專利名稱：致動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及致動(dòng)器，包括平面運(yùn)動(dòng)線圈致動(dòng)器或壓電致動(dòng)器，更具體地但不是唯一地涉及在其操作頻率范圍內(nèi)具有一個(gè)或多個(gè)模態(tài)諧振的致動(dòng)器。
背景技術(shù)：
在W001/54450中討論了采用在彎曲中諧振的板狀壓電構(gòu)件的模態(tài)致動(dòng)器。圖Ia 示出了已知的模態(tài)運(yùn)動(dòng)線圈致動(dòng)器10，該模態(tài)運(yùn)動(dòng)線圈致動(dòng)器10關(guān)于它的中心軸對(duì)稱，并且通過(guò)耦合器14安裝到圓形面板膜片12。致動(dòng)器包括磁體組件和音圈組件，并且類似于未決UK申請(qǐng)0617551. 7中描述的致動(dòng)器。磁體組件包括四對(duì)共軸安裝的環(huán)狀磁體16、18、20、22和一對(duì)低碳鋼杯板(cup plate) 24,26.每對(duì)磁體包括安裝到上杯板M的上環(huán)狀磁體和安裝到下杯板沈的下環(huán)狀磁體。每對(duì)中的上和下環(huán)狀磁體通過(guò)環(huán)形平面氣隙分開，將線圈組件安裝到該環(huán)形平面氣隙中。線圈組件包括印刷在自支持環(huán)形平面基底觀上的三個(gè)音圈30、32、34。每個(gè)音圈施加力(分別為A、B或C)到基底。沿著其內(nèi)邊緣，基底觀夾在上和下杯板MJ6之間。 因?yàn)橹聞?dòng)器有慣性，所以在幅度上等于三個(gè)力A、B和C的和的相反的力必須在該內(nèi)邊緣施加到磁體組件。在外邊緣，基底附接到耦合器14，并且將致動(dòng)器耦合到膜片，從而將來(lái)自致動(dòng)器的功率傳遞到膜片。因?yàn)榛撞皇抢硐氲貏傂缘?，所以這樣的模態(tài)致動(dòng)器展現(xiàn)其中幾乎沒(méi)有力傳輸給負(fù)載的次級(jí)或反諧振(anti-resonance)。相應(yīng)地，通過(guò)這樣的致動(dòng)器提供的力隨著頻率變化，從而具有力的零點(diǎn)(null)。例如，圖Ib示出力隨著在圖Ia中的耦合器可用的頻率的變化。由于基底的反諧振導(dǎo)致在6. 5kHz存在特性下陷，響應(yīng)遠(yuǎn)不令人滿意。在響應(yīng)中還存在峰值，但是已知這些峰值可以通過(guò)增加阻尼被最小化。本發(fā)明的目的是改進(jìn)用于任何致動(dòng)器(特別是模態(tài)換能器)的力的傳遞。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種制作包括多個(gè)力元件的致動(dòng)器的方法，該方法包括提供用于將來(lái)自力元件的力耦合到負(fù)載的耦合器；計(jì)算用于每個(gè)力元件的傳遞函數(shù)，其中傳遞函數(shù)允許預(yù)測(cè)提供給負(fù)載的力；確定誤差泛函，其指示預(yù)測(cè)的力中任何不期望的下陷；計(jì)算最小化誤差泛函的力元件的參數(shù)；以及將具有計(jì)算的參數(shù)的力元件耦合到耦合器，以制作致動(dòng)器。如上所述，反諧振是諧振元件的次要諧振，在此幾乎沒(méi)有力傳輸?shù)截?fù)載，因此在這些模式的頻率處存在由致動(dòng)器提供的力中的下陷或零點(diǎn)。通過(guò)減少這些模式的激勵(lì)，力隨著頻率的變化減少，并且基本上更一致的力可以傳遞到負(fù)載。如果該負(fù)載是揚(yáng)聲器膜片，則與其中沒(méi)有處理驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的零點(diǎn)的揚(yáng)聲器相比，得到的揚(yáng)聲器具有改進(jìn)的效率和響應(yīng)一致性。在結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的結(jié)果，而不需要之前已經(jīng)提出用于處理該問(wèn)題的、復(fù)雜和昂貴的反饋系統(tǒng)。