專(zhuān)利名稱(chēng)：警報(bào)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及警報(bào)裝置，特別是涉及監(jiān)視通過(guò)處理襯底來(lái)制造產(chǎn)品 的工廠，檢測(cè)該工廠中異常產(chǎn)生的警報(bào)裝置。
背景技術(shù)：
以往，對(duì)工廠中異常產(chǎn)生的監(jiān)視一般是工程師用可視化工具調(diào)查 產(chǎn)品的各片的缺陷數(shù)，根據(jù)缺陷數(shù)、集中度檢測(cè)異常，并報(bào)告?？墒牵?在這樣的作業(yè)中，往往存在異常的漏看。此外，即使檢測(cè)到異常，也 不會(huì)自動(dòng)確定其原因。因此，在工廠中即使產(chǎn)生某些的異常，在根據(jù) 產(chǎn)品的缺陷的動(dòng)向檢測(cè)到該異常、并確定原因之前，通常有半天到數(shù) 日的時(shí)間滯后，該時(shí)間滯后成為成品率下降的很大原因。此外，還存 在根據(jù)缺陷數(shù)、集中度的動(dòng)向檢測(cè)異常的產(chǎn)生、確定其原因的作業(yè)依 賴(lài)于工程師的感覺(jué)或經(jīng)驗(yàn)，被工程師個(gè)人的能力左右的問(wèn)題。
另一方面，從以往就提出過(guò)以自動(dòng)檢測(cè)缺陷為目的的裝置(例如， 參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)?？墒峭ǔ?，即使制造裝置正常工作時(shí)，也以某程 度的頻度產(chǎn)生缺陷。而且，在制造裝置中產(chǎn)生異常時(shí)，缺陷的產(chǎn)生程 度惡化，但是該惡化的方式根據(jù)異常的種類(lèi)而各種各樣。因此，難以 從產(chǎn)品的檢查結(jié)果自動(dòng)檢測(cè)出制造裝置的異常。
[專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2005-197629號(hào)>^報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供根據(jù)產(chǎn)品的檢查結(jié)果，能自動(dòng)檢測(cè)工廠的 異常的警報(bào)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供一種警報(bào)裝置，用對(duì)通過(guò)處理襯底 來(lái)制造產(chǎn)品的工廠中的異常產(chǎn)生進(jìn)行檢測(cè)，該警報(bào)裝置的特征在于
根據(jù)所述產(chǎn)品的制造過(guò)程中的所述襯底表面的檢查結(jié)果，對(duì)按所述異 常的每個(gè)種類(lèi)設(shè)定的規(guī)定尺寸的每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域的缺陷產(chǎn)生程度進(jìn)
行合計(jì)；把各所述監(jiān)視單位區(qū)域中所述缺陷的產(chǎn)生程度與基準(zhǔn)進(jìn)行比 較；在檢測(cè)出所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域時(shí)， 發(fā)送警報(bào)并輸出所述合計(jì)結(jié)果。
根據(jù)本發(fā)明，能取得根據(jù)產(chǎn)品的檢查結(jié)果，能自動(dòng)檢測(cè)工廠的異 常的警報(bào)裝置。


下面簡(jiǎn)要說(shuō)明附圖。
圖l是例示包含關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施方式的警報(bào)裝置、作為該警報(bào) 裝置監(jiān)視的對(duì)象的工廠、該工廠的管理者的質(zhì)量管理系統(tǒng)的圖。
圖2 (a)是例示產(chǎn)生了缺陷的襯底的立體圖，(b)是例示該村 底的合計(jì)結(jié)果的圖。
圖3是例示本實(shí)施方式的警報(bào)裝置的流程圖。
圖4是例示包含關(guān)于第一具體例子的警報(bào)裝置、作為該警報(bào)裝置 監(jiān)視的對(duì)象的工廠、該工廠的管理者的質(zhì)量管理系統(tǒng)的圖。
圖5是模式地例示液晶面板的制造方法的圖。
圖6是表示陣列工藝的各步驟的圖。
圖7是例示關(guān)于本具體例子的警報(bào)裝置的動(dòng)作的流程圖，
