專利名稱:全自動ic打標(biāo)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及電發(fā)熱盤的技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種全自動IC打標(biāo)機(jī)。
背景技術(shù):
打標(biāo)機(jī)廣泛應(yīng)用于IC行業(yè)的集成電路的表面打標(biāo)。根據(jù)使用要求的不同,IC行 業(yè)使用的集成電路板有料條(組合芯片)、或芯片(塊粒狀芯片)和晶圓三種形式。料條是 由若干芯片組合而成的板料,對料條上的每一粒芯片打標(biāo)時,是直接通過輸送料條實現(xiàn)自 動打標(biāo)的。芯片是尺寸較小的塊粒狀料,是放在軌道托盤中,通過對軌道托盤的輸送實現(xiàn)芯 片自動打標(biāo)的。晶圓是直接在其上制作多塊(粒)芯片的一塊薄薄的圓片,需要在整塊晶 圓薄片上對其上的每一塊(粒)芯片的背面進(jìn)行打標(biāo)。 目前用于IC料條打標(biāo)的打標(biāo)設(shè)備多是半自動的,其存在料條易變形、定位不準(zhǔn)、 打標(biāo)精度低、生產(chǎn)效率低的缺點,現(xiàn)在也有全自動的IC打標(biāo)機(jī),但其沒有掃塵機(jī)構(gòu),由于IC 料片表面可能會存在一些灰塵微粒,不去除會導(dǎo)致打標(biāo)線條模糊,變形,出現(xiàn)偏移等質(zhì)量問 題,所以在打標(biāo)前對IC料片表面進(jìn)行掃塵很必要。
實用新型內(nèi)容本實用新型目的是提供一種定位準(zhǔn)確、打標(biāo)精度高,打標(biāo)線條清晰,自動化程度高 的全自動IC打標(biāo)機(jī)。 為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是一種全自動IC打標(biāo)機(jī)包括機(jī) 架,設(shè)在機(jī)架上的上料機(jī)構(gòu)、送料機(jī)構(gòu)、方向檢測裝置、定位裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝置 和下料機(jī)構(gòu),方向檢測裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝置依次設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的兩側(cè) 上,定位裝置設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的正上方,所述的掃塵裝置包括毛刷、電機(jī)和鼓風(fēng)機(jī), 電機(jī)的輸出軸與毛刷轉(zhuǎn)軸連接。 所述定位裝置由定位壓板、定位針、氣缸和底座組成,氣缸固定在底座上,氣缸的 活塞桿與定位壓板連接,定位針安裝在定位壓板上。 所述方向檢測裝置包括支架、設(shè)置在支架上的驅(qū)動電機(jī)、設(shè)在支架上的傳送帶,在
傳送帶上設(shè)有檢測儀器架,在檢測儀器架上設(shè)有掃描頭及掃描頭正下方的發(fā)光器。 本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)后,通過在機(jī)架上設(shè)置上料機(jī)構(gòu)、送料機(jī)構(gòu)、方向檢測裝
置、定位裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝置和下料機(jī)構(gòu),方向檢測裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝
置依次設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的兩側(cè)上,定位裝置設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的正上方,所述
的掃塵裝置包括毛刷、電機(jī)和鼓風(fēng)機(jī),電機(jī)的輸出軸與毛刷轉(zhuǎn)軸連接。因此,可以自動實現(xiàn)
上料、送料、方向檢測、掃塵、定位打標(biāo)、下料一系列工序,自動化程度高,且增加了掃塵裝
置,掃塵是用電機(jī)帶動柔軟的毛刷對打標(biāo)前的IC料片的表面進(jìn)行掃塵,不會對IC料片造成
