專利名稱::壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末及其制造方法和壓粉磁芯的制作方法
技術領域:
:本發(fā)明涉及在鐵粉和鐵基合金粉末(以下兩者僅統(tǒng)稱為鐵粉)等軟磁性粉表面層疊有耐熱性高的絕緣被膜的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,通過壓縮成形該壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,能夠得到作為電磁部件用的磁芯而使用的壓粉磁芯。本發(fā)明的壓粉磁芯,機械強度等優(yōu)異,特別是高溫時的比電阻也優(yōu)異。
背景技術:
:對在交流磁場內(nèi)使用的磁芯,要求鐵損小和磁通密度高。另外,在制造工序中的操作和為了成為線圈而進行巻線時不發(fā)生破損也很重要??紤]到這些要點,在壓粉磁芯領域,已知有用樹脂被覆鐵粉粒子的技術,其是利用電絕緣性的樹脂被膜抑制渦流損,并且用樹脂粘結(jié)鐵粉粒子間,從而實現(xiàn)機械的強度的提高。高密度形成壓粉成形體對磁通密度的提高有效,為了降低鐵損,特別是磁滯損耗,以高溫退火而解放壓粉成形體的應變被認為有效。因此,就期望開發(fā)這樣一種壓粉磁芯用的鐵粉,即使為了高密度地成形而降低絕緣材料的量,也能夠?qū)﹁F粉粒子間進行有效地絕緣,并且,即使進行退火這樣的高溫下的熱處理,也能夠維持良好的電絕緣性。從這一觀點出發(fā),使用耐熱性高的硅樹脂作為絕緣材料的技術得到開發(fā)。另外,作為樹脂以外的絕緣部,歷來已知有以由磷酸等得到的玻璃狀化合物的被膜作為絕緣層而利用的技術(專利文獻1)。如果與作為有機高分子的硅樹脂相比,這些無機系絕緣被膜雖然熱穩(wěn)定性優(yōu)異,但若進行高溫的熱處理,則存在絕緣性降低的問題(專利文獻2)。專利文獻2由本申請人申請,是通過在鐵基軟磁性粉末表面,按順序形成含有特定的元素的磷酸系化成被膜,和硅樹脂被膜,從而提供一種高磁通密度、低鐵損、高機械的強度的壓粉磁芯,這獲得成功并已授權(quán)。但是,壓粉磁芯的高性能化的要求比起專利文獻2的申請時有了進一步提高,并一直仍在增加對高磁通密度、低鐵損、高機械的強度。在專利文獻2中,雖然釆用高溫退火可以使磁滯損耗降低,但是高溫退火的負面會導致渦流損的增大,退火后的壓粉磁芯的電絕緣性變得不充分。專利文獻1特許第2710152號公報專利文獻2特許第4044591號公報
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明者等考慮到上述現(xiàn)有技術的問題點,以提供一種在高磁密度下顯示高機械強度,并且即使在高溫退火后還能夠維持髙的電絕緣性這種熱穩(wěn)定性優(yōu)異的壓粉磁芯用的鐵粉為課題。能夠解決上述課題的本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,具有如下要旨在鐵基軟磁性粉末表面,按順序形成磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜,在上述磷酸系化成被膜中,含有P、Co、Na和S,并且含有Al和/或Cs。上述磷酸系化成被膜中的各元素,作為磷酸系化成被膜形成后的軟磁性粉末100質(zhì)量%中的量,優(yōu)選P:0.0051質(zhì)量%、Co:0.0050,1質(zhì)量0/0、Na:謹20.6質(zhì)量%、S:0.0010.2質(zhì)量%,含有Al時,Al.'0.0010.1質(zhì)量%,含有Cs時,Cs:0.0020.6質(zhì)量%。