靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)及平板x射線圖像探測(cè)器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其包括：第一電極線和第二電極線，所述第一電極線包括至少兩個(gè)分支，所述第一電極線的所述至少兩個(gè)分支與所述第二電極線交疊，形成至少兩個(gè)交疊區(qū)域；所述第二電極線包括主線和設(shè)于所述交疊區(qū)域中任意之一的凸出部。所述靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)能夠使電線交疊位置的電線在靜電擊穿發(fā)生時(shí)還能正常工作，提升了產(chǎn)品質(zhì)量和良率。本實(shí)用新型還提供了一種平板X射線圖像探測(cè)器。
【專利說明】靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)及平板X射線圖像探測(cè)器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種平板X射線圖像探測(cè)器，特別是應(yīng)用于所述探測(cè)器中的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]平板X射線探測(cè)器形成于一平整的襯底上，包括具有光敏成像元件的像素陣列。所述像素陣列包括多個(gè)TFT開關(guān)元件，多條行地址線(數(shù)據(jù)線)和多條列地址線(掃描線);如大多數(shù)微電路裝置一樣，由于基板運(yùn)送，設(shè)備接觸及操作人員接觸等因素會(huì)引入靜電，產(chǎn)生靜電電壓。靜電電壓在短時(shí)間內(nèi)會(huì)釋放遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過探測(cè)器內(nèi)部器件工作能力的大電流，使得這些陣列中的元件受到靜電放電的破壞，造成擊穿，特別是在行地址線與列地址線的交疊位置，一旦被擊穿便難以修復(fù)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量和良率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)以及一種平板X射線圖像探測(cè)器，其有效避免了由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺陷導(dǎo)致的一個(gè)或更多的問題。
[0004]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案之一為:一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其包括:第一電極線和第二電極線，所述第一電極線包括至少兩個(gè)分支，所述第一電極線的所述至少兩個(gè)分支與所述第二電極線交疊，形成至少兩個(gè)交疊區(qū)域；所述第二電極線包括主線和設(shè)于所述交疊區(qū)域中任意之一的凸出部。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案之二為:一種平板X射線圖像探測(cè)器，其包括本實(shí)用新型技術(shù)方案之一所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)。
[0006]本實(shí)用新型提供了一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)及具有該結(jié)構(gòu)的平板X射線圖像探測(cè)器，使得電線交疊位置的電線在靜電擊穿發(fā)生時(shí)還能正常工作。靜電擊穿發(fā)生時(shí)，只有部分電線被損壞，隔離損壞的電線，而未被損壞的電線正常使用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0008]圖2為本實(shí)用新型第二實(shí)施例中靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0009]圖3為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0010]圖4為本實(shí)用新型中平板X射線圖像探測(cè)器的示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記說明:
[0012]靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)_10、10a、10b ;第一電極線-12、12a、12b ;第一電極線第一分支-122、122a、122b ;第一電極線第二分支-122’、122a’、122b’ ；第二電極線 _14、14a、14b ；主線-142、142a、142b ;主線分支-1422b、1422b’ ;凸出部-144、144a、144b ;凸出部子分支-1442a、1442b ;第一交疊區(qū)域_16、16a、16b ;第二交疊區(qū)域-16’、16a’、16b’ ；第三交疊區(qū)域-16a’’、16b’’ ；第四交疊區(qū)域_16b’’’ ;平板X射線圖像探測(cè)器-100 ;像素陣列-20 ;公共電極線-30 ;數(shù)據(jù)線外圍電路-40 ;掃描線外圍電路-50 ;靜電導(dǎo)入方向-F。
【具體實(shí)施方式】
[0013]實(shí)施例1
[0014]請(qǐng)參考圖1的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10。
[0015]靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10，包括第一電極線12和第二電極線14。第一電極線12與第二電極線14垂直交叉。
[0016]第一電極線12包括兩個(gè)分支,分別為第一分支122和第二分支122’。第一電極線12呈矩形框狀。這兩個(gè)分支均與第二電極線14交疊，分別形成第一交疊區(qū)域16和第二交疊區(qū)域16’。第二電極線14包括主線142和凸出部144。凸出部144為主線142向靜電導(dǎo)入方向F延伸形成，主線142和凸出部144交疊第一電極線12的第一分支122，形成了第一交疊區(qū)域16。
