圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的制作方法
【專利摘要】在含通孔的基片表面上形成自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)等。具有圖案的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)這樣形成，使得所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)中的至少一些導(dǎo)電材料到達(dá)孔中，有時甚至通過所述孔到達(dá)所述基片的相對表面?；砻嫔系木W(wǎng)絡(luò)電連接至孔中的導(dǎo)電材料，且具有良好的電導(dǎo)。
【專利說明】圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)
[0001]相關(guān)申請的交叉參考
[0002]本申請要求于2011年10月29日提交的美國臨時專利申請序列第61/553，192號的優(yōu)先權(quán)，該文的全部內(nèi)容通過弓I用納入本文。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及圖案化基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，具體來說，涉及在含通孔的基片上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
[0004]背景
[0005]在光伏領(lǐng)域，高性能的太陽能電池效率需要多個昂貴的加工步驟來在太陽能電池中制備所需的特征。因為附加的加工成本，這些步驟限制了太陽能電池的實用性。
[0006]在常規(guī)的太陽能電池設(shè)計中，把光生電流驅(qū)動到兩電極:(1)在太陽能電池底部的底(通常是連續(xù)的和均勻的)電極，以及(2)在與該底部相對的正面(受照射側(cè))上精細(xì)印刷的線陣列?？赏ㄟ^把銀漿絲網(wǎng)印刷成精細(xì)的線圖案，來形成太陽能電池正面上的精細(xì)印刷的線陣列。例如，尋求通過改善太陽能電池上電極的圖案化，來改善太陽能電池的性能(如單位面積產(chǎn)生的瓦特數(shù)(Watt))。
[0007]本領(lǐng)域期望通過減小太陽能電池正面上的印刷銀面積，來改善太陽能電池的性能。銀面積減小允許更多的光進(jìn)入太陽能電池的光伏部分，由此改善效率。已經(jīng)設(shè)計了金屬覆蓋穿通(metal wrap through) (MWT)作為實現(xiàn)這個想法的一種方式,其中太陽能電池正面和底部的電接觸通過使用硅穿孔(TSV)來形成。
[0008]改善在太陽能電池上或穿過太陽能電池形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的方法可帶來益處。更一般地，改善在膜基片上或穿過膜基片形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的方法可帶來益處，包括在其他光伏(如薄膜光伏器件)應(yīng)用中的應(yīng)用，以及更普遍的電子應(yīng)用(包括用于平板顯示器、透明加熱器、發(fā)光等的透明電極應(yīng)用)。
[0009]概述
[0010]在一方面中，本發(fā)明的特征是在含通孔的基片表面上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。具有圖案的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)這樣形成,使得所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)中的至少一些導(dǎo)電材料到達(dá)孔中，有時甚至通過所述孔到達(dá)所述基片的相對表面。在孔中形成導(dǎo)電材料，而在基片表面上形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)?；砻嫔系木W(wǎng)絡(luò)電連接至孔中的導(dǎo)電材料，且具有良好電導(dǎo)。在一些實施方式中，通過基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)收集的電流可通過孔中的導(dǎo)電材料導(dǎo)向基片的相對側(cè)。這種基片可用于光伏電池，例如具有金屬覆蓋穿通(metal wrap through) (MWT)設(shè)計的電池。在孔中甚至在第二表面上一步形成(如通過自組裝)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和導(dǎo)電材料，可簡化制造工藝、改善加工通量和降低成本，同時在表面和孔之間、在表面和與該表面相對的一側(cè)之間提供良好電導(dǎo)。
[0011]在另一方面中，本發(fā)明的特征是一種制品，其包括基片、導(dǎo)電材料和自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個或更多個孔。所述導(dǎo)電材料在所述一個或更多個孔中。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在所述第一表面上且包括所述導(dǎo)電材料。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)與在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料有電連接。
