檢測電阻率的裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，包括：承載臺(tái)，放置于承載臺(tái)上的檢測盤，位于檢測盤上方的固定部件，位于承載臺(tái)上方的運(yùn)輸部件，運(yùn)輸部件包括運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤，運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤相連，設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上的多個(gè)檢測頭；將多個(gè)檢測頭放置在旋轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)對(duì)不同類型的晶圓進(jìn)行阻值檢測時(shí)，可以根據(jù)不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動(dòng)更換檢測頭，提高了檢測效率，同時(shí)大大減少了人工操作產(chǎn)生的意外。
【專利說明】檢測電阻率的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測電阻率的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過程中，需要對(duì)不同工藝形成的薄膜進(jìn)行電阻率的檢測，以監(jiān)控生產(chǎn)出的薄膜是否符合工藝的要求。
[0003]請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中檢測電阻率的裝置結(jié)構(gòu)示意圖，所述檢測電阻率的裝置包括:檢測盤10、固定夾21、固定座22、運(yùn)輸盤30以及檢測頭40，其中，所述檢測盤10用于盛放待測晶圓，所述固定夾21位于所述檢測盤10表面待測晶圓上方，并與所述固定座22固定連接；所述運(yùn)輸盤30通過一活動(dòng)臂31連接所述檢測頭40，所述活動(dòng)臂31能夠帶動(dòng)所述檢測頭40上下水平移動(dòng)。
[0004]在具體檢測過程中，根據(jù)待測晶圓表面的薄膜不同，選擇需要的檢測頭40并由人工安裝至所述運(yùn)輸盤30上，進(jìn)行檢測時(shí)，運(yùn)輸盤30將所述檢測頭40運(yùn)輸至所述固定夾21處，并下移將所述檢測頭40放入所述固定夾21內(nèi)，由所述固定件21夾緊所述檢測頭40，此時(shí)所述運(yùn)輸盤30移開，檢測臺(tái)10開始帶動(dòng)待測晶圓進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，同時(shí)檢測頭40開始對(duì)所述待測晶圓進(jìn)行電阻率的檢測。
[0005]然而，由于現(xiàn)有技術(shù)中檢測電阻率的裝置一次只能使用一種類型的檢測頭，當(dāng)需要對(duì)不同薄膜進(jìn)行電阻率檢測時(shí)，就需要使用人工更換檢測頭，這不僅導(dǎo)致檢測時(shí)間的加長降低了檢測機(jī)臺(tái)的檢測效率，而且手動(dòng)誤操作還容易帶來檢測頭污染以及檢測頭接口處的接觸不良，降低檢測頭使用壽命。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種檢測電阻率的裝置，能夠自動(dòng)選擇不同的
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，所述裝置包括:
[0008]承載臺(tái)、檢測盤、固定部件、運(yùn)輸部件以及多個(gè)檢測頭；其中，所述檢測盤放置于所述承載臺(tái)上，所述固定部件位于所述檢測盤的上方，所述運(yùn)輸部件位于所述承載臺(tái)上方，所述運(yùn)輸部件包括運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤，所述運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤相連，所述檢測頭設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上。
[0009]進(jìn)一步的，所述運(yùn)輸盤上設(shè)有紅外感應(yīng)器。
[0010]進(jìn)一步的，所述運(yùn)輸盤連接一運(yùn)輸臂。
[0011]進(jìn)一步的，所述檢測盤的個(gè)數(shù)大于等于I。
[0012]進(jìn)一步的，所述固定部件包括固定夾和固定座，所述固定夾位于所述檢測盤的上方并與所述固定座相連。
[0013]進(jìn)一步的，所述檢測頭的個(gè)數(shù)大于等于2。
[0014]進(jìn)一步的，所述檢測頭均勻分布在所述旋轉(zhuǎn)盤上。[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于，將多個(gè)檢測頭放置在旋轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)對(duì)不同類型的晶圓進(jìn)行阻值檢測時(shí)，可以根據(jù)不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動(dòng)更換檢測頭，提高了檢測效率，同時(shí)大大減少了人工操作產(chǎn)生的意外。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中檢測電阻率的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中檢測電阻率的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中檢測盤和運(yùn)輸部件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的檢測電阻率的裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此
[0020]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0021]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0022]請(qǐng)參考圖2和圖3，在本實(shí)施例中，提出了一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，所述裝置包括:
