專利名稱：一種硅片承載框的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及承載裝置，尤其涉及一種用于多晶硅片水平在線制絨、清洗設(shè)備
中進(jìn)行硅片盛放和傳送的承載框。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體硅片廣泛應(yīng)用于電子、通信和IT行業(yè)。在傳統(tǒng)的多晶硅片制絨、清洗工藝 中，是將多晶硅片直接置于制絨、清洗設(shè)備的傳送機(jī)構(gòu)的滾輪上進(jìn)行傳送的。這樣對(duì)設(shè)備傳 送機(jī)構(gòu)平整性要求很高，且硅片碎片率也難控制。因而造成現(xiàn)有多晶硅片的生產(chǎn)成本較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決上述的技術(shù)問題，提供一種碎片率低、加工便捷水平在線制 絨、清洗設(shè)備的硅片承載框。 為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是構(gòu)造一種硅片承載框，其包括至 少一框架、設(shè)于該框架中的支撐條。支撐條可縱、橫垂直相交，也可斜相交，主要起托住硅片 作用。 優(yōu)選的，所述支撐條與硅片為點(diǎn)或線接觸，能盡可減少與硅片接觸的面積。 優(yōu)選的，所述承載框可以由單排或多排構(gòu)成，每排可設(shè)單個(gè)硅片盛放格或多個(gè)硅
片盛放格，圖示為兩排兩盛放格結(jié)構(gòu)，可同時(shí)放四片硅片。 本實(shí)用新型采用硅片是單層放于承載框上，而承載框的每一格上可水平放置一片 硅片。硅片承載框進(jìn)行傳送時(shí)，傳送設(shè)備上的滾輪及壓輪與硅片沒有直接接觸，而是靠滾輪 與承載框間的摩擦來進(jìn)行傳送的。所以硅片在傳送中，有承載框的托起而受到保護(hù)，不會(huì)由 于傳送引起硅片破碎，可大大降低設(shè)備傳送造成的碎片率。硅片是單層放于承載框上進(jìn)行 傳送，處理完畢后，承載框可重復(fù)使用。硅片與承載框的支撐條為點(diǎn)或線接觸方式，可保證 硅片能有效地腐蝕、清洗和干燥。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明，其中

圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例立體示意圖。
具體實(shí)施方式如圖1所示，為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的基本結(jié)構(gòu)，所述的硅片承載框，其包括至 少一框架1、設(shè)于該框架中的支撐條2、3。本實(shí)施例中，設(shè)于框架支撐條上設(shè)有突出接觸點(diǎn) 4。根據(jù)需要，本實(shí)用新型可以縱向和/或橫向設(shè)置成多排多格的承載框，如，兩排兩盛放格 的承載框。 硅片是單層放于承載框上，而承載框的每一格上可水平放置一片硅片5。硅片承載 框進(jìn)行傳送時(shí)，傳送設(shè)備上的滾輪及壓輪與硅片沒有直接接觸，而是靠滾輪與承載框間的摩擦來進(jìn)行傳送的。所以硅片在傳送中，有承載框的托起而受到保護(hù)，不會(huì)由于傳送引起硅 片破碎，可大大降低設(shè)備傳送造成的碎片率。硅片是單層放于承載框上進(jìn)行傳送，處理完畢 后，承載框可重復(fù)使用。硅片與承載框的接觸大致為點(diǎn)或線接觸方式，可保證硅片能有效地 腐蝕、清洗和干燥。
權(quán)利要求一種硅片承載框，其特征在于，包括至少一框架(1)、設(shè)于該框架中的支撐條(2、3)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅片承載框，其特征在于，所述支撐條(2、3)設(shè)有突出接觸點(diǎn)(4)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片承載框，其特征在于，所述承載框由兩排兩盛放格框架構(gòu)成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于多晶硅片水平在線制絨、清洗設(shè)備中進(jìn)行硅片盛放和傳送的硅片承載框，其包括至少一框架、設(shè)于該框架中的支撐條。支撐條設(shè)有突出接觸點(diǎn)。本實(shí)用新型將硅片單層放于承載框上，傳送時(shí)，傳送設(shè)備上的滾輪及壓輪與硅片沒有直接接觸，而是靠滾輪與承載框間的摩擦來進(jìn)行傳送的。所以可大大降低設(shè)備傳送造成的碎片率。硅片處理完畢后，承載框可重復(fù)使用。硅片與承載框的接觸大致為點(diǎn)或線接觸方式，可保證硅片能有效地腐蝕、清洗和干燥。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201440408SQ20092013056
公開日2010年4月21日 申請(qǐng)日期2009年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月10日
發(fā)明者余仲, 黃進(jìn)權(quán) 申請(qǐng)人:深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司