圖8是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻璃 襯底的縱向位置(X坐標(biāo))，例示缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖，表示把玻璃 襯底的表面區(qū)域在縱向19分割，在橫向15分割，把分割后的各區(qū)域 作為監(jiān)視對(duì)象區(qū)域的情形。
圖9是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻璃 襯底的縱向位置(X坐標(biāo))，例示缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖，表示把玻璃 襯底的表面區(qū)域在縱向3分割，在橫向3分割，把分割后的各區(qū)域作 為監(jiān)視對(duì)象區(qū)域的情形。
圖IO是例示原因候補(bǔ)裝置的列表的顯示方法的圖。
圖11是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻 璃襯底的縱向位置(X坐標(biāo))，例示第一具體例子的第一變形例中的 缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖。
圖12是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻 璃襯底的縱向位置(X坐標(biāo))，例示第一具體例子的第二變形例中的 缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖。
圖13是在X軸取玻璃襯底的縱向的位置(X坐標(biāo))，在Y軸取 玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在Z軸取缺陷的程度，例示第一具 體例子的第四變形例中的缺陷的合計(jì)結(jié)果的三維分布圖。
圖14是模式地例示半導(dǎo)體芯片的制造方法的圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖l是例示包含關(guān)于本實(shí)施方式的警報(bào)裝置、作為該警報(bào)裝置監(jiān) 視的對(duì)象的工廠、該工廠的管理者的質(zhì)量管理系統(tǒng)的圖。
在圖1中，信息流程用實(shí)線(xiàn)表示，產(chǎn)品的流程用虛線(xiàn)表示。
如圖1所示，在質(zhì)量管理系統(tǒng)101中存在成為監(jiān)視對(duì)象的工廠 102。在工廠102中設(shè)置多臺(tái)制造裝置103a 103f (以下總稱(chēng)為"制造 裝置103")、多臺(tái)檢查裝置104a 104c(以下總稱(chēng)為"檢查裝置104")。 工廠102是通過(guò)由多臺(tái)制造裝置103處理襯底來(lái)制造產(chǎn)品的工廠，例 如制造液晶面板或半導(dǎo)體芯片等產(chǎn)品。
須指出的是，在本說(shuō)明書(shū)中，"工廠"是指具有相互關(guān)聯(lián)的多臺(tái)制 造裝置以及在這些制造裝置之間輸送產(chǎn)品或半成品等的輸送單元，并 且按照要制造的產(chǎn)品，設(shè)定一條或多條生產(chǎn)線(xiàn)的場(chǎng)地。在制造的產(chǎn)品 存在多種時(shí)，有時(shí)也設(shè)置多條生產(chǎn)線(xiàn)，此外這些多條生產(chǎn)線(xiàn)共享一部 分的制造裝置。這時(shí)，多條生產(chǎn)線(xiàn)在該制造裝置交叉。"工廠"并不一 定設(shè)置在一個(gè)房間內(nèi)，可以跨多個(gè)房間或用地而存在，也可以只在一 個(gè)絕對(duì)無(wú)塵室內(nèi)的一部分區(qū)域中設(shè)置。
制造裝置103實(shí)施產(chǎn)品的制造步驟中的一部分的步驟。在本實(shí)施
方式中，由多臺(tái)制造裝置103并行執(zhí)行各步驟，在圖l所示的例子中， 制造裝置103a和103b實(shí)施相同的步驟，制造裝置103c和103d實(shí)施 其他相同的步驟，制造裝置103e和103f實(shí)施其他相同的步驟。
檢查裝置104是在產(chǎn)品的制造過(guò)程中和制造后檢查襯底的表面， 把缺陷的存在與該襯底上的坐標(biāo)一起輸出的檢查裝置，例如，是檢查 塵埃的有無(wú)的微粒檢查裝置、檢測(cè)形成在襯底上的電路圖案的好壞的 圖案檢查裝置、檢查形成在襯底上的電子電路在電上是否正常的陣列 檢查裝置。在圖1所示的例子中，工廠102布局為由制造裝置103a 或103b處理襯底后，由檢查裝置104a檢查，由制造裝置103c或103d 處理后，由檢查裝置104b檢查，由制造裝置103e或103f處理后，由 檢查裝置104c檢查。