[0012]在另一方面中，本發(fā)明的特征是一種方法，其包括提供一種基片，該基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個或更多個孔；以及把一種乳液和分散于該乳液中的非揮發(fā)性組分施涂至所述基片的第一表面上。所述乳液和非揮發(fā)性組分自組裝成在所述基片的第一表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)以及在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料。所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和所述導(dǎo)電材料有電連接，從而把電流從所述第一表面通過所述一個或更多個孔導(dǎo)向所述第二表面。
[0013]本發(fā)明的特征還在于下述的一種或更多種實施方式。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)延伸進(jìn)入所述一個或更多個孔，且在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料是所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個或更多個孔延伸，到達(dá)第二表面上。在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料與所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)有電連接，從而把電流從所述第一表面導(dǎo)向所述第二表面。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)具有遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔的第一各向異性以及靠近所述一個或更多個孔的第二各向異性，且所述第二各向異性高于所述第一各向異性。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔處是各向同性的。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括金屬跡線和在所述跡線之間的網(wǎng)孔，且靠近所述一個或更多個孔的金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個或更多個孔。所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)由金屬納米顆粒形成。所述金屬納米顆粒包括銀納米顆粒。所述基片包括半導(dǎo)體、聚合物膜或者玻璃。所述一個或更多個孔由激光鉆孔或蝕刻形成。
[0014]本發(fā)明的特征還在于下述的一種或更多種實施方式。所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料是所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分，且在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)自組裝時形成。所述乳液和所述非揮發(fā)性組分自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個或更多個孔延伸并到達(dá)第二表面上。在基片中的所述一個或更多個孔由激光鉆孔或蝕刻形成。所述乳液包括油包水乳液或者水包油乳液。所述非揮發(fā)性組分包括金屬或陶瓷納米顆粒。自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成一種導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔處具有低各向異性，且在靠近所述一個或更多個孔處具有高各向異性。形成在靠近所述一個或更多個孔處具有高各向異性的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成金屬跡線，所述金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個或更多個孔。燒結(jié)所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
[0015]通過說明書和附圖，不難了解其它的特征、目的和優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的顯微照片。
[0017]圖2，3A, 3B和4是含通孔的基片表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的顯微照片。
[0018]圖5A是含通孔的基片上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0019]圖5B是包含排布成圖案的通孔的基片的示意圖。
[0020]圖5C是含通孔的基片表面上的無規(guī)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0021]圖是含通孔的基片表面上的具有本發(fā)明特征的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的示意圖。
[0022]發(fā)明詳述
