專利名稱：太陽能電池rie工藝溫度補償方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池RIE制絨技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法。
背景技術(shù)：
反應(yīng)性離子蝕刻(Reactive Ion Etching)簡稱RIE，是結(jié)合(1)物理性的離子轟擊與( 化學(xué)反應(yīng)的蝕刻。此種方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優(yōu)點，蝕刻的進行主要靠化學(xué)反應(yīng)來達成，以獲得高選擇比。加入離子轟擊的作用有二 一是將被蝕刻材質(zhì)表面的原子鍵結(jié)破壞，以加速反應(yīng)速率。二是將再沉積于被蝕刻表面的產(chǎn)物或聚合物 (Polymer)打掉，以使被蝕刻表面能再與蝕刻氣體接觸。而非等向性蝕刻的達成，則是靠再沉積的產(chǎn)物或聚合物，沉積在蝕刻圖形上，在表面的沉積物可為離子打掉，故蝕刻可繼續(xù)進行，而在側(cè)壁上的沉積物，因未受離子轟擊而保留下來，阻隔了蝕刻表面與反應(yīng)氣體的接觸，使得側(cè)壁不受蝕刻，而獲得非等向性蝕刻。通過調(diào)整氣體流量及射頻能量可獲得非常低的反射率，提高短路電流，因而可應(yīng)用于多晶太陽能電池的制絨工藝上?，F(xiàn)有RIE工藝在連續(xù)作業(yè)時，因為等離子體的轟擊，基板溫度逐漸升高，制作出的電池片反射率隨之升高。這將導(dǎo)致最終的電池片電性能受影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，引入溫度補償系數(shù)以穩(wěn)定反射率，提高RIE工藝的穩(wěn)定性。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的方案是一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，具體步驟如下a)每次作業(yè)之前通過熱電偶或紅外線溫度偵測儀偵測基板溫度；b)此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計算出實際工藝時間，工藝時間計算公式如下T = T0+a*ln(T1)+b ；T 補償后的工藝時間；T0 設(shè)定工藝時間；T1:基板溫度；a和b 常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出；c)設(shè)備工作時將以補償后的工藝時間為實際工藝時間。進一步地，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出a和b產(chǎn)生的方法(過程)為假設(shè)基板溫度T1 = X1時，根據(jù)實際的反射率結(jié)果手動調(diào)整工藝時間，當(dāng)反射率達到要求時，得到實際工藝時間為Y1，將Xi和Yi帶入公式得到公式1:Y1 = To+a^Xi+b按同樣方法可得到當(dāng)基板溫度為\時的實際工藝時間I，帶入公式可得到公式
Y2 = T0+a*X2+b公式1和公式2中只有a和b為未知數(shù)，因此可根據(jù)這兩個公式計算出a，b值。本發(fā)明的有益效果是通過此發(fā)明可解決RIE工藝中反射率隨工藝溫度波動的缺陷，通過引入溫度補償，自動調(diào)節(jié)工藝時間，提高RIE工藝穩(wěn)定性。


下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明；圖1是本發(fā)明所使用的設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，1.氣體管路、2.噴淋頭，3.基板，4.熱電偶或紅外線溫度偵測儀，5.控制系統(tǒng)，6.流量控制器。
具體實施例方式一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，具體步驟如下a)每次作業(yè)之前通過熱電偶或紅外線溫度偵測儀偵測基板溫度；b)此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計算出實際工藝時間，工藝時間計算公式如下T = T0+a*ln(T1)+b ；T 補償后的工藝時間；T0 設(shè)定工藝時間；T1 基板溫度；a和b 常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出；c)設(shè)備工作時將以補償后的工藝時間為實際工藝時間。d)進一步地，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出a和b產(chǎn)生的方法(過程) 為e)假設(shè)基板溫度T1 = X1時，根據(jù)實際的反射率結(jié)果手動調(diào)整工藝時間，當(dāng)反射率達到要求時，得到實際工藝時間為Y1，將Xi和Yi帶入公式得到公式1 f) Y1 = To+a^Xi+bg)按同樣方法可得到當(dāng)基板溫度為\時的實際工藝時間\，帶入公式可得到公式 2 h) Y2 = TQ+a*X2+bi)公式1和公式2中只有a和b為未知數(shù)，因此可根據(jù)這兩個公式計算出a，b值。RIE設(shè)備結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括反應(yīng)腔、氣體管路1和噴淋頭2，電池片4放置在反應(yīng)腔內(nèi)，基板3位于反應(yīng)腔內(nèi)，硅片放置在基板3上，噴淋頭2位于反應(yīng)腔的頂部，反應(yīng)氣體通過氣體管路1輸送，從噴淋頭2進入反應(yīng)腔，在氣體管路1上設(shè)置流量控制器6，可調(diào)整流量。通過熱電偶或紅外線溫度偵測儀4偵測基板溫度，在控制系統(tǒng)5中，根據(jù)本發(fā)明的方法對工藝時間進行補償，并將補償后的工藝時間作為實際工藝時間。實施例1 當(dāng)系統(tǒng)初始設(shè)定工藝時間Ttl = 65 ；
a = 50. 34 ；b = 172. 54 ；當(dāng)溫度Tl = 34度時，帶入公式計算計算出的實際工藝時間為70s，RIE設(shè)備以該實際工藝時間進行制絨作業(yè)；當(dāng)溫度Tl = 37. 55度時，帶入公式計算計算出的實際工藝時間為7 ，RIE設(shè)備以該實際工藝時間進行制絨作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，其特征是具體步驟如下a)每次作業(yè)之前通過熱電偶或紅外線溫度偵測儀偵測基板溫度；b)此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計算出實際工藝時間，工藝時間計算公式如下T = T0+a*ln(T1)+b ； T 補償后的工藝時間； T0 設(shè)定工藝時間； T1 基板溫度；a和b 常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出；c)設(shè)備工作時將以補償后的工藝時間為實際工藝時間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，其特征是根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出a和b產(chǎn)生的方法為假設(shè)基板溫度T1 = X1時，根據(jù)實際的反射率結(jié)果手動調(diào)整工藝時間，當(dāng)反射率達到要求時，得到實際工藝時間為Y1，將Xl和Yl帶入公式得到公式1 Y1 = To+a^Xi+b按同樣方法可得到當(dāng)基板溫度為\時的實際工藝時間I，帶入公式可得到公式2 Y2 = T0+a*X2+b根據(jù)這兩個公式計算出a，b值。
全文摘要
本發(fā)明涉及太陽能電池RIE制絨技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池RIE工藝溫度補償方法，具體步驟如下首先每次作業(yè)之前通過熱電偶或紅外線溫度偵測儀偵測基板溫度；然后此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計算出實際工藝時間，工藝時間計算公式如下T＝T0+a*ln(T1)+b；T補償后的工藝時間；T0設(shè)定工藝時間；T1基板溫度；a和b常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時間數(shù)據(jù)計算出；最后設(shè)備工作時將以補償后的工藝時間為實際工藝時間。本發(fā)明的有益效果是通過此發(fā)明可解決RIE工藝中反射率隨工藝溫度波動的缺陷，通過引入溫度補償，自動調(diào)節(jié)工藝時間，提高RIE工藝穩(wěn)定性。
文檔編號H01L31/18GK102364700SQ20111032944
公開日2012年2月29日 申請日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月26日
發(fā)明者鐘明 申請人:常州天合光能有限公司