專(zhuān)利名稱：晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電子產(chǎn)品抽樣檢測(cè)系統(tǒng)及方法，尤其涉及一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。晶圓制造廠把多晶硅融解，在融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成的，此過(guò)程稱為“長(zhǎng)晶”。硅晶棒再經(jīng)過(guò)切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為積體電路工廠的基本原料——娃晶圓片，這就是“晶圓”。在晶圓制成過(guò)程中，需要對(duì)晶圓進(jìn)行缺陷檢測(cè)(KAL測(cè)試)。若對(duì)每一個(gè)產(chǎn)品均進(jìn)行檢測(cè)，那么需要N臺(tái)SCAN掃描機(jī)臺(tái)，花費(fèi)相當(dāng)大的成本，同樣影響到生產(chǎn)效率，因此，通常采用抽樣檢測(cè)。目前采用方法是，根據(jù)晶圓的LOT尾號(hào)，按照30%的抽樣率來(lái)挑選產(chǎn)品進(jìn)入掃描點(diǎn)(YE SCAN TOOL)，所挑選的LOT尾號(hào)是隨機(jī)的。如上所述，目前檢測(cè)方式，存在以下幾個(gè)問(wèn)題:
(1)30%的抽樣率，需要消耗大量的測(cè)試時(shí)間及控制晶片，制造部經(jīng)常會(huì)因?yàn)榱繙y(cè)排隊(duì)問(wèn)題發(fā)生爭(zhēng)執(zhí)；⑵目前的抽樣檢測(cè)方式，并不能做到在線實(shí)時(shí)監(jiān)控，尤其是對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)的監(jiān)控，這是由于抽樣是按照LOT尾號(hào)隨機(jī)抽取的,有可能會(huì)發(fā)生,某一機(jī)臺(tái)的產(chǎn)品均未被抽到,一旦發(fā)生問(wèn)題，將會(huì)影響很大，所以有時(shí)需要人工抓取一些關(guān)鍵機(jī)臺(tái)上的產(chǎn)品進(jìn)入SCAN，這樣既增加了檢測(cè)量，也必然影響制程周期，耗人力，耗時(shí)，耗成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)及其方法，使用該系統(tǒng)及方法，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線檢測(cè)，提高制程效率，降低生產(chǎn)成本。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)，包括復(fù)數(shù)個(gè)機(jī)臺(tái)、至少一個(gè)掃描站點(diǎn)及一控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)主要由MCU控制單元、計(jì)數(shù)單元及存儲(chǔ)單元構(gòu)成，所述MCU控制單元與每一機(jī)臺(tái)運(yùn)行控制端連接，并由所述計(jì)數(shù)單元計(jì)數(shù)作業(yè)時(shí)間T，每一所述掃描站點(diǎn)數(shù)據(jù)端與所述MCU控制單元連接，所述存儲(chǔ)單元內(nèi)預(yù)設(shè)對(duì)應(yīng)每一機(jī)臺(tái)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2。上述技術(shù)方案中，控制系統(tǒng)與需要監(jiān)控的關(guān)鍵機(jī)臺(tái)進(jìn)行連接，由計(jì)數(shù)單元計(jì)數(shù)，獲得該機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T，將機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T與預(yù)設(shè)于存儲(chǔ)單元內(nèi)的相應(yīng)機(jī)臺(tái)的報(bào)警時(shí)間Tl比較，達(dá)到報(bào)警時(shí)間Tl，且未收到該臺(tái)機(jī)臺(tái)的缺陷掃描數(shù)據(jù)M，那么控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)臺(tái)抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn):①控制系統(tǒng)在作業(yè)時(shí)間T未到達(dá)停機(jī)時(shí)間T2，便收到缺陷掃描數(shù)據(jù)M的，計(jì)數(shù)單元將作業(yè)時(shí)間清零，重新下一輪的計(jì)數(shù)；②若作業(yè)時(shí)間T在到達(dá)停機(jī)時(shí)間T2時(shí)，仍未獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，那么控制系統(tǒng)控制機(jī)臺(tái)停機(jī)，直至獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，恢復(fù)機(jī)臺(tái)作業(yè)，計(jì)數(shù)單元將作業(yè)時(shí)間T清零，重新下一輪計(jì)數(shù)。