[0023]在一些實施方式中，乳液的自組裝性質(zhì)可優(yōu)選地用于在表面上制備有用的圖案，包括制造無規(guī)金屬網(wǎng)格(mesh)。這種無規(guī)金屬網(wǎng)格也可用于光伏電池。例如，圖1顯示了這種金屬網(wǎng)格的顯微照片，其中深色的區(qū)域是銀跡線，淡色的區(qū)域是跡線之間非導(dǎo)電的、透光的空穴或網(wǎng)孔。美國專利第7，601，406號中描述了無規(guī)金屬網(wǎng)格，且美國專利申請公開第2011/0175065號描述了把這種網(wǎng)格應(yīng)用到光伏電池中，以上兩文的全部內(nèi)容通過引用納入本文。
[0024]使用包括乳液或泡沫(如與氣體互混的液相)的自組裝涂層材料，來在具有孔或通孔(vias)的基片上形成透明的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。例如，所述透明的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)可以是具有TSV的太陽能電池上的正面電極。這種方法相對于用于產(chǎn)生無規(guī)金屬網(wǎng)格的方法有優(yōu)勢，因為這些方法可通過自組裝制備環(huán)繞和/或穿過所述孔的特別優(yōu)選的網(wǎng)絡(luò)圖案。具體來說，可在一步中自組裝環(huán)繞和/或穿過所述孔的網(wǎng)絡(luò)圖案以及遠(yuǎn)離所述孔的網(wǎng)絡(luò)圖案。乳液或泡沫滲入孔中，從而在孔中形成導(dǎo)電材料，作為其中限定了孔的表面上的網(wǎng)絡(luò)圖案的延伸部分。
[0025]無規(guī)網(wǎng)格導(dǎo)體只有標(biāo)稱的各向同性面電阻，但更加優(yōu)化的、非均勻網(wǎng)格圖案可用于在電流濃縮點(如孔或通孔)處為這種導(dǎo)電網(wǎng)格產(chǎn)生定向性(各向異性)。
[0026]可通過乳液和基片之間的直接相互作用來形成(如自組裝)優(yōu)選的圖案(如導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò))。所述基片、涂層材料和方法可具有下述特征。
[0027]基片-可使用多種未圖案化的基片。如果目標(biāo)是制備具有透明導(dǎo)電涂層的制品，基片優(yōu)選地對可見光區(qū)(400-800nm)的光是基本上透明的。合適的基片的示例包括玻璃、聚合物材料(如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯或聚碳酸酯)、陶瓷(例如，透明的金屬氧化物)和半導(dǎo)體材料(如硅或鍺)。基片可直接使用，或者預(yù)處理以改變它的表面性質(zhì)。例如，可預(yù)處理基片以改善涂層和基片表面之間的粘附性，或者增加或控制基片的表面能。物理和化學(xué)預(yù)處理都可使用。物理預(yù)處理的示例包括電暈、等離子體、紫外線、熱處理或火焰處理?；瘜W(xué)預(yù)處理的示例包括蝕刻劑(如酸蝕刻劑)、底漆、減反射涂層或者硬涂層(如，為了提供耐刮性)。具體來說，基片可以是包括光伏電池的基片，例如半導(dǎo)體基片。
[0028]基片還可以是圖案化基片。例如，可在把透明導(dǎo)電涂層施涂至基片之前，圖案化該未圖案化的基片。在一些實施方式中，例如可用激光鉆孔或者蝕刻圖案化半導(dǎo)體基片，以形成通孔。在一些實施方式中，在圖案化所述基片或?qū)⑺龌糜谛纬蓪?dǎo)電網(wǎng)絡(luò)之前，所述基片可以是包含基于乳液形成的第一無規(guī)網(wǎng)絡(luò)的基片。形成第一無規(guī)網(wǎng)絡(luò)的示例如在專利代理人卷號第17709-0031P01中所述，該文與本申請同一天提交，且該文的全部內(nèi)容通過引用納入本文。
[0029]涂層材料-適用的涂層材料可包括非揮發(fā)性組分和液體載體。液體載體是乳液的形式，包括連續(xù)相和分散在該連續(xù)相中的結(jié)構(gòu)域(domain)。
[0030]合適的非揮發(fā)性組分的示例包括金屬和陶瓷納米顆粒。納米顆粒的D9tl值優(yōu)選地小于約100納米。具體示例包括根據(jù)U.S.5，476，535和U.S.7，544，229所述的方法制備的金屬納米顆粒，以上兩文的全部內(nèi)容通過引用納入本文。如上面兩篇專利所述，一般通過形成兩種金屬之間的合金來制備納米顆粒；例如銀和鋁之間的合金，用堿性或者酸性溶浸劑來溶浸其中一種金屬以形成多孔金屬聚集體；且隨后崩解該聚集體(如，使用機械分散器、機械勻化器、超聲勻化器或者研磨裝置)以形成納米顆粒?？稍诒澜庵巴扛布{米顆粒，以抑制聚集。在一些實施方式中，顆粒可大于納米尺寸。用于大于或等于納米尺寸顆粒的材料也可包括玻璃料。[0031]可用于制備納米顆粒的金屬的示例包括銀、金、鉬、鈀、鎳、鈷、銅、鈦、銥、鋁、鋅、鎂、錫以及它們的組合?？捎糜谕扛布{米顆粒以抑制聚集的材料的示例包括脫水山梨醇酯、聚氧乙烯酯、醇、甘油、聚乙二醇類、有機酸、有機酸鹽、有機酸酯、硫醇、膦類(phosphines)、低分子量聚合物以及它們的組合。
[0032]液體載體中非揮發(fā)性組分(如納米顆粒)的濃度范圍通常是1-50重量％，優(yōu)選地
1-10重量％。選定具體的用量，以產(chǎn)生可涂覆在基片表面上的組合物。當(dāng)需要導(dǎo)電的涂層時，選擇用量以產(chǎn)生干燥涂層中合適的導(dǎo)電率水平。
[0033]液體載體是乳液的形式，其特征是連續(xù)相和分散在該連續(xù)相中的結(jié)構(gòu)域。在一些實施方式中，乳液是油包水(W/0)乳液，其中一種或更多種有機液體形成連續(xù)相，以及一種或更多種水性液體形成分散的結(jié)構(gòu)域。在另一些實施方式中，乳液是水包油(0/W)乳液，其中一種或更多種水性液體形成連續(xù)相，以及一種或更多種有機液體形成分散的結(jié)構(gòu)域。在兩種情況下，水性和有機液體相互間基本上是不互溶的，從而形成兩種不同的相。