此外，在質(zhì)量管理系統(tǒng)101中設(shè)置有從制造裝置103輸入產(chǎn)品的 處理結(jié)果，從檢查裝置104輸入產(chǎn)品的檢查結(jié)果，存儲(chǔ)這些信息的數(shù) 據(jù)庫(kù)105。
而且，在質(zhì)量管理系統(tǒng)IOI中設(shè)置警報(bào)裝置l。警報(bào)裝置l從數(shù) 據(jù)庫(kù)105輸入關(guān)于產(chǎn)品缺陷的缺陷信息、即表示村底上的缺陷的信息 及其坐標(biāo)信息、以及表示處理該產(chǎn)品的制造裝置103的履歷信息。然 后，警報(bào)裝置l根據(jù)缺陷信息，在工廠102中產(chǎn)生異常時(shí)，檢測(cè)到它， 并對(duì)管理者106發(fā)送警報(bào)。此外，警報(bào)裝置l根據(jù)履歷信息，推測(cè)產(chǎn) 生異常的制造裝置103。警報(bào)裝置1既可以利用已經(jīng)存在的個(gè)人電腦 由程序?qū)崿F(xiàn)，也可以由 一個(gè)系統(tǒng)LSI ( Large Scale Integrated circuit: 大規(guī)模集成電路)構(gòu)成，也可以作為擔(dān)負(fù)各功能的多個(gè)零件的集合體 被組裝。
下面說(shuō)明本實(shí)施方式的動(dòng)作。
圖2 ( a )是例示缺陷產(chǎn)生的襯底的立體圖，(b )是例示該襯底 的合計(jì)結(jié)果的圖。
圖3是例示關(guān)于本實(shí)施方式的警報(bào)裝置的流程圖。 首先，管理者106預(yù)先按各異常的種類(lèi)設(shè)定監(jiān)視單位區(qū)域的尺寸 (象素尺寸)，對(duì)警報(bào)裝置l輸入。所謂監(jiān)視單位區(qū)域是合計(jì)襯底的
檢查結(jié)果，成為監(jiān)視異常的產(chǎn)生時(shí)的基準(zhǔn)的區(qū)域。監(jiān)視單位區(qū)域的最 佳尺寸根據(jù)異常的種類(lèi)而不同，如果作為監(jiān)視對(duì)象的異常是靜電產(chǎn)生，
監(jiān)視單位區(qū)域希望為例如縱向5毫米、橫向5毫米左右的區(qū)域。此夕卜， 如果作為監(jiān)視對(duì)象的異常是來(lái)自襯底的上方的塵埃的落下，則監(jiān)視單 位區(qū)域例如希望是縱向300毫米、橫向200毫米左右的區(qū)域。據(jù)此， 如圖2(a)所示，在產(chǎn)品的襯底21的表面，12個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域31a 311
(以下總稱(chēng)為"監(jiān)視單位區(qū)域31")設(shè)定為4行3列的矩陣。
另一方面，如圖1所示，在工廠102中制造產(chǎn)品。產(chǎn)品的襯底21
(參照?qǐng)D2(a))由制造裝置103a或103b處理后，由檢查裝置104a 檢查，由制造裝置103c或103d處理襯底后，由檢查裝置104b檢查， 然后由制造裝置103e或103f處理后，由檢查裝置104c檢查。這時(shí)， 在基于制造裝置103的處理的過(guò)程中，在襯底21上產(chǎn)生缺陷41a 41g
(以下總稱(chēng)為"缺陷41"),該缺陷41由比它更下游一側(cè)的檢查裝置 104檢測(cè)。
然后，產(chǎn)品的處理結(jié)果從各制造裝置103被輸入到數(shù)據(jù)庫(kù)105， 產(chǎn)品的檢查結(jié)果從各檢查裝置104被輸入到數(shù)據(jù)庫(kù)105。接著，存儲(chǔ) 在數(shù)據(jù)庫(kù)105中的信息作為與其坐標(biāo)一起表示缺陷的存在的缺陷信息 和表示產(chǎn)品的履歷的履歷信息，被輸入到警報(bào)裝置l。
如圖3的步驟Sl所示，警報(bào)裝置1根據(jù)輸入的缺陷信息，把規(guī) 定個(gè)數(shù)的襯底21的檢查結(jié)果相加計(jì)算，按每一個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域31合 計(jì)缺陷41的產(chǎn)生程度。接著如步驟S2所示，根據(jù)該合計(jì)結(jié)果，把各 監(jiān)視單位區(qū)域的缺陷的產(chǎn)生程度與基準(zhǔn)比較。據(jù)此，檢測(cè)缺陷的產(chǎn)生 程度高的監(jiān)視單位區(qū)域(以下也稱(chēng)作"缺陷集中區(qū)域，，)。具體而言， 例如把各監(jiān)視單位區(qū)域31中產(chǎn)生的缺陷41的數(shù)量與規(guī)定的基準(zhǔn)值比 較，把缺陷數(shù)比基準(zhǔn)值多的監(jiān)視單位區(qū)域31作為缺陷集中區(qū)域。
