專利名稱：清洗機冷凍盤管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于電子元器件蝕刻時降溫的清洗機中的冷凍盤管，屬于清洗機冷凍盤管技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
清洗機用于電子器件蝕刻的時候降溫，目前清洗機內(nèi)使用的冷凍盤管是在銅管外再包覆一層鐵氟龍管制作而成的，其優(yōu)點是耐用，但降溫速度慢，降溫效果不理想。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對現(xiàn)有清洗機冷凍盤管存在的不足，提供一種降溫效果好的清洗機冷凍盤管。本實用新型的清洗機冷凍盤管采用下述技術(shù)方案該清洗機冷凍盤管，呈矩形，由冷凍管盤繞而成，冷凍管的兩個端口位于矩形的同一側(cè)，所述冷凍管是在不銹鋼管外包覆一層鐵氟龍。本實用新型采用不銹鋼管鍍鐵氟龍粉制作而成，降溫速度快，降溫效果比銅管提高兩倍以上。

圖1是本實用新型清洗機冷凍盤管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的俯視圖。圖中1、冷凍管，2、進(jìn)口，3、出口。
具體實施方式
如圖1和圖2所示，本實用新型的清洗機冷凍盤管，由冷凍管1盤繞成矩形結(jié)構(gòu)， 冷卻液進(jìn)入和流出冷凍管1的進(jìn)口 2和出口 3兩個端口位于矩形的同一側(cè)。冷凍管1是在 SUS310S不銹鋼管外包覆一層鐵氟龍制作而成，鐵氟龍粉通過靜電噴涂鍍在不銹鋼管上。雖然采用不銹鋼管會降低冷凍盤管的使用壽命，但是降溫速度會明顯提高，降溫效果比銅管提高兩倍以上。
權(quán)利要求1. 一種清洗機冷凍盤管，其特征是呈矩形，由冷凍管盤繞而成，冷凍管的兩個端口位于矩形的同一側(cè)，所述冷凍管是在不銹鋼管外包覆一層鐵氟龍。
專利摘要本實用新型提供了一種降溫效果好的清洗機冷凍盤管，該清洗機冷凍盤管，呈矩形，由冷凍管盤繞而成，冷凍管的兩個端口位于矩形的同一側(cè)，所述冷凍管是在不銹鋼管外包覆一層鐵氟龍。本實用新型采用不銹鋼管鍍鐵氟龍粉制作而成，降溫速度快，降溫效果比銅管提高兩倍以上。
文檔編號H01L21/00GK202003964SQ201120040840
公開日2011年10月5日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月18日
發(fā)明者劉桂揚, 趙仕慶, 馬玉水 申請人:山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公司