本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末的制造方法,具有的要旨是,按這一順序含有如下工序使含有P的化合物、含有Co的化合物、含有Na的化合物和含有S的化合物,與含有Ai的化合物和/或含有Cs的化合物溶解于水和/或有機溶劑中,將該溶液與鐵基軟磁性粉末加以混合后,使溶劑蒸發(fā)而將磷酸系化成被膜形成于鐵基軟磁性粉末表面的工序;使硅樹脂溶解于有機溶劑,將該硅樹脂溶液與鐵基軟磁性粉末加以混合后,使溶劑蒸發(fā)而將硅樹脂被膜形成于上述磷酸系化成被膜之上的工序;通過加熱得到的粉末,預備硬化硅樹脂被膜的工序。在上述的制法中,作為含有P的化合物優(yōu)選磷酸二氫鹽。在本發(fā)明中,也包括由本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末得到,實施40(TC以上的熱處理的壓粉磁芯,特別是比電阻為140pQ.m以上的壓粉磁芯。根據(jù)本發(fā)明,通過P、Co、Na和S以及Al禾D/或Cs的添加,能夠改善磷酸系化成被膜的耐熱性,能夠?qū)崿F(xiàn)高溫退火后的高電絕緣性,即,使高溫退火后的比電阻較以前進一步提高。因此,由本發(fā)明的壓粉磁芯用軟基軟磁性粉末得到的壓粉磁芯,成為高磁通密度、低鐵損、高機械的強度這些要求特性全部都滿足的高性能。具體實施例方式如前述專利文獻2的記述,推測為是否是由于來自磷酸系化成被膜中所含的磷酸的氧原子在高溫退火時擴散并與Fe結(jié)合,形成諸如作為半導體而發(fā)揮功能的Fe的氧化物,因此使比電阻降低。于是,本發(fā)明者等在專利文獻2的申請后仍繼續(xù)研究發(fā)現(xiàn),為了阻礙這種半導體的氧化物的形成,使磷酸系化成被膜中并存P、Co、Na和S有效,另外Al和Cs也具有半導體的氧化物的形成阻礙作用,從而達成本發(fā)明。以下,詳細地說明本發(fā)明。本發(fā)明有壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,按順序在粉末表面形成磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜。為了確保電絕緣性而形成磷酸系化成被膜,另外為了使電絕緣性的熱穩(wěn)定性提高以及為了使機械強度顯示而形成硅樹脂被膜。該壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,根據(jù)需要而調(diào)配用于降低壓縮成形時的摩擦的潤滑劑并被壓縮成形,主要作為交流使用的電動機的轉(zhuǎn)子和定子使用。鐵基軟磁性粉末是強磁性體的金屬粉末,作為具體例子,可列舉有純鐵粉、鐵基合金粉末(Fe—Al合金、Fe—Si合金、鋁硅鐵粉、坡莫合金等)和非晶粉末等。這種軟磁性粉末能夠通過例如在由霧化法而成為微粒子后進行還原,其后進行粉碎等進行制造。這樣的制法中,雖然能夠得到由篩分法評價的以粒度分布計累積粒度分布達到50%的粒徑為20250pm左右的軟磁性粉末,但是在本發(fā)明中,優(yōu)選使用平均粒徑為50150pm左右的。在本發(fā)明中,在上述軟磁性粉末上首先形成磷酸系化成被膜。該磷酸系化成被膜是利用以正磷酸(H3P04)為主成分的處理液進行化成處理而生成的玻璃狀的被膜。但是在本發(fā)明中,磷酸系化成被膜必須含有P、Co、Na禾卩S,并且含有A1和/Cs。這是由于對于阻礙磷酸系化成被膜中的氧在高溫退火時與Fe形成半導體,抑制熱處理中的比阻撓的降低來說,發(fā)現(xiàn)P、Co、Na和S的并存,加上含有Al和/Cs有效。為了通過這些元素的添加來抑制高溫退火時的比電阻的降低,作為磷酸系化成被膜形成后的鐵粉100質(zhì)量%中的量,優(yōu)選P:0.0051質(zhì)量%、Co:0.0050.1質(zhì)量%、Na:0.0020.6質(zhì)量%、S:0.0010.2質(zhì)量%。另外,Al優(yōu)選0.0010.1質(zhì)量%,Cs優(yōu)選0.0020.6質(zhì)量o/0。Al和Cs并用時也優(yōu)選分別在該范圍內(nèi)使用。