[0017]第一交疊區(qū)域16形成了保護(hù)電容，第二交疊區(qū)域16’形成了寄生電容。保護(hù)電容與寄生電容并聯(lián)設(shè)置。兩個(gè)電容兩端的電壓是一致的，根據(jù)公式:電場(chǎng)強(qiáng)度E=電壓V/兩極間距離D，在電容中介質(zhì)材料相同的情況下，兩極間距離D越小，電場(chǎng)E越大，電容越容易被擊穿。因此當(dāng)靜電沿著方向F導(dǎo)入時(shí)，由于第二電極線14的凸出部144的距離更靠近靜電導(dǎo)入端，凸起部144將先充電，當(dāng)發(fā)生靜電擊穿時(shí)，保護(hù)電容在短時(shí)間內(nèi)將承受高電壓，該電壓高于該保護(hù)電容所能承受的電壓，使得第一交疊區(qū)域16的保護(hù)電容被擊穿，從而釋放了靜電，保護(hù)了第二交疊區(qū)域16’的寄生電容，第一電極線12仍可正常工作。
[0018]本實(shí)施例所提供的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10，將第一電極線12分成兩個(gè)分支122和122’，從而可有效降低第一電極線被整體靜電擊穿的幾率；在第二電極線14上增設(shè)了凸出部144，所述凸出部144靠近靜電導(dǎo)入方向F，因此，若發(fā)生靜電擊穿，會(huì)擊穿第一交疊區(qū)域16的保護(hù)電容，僅損壞第一電極線12的第一分支122，保護(hù)了第一電極線12的第二分支122’，將第一分支122隔離后，并不影響第一電極線12的正常使用。
[0019]實(shí)施例2
[0020]請(qǐng)參考圖2中的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10a。
[0021]靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)IOa包括第一電極線12a和第二電極線14a，其主要結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10相同，不同之處為，第二電極線14a的凸出部144a包括兩個(gè)子分支1442a。因此第一電極線12a在與第二電極線14a形成了三個(gè)交疊區(qū)域，分別是第一電極線分支122a與第二電極線凸出部144a所形成的第一交疊區(qū)域16a、第一電極線分支122a與第二電極線主線142a所形成的第二交疊區(qū)域16a’和第一電極線分支122a’與第二電極線主線142a所形成的第三交疊區(qū)域16a’’。第一交疊區(qū)域16a設(shè)有保護(hù)電容，當(dāng)發(fā)生靜電擊穿時(shí)，由于第一交疊區(qū)域16a距離靜電導(dǎo)入端最近，使得第一交疊區(qū)域16的保護(hù)電容被擊穿，將第二電極線14a的凸出部144a隔離，第一電極線12a和第二電極線14a的主線142a仍可正常工作。
[0022]本實(shí)施例所提供的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10a，將第一電極線12a分成兩個(gè)分支122a和122a’，，從而可有效降低第一電極線被整體靜電擊穿的幾率；在第二電極線14a上增設(shè)了凸出部144a，所述凸出部144a不僅靠近靜電導(dǎo)入方向F，并且分成兩個(gè)子分支1442a。因此，若發(fā)生靜電擊穿，會(huì)擊穿第一交疊區(qū)域16a的保護(hù)電容，僅損壞第二電極線凸出部144a，而不影響第一電極線12a和第二電極線主線142a的正常使用。
[0023]實(shí)施例3
[0024]請(qǐng)參考圖3中的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10b。
[0025]靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)IOb包括第一電極線12b和第二電極線14b，其主要結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)IOa相同，不同之處在于，第二電極線14b的主線142b也包括了兩個(gè)分支1422b。因此，第一電極線12b和第二電極線14b彼此交疊，形成了四個(gè)交疊區(qū)域，分別是16b、16b’、16b’ ’和16b’ ’ ’。其中，第一交疊區(qū)域16b定義為第一電極線分支122b與第二電極線凸出部144b的交疊部分；第二交疊區(qū)域16b’定義為第一電極線分支122b與第二電極線主線142b的交疊部分；第三交疊區(qū)域16b’ ’定義為第一電極線分支122b’與第二電極線主線分支1422b的交疊部分；第四交疊區(qū)域16b’ ’ ’定義為第一電極線分支122b’與第二電極線主線分支1422b’的部分。第一交疊區(qū)域16b最靠近靜電導(dǎo)入端。當(dāng)靜電擊穿發(fā)生時(shí)，第一交疊區(qū)域16b的保護(hù)電容優(yōu)先被擊穿，僅損壞第二電極線凸出部144b，而不影響第一電極線12b和第二電極線主線142b的正常使用。
[0026]若發(fā)生嚴(yán)重靜電擊穿，則會(huì)造成第一電極線第一分支122b、第二分支122b’均與第二電極線14b短路，通過隔離1422b、1422b’，就能使第一電極線各分支122b、122b’及第二電極線142b正常工作；若發(fā)生更為嚴(yán)重的靜電擊穿，有可能產(chǎn)生以下兩種情況之一:1.造成第一電極線第一分支122b、第二分支122b’均與第二電極線14b交疊區(qū)域16b、16b’、16b’ ’和16b’ ’ ’斷路，通過隔離122b、122b’，就能使第二電極線14b正常工作；2.造成第一電極線第一分支122b、122b’均與14b交疊區(qū)域16b’’和16b’’’斷路，通過隔離1422b、第二分支1422b’，就能使第一電極線各分支122b、122b’和第二電極線14b正常工作。
