專利名稱：：檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體制造用設(shè)備上的檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
：目前，在半導(dǎo)體制造過程中，往往需要在硅片上生成Si02薄膜。而這些用來在硅片上生成Si02薄膜的機(jī)臺(tái)上需要設(shè)置加熱器部件，在這些加熱部件上交流電和射頻都接在同一個(gè)回路加熱線圈(sidecoil,特指機(jī)臺(tái)上的一個(gè)回路組合件)上面。該回路加熱線圈用來對(duì)機(jī)臺(tái)特定部分進(jìn)行加熱，并且用來將射頻導(dǎo)入到該特定部位。考慮到需要加熱的位置和射頻要導(dǎo)入的位置在機(jī)臺(tái)的同一位置，且安裝空間有限，故將交流加熱線圈與射頻導(dǎo)入線圈一同做在該回路加熱線圈上面。如圖1所示，交流電所接加熱圈與射頻所接射頻圈緊密固定在一起，組成所說的加熱線圈。正常情況下，交流電一直接在加熱線圈上對(duì)被加熱的陶瓷器件進(jìn)行加熱；當(dāng)射頻開啟時(shí)，交流電從加熱線圈上斷開，射頻導(dǎo)入到加熱線圈上；當(dāng)射頻停掉的時(shí)候，交流電又重新接到加熱線圈上。這樣交流電和射頻在加熱線圈上交替出現(xiàn)，但不會(huì)同時(shí)出現(xiàn)。但是當(dāng)出現(xiàn)控制交流電通斷的器件壞掉等情況時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)交流電和射頻同時(shí)出現(xiàn)在加熱線圈上的情況，時(shí)間久了加熱線圈就會(huì)因過熱被燒壞。目前，通過裝在射頻柜里的可編程邏輯控制器(PLC)來發(fā)出直流控制信號(hào)，這個(gè)信號(hào)來控制繼電器的通斷，從而來實(shí)現(xiàn)交流電和射頻交替加載到加熱線圈上的功能。目前設(shè)備存在的缺陷是這套東西只控制動(dòng)作，沒有反饋監(jiān)控。當(dāng)PLC或繼電器出現(xiàn)問題時(shí)，無法及時(shí)發(fā)現(xiàn)當(dāng)射頻加到加熱線圈上時(shí)交流電仍沒有從加熱線圈上斷開。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可以監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時(shí)出現(xiàn)在加熱線圈上的裝置，能夠保護(hù)加熱線圈不因過熱被燒壞。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，交流檢測(cè)裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點(diǎn)，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端，使得當(dāng)接點(diǎn)的電壓高于一特定值時(shí)，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，輸出一電壓至信號(hào)處理單元；射頻檢測(cè)裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點(diǎn)，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時(shí)輸出一電壓至信號(hào)處理單元；信號(hào)處理單元，連接交流檢測(cè)裝置和射頻檢測(cè)裝置的輸出端，對(duì)所述交流檢測(cè)裝置的輸出電壓和射頻檢測(cè)裝置的輸出電壓進(jìn)行邏輯運(yùn)算，檢測(cè)到是否存在交流電和射頻共存的的情況。本實(shí)用新型的有益效果在于可以有效監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時(shí)出現(xiàn)在加熱線圈上，從而保護(hù)加熱線圈不因長(zhǎng)時(shí)間過熱被燒壞。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。圖1為目前交流電和射頻都接在同一個(gè)回路加熱線圈的示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的示意圖。具體實(shí)施方式如圖2所示的本實(shí)用新型所述的實(shí)施例，當(dāng)交流電和射頻同時(shí)出現(xiàn)在加熱線圈上時(shí)，機(jī)臺(tái)可以發(fā)出報(bào)警。所以與報(bào)警裝置相連接一個(gè)檢測(cè)器，分別從加熱器和射頻接出一路信號(hào)作為監(jiān)測(cè)器的兩個(gè)輸入信號(hào)，檢測(cè)器的輸出信號(hào)送給機(jī)臺(tái)，作為機(jī)臺(tái)的報(bào)警信號(hào)。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>只有當(dāng)交流電接到加熱線圈上，且射頻開啟的時(shí)候，監(jiān)測(cè)器沒有輸出，機(jī)臺(tái)會(huì)發(fā)出報(bào)警，其他情況下輸出都是+24V直流，機(jī)臺(tái)沒有報(bào)警。監(jiān)測(cè)器的輸入端——交流檢測(cè)裝置，從交流電接入加熱線圈的兩個(gè)連接點(diǎn)接出兩條線，作為監(jiān)測(cè)器交流電的輸入線。把這兩端接入監(jiān)測(cè)器的交流輸入端后，通過變壓器變壓，再連接到一個(gè)固態(tài)繼電器的輸入端，固態(tài)繼電器導(dǎo)通時(shí)的輸出端為24V直流，通過調(diào)節(jié)變壓器使得當(dāng)接點(diǎn)TB2-1與TB2-2(如圖2中所示)之間的電壓高于150V的時(shí)候，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，稱繼電器輸出電壓為V1。監(jiān)測(cè)器的另一個(gè)輸入端——射頻檢測(cè)裝置，是用來表征射頻的開/關(guān)狀態(tài)，這個(gè)信號(hào)從繼電器2(即加熱圈前端繼電器)上獲得。