專利名稱:發(fā)光二極管合金石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及發(fā)光二極管(LED)制造過程的合金工序中應(yīng)用的石英舟,屬于合金石英 舟技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
合金是LED (發(fā)光二極管)制造過程中的一道重要工序,主要用來鈍化晶片工藝上的歐 姆接觸。合金的過程需要用到合金石英舟作為晶片的載體,晶片放于合金石英舟上,將石英 舟推入爐管恒溫區(qū),經(jīng)高溫處理完成合金過程。
目前發(fā)光二極管合金過程中所使用的立體合金石英舟分為無底盤立體合金舟和有底盤立 體合金舟兩種。無底盤立體合金舟只有一個支架,晶片直接放置于該支架上;對于無底盤立 體合金舟,合金升溫較快,均勻性較好,但是合金舟和爐管的接觸面積小,合金舟使用時平 穩(wěn)性受到影響,若操作不當可能會損壞合金舟上的晶片。有底盤立體合金舟是將支架設(shè)置在 平板狀底盤上,晶片放置于支架上,對于此立式合金舟,其平穩(wěn)性好,但由于底盤過大,在 預(yù)熱過程中底盤不能充分預(yù)熱,合金過程主要是靠爐管的熱輻射加熱,而合金舟的底盤阻擋 了一部分熱輻射,當石英舟預(yù)熱后被推入爐管恒溫區(qū)后,短時間內(nèi)底盤不能達到合金所需溫 度,這樣晶片靠近底盤的部分和遠離底盤的部分受熱不均,合金的均勻性受到影響。 發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有發(fā)光二極管合金工序中所用石英舟存在的不足,本實用新型提供一種使合金具 有較好均勻性和平穩(wěn)性的發(fā)光二極管合金石英舟。
本實用新型的發(fā)光二極管合金石英舟采用以下技術(shù)方案
該發(fā)光二極管合金石英舟包括底盤和支架,支架設(shè)置在底盤上,底盤上分布有孔洞???洞均勻排列,孔洞的形狀可以圓形、方形或長條形等任意形狀。
上述方案減少了底盤的相對面積,作為立體合金舟的底盤使用,使熱輻射可通過這些孔 洞到達晶片的表面,增加了熱輻射的均勻性,進而提高了合金的均勻性,在提高均勻性的同 時,底盤可保證合金舟在使用過程中的平穩(wěn)度,提高了合金舟使用的安全性能。該底盤也可 單獨作為平面合金舟使用,當被推入恒溫區(qū)時,升溫迅速,合金均勻。
本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,在提高安全性的同時,提高了合金的均勻性和平穩(wěn)性。
附圖是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1、底盤,2、孔洞,3、支架。
具體實施方式
如附圖所示,本實用新型的合金石英舟是有底盤的立體合金舟,包括底盤1和支架3,支 架3設(shè)置在底盤1上。與現(xiàn)有現(xiàn)有立體合金石英舟不同的是該底盤1上均勻分布有一些孔洞2, 這些孔洞2的密度和尺寸是具體情況而定??锥?的形狀可以圓形、方形或長條形等任意形狀。 石英支架3上可豎立放置晶片,放置晶片數(shù)目由具體工藝確定。
如果單獨使用此底盤l,可作為獨立的平面合金舟使用。
在底盤1上設(shè)置的孔洞2的增加既減小了底盤1相對面積又增加了熱輻射的透過率。
權(quán)利要求1.一種發(fā)光二極管合金石英舟,包括底盤和支架,支架設(shè)置在底盤上,其特征是底盤上分布有孔洞。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的發(fā)光二極管合金石英舟,其特征是所述孔洞均勻排列。
專利摘要本實用新型提供了一種發(fā)光二極管合金石英舟,該發(fā)光二極管合金石英舟包括底盤和支架,支架設(shè)置在底盤上,底盤上分布有孔洞??锥淳鶆蚺帕校锥吹男螤羁梢詧A形、方形或長條形等任意形狀。上述方案減少了底盤的相對面積,作為立體合金舟的底盤使用,使熱輻射可通過這些孔洞到達晶片的表面,增加了熱輻射的均勻性,進而提高了合金的均勻性,在提高均勻性的同時,底盤可保證合金舟在使用過程中的平穩(wěn)度,提高了合金舟使用的安全性能。該底盤也可單獨作為平面合金舟使用,當被推入恒溫區(qū)時,升溫迅速,合金均勻。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,在提高安全性的同時,提高了合金的均勻性和平穩(wěn)性。
文檔編號H01L33/00GK201421847SQ20092002705
公開日2010年3月10日 申請日期2009年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月19日
發(fā)明者健 馮, 單立英, 楊振葵, 趙霞焱, 黃孝寧 申請人:山東華光光電子有限公司