上述元素之中,P經(jīng)由氧與鐵粉末表面形成化學結(jié)合。因此,若P量過少則化學結(jié)合量不充分,有可能無法形成強固的被膜而不為優(yōu)選。但是,若P量過多,則沒有參與化學結(jié)合的P以未反應的狀態(tài)殘留,反而有可能使結(jié)合強度降低而不為優(yōu)選。Co、Na、S、AI、Cs被認為具有在高溫退火中阻礙Fe與氧形成半導體,從而抑制比電阻降低的作用。通過復合添加Co、Na和S而使其效果最大化。雖然也可以添加Al和Cs的任一個,但是各元素的下限值為用于發(fā)揮復合添加的效果的最低量。另外,若把添加量提高到髙于需要,則復合添加時不僅不能夠維持相對的平衡,而且阻礙夾雜氧的P和鐵粉表面的化學結(jié)合的生成。另外,本發(fā)明的磷酸系化成被膜中也可以含有Mg和B。這時,作為磷酸系化成被膜形成后的鐵粉100質(zhì)量%中的量,優(yōu)選Mg、B合計為0.0010.5質(zhì)量%。磷酸系化成被膜的膜厚優(yōu)選為1250nm左右。若膜厚比lnm薄,則絕緣效果無法顯現(xiàn),但若超過250nm,則除了絕緣效果飽和以外,從壓粉體的高密度比的點出發(fā)也不為優(yōu)選。更優(yōu)選的膜厚為1050nm。作為附著量而言0.010.8質(zhì)量%左右為優(yōu)選范圍。磷酸系化成被膜能夠通過如下方式形成使水性溶劑中含有被膜所要含的元素的化合物溶解,將軟磁性粉末與由此得到的溶液(處理液)混合,并進行干燥。作為這里能夠使用的化合物,可以使用正磷酸(H3P04:P源)、C03(P04)2(Co和P源)、C03(P04)28H20(Co和P源)、Na2HP04(P禾口Na源)、NaH2P04(P禾口Na源)、NaH2P04'nH20(P禾口Na源)、Al(H2P04)3(P和Al源)、Cs2S04(Cs禾卩S、源)、H2S04(S源)、MgO(Mg源)、H3B03(B源)等。其中,若使用磷酸二氫鈉鹽(NaH2P04)作為P源和Na源,則得到的壓粉成形體的密度、強度、比電阻平衡優(yōu)良。作為水性溶劑,能夠使用水、醇類和酮等的親水性有機溶劑、它們的混合物,溶劑中也可以添加公知的界面活性劑。調(diào)制固形部分0.110質(zhì)量%左右的處理液,相對于鐵粉100質(zhì)量份進行110質(zhì)量份左右添加,用公知的攪拌機,球磨機、捏合機、V型混合機、造粒機等混合,在大氣中、減壓下或真空下,以15025(TC干燥,由此得到形成有磷酸系化成被膜的軟磁性粉末。其次,形成硅樹脂被膜。在硅樹脂的交聯(lián)硬化反應結(jié)束時(壓粉成形體的成形時),粉末彼此強固結(jié)合,因此機械強度增大。另外,還形成耐熱性優(yōu)異的Si-0結(jié)合而成為熱穩(wěn)定性優(yōu)異的絕緣被膜。作為硅樹脂,硬化慢的則粉末發(fā)粘,被膜形成后的處理性差,因此比起雙官能性的D單位(R2SiX2:X為水解基),優(yōu)選大量具有三官能性的T單位(RSiX3:X與前述相同)。但是,若大量含有四官能性的Q單位(SiX4:X與前述相同),則預備硬化時粉末彼此強固結(jié)合,從而無法進行后續(xù)的成形工序,因此不為優(yōu)選。因此,優(yōu)選T單位為60摩爾%以上的硅樹脂,更優(yōu)選80摩爾%以上的硅樹脂,最優(yōu)選全部作為T單位的硅樹脂。另外,作為硅樹脂,一般是上述R為甲基或苯基的甲基苯基硅樹脂,雖然大量具有苯基的一方認為耐熱性高,但在本發(fā)明中設想的這種高溫的退火中,苯基的存在卻說不上那么有效??紤]這是否是因為苯基的體積大會破壞致密的玻璃狀網(wǎng)眼結(jié)構(gòu),反而使熱穩(wěn)定性和阻礙與鐵形成化合物效果降低。