[0023]承載臺(tái)100、檢測盤200、固定部件210、運(yùn)輸部件以及多個(gè)檢測頭400 ;其中，所述檢測盤200的個(gè)數(shù)大于等于I個(gè)，例如是2個(gè)，所述檢測盤200放置于所述承載臺(tái)100上，承載臺(tái)100用于承載上述部件的作用；所述固定部件210位于所述檢測盤200的上方，在檢測時(shí)，待測晶圓會(huì)放置在所述檢測盤200上，所述固定部件210用于固定所述檢測頭400，便于所述檢測頭400與所述待測晶圓表面接觸，并避免所述檢測頭400發(fā)生搖晃；所述運(yùn)輸部件位于承載臺(tái)100上方，所述運(yùn)輸部件包括運(yùn)輸盤310和旋轉(zhuǎn)盤320，所述運(yùn)輸盤310和旋轉(zhuǎn)盤320相連，所述檢測頭400設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤320上,所述旋轉(zhuǎn)盤320能夠帶動(dòng)所述檢測臺(tái)400旋轉(zhuǎn)，便于選擇不同的檢測頭400對(duì)待測晶圓進(jìn)行檢測。
[0024]在本實(shí)施例中，所述運(yùn)輸盤310連接一運(yùn)輸臂330，所述運(yùn)輸臂330能夠帶動(dòng)所述運(yùn)輸盤310在所述承載臺(tái)100上自由移動(dòng),所述運(yùn)輸盤310上還設(shè)有紅外感應(yīng)器(圖未示出)，所述紅外感應(yīng)器能夠感應(yīng)出不同類型的檢測頭400，從而方便自動(dòng)選擇檢測頭400。
[0025]在本實(shí)施例中，所述固定部件210包括固定夾211和固定座212，所述固定夾211位于所述檢測盤200的上方并與所述固定座212相連，所述固定夾211位于所述檢測盤200的上方，在檢測時(shí)，由所述固定夾211固定所述檢測頭400。
[0026]在本實(shí)施例中，所述檢測頭400的個(gè)數(shù)大于等于2，例如是4個(gè)，其中，為了能夠?qū)Σ煌愋偷木A進(jìn)行檢測，所述檢測頭400的尺寸各不相同，同時(shí)紅外感應(yīng)器能夠根據(jù)所述檢測頭400不同的尺寸來進(jìn)行選擇，所述檢測頭400均勻分布在所述旋轉(zhuǎn)盤320上，使旋轉(zhuǎn)盤320在更換所述檢測頭400時(shí)更加方便，只需旋轉(zhuǎn)固定角度即可更換下一個(gè)檢測頭400。
[0027]在具體檢測過程中，先將不同的檢測頭400安裝至所述旋轉(zhuǎn)盤320上，不同探頭曲率半徑的差異，由紅外感應(yīng)器感應(yīng)，從而選擇合適的檢測頭400，并由運(yùn)輸盤310將所述旋轉(zhuǎn)盤320和相應(yīng)的檢測頭400移動(dòng)至待測晶圓的表面，待測晶圓放置于其中一個(gè)檢測盤200上，由所述旋轉(zhuǎn)盤320下移將相應(yīng)的檢測頭400放置固定夾211中，并由固定夾211固定，當(dāng)另一待測晶圓放置在另一個(gè)檢測盤200上時(shí)，此時(shí)還可以由紅外感應(yīng)器選擇適合另一待測晶圓的檢測頭400，并由運(yùn)輸盤310將旋轉(zhuǎn)盤320和相應(yīng)的檢測頭400移動(dòng)至另一待測晶圓的表面，再由固定夾211固定住相應(yīng)的檢測頭400并對(duì)另一待測晶圓進(jìn)行檢測。
[0028]可見，在本實(shí)施例中，能夠同時(shí)對(duì)兩個(gè)不同晶圓進(jìn)行電阻率的檢測，然而在本實(shí)施例的其他實(shí)施例中，檢測盤和檢測頭的個(gè)數(shù)可以根據(jù)要求進(jìn)行選擇，從而能夠?qū)崿F(xiàn)同時(shí)對(duì)多個(gè)待測晶圓進(jìn)行檢測，極大程度的提高檢測效率。
[0029]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的檢測電阻率的裝置中，將多個(gè)檢測頭放置在旋轉(zhuǎn)盤上，在對(duì)不同類型的晶圓進(jìn)行阻值檢測時(shí)，可以根據(jù)不同的需求選擇不同的檢測頭，避免了頻繁的手動(dòng)更換檢測頭，提高了檢測效率，同時(shí)大大減少了人工操作產(chǎn)生的意外。
[0030]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測電阻率的裝置，用于檢測待測晶圓的電阻率，其特征在于，所述裝置包括: 承載臺(tái)、檢測盤、固定部件、運(yùn)輸部件以及多個(gè)檢測頭；其中，所述檢測盤放置于所述承載臺(tái)上，所述固定部件位于所述檢測盤的上方，所述運(yùn)輸部件位于所述承載臺(tái)上方，所述運(yùn)輸部件包括運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤，所述運(yùn)輸盤和旋轉(zhuǎn)盤相連，所述檢測頭設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述運(yùn)輸盤上設(shè)有紅外感應(yīng)器。
3.如權(quán)利要求2所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述運(yùn)輸盤連接一運(yùn)輸臂。
4.如權(quán)利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測盤的個(gè)數(shù)大于等于1
5.如權(quán)利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述固定部件包括固定夾和固定座，所述固定夾位于所述檢測盤的上方并與所述固定座相連。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測頭的個(gè)數(shù)大于等于2。
7.如權(quán)利要求6所述的檢測電阻率的裝置，其特征在于，所述檢測頭均勻分布在所述旋轉(zhuǎn)盤上。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK203444014SQ201320557521
【公開日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年9月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月9日
【發(fā)明者】曹艷, 李廣寧 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司