專利名稱：純水定時控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
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純水定時控制裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于一種定時控制裝置，特別是關(guān)于一種半導(dǎo)體制程中控制 純水管道導(dǎo)通與關(guān)斷的純水定時控制裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體芯片的制造過程中，通常要經(jīng)過多次形成氧化膜，然后蝕刻去除 氧化膜的步驟。為在芯片制造過程中保證硅片的清潔、無雜質(zhì)，需要對硅片進(jìn) 行多次清洗以去除掉蝕刻后殘留在硅片上的氧化膜等一些雜質(zhì)。通常地，采用 高純度無雜質(zhì)的純水來清洗半導(dǎo)體硅片。
在早期的硅片清洗機中，控制純水的通斷依靠的是手動開關(guān)，需要人工參 與控制，因而流水沖洗時間無法精確標(biāo)準(zhǔn)化，有時會出現(xiàn)操作人員不在現(xiàn)場而 導(dǎo)致純水無控制地一直流溢，造成大量純水浪費的現(xiàn)象。
為精確控制純水的沖洗時間，現(xiàn)有的純水清洗機開始采用自動化定時操作 控制。目前廣泛使用的純水定時控制方式是采用觸摸屏加可編程邏輯控制器
(PLC)的控制。通過觸摸屏實現(xiàn)人機對話，設(shè)定時間或者設(shè)定其他參數(shù)，再由 PLC將輸入的命令轉(zhuǎn)化成電信號的控制命令，實現(xiàn)對電磁閥、氣動閥的控制， 從而實現(xiàn)自動化作業(yè)。此類控制邏輯中，計時功能由PLC編程實現(xiàn)。
然而此種自動控制的方法因采用了觸摸屏及PLC控制而導(dǎo)致成本較高。在 安裝完成之后需要編定觸摸屏的搡作界面以及其按鈕定義，另外還要編寫PLC 的控制時序，加上調(diào)試的時間，整個安裝調(diào)試過程比較耗時。而且對自動控制 的PLC編程，需要專門的PLC編程人員按要求進(jìn)行編程，不同的PLC需要不 同的編程軟件和專業(yè)人員，調(diào)試起來比較復(fù)雜。
有鑒于此，確有必要提出一種新的自動控制的技術(shù)方案以克服現(xiàn)有技術(shù)的 缺陷。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種操作筒便，結(jié)構(gòu)筒單，成本較低的純水定 時控制裝置。
為達(dá)成前述目的，本實用新型提供一種純水定時控制裝置，其包括控制電 路、由控制電路控制的氣壓管道以及由氣壓管道內(nèi)的氣體驅(qū)動的控制純水管道 導(dǎo)通和關(guān)斷的氣動閥，其中控制電路包括主回路及計時驅(qū)動回路。主回路包括 電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)、繼電器以及計時器，計時器包括兩個輸入端與兩 個輸出端，計時器的輸出端與電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)及繼電器相互串聯(lián)。 計時驅(qū)動回路連接于主回路的計時器的兩個輸入端，其包括電源、常開開關(guān)、 常閉開關(guān)以及計時器，其中計時器的輸出端與電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)串聯(lián)， 計時器的輸出端兩端并聯(lián)設(shè)置有一個與常開開關(guān)聯(lián)動的聯(lián)動開關(guān)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型純水定時控制裝置，按下常開開關(guān)，則聯(lián)動 開關(guān)閉合，計時驅(qū)動回路通電，計時驅(qū)動回路加在計時器的輸入端，計時器開 始計時，主回路通電，繼電器控制電磁閥導(dǎo)通并驅(qū)動氣動閥打開純水管道，計 時結(jié)束則計時器輸出端斷開，主回路斷電，電^f茲閥關(guān)閉，氣動閥關(guān)斷純水管道。 本實用新型定時控制裝置操作簡便，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。

附圖為本實用新型的定時控制裝置的示意圖。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型的定時控制裝置1可用于半導(dǎo)體制程中自動定時控