在圖2 (a)所示的例子中，監(jiān)視單位區(qū)域31g中的缺陷數(shù)為3， 監(jiān)視單位區(qū)域31f中的缺陷數(shù)為2，監(jiān)視單位區(qū)域31b和31c中的缺 陷數(shù)為1，此外的監(jiān)視單位區(qū)域中的缺陷數(shù)為0。例如，如果基準(zhǔn)值為 2，則缺陷數(shù)為3的監(jiān)視單位區(qū)域31g成為缺陷集中區(qū)域。
而且，在檢測(cè)到缺陷的產(chǎn)生程度比基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域(缺
陷集中區(qū)域)時(shí)，進(jìn)入步驟S3，對(duì)管理者106發(fā)送警報(bào)，并且輸出合 計(jì)結(jié)果。這時(shí)，如圖2 (b)所示，通過(guò)顯示襯底21的表面，生成設(shè) 定與襯底21上的坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的圖面22，在圖面22上的相當(dāng)于襯 底21上的缺陷41的產(chǎn)生位置的位置顯示表示缺陷的圖示42a 42g(以 下也總稱(chēng)為"圖示42")，從而進(jìn)行該輸出。此外，在圖面22中，設(shè) 定與襯底21上的監(jiān)視單位區(qū)域31a~311對(duì)應(yīng)的顯示單位區(qū)域32a~321， 例如用數(shù)字(未圖示)表示與各顯示單位區(qū)域?qū)?yīng)的監(jiān)視單位區(qū)域的 缺陷數(shù)。
接著，進(jìn)入步驟S4，根據(jù)從數(shù)據(jù)庫(kù)105輸入的履歷信息，判斷 是否存在處理了檢測(cè)到缺陷集中區(qū)域的襯底中規(guī)定比例以上的襯底的 制造裝置103 (以下也稱(chēng)作"原因候補(bǔ)裝置")，當(dāng)原因候補(bǔ)裝置存在 時(shí)，進(jìn)入步驟S5，把表示該原因候補(bǔ)裝置的信息對(duì)管理者106進(jìn)行輸 出。
接著，進(jìn)入步驟S6，只對(duì)檢測(cè)到缺陷集中區(qū)域的襯底中由步驟 S4中抽出的原因候補(bǔ)裝置中的一個(gè)來(lái)處理的襯底，再度按各監(jiān)視單位 區(qū)域進(jìn)行合計(jì)缺陷程度。對(duì)于全部原因候補(bǔ)裝置進(jìn)行該合計(jì)。然后， 如步驟S7所示，對(duì)管理者106輸出該合計(jì)結(jié)果。與步驟S3同樣進(jìn)行 該輸出。
接著，就本實(shí)施方式的效果加以說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中，由于對(duì)按照異常的種類(lèi)設(shè)定其尺寸的每個(gè)監(jiān)視 單位區(qū)域合計(jì)缺陷的產(chǎn)生程度，所以不會(huì)漏掉各種異常引起的缺陷的 變化，能可靠地檢測(cè)。
此外，在本實(shí)施方式中，抽出處理了檢測(cè)到缺陷集中區(qū)域的襯底 中規(guī)定比例以上的襯底的制造裝置(原因候補(bǔ)裝置)，輸出表示它的 信息。據(jù)此，能支援管理者確定成為缺陷的原因的制造裝置。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，只把檢測(cè)到缺陷集中區(qū)域的襯底，即由 原因候補(bǔ)裝置處理的襯底作為對(duì)象，再度針對(duì)每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域合計(jì) 缺陷的程度。據(jù)此，能限定在原因候補(bǔ)裝置中產(chǎn)生的異常的種類(lèi)、部
位等，更有效地支援管理者確定缺陷的原因。
此外，在本實(shí)施方式中，相加計(jì)算多個(gè)襯底的檢查結(jié)果進(jìn)行合計(jì)， 所以能進(jìn)行可靠性高的檢測(cè)。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，根據(jù)產(chǎn)品的檢查結(jié)果，能自動(dòng)檢測(cè)工廠 的異常。
以下，說(shuō)明用于具體表現(xiàn)上述的實(shí)施方式的具體例子。 首先，說(shuō)明第一具體例子。
關(guān)于本具體例子的警報(bào)裝置是監(jiān)視制造液晶面板的工廠的警報(bào)裝置。
圖4是例示包含關(guān)于本具體例子的警報(bào)裝置、作為該警報(bào)裝置監(jiān) 視的對(duì)象的工廠、該工廠的管理者的質(zhì)量管理系統(tǒng)的圖。 圖5是模式地例示液晶面板的制造方法的圖。 圖6是表示陣列工藝的各步驟的圖。