其中，報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2根據(jù)該機(jī)臺(tái)的特性設(shè)置，以符合每一批次產(chǎn)品的機(jī)臺(tái)完成時(shí)間，保證每一批次產(chǎn)品均能被檢測(cè)到，真正實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控的目的。根據(jù)生產(chǎn)需要，將關(guān)鍵機(jī)臺(tái)列入控制系統(tǒng)監(jiān)控列表內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，確保在一定時(shí)間內(nèi)一定會(huì)有缺陷掃描數(shù)據(jù)M出現(xiàn)。上述技術(shù)方案中，所述控制系統(tǒng)中設(shè)有通訊單元，通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)或無(wú)線網(wǎng)絡(luò)與操作人員電子郵箱或手機(jī)連接。當(dāng)作業(yè)時(shí)間T到達(dá)報(bào)警時(shí)間Tl時(shí)，控制系統(tǒng)發(fā)送報(bào)警信號(hào)給操作人員，當(dāng)作業(yè)時(shí)間T到達(dá)停機(jī)時(shí)間T2時(shí)，控制系統(tǒng)發(fā)送停機(jī)信號(hào)給操作人員。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的方法方案是:一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其步驟為:⑴控制系統(tǒng)內(nèi)設(shè)置需要監(jiān)控的機(jī)臺(tái)列表，為列表中的每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)一報(bào)警時(shí)間Tl及一停機(jī)時(shí)間T2，機(jī)臺(tái)運(yùn)行后控制系統(tǒng)開(kāi)始計(jì)數(shù)，獲得作業(yè)時(shí)間T ；⑵當(dāng)測(cè)得機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)間T大于對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)設(shè)定的Tl，且未收到掃描站點(diǎn)發(fā)送的缺陷掃描數(shù)據(jù)M時(shí)，抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)，并繼續(xù)計(jì)時(shí)；⑶當(dāng)機(jī)臺(tái)獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，且未達(dá)到停機(jī)時(shí)間T2時(shí)，則控制系統(tǒng)為該機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T清零；若該機(jī)臺(tái)在作業(yè)時(shí)間T=停機(jī)時(shí)間T2后，仍未收到缺陷掃描數(shù)據(jù)M,則該機(jī)臺(tái)停機(jī)，待獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)M后，該機(jī)臺(tái)重新作業(yè)，且將作業(yè)時(shí)間T清零；⑷重新計(jì)數(shù),返回步驟⑵。上述技術(shù)方案中，所述步驟⑴中，每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2根據(jù)該機(jī)臺(tái)加工的晶圓規(guī)格及特性設(shè)定，以獲得每一批次的缺陷掃描數(shù)據(jù)M。

上述技術(shù)方 案中，所述步驟⑵中，當(dāng)抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)后，系統(tǒng)同時(shí)發(fā)送報(bào)警信號(hào)至操作人員處。進(jìn)一步的技術(shù)方案為，所述報(bào)警信號(hào)通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送郵件至操作人員郵箱內(nèi)，或通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送短信至操作人員手機(jī)上。上述技術(shù)方案中，所述步驟⑶中，機(jī)臺(tái)停機(jī)后，控制系統(tǒng)將設(shè)置該機(jī)臺(tái)為鎖定狀態(tài)，同時(shí)發(fā)送停機(jī)信號(hào)至操作人員處，待獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)M后，由操作人員為機(jī)臺(tái)設(shè)定解鎖，機(jī)臺(tái)恢復(fù)作業(yè)。進(jìn)一步的技術(shù)方案為，所述停機(jī)信號(hào)通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送郵件至操作人員郵箱內(nèi)，或通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送短信至操作人員手機(jī)上。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):1.