傳遞函數(shù)是施加的力對(duì)于耦合到要由致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的負(fù)載的力的趨勢(shì)的表示。傳遞函數(shù)可以通過(guò)測(cè)量、通過(guò)數(shù)值分析(如有限元分析)、或通過(guò)系統(tǒng)行為的數(shù)學(xué)表達(dá)式的知識(shí)直接獲得。在由致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的負(fù)載處的合力可以從傳遞函數(shù)計(jì)算。誤差函數(shù)可以提供從力分布的參數(shù)導(dǎo)出的誤差平方和響應(yīng)。力元件的參數(shù)可以包括它們?cè)隈詈掀魃系奈恢煤兔總€(gè)力元件施加的力。耦合器可以是諧振元件的形式，該諧振元件具有操作頻率中的多個(gè)諧振彎曲波模式，該操作頻率包括具有指示至少一個(gè)反諧振的存在的誤差泛函的至少一個(gè)反諧振。力元件可以位于諧振元件的至少一個(gè)反諧振的節(jié)點(diǎn)線處或附近。以該方式，至少最小化或者甚至可以防止至少一個(gè)反諧振的激勵(lì)。諧振元件以及因此致動(dòng)器自身優(yōu)選不輻射。力元件可以在抑制諧振元件的第二和第三模式的至少一個(gè)的位置上，耦合到諧振元件。例如，可以在第三模式的節(jié)點(diǎn)線上將第一和第二力元件耦合到諧振元件，并且可以在第二模式的節(jié)點(diǎn)線上將第三力元件耦合到諧振元件。諧振元件可以是橫梁、盤或環(huán)形板的形式。對(duì)于環(huán)形板，力元件可以在沿著諧振元件半徑的相對(duì)位置0. 43,0. 56和0. 69處。諧振元件可以在一端/邊被夾住或支持，并且在相對(duì)端/邊被夾到或支持到負(fù)載。諧振元件的邊界條件在確定傳遞函數(shù)時(shí)是重要的。例如，對(duì)于至少一端夾住條件，這樣的致動(dòng)器可以工作下到dc (直流)。這樣的致動(dòng)器可以提供用于在諧振元件的范圍內(nèi)力的分布的最優(yōu)解決方案，以便最大化在驅(qū)動(dòng)端傳遞的力，并且最小化諧振元件自身的彎曲。每個(gè)力元件施加的力可以不同，從而到負(fù)載的和輸出趨于隨著頻率單調(diào)，S卩，力是相同幅度，在頻率響應(yīng)中沒(méi)有零點(diǎn)。致動(dòng)器還可以包括耦合器，其將作用在諧振元件上的力求和，并且將和力傳送到要驅(qū)動(dòng)的負(fù)載。對(duì)于環(huán)形或圓形諧振元件，每個(gè)力元件施加的力可以與它們關(guān)聯(lián)節(jié)點(diǎn)的半徑成比例。例如，對(duì)于具有三個(gè)力元件的致動(dòng)器，每個(gè)元件施加的力的相對(duì)值可以是0.646、0.732和0.215。該作用在諧振元件上的力的分布的修整(位置和 /或力量中)可以增加致動(dòng)器的可使用帶寬。根據(jù)本發(fā)明另一方面，提供了一種根據(jù)上述詳細(xì)描述的方法制作的電磁致動(dòng)器。 該電磁致動(dòng)器可以包括具有多個(gè)磁體的磁體組件和具有多個(gè)音圈的音圈組件，該多個(gè)音圈支持在耦合器上，并且與磁體協(xié)作以形成力元件。該耦合器可以為圓形或環(huán)形，并且音圈可以同心地安裝在耦合器上。對(duì)于諧振元件形式的耦合器，音圈在基底上的位置可以使得不驅(qū)動(dòng)諧振元件的第二和第三模式的至少一個(gè)。致動(dòng)器可以包括三個(gè)音圈，其中內(nèi)部和外部音圈位于第三模式的節(jié)點(diǎn)線上，并且中間音圈位于第二模式的節(jié)點(diǎn)線上。音圈可以沿著諧振元件的半徑在相對(duì)位置0. 43,0. 56和0. 69安裝。如上所述，每個(gè)力的幅度優(yōu)選求和以給出正確的凈力。對(duì)于具有三個(gè)音圈的致動(dòng)器，內(nèi)部音圈施加的力可設(shè)為適當(dāng)?shù)目捎弥?，并且?nèi)部和外部力設(shè)為平衡求和輸出力。