須指出的是，在圖4中，信息流程用實(shí)線(xiàn)表示，產(chǎn)品流程用虛線(xiàn)表示。
如圖4所示，在質(zhì)量管理系統(tǒng)111中存在成為監(jiān)視對(duì)象的工廠 112。在工廠112中設(shè)置有多臺(tái)制造裝置103和多臺(tái)檢查裝置104，作 為產(chǎn)品制造液晶面板。檢查裝置104例如是微粒檢查裝置、圖案檢查 裝置或陣列檢查裝置等。
制造液晶面板的步驟能大致劃分為陣列工藝和單元工藝。即如圖 5所示，首先在玻璃襯底201上形成作為前驅(qū)結(jié)構(gòu)的電子電路202。這 時(shí)，按照要制造的液晶面板的尺寸，在各玻璃襯底201上形成多個(gè)電 子電路202。在圖5所示的例子中，在各玻璃襯底201上，以3行3 列的矩陣狀地形成9個(gè)電子電路202。接著，把玻璃村底201按各電 子電路202分割。據(jù)此，制作液晶面板的陣列襯底(未圖示)。到此 為止是陣列工藝。接著，在各陣列襯底上滴下液晶(未圖示)，粘貼 對(duì)置襯底并密封。這是單元工藝。由此，制造出液晶面板203。
上述的說(shuō)明是概略性的，但是實(shí)際上為了制造液晶面板，需要一 百多個(gè)步驟。而且，在工廠112中(參照?qǐng)D4)，由多臺(tái)制造裝置103
并行處理各步驟。例如如圖6所示，在制作陣列襯底的陣列工藝中設(shè) 置在玻璃襯底上使多晶硅層生長(zhǎng)的多晶硅工藝、在該多晶硅層上形成 柵極的柵極工藝、把該柵極作為掩模并且對(duì)多晶硅層摻雜P+離子的摻 雜P+離子工藝、在多晶硅層上形成層間絕緣膜并且在它上形成接觸孔 的接觸孔工藝、在層間絕緣膜上形成布線(xiàn)的布線(xiàn)工藝、按各單元列形 成彩色濾光片(COA: Color filter on Array)的彩色濾光片工藝，各 工藝分別由幾個(gè)步驟構(gòu)成。
須指出的是，在圖6中，表示各工藝分別由9個(gè)制造步驟和1個(gè) 檢查步驟構(gòu)成，各工藝的檢查步驟監(jiān)視屬于相同工藝的制造步驟，在 檢查步驟61中進(jìn)行完成的陣列襯底的檢查的例子。此外，在圖4中， 只例示多晶硅工藝的制造步驟6~9和檢查步驟10。例如，第6步驟(步 驟6 )由"#1" "#3，，的3臺(tái)制造裝置103并行處理，第7步驟(步驟7 ) 由"#1" "#9"的9臺(tái)制造裝置103并行處理，第10步驟(步驟10 )由 檢查裝置104a進(jìn)行襯底的檢查。工廠112內(nèi)的液晶面板的通過(guò)路線(xiàn)按 各批次而不同。
而且，如果在一個(gè)步驟的一個(gè)制造裝置103中產(chǎn)生異常，通過(guò)該 制造裝置103的產(chǎn)品中產(chǎn)生缺陷的可能性將提高。例如，如果在擔(dān)負(fù) 電子電路202的制造步驟的一部分的制造裝置103中產(chǎn)生異常，在由 該制造裝置103形成的電子電路202中產(chǎn)生缺陷204,包含該缺陷204 的液晶面板203成為無(wú)效的面板205。
另一方面，在質(zhì)量管理系統(tǒng)lll中設(shè)置從各制造裝置103輸入產(chǎn) 品的處理結(jié)果，并且從檢查裝置104輸入產(chǎn)品的檢查結(jié)果，存儲(chǔ)這些 信息的數(shù)據(jù)庫(kù)105。須指出的是，在圖4中，為了簡(jiǎn)化圖，只記栽表 示從"步驟6"的"#1"的制造裝置103到數(shù)據(jù)庫(kù)105的信號(hào)流程的箭頭， 但是實(shí)際上，是將全部制造裝置103的處理結(jié)果輸入到數(shù)據(jù)庫(kù)105。
而且，在質(zhì)量管理系統(tǒng)111中設(shè)置有輸入數(shù)據(jù)庫(kù)105中存儲(chǔ)的數(shù) 據(jù)，根據(jù)該數(shù)據(jù)在工廠112中產(chǎn)生異常時(shí)檢測(cè)它，并對(duì)管理者106發(fā) 送警報(bào)的警報(bào)裝置11。從數(shù)據(jù)庫(kù)105對(duì)警報(bào)裝置11輸入的數(shù)據(jù)中包 含表示在各檢查裝置104中檢測(cè)出的缺陷和該玻璃襯底201上的坐標(biāo)
的缺陷信息、以及表示與該產(chǎn)品的制造有關(guān)的制造裝置103的履歷信 息。
例如利用已經(jīng)存在的個(gè)人電腦，利用程序軟件上實(shí)現(xiàn)警報(bào)裝置 11。須指出的是，警報(bào)裝置11也可以由一個(gè)系統(tǒng)LSI在硬件上構(gòu)成， 或者也可以作為擔(dān)負(fù)各功能的多個(gè)零件的集合體被組裝。