損壞,在掃塵的同時還會用旋渦鼓風(fēng)機(jī)將灰塵吸走,將IC料片表面的灰塵微粒除掉,避免
出現(xiàn)打標(biāo)線條模糊,變形,出現(xiàn)偏移等質(zhì)量問題;進(jìn)一步的改進(jìn)是定位裝置采用定位壓板和
定位針的結(jié)構(gòu),由于IC料片上有精準(zhǔn)的孔可以用來做定位點,采用針孔定位系統(tǒng),即由定位針來微調(diào)料片的位置,由于定位針的位置不會改變,當(dāng)IC料片的位置有誤差時,孔會把 料片定位準(zhǔn)確,精度可以控制在±0. 05mm。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明
圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)圖; 圖2為本實用新型掃塵裝置結(jié)構(gòu)圖; 圖3為本實用新型定位裝置結(jié)構(gòu)圖; 圖4為本實用新型方向檢測裝置結(jié)構(gòu)圖。 圖中1機(jī)架,2上料機(jī)構(gòu),3送料機(jī)構(gòu),4方向檢測裝置,41支架,42驅(qū)動電機(jī),43傳 送帶,44檢測儀器架,45掃描頭,46發(fā)光器,5定位裝置,51定位壓板,52定位針,53氣缸,54 底座,55彈簧,6掃塵裝置,61毛刷,62電機(jī),63鼓風(fēng)機(jī),7激光打標(biāo)裝置,8下料機(jī)構(gòu)。
具體實施方式圖1、2、3和4所示,本實用新型的全自動IC打標(biāo)機(jī)包括機(jī)架l,設(shè)在機(jī)架1上的上 料機(jī)構(gòu)2、送料機(jī)構(gòu)3、方向檢測裝置4、定位裝置5、掃塵裝置6、激光打標(biāo)裝置7和下料機(jī)構(gòu) 8,方向檢測裝置4、掃塵裝置6、激光打標(biāo)裝置7依次設(shè)在送料機(jī)構(gòu)3輸送線路的兩側(cè)上,定 位裝置5設(shè)在送料機(jī)構(gòu)3輸送線路的正上方,所述的掃塵裝置6包括毛刷61、電機(jī)62和鼓 風(fēng)機(jī)63,電機(jī)62的輸出軸與毛刷61轉(zhuǎn)軸連接。掃塵是用電機(jī)62帶動柔軟的毛刷61對打 標(biāo)前的IC料片的表面進(jìn)行掃塵,不會對IC料片造成損壞,在掃塵的同時還會用旋渦鼓風(fēng)機(jī) 63將灰塵吸走,將IC料片表面的灰塵微粒除掉,避免出現(xiàn)打標(biāo)線條模糊,變形,出現(xiàn)偏移等 質(zhì)量問題。 所述定位裝置5由定位壓板51、定位針52、氣缸53和底座54組成,氣缸53固定 在底座54上,氣缸53的活塞桿與定位壓板51連接,定位針52安裝在定位壓板51上。由 于IC料片上有精準(zhǔn)的孔可以用來做定位點,采用針孔定位系統(tǒng),即由定位針52來微調(diào)料 片的位置,由于定位針52的位置不會改變,當(dāng)IC料片的位置有誤差時,孔會把料片定位準(zhǔn) 確,精度可以控制在士0.05mm。使用時,當(dāng)載料臺把IC料帶運(yùn)至打標(biāo)區(qū)域時,定位壓板51 下降,定位針52進(jìn)入IC料帶的定位孔中對IC料帶進(jìn)行準(zhǔn)確定位。在本實施方案中,定位 針52是活動安裝在定位壓板51上,在定位針52上套有彈簧55,當(dāng)載料臺到達(dá)打標(biāo)位置有 誤從而使定位針52不能進(jìn)入定位孔,此時可通過彈簧55施加作用力推動定位針52進(jìn)行定 位,如果載料臺位置偏移較大的情況時,定位針52回彈起,機(jī)器報警。 所述方向檢測裝置4包括支架41、設(shè)置在支架41上的驅(qū)動電機(jī)42、設(shè)在支架41 上的傳送帶43,在傳送帶43上設(shè)有檢測儀器架44,在檢測儀器架44上設(shè)有掃描頭45及掃 描頭45正下方的發(fā)光器46。 