[0027]本實(shí)施例所提供的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10b，將第一電極線12b分成兩個(gè)分支122b和122b’，從而可有效降低發(fā)生第一電極線12b整體被靜電擊穿的幾率；在第二電極線14b上增設(shè)了具有兩個(gè)子分支1442b的凸出部144b ;將第二電極線主線142b分成兩個(gè)分支1422b、1422b’，從而可有效降低發(fā)生第二電極線14b整體被靜電擊穿的幾率。
[0028]根據(jù)相同的原理，可以對(duì)靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (IOaUOb)的結(jié)構(gòu)作如下改變。實(shí)施例
1、2和3中，靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (10a、IOb)的第一電極線12 (12a、12b)不限于設(shè)為兩個(gè)分支122 (122a、122b)，也可以是兩個(gè)以上。實(shí)施例2和3中，靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)IOa (IOb)的第二電極線14a (14b)的凸出部144a (144b)也不限于為兩個(gè)分支1442a (1442b)，可以為兩個(gè)以上。實(shí)施例3中，靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)IOb的第二電極線14b的主線142b的分支也可以設(shè)為兩個(gè)以上。
[0029]圖4繪示了本實(shí)用新型中采用了靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (IOaUOb)的平板X射線探測(cè)器100。探測(cè)器100還包括像素陣列20、多條公共電極線30、數(shù)據(jù)線外圍電路40以及掃描線外圍電路50。其中，數(shù)據(jù)線外圍電路40包括多列數(shù)據(jù)線。掃描線外圍電路50包括多行掃描線。數(shù)據(jù)線定義為靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (10a、IOb)的第一電極線12 (12a、12b)，掃描線定義為靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (IOaUOb)的第二電極線14 (14a、14b)。即，靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (10a、10b)形成于探測(cè)器100中，數(shù)據(jù)線與掃描線相交的位置。
[0030]當(dāng)然，靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10(10a、10b)也可以設(shè)于公共電極線30與數(shù)據(jù)線40相交處。第一電極線12 (12a、12b)不限于作為數(shù)據(jù)線，也可以是掃描線或是公共電極線。第二電極線14 (14a、14b)不限于作為掃描線，也可以是數(shù)據(jù)線或是公共電極線。
[0031]本實(shí)用新型提供的平板X射線探測(cè)器100，其靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)10 (IOaUOb)設(shè)于數(shù)據(jù)線和掃描線交疊位置，也可以設(shè)于數(shù)據(jù)線和公共電極線交疊位置，能夠有效保護(hù)電線交疊位置，靜電擊穿時(shí)，隔離損傷的電線，而未損傷的電線正常使用，易于修復(fù)。
[0032]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若對(duì)本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包括:第一電極線和第二電極線，所述第一電極線包括至少兩個(gè)分支，所述第一電極線的所述至少兩個(gè)分支與所述第二電極線交疊，形成至少兩個(gè)交疊區(qū)域；所述第二電極線包括主線和設(shè)于所述交疊區(qū)域中任意之一的凸出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一電極線具有第一、第二分支，與所述第二電極線分別形成第一、第二交疊區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一電極線與所述第二電極線在所述第一交疊區(qū)域形成保護(hù)電容，在所述第二交疊區(qū)域形成寄生電容。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二電極線的凸出部與所述第一電極線的第一分支交疊于所述第一交疊區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二電極線的凸出部設(shè)有至少兩個(gè)分支。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二電極線的主線與所述第一電極線交疊的所述第二交疊區(qū)域設(shè)有至少兩個(gè)分支。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一電極線與第二電極線垂直交疊。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一電極線呈矩形框狀。
9.一種平板X射線圖像探測(cè)器，其特征在于，其包括根據(jù)權(quán)利要求1至8所述的任一項(xiàng)靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的平板X射線圖像探測(cè)器，其特征在于，所述第一電極線和第二電極線為所述探測(cè)器中的數(shù)據(jù)線、掃描線或者公共電極線。
【文檔編號(hào)】H01L23/60GK203707119SQ201320303980
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】鄭禮朋 申請(qǐng)人:上海天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司