因此,在本發(fā)明中優(yōu)選使用甲基為50摩爾%以上的甲基苯基硅樹脂(例如,信越化學工業(yè)社制的KR255、KR311等),更優(yōu)選70摩爾%以上(例如,信越化學工業(yè)社制的KR300等),最優(yōu)選完全沒有苯基的甲基樹脂(例如信越化為工業(yè)社制的KR251、KR400、KR220L、KR242A、KR240、KR500、KC89等和DowComing公司制的SR2400等)。還有,關于硅樹脂的甲基和苯基的比率和官能性,可以由FT-IR等進行分析。硅樹脂被膜的附著量優(yōu)選調(diào)整為,將形成有磷酸系化成被膜的軟磁性粉末和硅樹脂被膜的合計作為100質(zhì)量%時,為0.050.3質(zhì)量%。若比0.05質(zhì)量%少,則絕緣性差,但電阻抗變低,但是若比0.3質(zhì)量%多,則成形體的高密度化難以達成。硅樹脂被膜以能夠通過在醇類、甲苯、二甲苯等石油系有機溶劑等中使硅樹脂溶解,將該溶液和鐵粉混合并使有機溶媒揮發(fā)而形成。被膜形成條件并沒有特別限定,但使固體成分大體調(diào)制為210質(zhì)量%的樹脂溶液,其相對于前述形成有磷酸系化成被膜的軟磁性粉末100質(zhì)量份而進行0.510質(zhì)量份左右添加并混合,干燥即可。若比0.5質(zhì)量份少,則混合花費時間,被膜有可能不均一。另一方面,若超過10質(zhì)量份則干燥花費時間,干燥有可能不充分。樹脂溶液也可以適宜加熱?;旌蠙C可以使用與前述相同的。干燥工序中,優(yōu)選以使用的有機溶劑揮發(fā)的溫度,并且加熱至低于硅樹脂的硬化溫度,以使有機溶劑充分地蒸發(fā)揮散。作為具體的干燥溫度,上述醇類和石油系有機溶劑的情況下優(yōu)選608(TC左右。干燥后,為了除去凝集球,優(yōu)選使之通過網(wǎng)眼30050(Him左右的篩子。作為硅樹脂被膜的厚度,優(yōu)選1200nm。更優(yōu)選的厚度為20150nm。另外,磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜的合計厚度優(yōu)選為250nm以下。若超過250nm,則磁通密度的降低變大。干燥后,推薦使硅樹脂被膜預備硬化。所謂預備硬化,就是以粉末狀態(tài)使硅樹脂被膜在硬化時的軟化過程結(jié)束的處理。通過該預備硬化處理,能夠在溫成形時(10025(TC左右)確保軟磁性粉末的流動性。作為具體的方法,在該硅樹脂的硬化溫度附近短時間加熱形成有硅樹脂被膜的軟磁性粉末的方法較為簡便,但是也可以利用使用藥劑(硬化劑)的方法。預備硬化與硬化(沒有準備的完全硬化)處理有所不同,在預備硬化處理中,粉末彼此沒有完全粘結(jié)固化,可以容易地粉碎,相對于此,在粉末的成形后進行的高漸加熱硬化處理中,存在樹脂硬化,粉末彼此粘結(jié)固化的要點。通過完全硬化處理,形成體強度提高。如上述,使硅樹脂預備硬化后進行粉碎,從而得到流動性優(yōu)異的粉末,在壓粉成形時能夠使其像沙一樣刷刷地投入成形模具中。若不使之預備硬化,則例如在溫成形時粉末彼此附著,難以以短時間投入成型模具內(nèi)。實際作業(yè)上,對操作性的提高非常有意義。另外,通過使之預備硬化,發(fā)向得到的壓粉磁芯的比電阻格外提高。其理由尚不明確,但考慮是否是由于在硬化時與鐵粉的緊貼性提高。根據(jù)短時間加熱法進行預備硬化時,以10020(TC進行5100分鐘的加熱處理即可。更優(yōu)選以13017(TC進行1030分鐘。預備硬化后,如前述優(yōu)選先使之過篩。本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末中,還可以含有潤滑劑。利用該潤滑劑的作用,能夠壓縮成形壓粉磁芯用粉末時的軟磁性粉末間或軟磁性粉末與成形模具內(nèi)壁間的摩擦阻抗,能夠防止成形體的模具咬合和成形時的發(fā)熱。為了有效地發(fā)效這樣的效果,優(yōu)選粉末總量中含有潤滑劑0.2質(zhì)量%以上。但是,若潤滑劑量多,則違背壓粉體的高密度化,因此優(yōu)選截止為0.8質(zhì)量°/。以下。