本發(fā)明通過(guò)設(shè)置控制系統(tǒng)，可將關(guān)鍵機(jī)臺(tái)列入控制系統(tǒng)監(jiān)控范圍內(nèi)，設(shè)置報(bào)警時(shí)間Tl和停機(jī)時(shí)間T2，通過(guò)計(jì)數(shù)單元計(jì)數(shù)，獲得機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T，將T分別與Tl和T2比較，確保機(jī)臺(tái)在運(yùn)行T2時(shí)間內(nèi)，一定會(huì)有缺陷掃描數(shù)據(jù)出現(xiàn)，否則停機(jī)等待，從而滿足對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控的效果，避免漏檢，保證產(chǎn)品的良品率，；2.由于關(guān)鍵機(jī)臺(tái)均通過(guò)控制系統(tǒng)定時(shí)獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，該掃描數(shù)量包含在30%的抽樣率中，免去了以往對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)另行掃描的工序，降低QC的使用率，減少控制晶片的使用量及掃描站點(diǎn)的使用率，減輕對(duì)QC部分的量測(cè)壓力，提高生產(chǎn)效率；3.通過(guò)控制系統(tǒng)中的通訊單元，可以實(shí)時(shí)將被監(jiān)控的機(jī)臺(tái)工作情況發(fā)送至相關(guān)的操作人員處，及時(shí)了解機(jī)臺(tái)的作業(yè)狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)有效的監(jiān)控；4.報(bào)警時(shí)間Tl和停機(jī)時(shí)間T2可根據(jù)機(jī)臺(tái)特性設(shè)置，符合制備機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)每一類(lèi)產(chǎn)品的不同需要，控制靈活、有效。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例一的控制結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述:實(shí)施例一:參見(jiàn)圖1所示，一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)，包括4個(gè)機(jī)臺(tái)、2個(gè)掃描站點(diǎn)及一控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)主要由MCU控制單元、計(jì)數(shù)單元、通訊單元及存儲(chǔ)單元構(gòu)成，所述MCU控制單元與每一機(jī)臺(tái)運(yùn)行控制端連接，并由所述計(jì)數(shù)單元計(jì)數(shù)作業(yè)時(shí)間T，每一所述掃描站點(diǎn)數(shù)據(jù)端與所述MCU控制單元連接，所述存儲(chǔ)單元內(nèi)預(yù)設(shè)對(duì)應(yīng)每一機(jī)臺(tái)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2，通訊單元通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送郵件至操作人員電子郵箱內(nèi)。具體的方法，其步驟為:⑴控制系統(tǒng)內(nèi)設(shè)置需要監(jiān)控的機(jī)臺(tái)列表，為列表中的每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)一報(bào)警時(shí)間Tl及一停機(jī)時(shí)間T2，每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2根據(jù)該機(jī)臺(tái)加工的晶圓規(guī)格及特性設(shè)定，以獲得每一批次的缺 陷掃描數(shù)據(jù)M，機(jī)臺(tái)運(yùn)行后控制系統(tǒng)開(kāi)始計(jì)數(shù):作業(yè)時(shí)間T ；⑵當(dāng)測(cè)得機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)間T大于對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)設(shè)定的Tl，且未收到掃描站點(diǎn)發(fā)送的缺陷掃描數(shù)據(jù)M時(shí)，抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)，并繼續(xù)計(jì)時(shí)，控制系統(tǒng)同時(shí)發(fā)送報(bào)警信號(hào)的郵件至操作人員郵箱內(nèi)；⑶若該機(jī)臺(tái)在運(yùn)行未達(dá)到停機(jī)時(shí)間T2時(shí)，獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，則該機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T清零；若該機(jī)臺(tái)在作業(yè)時(shí)間T=停機(jī)時(shí)間T2后，仍未收到缺陷掃描數(shù)據(jù)M，則該機(jī)臺(tái)停機(jī)，控制系統(tǒng)將設(shè)置該機(jī)臺(tái)為鎖定狀態(tài)，同時(shí)發(fā)送停機(jī)信號(hào)郵件至操作人員郵箱內(nèi)，待獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)M后，由操作人員為機(jī)臺(tái)設(shè)定解鎖，機(jī)臺(tái)恢復(fù)作業(yè)，且將作業(yè)時(shí)間T清零；⑷重新計(jì)數(shù)，返回步驟⑵。