[0034]用于W/0或0/W乳液的合適的水性液體示例包括水、甲醇、乙醇、乙二醇、甘油、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、乙腈、二甲亞砜、N-甲基吡咯烷酮以及它們的組合。用于W/0或Ο/ff乳液的合適的有機液體示例包括石油醚、己烷、庚烷、甲苯、苯、二氯乙烷、三氯乙烯、氯仿、二氯甲烷、硝基甲烷、二溴甲烷、環(huán)戊酮、環(huán)己酮以及它們的組合。應(yīng)選擇溶劑，從而乳液的連續(xù)相的溶劑蒸發(fā)得比分散的結(jié)構(gòu)域的溶劑更快。例如，在一些實施方式中，乳液是W/0乳液，其中有機液體蒸發(fā)得比水性液體更快。
[0035]液體載體還可包括其它添加劑。具體示例包括反應(yīng)性或者非反應(yīng)性稀釋劑、氧清除劑、硬涂覆組分、抑制劑、穩(wěn)定劑、著色劑、顏料、IR吸收劑、表面活性劑、潤濕劑、流平劑、流動控制劑、流變改性劑、增滑劑、分散助劑、消泡劑、粘合劑、膠粘劑、促進(jìn)劑、腐蝕抑制劑
及其組合。
[0036]在一些實施方式中，涂層材料可具有在與氣體互混的液相(如泡沫形式)中的非揮發(fā)性成分。在一個優(yōu)選的實施方式中，非揮發(fā)性成分是金屬納米顆粒。金屬顆?？煞稚⒂诨谒囊后w分散體中，并與空氣混合以形成泡沫。在一些實施方式中，這種分散體是水性的，且無需不互溶的有機溶劑和乳液。這種涂層材料的描述見美國專利申請公開第2011/0193032號，該文的全部內(nèi)容通過引用納入本文。
[0037]方法-合適的涂覆方法可包括絲網(wǎng)印刷、手動施涂器和手動鋪展。還可使用其它合適的技術(shù)如旋涂、噴涂、噴墨印刷、膠版印刷、邁耶(mayer)棒涂布、凹版涂布、微凹版涂布、簾式涂布和任何合適的技術(shù)。在施涂了涂層材料之后，采用或不采用高于環(huán)境的溫度，把溶劑從乳液中蒸發(fā)掉。優(yōu)選地，在約室溫到約850°C的溫度范圍中燒結(jié)剩余的涂層。燒結(jié)優(yōu)選在常壓條件下進(jìn)行。
[0038]作為替代或補充，燒結(jié)過程的全部或一部分可以在存在化學(xué)物質(zhì)的條件下進(jìn)行，所述化學(xué)物質(zhì)能夠引發(fā)所述燒結(jié)過程。合適的化學(xué)物質(zhì)的例子包括醛或酸，例如甲酸、乙酸和鹽酸。所述化學(xué)物質(zhì)可以為蒸氣或者液體的形式，沉積的顆粒與之接觸?；蛘?，可以在沉積之前，將所述化學(xué)物質(zhì)結(jié)合入包含納米顆粒的組合物中，或者可以在顆粒沉積到基材上之后，將所述化學(xué)物質(zhì)沉積在所述納米顆粒上。
[0039]所述工藝還可以包括燒結(jié)后處理步驟，在此步驟中，可對形成的導(dǎo)電層進(jìn)一步燒結(jié)、退火，或者進(jìn)行以下的其它形式的后處理:使用加熱、激光、紫外光、酸或其它處理以及/或者接觸化學(xué)物質(zhì)，例如金屬鹽、堿或離子液體。處理過的導(dǎo)電層可以用水或者其它化學(xué)洗滌溶液(例如酸溶液、丙酮或其它合適的液體)洗滌?？梢允褂瞄g歇式工藝設(shè)備或連續(xù)型涂覆設(shè)備對基材進(jìn)行后處理，所述后處理可以是實驗室小規(guī)模或工業(yè)較大規(guī)模的，包括輥到輥的工藝。
[0040]合適的基片、涂層材料和工藝以及自組裝工藝還可參見美國專利申請第12/809，195號(于2011年7月26日提交)、美國臨時申請第61/495，582號(于2011年6月10日提交)以及美國專利第7，566，360號，以上各文的全部內(nèi)容通過引用納入本文。
實施例
[0041]實施例1
[0042]使用4密耳的三菱ElOO聚對苯二甲酸乙二酯(PET)基片(三菱聚酯膜(Mitsubishi Polyester Film),三菱(Mitsubishi)，日本)的用底漆處理的一側(cè)。
[0043]通過激光鉆孔來制備基片，以形成穿過所述PET基片厚度的、直徑為約100微米的孔(即通孔)。使用Epilog Mini 24 30W激光器系統(tǒng)(格而登(Golden)，科羅拉多州)，且按正方形圖案形成孔，間距為約I英寸。
[0044]用Misonix 3000超聲混合器在燒杯中于40瓦下超聲40秒，來混合包括具有表1
所示組成(數(shù)值的單位是 克)的乳液的涂層材料。
[0045]
[0046]
【權(quán)利要求】
1.一種制品，其包括: 基片，所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個或更多個孔； 在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料；以及 在所述第一表面上的自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括導(dǎo)電材料，且與在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料有電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)延伸進(jìn)入所述一個或更多個孔，且在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料是所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分。
3.如權(quán)利要求2所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個或更多個孔延伸，并到達(dá)第二表面上。