制純水管道2的導(dǎo)通與關(guān)斷。
如圖所示，半導(dǎo)體清洗設(shè)備包括一條輸送純水的純水管道2，并在純水管道 2的一端設(shè)置有一個手動的開關(guān)閥3，用于手動控制純水管道2的導(dǎo)通與關(guān)斷。
本實用新型純水定時控制裝置1包括設(shè)置于純水管道2另一端的一個氣動 閥4,與該氣動閥4連接有一條氣壓管道5，氣體經(jīng)由氣壓管道5的輸送至氣動 閥4，以驅(qū)動氣動閥4的打開。在正常工作中，手動的開關(guān)閥3處于打開狀態(tài)， 由氣動閥4自動控制純水管道2的導(dǎo)通與關(guān)斷，緊急情況下可以關(guān)閉手動開關(guān)閥3 ，切斷純水管道2的供水。
本實用新型純水定時控制裝置1還包括控制電路，用于控制驅(qū)動氣動閥4 的氣壓管道5的氣體的流通。
該控制電路包括主回路10及計時驅(qū)動回路20。
主回路10包括電源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)14、繼電器(未標(biāo)號)以 及計時器16。其中繼電器包括繼電器線圈151、電磁闊152及常開觸點153。計 時器16包括兩個輸入端161、 162以及兩個l俞出端163、 164，在計時器16的輸 入端161、 162未輸入電壓時，計時器16的輸出端163、 164之間斷開，整個計 時器16相當(dāng)于斷開的開關(guān)；在計時器16的輸入端161、 162輸入電壓時，計時 器16的輸出端163、 164導(dǎo)通，整個計時器16相當(dāng)于閉合的開關(guān)。
主回路10中電源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)13、繼電器線圈151以及計 時器的輸出端163、 164相互串聯(lián)。其中繼電器的常開觸點153并聯(lián)于常開開關(guān) 13的兩端。
計時驅(qū)動回路20連接于主回路10計時器16的輸入端161、 162，其包括電 源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)14、計時器16、與常開開關(guān)13并聯(lián)的繼電器常 開觸點153以及一個與常開開關(guān)13聯(lián)動的聯(lián)動開關(guān)17。在本實施方式中，為節(jié) 約成本，電源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)14、計時器16以及繼電器常開觸點 153是由計時驅(qū)動回路20與主回路IO共用的。在其他實施方式中，亦可在主回 路IO與計時驅(qū)動回路中使用分立的電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)、計時器及繼電 器常開觸點等元件。計時驅(qū)動回路20中的電源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)14 以及計時器16的輸出端163、 164相互串聯(lián)，聯(lián)動開關(guān)17并聯(lián)在計時器16的 輸出端163、 164的兩端。
在未工作時，計時器16的兩個輸出端163、 164之間為斷開，計時驅(qū)動回 路20不導(dǎo)通，主回路10不導(dǎo)通，則繼電器線圈151不通電，繼電器的電》茲閥 152不動作，則前述氣壓管道5閉合，無氣壓驅(qū)動氣動閥4,氣動閥4關(guān)閉，純 水管道2不流通。
工作時，按一下常開開關(guān)13，則計時驅(qū)動回路20的聯(lián)動開關(guān)17閉合，此 時計時驅(qū)動回路20通過電源12、常開開關(guān)13、常閉開關(guān)14、聯(lián)動開關(guān)17組成的回路給計時器16的輸入端161、 162加載電壓，計時器16開始計時，同時計 時器16的兩個輸出端163、 164導(dǎo)通，則主回路10導(dǎo)通，繼電器線圈151得電， 繼電器的電磁閥152吸合，氣壓管道5導(dǎo)通，氣體通過氣壓管道5傳輸至氣動 閥4，將氣動閥4打開，純水通過純水管道2流出。
在主回路10導(dǎo)通，繼電器線圈151得電時，繼電器常開觸點153吸合，由 于該常開觸點153并聯(lián)于常開開關(guān)13兩端，則即使松開常開開關(guān)13，由于常開 觸點153吸合，主回路10仍可維持導(dǎo)通，形成自鎖功能。同樣的，計時驅(qū)動回 路20中，在卡^開常開開關(guān)13后，聯(lián)動開關(guān)17也斷開，j旦，由于常開觸點153 吸合，而此時計時器16的輸出端163、 164導(dǎo)通，則計時驅(qū)動回路20通過電源 12、常開觸點153、常閉開關(guān)14以及計時器輸出端163、 164組成的回路繼續(xù)《會 計時器16輸入端161、 162供電。