當(dāng)射頻開啟的時(shí)候，這兩端上電壓為零；當(dāng)射頻關(guān)閉的時(shí)候，這兩端上有24V直流。將這兩端接入監(jiān)測(cè)器的直流輸入端。在檢測(cè)器內(nèi)再對(duì)直流輸入進(jìn)來的信號(hào)取反，取反得到的信號(hào)稱之為V2。本實(shí)施例所述的監(jiān)測(cè)器內(nèi)信號(hào)處理包括在得到V1和V2后，對(duì)V1、V2作"與"運(yùn)算，得出的結(jié)果為V3。輸入輸出對(duì)應(yīng)邏輯關(guān)系如下射頻開啟射頻關(guān)閉VI1010V21100V31000通過邏輯數(shù)字集成電路實(shí)現(xiàn)將直流輸入信號(hào)取反得到V2，并將V2和Vl作"與"運(yùn)算，得出V3輸出，以及對(duì)V3取反得出V4。監(jiān)測(cè)器的輸出端，V3信號(hào)是一個(gè)24V或者0V的直流信號(hào)。再對(duì)這個(gè)信號(hào)取反，將取反得到的信號(hào)稱為V4，將V4連接到機(jī)臺(tái)系統(tǒng)控制器，從而將監(jiān)測(cè)器的信號(hào)送給主機(jī)臺(tái)。將機(jī)臺(tái)附屬機(jī)臺(tái)關(guān)聯(lián)保護(hù)功能開啟。這樣當(dāng)V4為24V直流時(shí)，機(jī)臺(tái)處于正常狀態(tài)；當(dāng)V4為0V時(shí)，機(jī)臺(tái)會(huì)有報(bào)警，這時(shí)就會(huì)知道交流電和射頻同時(shí)加到加熱線圈上了，要把機(jī)臺(tái)停下來做故障檢查。本實(shí)用新型并不限于上文討論的實(shí)施方式。以上對(duì)具體實(shí)施方式的描述旨在于為了描述和說明本實(shí)用新型涉及的技術(shù)方案?；诒緦?shí)用新型啟示的顯而易見的變換或替代也應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1.一種檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，包括交流檢測(cè)裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點(diǎn)，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端，使得當(dāng)接點(diǎn)的電壓高于一特定值時(shí)，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，輸出一電壓至信號(hào)處理單元；射頻檢測(cè)裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點(diǎn)，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時(shí)輸出一電壓至信號(hào)處理單元；信號(hào)處理單元，連接交流檢測(cè)裝置和射頻檢測(cè)裝置的輸出端，對(duì)所述交流檢測(cè)裝置的輸出電壓和射頻檢測(cè)裝置的輸出電壓進(jìn)行邏輯運(yùn)算，檢測(cè)到是否存在交流電和射頻共存的的情況。2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述射頻檢測(cè)裝置當(dāng)射頻開啟的時(shí)候，其兩端上電壓為零；當(dāng)射頻關(guān)閉的時(shí)候，其兩端上有直流電壓；所述射頻檢測(cè)裝置將上述電壓取反。3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號(hào)處理單元將所述交流檢測(cè)裝置的輸出電壓和射頻檢測(cè)裝置的輸出電壓進(jìn)行"與"運(yùn)算，得到電壓V3。4.如權(quán)利要求3所述的檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號(hào)處理單元將所述電壓V3取反得到電壓V4。5.如權(quán)利要求4所述的檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號(hào)處理單元連接到機(jī)臺(tái)保護(hù)裝置，當(dāng)電壓V4顯示有交流電和射頻共存時(shí)，關(guān)閉加熱線圈。專利摘要本實(shí)用新型公開了一種檢測(cè)加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，包括交流檢測(cè)裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點(diǎn)，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端；射頻檢測(cè)裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點(diǎn)，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時(shí)輸出一電壓至信號(hào)處理單元；信號(hào)處理單元，連接交流檢測(cè)裝置和射頻檢測(cè)裝置的輸出端，對(duì)所述交流檢測(cè)裝置的輸出電壓和射頻檢測(cè)裝置的輸出電壓進(jìn)行邏輯運(yùn)算，檢測(cè)到是否存在交流電和射頻共存的情況。本實(shí)用新型可以有效監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時(shí)出現(xiàn)在加熱線圈上，從而保護(hù)加熱線圈不因長(zhǎng)時(shí)間過熱被燒壞。文檔編號(hào)H01L21/00GK201408745SQ200920073968公開日2010年2月17日申請(qǐng)日期2009年5月26日優(yōu)先權(quán)日2009年5月26日發(fā)明者徐伯山,林振芳,斌陸申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司