工作時,取料將料條放在上料機(jī)構(gòu)2的上料箱,通過抓料機(jī)械手抓取料片,放到 送料機(jī)構(gòu)3的軌道的載料臺上,機(jī)械手以氣缸作為動力源,控制四個勾爪的開與合,從而控 制抓取或者放開料片;送料裝著IC料片的載料臺在軌道上走動,分別到達(dá)方向檢測、掃塵 和打標(biāo)位置再倒回下料位置,每一個工位的位置由步進(jìn)電機(jī)精確控制;方向檢測由于IC 料片在料盒中的方向可能是錯誤的,如果直接打示會出現(xiàn)廢料,為此在打標(biāo)前用方向檢測的視覺(VISION)系統(tǒng),利用相機(jī)采集IC料片的定位孔位置圖像,并通過計算機(jī)與標(biāo)準(zhǔn)圖像 比較,從而判斷IC料片方向是否正確,當(dāng)方向不正確時,系統(tǒng)把料到片送到廢料料盒。視覺 檢測系統(tǒng)進(jìn)行方向檢測具有判斷準(zhǔn)確和效率高的優(yōu)點,且采用非接觸檢測不會對IC料片 造成損壞,而采用傳統(tǒng)的機(jī)械方式進(jìn)行方向檢測有可能損壞IC料片;掃塵IC料片表面可 能會存在一些灰塵微粒,不去除會導(dǎo)致打標(biāo)線條模糊,變形,偏移等質(zhì)量問題,所以在打標(biāo) 前有很必要對IC料片表面進(jìn)行掃塵,掃塵是用電機(jī)62帶動柔軟的毛刷61進(jìn)行去塵,不會 對IC料片造成損壞,在掃塵的同時還會用旋渦鼓風(fēng)機(jī)63將塵吸走;將料片送到打標(biāo)位置, 此時定位裝置5對料片進(jìn)行定位,然后通過打標(biāo)裝置7對料片進(jìn)行打標(biāo),打標(biāo)結(jié)束之后,送 料機(jī)構(gòu)3把打標(biāo)完的料片直接送到下料位置,再由機(jī)械手把IC料片抓取到下料機(jī)構(gòu)8的下 料料盒,從而完成一個循環(huán)。
權(quán)利要求一種全自動IC打標(biāo)機(jī),它包括機(jī)架(1),其特征在于在機(jī)架(1)上設(shè)有上料機(jī)構(gòu)(2)、送料機(jī)構(gòu)(3)、方向檢測裝置(4)、定位裝置(5)、掃塵裝置(6)、激光打標(biāo)裝置(7)和下料機(jī)構(gòu)(8),方向檢測裝置(4)、掃塵裝置(6)、激光打標(biāo)裝置(7)依次設(shè)在送料機(jī)構(gòu)(3)輸送線路的兩側(cè)上,定位裝置(5)設(shè)在送料機(jī)構(gòu)(3)輸送線路的正上方,所述的掃塵裝置(6)包括毛刷(61)、電機(jī)(62)和鼓風(fēng)機(jī)(63),電機(jī)(62)的輸出軸與毛刷(61)轉(zhuǎn)軸連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動IC打標(biāo)機(jī),其特征在于所述定位裝置(5)由定位壓 板(51)、定位針(52)、氣缸(53)和底座(54)組成,氣缸(53)固定在底座(54)上,氣缸(53) 的活塞桿與定位壓板(51)連接,定位針(52)安裝在定位壓板(52)上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動IC打標(biāo)機(jī),其特征在于所述方向檢測裝置(4)包括 支架(41)、設(shè)置在支架(41)上的驅(qū)動電機(jī)(42)、設(shè)在支架(41)上的傳送帶(43),在傳送帶 (43)上設(shè)有檢測儀器架(44),在檢測儀器架(44)上設(shè)有掃描頭(45)及掃描頭(45)正下 方的發(fā)光器(46)。
專利摘要本實用新型公開了一種全自動IC打標(biāo)機(jī),它包括機(jī)架,設(shè)在機(jī)架上的上料機(jī)構(gòu)、送料機(jī)構(gòu)、方向檢測裝置、定位裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝置和下料機(jī)構(gòu),方向檢測裝置、掃塵裝置、激光打標(biāo)裝置依次設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的兩側(cè)上,定位裝置設(shè)在送料機(jī)構(gòu)輸送線路的正上方,所述的掃塵裝置包括毛刷、電機(jī)和鼓風(fēng)機(jī),電機(jī)的輸出軸與毛刷轉(zhuǎn)軸連接;本實用新型定位準(zhǔn)確、打標(biāo)精度高,打標(biāo)線條清晰,自動化程度高。
文檔編號H01L21/00GK201449997SQ20092005944
公開日2010年5月5日 申請日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者鄭俊嶺 申請人:佛山市聯(lián)動科技實業(yè)有限公司