在計時器16計時結(jié)束之后，則計時器16的輸出端163、 164斷開，計時驅(qū) 動回路20斷開，同時主回i 各10也斷電，則繼電器線圏151失電，電^茲閥152 斷開，氣壓管道5關(guān)閉，氣動閥4關(guān)閉，則自動關(guān)斷純水管道2。
在意外情況下，若需要在計時過程中關(guān)斷純水管道2,可以按下常閉開關(guān) 14，則計時驅(qū)動回^各20斷開，計時器16 4!r入端161、 162斷電，計時器16停 止計數(shù)并歸零，主電路ll同時斷電，繼電器線圈151失電，電磁閥152斷開， 氣壓管道5關(guān)閉，氣動閥4關(guān)閉，自動關(guān)斷純水管道2。
本實用新型純水定時控制裝置，成本低廉，整體裝配時方便快捷，而且不 需要專門的PLC編程人員，調(diào)試簡單。
權(quán)利要求1、一種純水定時控制裝置，其包括控制電路、由控制電路控制的氣壓管道以及由氣壓管道內(nèi)的氣體驅(qū)動的控制純水管道導(dǎo)通和關(guān)斷的氣動閥，其特征在于控制電路包括主回路及計時驅(qū)動回路，主回路包括電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)、繼電器以及計時器，計時器包括兩個輸入端與兩個輸出端，計時器的輸出端與電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)及繼電器相互串聯(lián)；計時驅(qū)動回路連接于主回路的計時器的兩個輸入端，其包括電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)以及計時器，其中計時器的輸出端與電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)串聯(lián)，計時器的輸出端兩端并聯(lián)設(shè)置有一個與常開開關(guān)聯(lián)動的聯(lián)動開關(guān)。
2、 如權(quán)利要求1所述的純水定時控制裝置，其特征在于主電路與計時驅(qū) 動回路共用同一個電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)以及計時器。
3、 如權(quán)利要求1所述的純水定時控制裝置，其特征在于繼電器包括繼電 器線圈、電^f茲閥以及常開觸點，繼電器線圈得電時電^f茲閥吸合，同時常開觸點 閉合。
4、 如權(quán)利要求3所述的純水定時控制裝置，其特征在于繼電器的常開觸 點與前述常開開關(guān)并if關(guān)。
5、 如權(quán)利要求3所述的純水定時控制裝置，其特征在于繼電器的線圈得 電，電-茲閥吸合，氣壓管道導(dǎo)通。
專利摘要一種純水定時控制裝置，其包括控制電路及由控制電路驅(qū)動的氣動閥，控制電路包括主回路及計時驅(qū)動回路。主回路包括電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)、繼電器以及計時器，計時器包括兩個輸入端與兩個輸出端，計時器的輸出端與電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)及繼電器相互串聯(lián)。計時驅(qū)動回路連接于主回路的計時器的兩個輸入端，其包括相互串聯(lián)的電源、常開開關(guān)、常閉開關(guān)、計時器以及并聯(lián)于計時器兩端的與常開開關(guān)聯(lián)動的聯(lián)動開關(guān)。工作時，按下常開開關(guān)，計時器開始計時，主回路通電，繼電器控制電磁閥導(dǎo)通并驅(qū)動氣動閥打開純水管道，計時結(jié)束則主回路斷電，電磁閥關(guān)閉，氣動閥關(guān)斷純水管道。本實用新型定時控制裝置操作簡便，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。
文檔編號H01H7/00GK201392743SQ20092003988
公開日2010年1月27日 申請日期2009年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月28日
發(fā)明者倪長春, 李廣中 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司