此外，警報(bào)裝置11和管理者106通過(guò)電子網(wǎng)絡(luò)連接。例如管理 者106使用的終端裝置(未圖示)和警報(bào)裝置11通過(guò)LAN( Local Area Network:局域網(wǎng))107連接。據(jù)此，管理者106能通過(guò)LAN107對(duì)警 報(bào)裝置ll進(jìn)行各種設(shè)定。此外，警報(bào)裝置11能通過(guò)LAN107對(duì)管理 者106通知警報(bào)以及其中附帶的各種信息。
下面說(shuō)明關(guān)于本具體例子的警報(bào)裝置的動(dòng)作。 圖7是例示關(guān)于本具體例子的警報(bào)裝置的動(dòng)作的流程圖。 圖8是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻璃 村底的縱向的位置(X坐標(biāo))，例示缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖，表示把玻 璃襯底的表面區(qū)域在縱向19分割，在橫向15分割，把分割后的各區(qū) 域作為監(jiān)視對(duì)象區(qū)域的情形。
圖9是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻璃 村底的縱向的位置(X坐標(biāo))，例示缺陷的合計(jì)結(jié)果的圖，表示把玻 璃襯底的表面區(qū)域在縱向3分割，在橫向3分割，把分割后的各區(qū)域 作為監(jiān)視對(duì)象區(qū)域的情形。
圖10是例示原因候補(bǔ)裝置的列表的顯示方法的圖。 如圖4所示，使工廠112的制造裝置103工作，制造液晶面板。 即如圖5所示，在各玻璃襯底201上形成多個(gè)電子電路202后，把玻 璃襯底201按各電子電路202分割，密封入液晶來(lái)制造液晶面板203。 然后，在該制造過(guò)程中的各工藝中，由檢查^^置104檢查玻璃襯底201 的表面，檢測(cè)缺陷204。這時(shí)，從各制造裝置103對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)105輸出 處理結(jié)果，從檢查裝置104對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)105輸出檢查結(jié)果。
在該狀態(tài)下進(jìn)行工廠112的監(jiān)視。首先，如圖7的步驟Sll所示， 警報(bào)裝置ll設(shè)定與各異常對(duì)應(yīng)的監(jiān)視單位區(qū)域的尺寸(象素尺寸)。
該監(jiān)視單位區(qū)域的尺寸由管理者106等憑經(jīng)驗(yàn)決定，預(yù)先通過(guò)LAN107 對(duì)警報(bào)裝置ll輸入。例如如果作為監(jiān)視對(duì)象的異常是靜電的產(chǎn)生，監(jiān) 視單位區(qū)域設(shè)為比較小的區(qū)域，在一個(gè)例子中，設(shè)為縱向5毫米、橫 向5毫米的正方形的區(qū)域。此外，如果作為監(jiān)視對(duì)象的異常是來(lái)自襯 底的上方的塵埃的落下，監(jiān)視單位區(qū)域設(shè)為比較大的區(qū)域，在一個(gè)例 子中，設(shè)為縱向300毫米、橫向200毫米的長(zhǎng)方形的區(qū)域。此外，關(guān) 于監(jiān)視異常的期間、合計(jì)的襯底的個(gè)數(shù)、各基準(zhǔn)值等都預(yù)先輸入到警 報(bào)裝置11。
接著，如步驟S12所示，根據(jù)檢查裝置104 (參照?qǐng)D4)檢查規(guī) 定個(gè)數(shù)的玻璃襯底201 (參照?qǐng)D5)的結(jié)果，警報(bào)裝置ll針對(duì)每個(gè)監(jiān) 視單位區(qū)域合計(jì)缺陷數(shù)。具體而言，如圖8和圖9所示，在作為檢查 對(duì)象的玻璃襯底201 (參照?qǐng)D5)的表面設(shè)定二維的正交坐標(biāo)，生成設(shè) 定與該玻璃襯底上的坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的圖，在該圖中記入與在規(guī)定個(gè) 數(shù)的玻璃襯底中檢測(cè)出的缺陷對(duì)應(yīng)的圖示42。即圖中的圖示42的坐 標(biāo)等于該圖示表示的缺陷的在玻璃襯底上的坐標(biāo)。