4.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，在所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料與所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)有電連接，從而把電流從所述第一表面導(dǎo)向所述第二表面。
5.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)具有遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔的第一各向異性，以及靠近所述一個或更多個孔的第二各向異性，且所述第二各向異性高于所述第一各向異性。
6.如權(quán)利要求5所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔處是各向同性的。
7.如權(quán)利要求5所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括金屬跡線和在該跡線之間的網(wǎng)孔，且靠近所述一個或更多個孔的金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個或更多個孔。
8.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述自組裝導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)由金屬納米顆粒形成。
9.如權(quán)利要求8所述的制品，其特征在于，所述金屬納米顆粒包含銀納米顆粒。
10.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述基片包括半導(dǎo)體、聚合物膜或者玻璃。
11.如權(quán)利要求1所述的制品，其特征在于，所述一個或更多個孔由激光鉆孔或蝕刻形成。
12.—種方法，其包括: 提供一種基片，所述基片包括第一表面、第二表面、從所述第一表面到所述第二表面的厚度，以及穿過所述基片厚度延伸的一個或更多個孔；以及 把一種乳液和分散于該乳液中的非揮發(fā)性組分施涂至所述基片的第一表面上，其中所述乳液和非揮發(fā)性組分自組裝成位于所述基片的第一表面上的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)以及位于所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料，所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)和所述導(dǎo)電材料有電連接，從而把電流從所述第一表面通過所述一個或更多個孔導(dǎo)向所述第二表面。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述一個或更多個孔中的導(dǎo)電材料是所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的延伸部分，且在所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)于所述第一表面上自組裝時形成。
14.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述乳液和所述非揮發(fā)性組分自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)穿過所述一個或更多個孔延伸并到達(dá)第二表面上。
15.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述方法還包括通過激光鉆孔或者蝕刻在所述基片中形成所述一個或更多個孔。
16.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述乳液包括油包水乳液或者水包油乳液。
17.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述非揮發(fā)性組分包括金屬或陶瓷納米顆粒。
18.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述自組裝成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成一種導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)，該導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)離所述一個或更多個孔處具有低各向異性，且在靠近所述一個或更多個孔處具有高各向異性。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其特征在于，形成在靠近所述一個或更多個孔處具有高各向異性的導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)包括形成金屬跡線，所述金屬跡線以徑向圖案的方式延伸到并進(jìn)入所述一個或更多個孔。
20.如權(quán)利要求 12所述的方法，其特征在于，所述方法還包括燒結(jié)所述導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。
【文檔編號】H01L29/40GK103999223SQ201280062860
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月29日
【發(fā)明者】E·L·格蘭士特姆, A·賈巴, L·曼戈利尼 申請人:西瑪耐諾技術(shù)以色列有限公司