如圖1所示，選擇關(guān)鍵機(jī)臺(tái)①、③、④、⑥列入控制系統(tǒng)監(jiān)控范圍，設(shè)定關(guān)鍵機(jī)臺(tái)①的報(bào)警時(shí)間Tl=IOh,停機(jī)時(shí)間T2=20h，設(shè)定關(guān)鍵機(jī)臺(tái)③的報(bào)警時(shí)間Tl=15h，停機(jī)時(shí)間T2=30h,設(shè)定關(guān)鍵機(jī)臺(tái)④的報(bào)警時(shí)間Tl=8h，停機(jī)時(shí)間T2=16h，設(shè)定關(guān)鍵機(jī)臺(tái)⑥的報(bào)警時(shí)間Tl=20h，停機(jī)時(shí)間T2=40h，控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)控機(jī)臺(tái)①、③、④、⑥的缺陷掃描數(shù)據(jù)M情況。以下以機(jī)臺(tái)①為例，具體說(shuō)明:當(dāng)機(jī)臺(tái)①的作業(yè)時(shí)間T=IOh時(shí)，但未有缺陷掃描數(shù)據(jù)M，控制系統(tǒng)發(fā)送報(bào)警信號(hào)郵件給操作人員，同時(shí)控制機(jī)臺(tái)抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)1，當(dāng)T=12h時(shí)，控制系統(tǒng)從掃描站點(diǎn)處獲得機(jī)臺(tái)①的缺陷掃描數(shù)據(jù)M，那么作業(yè)時(shí)間清零，重新開(kāi)始計(jì)數(shù)。若當(dāng)T=20h時(shí)，仍未獲得機(jī)臺(tái)①的缺陷掃描數(shù)據(jù)M，那么控制系統(tǒng)將機(jī)臺(tái)①停機(jī)，并發(fā)送停機(jī)信號(hào)郵件給操作人員，等待機(jī)臺(tái)①的缺陷掃描數(shù)據(jù)M到來(lái)，收到后，由操作人員修改控制系統(tǒng)中機(jī)臺(tái)①的狀態(tài)，解除鎖定，機(jī)臺(tái)①恢復(fù)作業(yè)，同時(shí)作業(yè)時(shí)間T清零。通過(guò)控制系統(tǒng)的設(shè)定，獲得對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)①、③、④、⑥的實(shí)時(shí)監(jiān)控，在設(shè)定時(shí)間段內(nèi)，一定會(huì)有缺陷掃描數(shù)據(jù)M，以保證對(duì)每一關(guān)鍵機(jī)臺(tái)產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)控。
實(shí)施例二:一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)及其方法，本實(shí)施例與實(shí)施例一基本相似，其不同點(diǎn)在于:控制系統(tǒng)內(nèi)的通訊單元通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)(GPRS移動(dòng)電話網(wǎng)絡(luò))發(fā)送報(bào)警信號(hào)或是停機(jī)信號(hào)，以短消息的方式發(fā)至操作人員手機(jī)上，及時(shí)通知操作人員控制系統(tǒng)監(jiān)控列表中關(guān)鍵機(jī)臺(tái)的作業(yè)情況。
權(quán)利要求
1.一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)，包括復(fù)數(shù)個(gè)機(jī)臺(tái)及至少一個(gè)掃描站點(diǎn)，其特征在于:還包括一控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)主要由MCU控制單元、計(jì)數(shù)單元及存儲(chǔ)單元構(gòu)成,所述MCU控制單元與每一機(jī)臺(tái)運(yùn)行控制端連接，并由所述計(jì)數(shù)單元計(jì)數(shù)作業(yè)時(shí)間T，每一所述掃描站點(diǎn)數(shù)據(jù)端與所述MCU控制單元連接，所述存儲(chǔ)單元內(nèi)預(yù)設(shè)對(duì)應(yīng)每一機(jī)臺(tái)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于:所述控制系統(tǒng)中設(shè)有通訊單元，通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)或無(wú)線網(wǎng)絡(luò)與操作人員電子郵箱或手機(jī)連接。