另外,壓縮成形時,在成形模具內(nèi)壁面涂布潤滑劑后進行成形時(模具潤滑成形),潤滑劑量也可以比0.2質(zhì)量%少。作為潤滑劑,使用歷來公知的即可。具體來說,可列舉硬脂酸鋅、硬脂酸鋰、硬脂酸鈣等硬脂酸的金屬鹽粉末,和石蠟、蠟、天然或合成樹脂衍生物等。本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,當然是用于壓粉磁芯的制造,但是由本發(fā)明的粉末得到的壓粉磁芯包含在本發(fā)明中。為了制造壓粉磁芯,首先壓縮成形上述粉末。壓縮成形法未特別限定,可以采用歷來公知的方法。壓縮成形的優(yōu)選條件為,面壓490MPa1960MPa,更優(yōu)選790MPa1180MPa。特別是若以980MPa以上的條件進行壓縮成形,則容易得到密度為7.50g/cm3以上的壓粉磁芯,因為能夠得到高強度下磁特性(磁通密度)良好的壓粉磁芯,所以優(yōu)選。成形溫度為室溫成形、溫成形(100250°C)均可以。以模具潤滑成形進行溫成形的方法,因為能夠得到更高強度的壓粉磁芯,所以優(yōu)選。作為強度的目標,優(yōu)選在后述的實施例中測定方法下為卯MPa以上。成形后,為了降低壓粉磁芯的磁滯損耗而以高溫進行退火。這時的退火溫度優(yōu)選為40(TC以上,如果沒有比電阻的劣化,則優(yōu)選以更高溫進行熱處理。退火時的氣氛沒有特別限定,但優(yōu)選在氮等惰性氣氛氣氛下。退火時間如果不存在比電阻的劣化則沒有特別限定,但優(yōu)選20分鐘以上,更優(yōu)選30分鐘以上,進一步優(yōu)選1小時以上。退火后的比電阻優(yōu)選為140(iQm以上。實施例以下,基于實施例詳細地闡述本發(fā)明。但是,下述實施例并不限制本發(fā)明,在不脫離前后述的宗旨的范圍變更實施完全包含在本發(fā)明的技術的范圍內(nèi)。還有,除非特別說明,否則"份"意思是"質(zhì)量份","%"意思是"質(zhì)量%"。實施例1作為軟磁性粉末使用純鐵粉(神戶制鋼所制,Atmel300NH,平均粒徑80100pm)。將水1000份、Na2HP04:88.5份、H3P04:181份、H2S04:61份、Co3(P04)2:30份、Cs2S04:44份加以混合,再將10倍稀釋的處理液10份添加到通過網(wǎng)眼300j_im的篩的上述純鐵粉200份中,用V型混合機混合30分鐘上后,在大氣中以20(TC干燥30分鐘,通過網(wǎng)眼300pm的篩子。其次,使甲基100摩爾%、T單位100摩爾。/。的硅樹脂"KR220L"(信越化學工業(yè)社制)溶解于甲苯中,制作4.8%的固形分濃度的樹脂溶液。添加混合該樹脂溶液,使樹脂固形分相對于鐵粉為0.15%,用烘爐在大氣中以75'C加熱30分鐘并千燥后,通過網(wǎng)眼300pm的篩子。其后,以150°C進行預備硬化30分鐘。接著,使硬脂酸鋅分散于醇類中而涂布于金屬模具表面后,放入鐵粉,以面壓980MPa以進行室溫(25°C)下的壓粉成形。成形體尺寸為31.75mmX12.7mm,高度約5mm。其后,以60(TC在氮氣氛下退火1小時。升溫速度約5'C/分,熱處理后進行爐冷。構(gòu)成得到的成形體的元素的含量顯示在表2中。還有,各元素的定量根據(jù)ICP發(fā)光分析法進行。另外,測定得到的成形體的密度、抗折強度(3點彎曲試驗,依據(jù)曰本粉末冶金工業(yè)會的JPMAM09-1992)、比電阻,顯示在表3中。實施例24、比較例1如表1所示,除了改變處理液的組成以外,均與實施例l相同而制造壓粉成形體,測定元素含量、成形體密度、抗折強度、比電阻,顯示在表2和表3中。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>由表3可知,任意一個實施例與比較例相比,高溫退火后的比電阻均大至140一.m以上。