然后，如圖8和圖9所示，將該圖表示的玻璃襯底的表面區(qū)域分 割為與監(jiān)視單位區(qū)域?qū)?yīng)的顯示單位區(qū)域32，在各顯示單位區(qū)域中顯 示表示缺陷數(shù)的數(shù)字。該缺陷數(shù)成為表示各監(jiān)視單位區(qū)域中的缺陷程 度的信息。在圖8中，表示玻璃襯底的表面區(qū)域在縱向19分割，并且 在橫向15分割，把分割后的各區(qū)域作為監(jiān)視單位區(qū)域的情形。此外， 圖9表示把玻璃襯底的表面區(qū)域在縱向3分割，在橫向3分割，把分 割后的各區(qū)域作為監(jiān)視對(duì)象區(qū)域的情形。這時(shí)，在針對(duì)與監(jiān)視單位區(qū) 域?qū)?yīng)的顯示單位區(qū)域32每一個(gè)顯示表示缺陷數(shù)的數(shù)字。須指出的 是，表示缺陷的程度的信息并不局限于缺陷數(shù)，也可以把缺陷的程度 分級(jí)，表示該等級(jí)。
接著如步驟S13所示，判定是否存在監(jiān)視單位區(qū)域中缺陷的程度 比規(guī)定的基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域即缺陷集中區(qū)域。具體而言，用缺 陷數(shù)表示缺陷的程度時(shí)，把缺陷數(shù)比預(yù)先設(shè)定的規(guī)定數(shù)還高的監(jiān)視單 位區(qū)域作為缺陷集中區(qū)域。然后，檢測(cè)出缺陷集中區(qū)域時(shí)進(jìn)入步驟
S14，沒(méi)檢測(cè)到時(shí)進(jìn)入步驟S19。
在步驟S14中，警報(bào)裝置11通過(guò)LAN107對(duì)管理者106發(fā)送警 報(bào)。這時(shí)，與警報(bào)一起將異常的種類(lèi)、圖8或圖9所示的缺陷的合計(jì) 結(jié)果一起對(duì)管理者106輸出。例如通過(guò)電子郵件對(duì)管理者106只通知 警報(bào)，異常的種類(lèi)和合計(jì)結(jié)果等附帶的信息在網(wǎng)站上登栽。例如關(guān)于 合計(jì)結(jié)果，在網(wǎng)站上登載圖8或圖9所示的圖。據(jù)此，管理者106通 過(guò)電子郵件識(shí)別出產(chǎn)生異常后，通過(guò)參照上述的網(wǎng)站，能取得必要的 信息。須指出的是，步驟S14所示的警報(bào)的發(fā)送和合計(jì)結(jié)果等輸出也 可以與后面描述的步驟S18所示的輸出同時(shí)進(jìn)行。
接著如步驟S15所示，根據(jù)從數(shù)據(jù)庫(kù)105 (參照?qǐng)D4)輸入的履 歷信息、即表示某產(chǎn)品由哪個(gè)制造裝置103處理的信息，對(duì)各制造裝 置103計(jì)算裝置共同性。所謂"裝置共同性"表示在檢測(cè)出缺陷集中區(qū) 域的玻璃襯底中由該制造裝置103處理的玻璃襯底的比例。即在設(shè)檢 測(cè)出缺陷集中區(qū)域的玻璃襯底的個(gè)數(shù)為A (個(gè))，檢測(cè)出該缺陷集中 區(qū)域的玻璃襯底(A個(gè))中由該制造裝置103處理的玻璃襯底的個(gè)數(shù) 為B (個(gè))時(shí)，某制造裝置的裝置共同性X (%)由以下數(shù)學(xué)式(1) 定義。
X ( % ) =B/AxlOO (1)
接著，如步驟S16所示，判定各制造裝置103 (參照?qǐng)D4)中是 否存在裝置共同性超過(guò)規(guī)定的基準(zhǔn)值的制造裝置103即原因候補(bǔ)裝 置。據(jù)此，抽出原因候補(bǔ)裝置。然后，抽出了原因候補(bǔ)裝置時(shí)，進(jìn)入 步驟S17，沒(méi)抽出時(shí)，進(jìn)入步驟S19。
在步驟S17中，關(guān)于檢測(cè)出缺陷集中區(qū)域的玻璃襯底中、由步驟 S16中抽出的原因候補(bǔ)裝置中的一臺(tái)裝置所處理的玻璃襯底，再度針 對(duì)每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域合計(jì)缺陷數(shù)。據(jù)此，由該原因候補(bǔ)裝置處理的玻 璃襯底能明確缺陷集中在哪個(gè)部位。對(duì)全部原因候補(bǔ)裝置實(shí)施該再合 計(jì)。
接著進(jìn)入步驟S18，警報(bào)裝置11通過(guò)LAN107對(duì)管理者106輸 出步驟S16中抽出的原因候補(bǔ)裝置的列表、步猓S17中計(jì)算出的再合 計(jì)的結(jié)果。例如通過(guò)在網(wǎng)站上登栽圖8或圖9所示的圖，進(jìn)行再合計(jì) 的結(jié)果的輸出。此外，例如通過(guò)在網(wǎng)站上登載圖IO所示的原因候補(bǔ)裝 置的列表，來(lái)輸出原因候補(bǔ)裝置的列表。在圖10中，顯示檢測(cè)到缺陷 集中區(qū)域的檢查步驟、該缺陷的程度(缺陷等級(jí))、推測(cè)為產(chǎn)生異常 的步驟(原因步驟)和裝置(原因候補(bǔ)裝置)、該原因候補(bǔ)裝置的共 同性。此外，在網(wǎng)站的顯示畫(huà)面中，管理者106通過(guò)點(diǎn)擊圖IO所示的 "合計(jì)圖"的按鈕區(qū)，顯示圖8或圖9所示的圖。進(jìn)行該輸出后，進(jìn)入 步驟S19。