外部力可以小于內(nèi)部力。例如，力可以為對(duì)外部音圈0.05N、對(duì)中心音圈0. 17N和對(duì)內(nèi)部音圈 0. 15N。磁體組件可以進(jìn)一步包括一對(duì)極靴(pole piece)。磁體可以是環(huán)形磁體，其可以圍繞致動(dòng)器的中心軸共軸地安裝。磁體可以具有梯形截面，并且梯形的長(zhǎng)平行邊可以安裝到一個(gè)極靴。耦合器可以是如其上印刷音圈的印刷電路板的基底。印刷電路板還可以攜帶另外的電子設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種使用上述方法制作的壓電致動(dòng)器。該壓電致動(dòng)器可以包括形成力元件的多個(gè)電極。每個(gè)電極可以施加不同的力或權(quán)重給諧振元件。對(duì)于壓電致動(dòng)器，力元件的參數(shù)可以另外包括各電極之間的劃分點(diǎn)和電極的數(shù)量。該致動(dòng)器可以是具有單層壓電材料的單壓電晶片。通過(guò)使用圖案形成 (patterning)移除壓電材料，可以在單層壓電材料中限定多個(gè)電極。可替代地，通過(guò)施加不同電壓給壓電層的不同區(qū)域，可以限定多個(gè)電極。壓電致動(dòng)器可以包括三個(gè)電極，每個(gè)具有0. 8、0和-0. 6的權(quán)重。耦合器可以為橫梁的形式，并且可以在一邊被夾住，并且在相對(duì)邊被夾到負(fù)載。耦合器可以為夾在兩個(gè)壓電層之間的中心葉片(vane)形式，其中每個(gè)壓電層包括形成力元件的至少兩個(gè)電極。因此，根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種單壓電晶片致動(dòng)器，包括夾在兩個(gè)壓電層之間的中心葉片，其中每個(gè)壓電層包括形成上述致動(dòng)器的力元件的至少兩個(gè)電極。至少兩個(gè)電極的參數(shù)可以包括各電極之間的(各)劃分位置和施加到每個(gè)電極的電壓。電壓可以只施加到每層中的一個(gè)電極，或者相等并相反的電壓可以施加到相鄰電極。通過(guò)在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0. 471設(shè)置兩個(gè)電極之間的劃分，并且只施加電壓到每層中的一個(gè)電極，可以抑制來(lái)自第二模式的峰值。如果由于缺少電極導(dǎo)致的電平損失不可接受，則可以給另一電極提供調(diào)諧到正確頻率的陷波濾波器的輸出?？商娲?，通過(guò)在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0. 625設(shè)置兩個(gè)電極之間的劃分，并且施加電壓到每層中的每個(gè)電極，可以抑制來(lái)自第二模式的峰值。通過(guò)協(xié)作地選擇劃分和施加到每個(gè)電極的電壓的比率二者，可以抑制兩種模式。 例如，通過(guò)在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0. 625設(shè)置兩個(gè)電極之間的劃分，并且設(shè)置電壓比為 1 0.M4，可以抑制來(lái)自第二和第三模式的峰值。在任何實(shí)施例(特別是壓電的)中，致動(dòng)器可以具有低輪廓(profile)，并且可以具有低至3. 5mm的深度。這樣的設(shè)計(jì)適于并入賀卡、包裝和新穎應(yīng)用中。致動(dòng)器可以是慣性的(inertail)，g卩，不接地到邊框或其他支持物。換句話說(shuō)，致動(dòng)器可以自由地振動(dòng)或彎曲，因此經(jīng)由與振動(dòng)期間加速和減速其自身質(zhì)量相關(guān)聯(lián)的慣性產(chǎn)生力。在任何實(shí)施例中，致動(dòng)器可以進(jìn)一步包括阻尼部件，用于減少頻率響應(yīng)中的任何峰值?？商娲?，可以衰減對(duì)致動(dòng)器的輸入，以便減少頻率響應(yīng)中的任何峰值。例如，對(duì)于包括包夾中心葉片的兩個(gè)壓電層的雙壓電晶片致動(dòng)器，存在抑制至少一種模式的若干方式。 這些用于抑制各模式的技術(shù)可以與上述用于抑制任何反諧振的技術(shù)結(jié)合地或單獨(dú)地使用。根據(jù)本發(fā)明另一方面，提供了一種揚(yáng)聲器，包括輻射器和如之前所述致動(dòng)器，該致動(dòng)器安裝到輻射器以激勵(lì)輻射器產(chǎn)生聲音輸出。該輻射器可以是能夠支持諧振彎曲波振動(dòng)的面板。