實施例l和實施例2是只變更P'Na源的例子,但作為P'Na源而使用NaH2P04的實施例2的方法,成形體密度、抗折強度和比電阻的平衡優(yōu)異,能夠確認為高性能。另外,并用Al和Cs的實施例4退火后的比電阻最大。用透射型電子顯微鏡觀察得到的成形體的截面,測定磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜的厚度時,實施例14和比較例沒有太大差異,磷酸系化成被膜的厚度為3035nm,硅樹脂被膜的厚度為100110nm。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,因為形成有熱穩(wěn)定性優(yōu)異的絕緣膜,可以制造能夠達成高磁通密度、低鐵損、高機械的強度的壓粉磁芯。該壓粉磁芯作為電動機的轉(zhuǎn)子和定子的芯有用。權(quán)利要求1.一種壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,其特征在于,在鐵基軟磁性粉末表面按順序形成有磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜,并且,在所述磷酸系化成被膜中含有P、Co、Na和S,且含有A1和/或Cs。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,其特征在于,所述磷酸系化成被膜中的各元素,作為磷酸系化成被膜形成后的軟磁性粉末100質(zhì)量%中的量,P:0.0051質(zhì)量%、Co:0.0050.1質(zhì)量%、Na:0.0020.6質(zhì)量%、S:0.0010.2質(zhì)量%,在含有Al時,Al:0.0010.1質(zhì)量%,在含有Cs時,Cs:0.0020.6質(zhì)量%。3.—種制造權(quán)利要求1或2所述的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末的方法,其特征在于,按順序包括下述工序使含有P的化合物、含有Co的化合物、含有Na的化合物和含有S的化合物,與含有Al的化合物和/或含有Cs的化合物溶解于水和/或有機溶劑中,將該溶液與鐵基軟磁性粉末混合后,使溶劑蒸發(fā)而在鐵基軟磁性粉末表面形成磷酸系化成被膜的工序;使硅樹脂溶解于有機溶劑中,將該硅樹脂溶液與鐵基軟磁性粉末混合后,使溶劑蒸發(fā)而在所述磷酸系化成被膜上形成硅樹脂被膜的工序;通過對所得到的粉末進行加熱,從而對硅樹脂被膜進行預備硬化的工序。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法,其特征在于,作為含有P的化合物使用磷酸二氫鹽。5.—種壓粉磁芯,其特征在于,由權(quán)利要求1所述的壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末得到,并實施了40(TC以上的熱處理。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓粉磁芯,其特征在于,比電阻為140pQ,m以上。全文摘要提供一種壓粉磁芯用鐵基軟磁性粉末,是即使為了高密度成形而降低絕緣材料的量,也能夠有效地鐵粉粒子間進行絕緣,機械的強度也優(yōu)異,此外即使進行高溫下的熱處理也能夠維持電絕緣性的熱穩(wěn)定性優(yōu)異的壓粉磁芯用的鐵粉,其中,在鐵基軟磁性粉末表面,按有磷酸系化成被膜和硅樹脂被膜,在上述磷酸系化成被膜中,含有P、Co、Na和S,并且含有Al和/或Cs。文檔編號H01F1/147GK101545070SQ20091012775公開日2009年9月30日申請日期2009年3月25日優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日發(fā)明者三谷宏幸,北條啟文,大脅武史,柳澤佳壽美,西田智,赤城宣明申請人:株式會社神戶制鋼所