3.一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其步驟為: ⑴控制系統(tǒng)內(nèi)設(shè)置需要監(jiān)控的機(jī)臺(tái)列表，為列表中的每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)一報(bào)警時(shí)間Tl及一停機(jī)時(shí)間T2，機(jī)臺(tái)運(yùn)行后控制系統(tǒng)開(kāi)始計(jì)數(shù)，獲得作業(yè)時(shí)間T ； ⑵當(dāng)測(cè)得機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)間T大于對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)設(shè)定的Tl，且未收到掃描站點(diǎn)發(fā)送的缺陷掃描數(shù)據(jù)M時(shí)，抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)，并繼續(xù)計(jì)時(shí)； ⑶當(dāng)機(jī)臺(tái)獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)M，且未達(dá)到停機(jī)時(shí)間T2時(shí)，則控制系統(tǒng)為該機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間T清零；若該機(jī)臺(tái)在作業(yè)時(shí)間T=停機(jī)時(shí)間T2后，仍未收到缺陷掃描數(shù)據(jù)M,則該機(jī)臺(tái)停機(jī)，待獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)M后，該機(jī)臺(tái)重新作業(yè)，且將作業(yè)時(shí)間T清零； ⑷重新計(jì)數(shù)，返回步驟⑵。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其特征在于:所述步驟⑴中，每一機(jī)臺(tái)預(yù)設(shè)的報(bào)警時(shí)間Tl及停機(jī)時(shí)間T2根據(jù)該機(jī)臺(tái)加工的晶圓規(guī)格及特性設(shè)定，以獲得每一批次的缺陷掃描數(shù)據(jù)M。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其特征在于:所述步驟⑵中，當(dāng)抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)后，系統(tǒng)同時(shí)發(fā)送報(bào)警信號(hào)至操作人員處。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其特征在于:所述報(bào)警信號(hào)通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送郵件至操作人員郵箱內(nèi)，或通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送短信至操作人員手機(jī)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其特征在于:所述步驟⑶中，機(jī)臺(tái)停機(jī)后，控制系統(tǒng)將設(shè)置該機(jī)臺(tái)為鎖定狀態(tài)，同時(shí)發(fā)送停機(jī)信號(hào)至操作人員處，待獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)M后，由操作人員為機(jī)臺(tái)設(shè)定解鎖，機(jī)臺(tái)恢復(fù)作業(yè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圓缺陷抽樣檢測(cè)方法，其特征在于:所述停機(jī)信號(hào)通過(guò)有線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送郵件至操作人員郵箱內(nèi)，或通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)發(fā)送短信至操作人員手機(jī)上。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓缺陷抽樣檢測(cè)系統(tǒng)其及方法，其特征在于包括一控制系統(tǒng)，主要由控制單元、計(jì)數(shù)單元及存儲(chǔ)單元構(gòu)成，其方法為控制系統(tǒng)內(nèi)設(shè)置需要監(jiān)控的機(jī)臺(tái)列表，預(yù)設(shè)報(bào)警時(shí)間及停機(jī)時(shí)間，機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)間與報(bào)警時(shí)間比較，當(dāng)作業(yè)時(shí)間大于報(bào)警時(shí)間，且未收到掃描站點(diǎn)發(fā)送的缺陷掃描數(shù)據(jù)時(shí)，抓取產(chǎn)品進(jìn)入掃描站點(diǎn)，若該機(jī)臺(tái)在運(yùn)行未達(dá)到停機(jī)時(shí)間已獲得缺陷掃描數(shù)據(jù)，則為該機(jī)臺(tái)的作業(yè)時(shí)間清零；若該機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)間到達(dá)停機(jī)時(shí)間后，仍未收到缺陷掃描數(shù)據(jù)，則停機(jī)，直到獲取缺陷掃描數(shù)據(jù)后重新運(yùn)行，并為作業(yè)時(shí)間清零。本發(fā)明通過(guò)控制系統(tǒng)可對(duì)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)控，保證產(chǎn)品的良品率，減少檢測(cè)數(shù)量，減輕掃描站點(diǎn)的使用量，降低檢測(cè)成本。
文檔編號(hào)H01L21/66GK103219258SQ201310117090
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月3日
發(fā)明者鄧燕 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司