在附圖中通過(guò)示例的方式圖解地圖示了本發(fā)明，附圖中圖Ia是已知的平板致動(dòng)器的示意性局部截面圖Ib是用于圖Ia的致動(dòng)器的阻擋力對(duì)頻率的曲線圖；圖加到2c是根據(jù)圖Ia的致動(dòng)器的第一三種模式的示意圖；圖2d是示出根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器中的音圈的位置的示意圖；圖3a是根據(jù)本發(fā)明的平板致動(dòng)器的示意性局部截面圖；圖北是用于圖3a的致動(dòng)器的阻擋力對(duì)頻率的曲線圖；圖3c是用于并入圖3a的致動(dòng)器的揚(yáng)聲器的聲壓對(duì)頻率的曲線圖；圖如是第二已知致動(dòng)器的示意性局部截面圖；圖4b和如示出圖如的致動(dòng)器的第一兩種模式；圖fe是根據(jù)本發(fā)明的第二致動(dòng)器的示意性局部截面圖；圖恥到5d示出圖fe的致動(dòng)器的內(nèi)部、中間和外部電極環(huán)的在20kHz的移位形狀；圖k示出用于圖恥到5d的電極的每個(gè)的單獨(dú)傳遞函數(shù)幅度；圖5f示出在相同(el23)和SO優(yōu)化權(quán)重(esum)的情況下，用于圖fe的致動(dòng)器的合力對(duì)頻率的變化；圖5g示出在相同(el23)和Sl優(yōu)化權(quán)重(esum)的情況下，用于圖fe的致動(dòng)器的合力對(duì)頻率的變化；圖6a示出杠桿模態(tài)力生成器的側(cè)視圖；圖6b是用于圖6a的力生成器的兩種變化的樣本輸出；圖7a是根據(jù)本發(fā)明的模態(tài)力生成器的局部截面圖；圖7b和7c示出用于圖7a的力生成器的第一四種模式形狀；圖7d是用于圖7a的力生成器的樣本傳遞函數(shù)的合成輸出力對(duì)頻率的曲線圖；圖7e是用于圖7a的力生成器的、具有優(yōu)化加權(quán)的樣本傳遞函數(shù)的合成輸出力對(duì)頻率的曲線圖；圖7f是用于具有替代優(yōu)化加權(quán)的樣本傳遞函數(shù)的合成輸出力對(duì)頻率的曲線圖；圖7g示出用于圖7a的優(yōu)化力生成器的扭矩輸出隨頻率的變化；圖和8b示出用于雙壓電晶片壓電致動(dòng)器的模式形狀移位和對(duì)應(yīng)的彎矩；圖8c比較標(biāo)準(zhǔn)雙壓電晶片和單極性、單電壓雙壓電晶片的兩個(gè)實(shí)施例的性能；圖8d比較標(biāo)準(zhǔn)雙壓電晶片和雙極性單電壓雙壓電晶片的性能；圖8e比較標(biāo)準(zhǔn)雙壓電晶片和雙極性雙電壓雙壓電晶片的性能；以及圖8f是用于要施加到雙壓電晶片致動(dòng)器的可變電勢(shì)的阻擋力和阻擋扭矩的曲線圖。
具體實(shí)施例方式圖加到2c示出使用軸對(duì)稱FEA模型計(jì)算的、用于圖Ia的基底的第一三種模式的形狀。這三種模式覆蓋達(dá)27. SkHz的操作頻率范圍，所以不需要考慮更多模式。當(dāng)確定這些模式的形狀時(shí)，基底的邊界條件的性質(zhì)是關(guān)鍵的。在其最內(nèi)邊緣，基底被夾到磁體組件， 并且有效地防止旋轉(zhuǎn)。在其外邊緣，基底通過(guò)在低頻率也可以認(rèn)為是沒(méi)有旋轉(zhuǎn)的剛性連接器固定到面板(在高頻率沒(méi)有東西是剛性的，并且面板和連接器兩者都移位和旋轉(zhuǎn))。相應(yīng)地，邊界條件對(duì)于基底的內(nèi)和外邊緣相同。在圖Ia中，各音圈沿著半徑均勻分布。相應(yīng)地，第一三種模式的每個(gè)被驅(qū)動(dòng)到導(dǎo)致力中的不可接受的下陷的某種程度。