取10片完成金屬化的背鈍化電池放進(jìn)用氮?dú)鉃楸Ｗo(hù)氣的鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐中，將氧含量和氫含量均控制在小于3%的狀態(tài)下，爐溫控制在250°C，然后加熱lOmin，接著測(cè)試電性能，與之前相比較，電池的開(kāi)壓提升了 2.3mv,電流提升了 50mA，ff提升了 0.2%，效率提升了
0.28%ο
[0016]實(shí)施例四:
取10片完成金屬化的背鈍化電池放進(jìn)用氮?dú)鉃楸Ｗo(hù)氣的鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐中，將氧含量和氫含量均控制在小于3%的狀態(tài)下，爐溫控制在350°C，然后加熱lOmin，接著測(cè)試電性能，與之前相比較，電池的開(kāi)壓提升了 2 mv,電流提升了 20mA，ff提高了 0.02%，效率提升了 0.03%。
[0017]這種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法可以增加鈍化層中固定負(fù)電荷密度，從而增強(qiáng)場(chǎng)效應(yīng)鈍化作用，并且退火過(guò)程中SiAi2O3界面生成Siox薄層，從而使SiAi2O3界面缺陷密度降低，最終降低了背面復(fù)合，提高了背鈍化電池的少子壽命，最終對(duì)于電池的開(kāi)壓、電流以及FF都有較好的改善。
[0018]需要強(qiáng)調(diào)的是:以上僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，其特征是，包括以下步驟: Ca)在做完刻蝕的硅片正面沉積氮化硅層，背面蒸鍍?nèi)趸X； (b)對(duì)硅片的背面進(jìn)行激光開(kāi)槽處理，然后依次印刷背極背場(chǎng)和正銀，并完成燒結(jié)； (C)將金屬化完成的電池片在無(wú)氧無(wú)氫狀態(tài)下進(jìn)行低溫退火處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，其特征是，所述步驟(a)中三氧化二鋁的厚度為lOOnm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，其特征是，所述步驟(b)中激光開(kāi)槽的寬度為50um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以提高P型背面鈍化電池效率的熱處理方法，其特征是，所述步驟(c)中氧含量和氫含量均小于3%，退火溫度為150?350°C，時(shí)間為5?lOmin。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK103928568SQ201410130015
【公開(kāi)日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年4月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月2日
【發(fā)明者】初仁龍, 費(fèi)存勇, 王志剛, 魯偉明 申請(qǐng)人:泰州德通電氣有限公司