將一直驅(qū)動(dòng)第一模式，因?yàn)橹聞?dòng)器是慣性的(即，沒(méi)有外部地參考)。第一模式是其行為不可缺少(integral)的部分。相應(yīng)地，相對(duì)于第二和第三模式的音圈的位置需要仔細(xì)選擇。定位內(nèi)部和外部音圈，使得與第三模式的節(jié)點(diǎn)線一致的生成力確保不激勵(lì)該模式。此外，第三模式的節(jié)點(diǎn)線相等地分隔第二模式的節(jié)點(diǎn)線的任一側(cè)。相應(yīng)地，內(nèi)部和外部音圈將不驅(qū)動(dòng)第二模式。中間音圈設(shè)置在第二模式的節(jié)點(diǎn)線以避免激勵(lì)該模式。圖2d示出得到的三種力的位置。圖3a示出這樣的致動(dòng)器，除了已經(jīng)根據(jù)本發(fā)明選擇音圈的位置，其類似于圖Ia的致動(dòng)器。在下面的表中，與連接器14和由上和下極板MJ6提供的夾子的內(nèi)和外半徑位置一起，列出在耦合器基底觀上每個(gè)音圈30、32、34的內(nèi)和外半徑位置的位置。還示出了作為面板的半徑的百分比的每個(gè)線圈的中點(diǎn)的位置。為了清楚，省略了在修正的線圈位置處的磁體16、18、20和22。
權(quán)利要求
1.一種制作包括多個(gè)力元件的致動(dòng)器的方法，該方法包括提供用于將來(lái)自力各元件的力耦合到負(fù)載的耦合器；計(jì)算每個(gè)力元件的傳遞函數(shù)，其中傳遞函數(shù)允許預(yù)測(cè)提供給負(fù)載的力；確定誤差泛函，其指示預(yù)測(cè)的力中的任何不期望的下陷；計(jì)算最小化誤差泛函的各力元件的參數(shù)；以及將具有計(jì)算的參數(shù)的力元件耦合到耦合器，以制作致動(dòng)器。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，各力元件的參數(shù)包括它們?cè)隈詈掀魃系奈恢煤兔總€(gè)力元件施加的力。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的方法，包括提供具有操作頻率中的多個(gè)諧振彎曲波模式的諧振元件的形式的耦合器，該操作頻率包括至少一個(gè)反諧振，并且誤差泛函指示至少一個(gè)反諧振的存在。
4.如權(quán)利要求3所述的致動(dòng)器，包括在諧振元件的至少一個(gè)反諧振的節(jié)點(diǎn)線上或附近將各力元件耦合到諧振元件。
5.如權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的方法，包括在抑制諧振元件的第二和第三模式的至少一個(gè)的位置上將各力元件耦合到諧振元件。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，包括在第三模式的節(jié)點(diǎn)線上將第一和第二力元件耦合到諧振元件，并且在第二模式的節(jié)點(diǎn)線上將第三力元件耦合到諧振元件。
7.如之前權(quán)利要求的任一所述的方法，包括通過(guò)測(cè)量獲得傳遞函數(shù)。
8.如權(quán)利要求1到6的任一所述的方法，包括通過(guò)數(shù)值分析獲得傳遞函數(shù)。
9.如權(quán)利要求1到6的任一所述的方法，包括通過(guò)系統(tǒng)行為的數(shù)學(xué)表達(dá)式的知識(shí)獲得傳遞函數(shù)。
10.一種通過(guò)權(quán)利要求1到9的任一的方法制作的壓電致動(dòng)器，該致動(dòng)器包括形成各力元件的多個(gè)電極，并且各力元件的參數(shù)包括各電極之間的劃分點(diǎn)和電極的數(shù)量。
11.如權(quán)利要求10所述的致動(dòng)器，其中該致動(dòng)器是具有單層壓電材料的單壓電晶片。
12.如權(quán)利要求11所述的致動(dòng)器，包括三個(gè)電極，每個(gè)施加0.8、0和-0. 6的相對(duì)力到華禹合器。
13.如權(quán)利要求10到12的任一所述的致動(dòng)器，其中耦合器為橫梁、盤或環(huán)形板的形式。
14.如權(quán)利要求13所述的致動(dòng)器，其中耦合器為橫梁的形式，并且在一個(gè)邊緣被夾住， 并且在相對(duì)邊被夾到負(fù)載。
15.如權(quán)利要求12到14的任一所述的致動(dòng)器，包括夾在兩個(gè)壓電層之間的中心葉片形式的耦合器，其中每個(gè)壓電層包括形成力元件的至少兩個(gè)電極。
16.如權(quán)利要求15所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中至少兩個(gè)電極的參數(shù)包括各電極之間的劃分位置和施加到每個(gè)電極的電壓。
17.如權(quán)利要求16所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中在每個(gè)壓電層中存在兩個(gè)電極，并且兩個(gè)電極之間的劃分在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0. 471。
18.如權(quán)利要求16所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中在每個(gè)壓電層中存在兩個(gè)電極，并且兩個(gè)電極之間的劃分在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0. 625。
19.如權(quán)利要求16所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中在每個(gè)壓電層中存在兩個(gè)電極，并且兩個(gè)電極之間的劃分在壓電層的歸一化長(zhǎng)度的0.355，并且比率為1 0.244的電壓施加到每個(gè)電極。
20.如權(quán)利要求17或權(quán)利要求18所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中電壓只施加到每層中的一個(gè)電極。
21.如權(quán)利要求17或權(quán)利要求18所述的雙壓電晶片致動(dòng)器，其中相等并相反的電壓施加到相鄰電極。
22.一種通過(guò)權(quán)利要求1到9的任一所述的方法制作的電磁致動(dòng)器，該致動(dòng)器包括具有多個(gè)磁體的磁體組件和具有多個(gè)音圈的音圈組件，該多個(gè)音圈支持在耦合器上，并且與各磁體協(xié)作以形成各力元件。
23.如權(quán)利要求22所述的致動(dòng)器，其中耦合器為環(huán)形，并且各音圈沿著耦合器的半徑在相對(duì)位置0. 43,0. 56和0. 69安裝。
24.如權(quán)利要求22所述的致動(dòng)器，其中每個(gè)音圈施加的力為對(duì)外部音圈0.05N、中心音圈0. 17N和內(nèi)部音圈0. 15N。
25.如權(quán)利要求10到M的任一所述的致動(dòng)器，包括阻尼部件，用于減少頻率響應(yīng)中的任何峰值。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種制作包括多個(gè)力元件的致動(dòng)器的方法和根據(jù)該方法制作的致動(dòng)器。該方法包括提供用于將來(lái)自各力元件的力耦合到負(fù)載的耦合器；計(jì)算用于每個(gè)力元件的傳遞函數(shù)，其中傳遞函數(shù)允許預(yù)測(cè)提供給負(fù)載的力；確定誤差泛函，其指示在預(yù)測(cè)的力中的任何不期望的下陷；計(jì)算最小化誤差泛函的各力元件的參數(shù)；以及將具有計(jì)算的參數(shù)的各力元件耦合到耦合器，以制作致動(dòng)器。
文檔編號(hào)H01L41/09GK102484756SQ201080038747
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2010年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者N.J.哈里斯 申請(qǐng)人:新型轉(zhuǎn)換器有限公司