然后，如步驟S19所示，如果關(guān)于作為分析對(duì)象的全部種類(lèi)的異 常，分析結(jié)束，則結(jié)束警報(bào)裝置ll的動(dòng)作，如果有還未進(jìn)行分析的種 類(lèi)的異常，就回到步驟Sll，進(jìn)行監(jiān)視單位區(qū)域的再設(shè)定，繼續(xù)分析。 須指出的是，關(guān)于全部種類(lèi)的異常，分析結(jié)束時(shí)，也回到步驟Sll， 重復(fù)上述的一系列動(dòng)作。這時(shí)，警報(bào)裝置11總是一邊工作， 一邊重復(fù) 分析檢查結(jié)果，在識(shí)別出異常時(shí)，就對(duì)管理者106發(fā)送警報(bào)。
下面說(shuō)明本具體例子的效果。
在本具體例子中，在圖7的步驟S12所示的步驟中，針對(duì)成為缺 陷的原因的異常的每一個(gè)，設(shè)定適合于該異常的監(jiān)視單位區(qū)域，針對(duì) 該監(jiān)視單位區(qū)域每一個(gè)合計(jì)缺陷數(shù)，所以能檢測(cè)各種異常引起的缺陷 集中。例如能可靠地檢測(cè)工程師只通過(guò)漫不經(jīng)心地觀察缺陷的檢查結(jié) 果而注意不到的缺陷集中、用單純計(jì)測(cè)缺陷數(shù)的檢查裝置無(wú)法檢測(cè)的 缺陷集中。
此外，根據(jù)本具體例子，由于在步驟S15所示的步驟中，對(duì)于檢 測(cè)出缺陷集中區(qū)域的玻璃襯底，計(jì)算各制造裝置的裝置共同性，所以 能抽出推定為產(chǎn)生異常的制造裝置(原因候補(bǔ)裝置)。據(jù)此，能支援 管理者確定成為缺陷原因的制造裝置。
進(jìn)一步，在本具體例子中，在步驟S17所示的步驟中，關(guān)于檢測(cè) 出缺陷集中區(qū)域的玻璃襯底中、通過(guò)各原因候補(bǔ)裝置的玻璃襯底，針 對(duì)監(jiān)視單位區(qū)域每一個(gè)再合計(jì)缺陷數(shù)。據(jù)此，由該原因候補(bǔ)裝置能識(shí) 別在玻璃村底的哪個(gè)位置產(chǎn)生缺陷，能支援管理者確定在該原因候補(bǔ)
裝置中產(chǎn)生怎樣的異常。
此外，在本具體例子中，如圖8和圖9所示，通過(guò)將合計(jì)的結(jié)果 映射在設(shè)定與玻璃襯底上的坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的圖上來(lái)顯示。據(jù)此，管 理者能直觀地識(shí)別玻璃襯底上的缺陷的集中狀態(tài)。此外，也能容易識(shí)向。
此外，根據(jù)本具體例子，在步驟S12和S17中，由于相加計(jì)算多 個(gè)玻璃襯底的檢查結(jié)果，合計(jì)缺陷數(shù)，所以能進(jìn)行分散少、穩(wěn)定性高 的分析。
此外，在本具體例子中，在產(chǎn)生異常時(shí)，通過(guò)警報(bào)自身對(duì)管理者 直接發(fā)送電子郵件來(lái)通知，關(guān)于警報(bào)中附帶的信息在網(wǎng)站中登栽。據(jù) 此，管理者能可靠且迅速地識(shí)別異常的產(chǎn)生，并且關(guān)于警報(bào)中附帶的 信息，通過(guò)對(duì)網(wǎng)站的網(wǎng)頁(yè)結(jié)構(gòu)和布局下工夫，能高效取得必要的信息。
這樣根據(jù)本具體例子，能縮短從在工廠中產(chǎn)生異常后，到檢測(cè)該
異常，確定成為原因的制造裝置，并采取對(duì)策的時(shí)間。即能實(shí)現(xiàn)異常 的早期發(fā)現(xiàn)和早期應(yīng)對(duì)，抑制成品率的下降。此外，關(guān)于慢性地產(chǎn)生 的缺陷，能一一確定其原因并分化它。據(jù)此，能提高工廠的成品率的 基線(xiàn)。
須指出的是，在本具體例子中，監(jiān)視單位區(qū)域的尺寸由管理者憑 經(jīng)驗(yàn)決定，并輸入警報(bào)裝置。這是基于以下的理由。 一般在制作過(guò)程 中的產(chǎn)品中即使檢測(cè)到缺陷，該產(chǎn)品在完成后也不一定成為無(wú)效的產(chǎn) 品。因此，只通過(guò)單純地計(jì)測(cè)制造過(guò)程中的產(chǎn)品的缺陷數(shù)，進(jìn)行異常 的判定，無(wú)法有效提高成品率。此外，這樣無(wú)益于成品率的缺陷的存 在成為噪聲，難以檢測(cè)到成為無(wú)效的產(chǎn)品的原因的重大缺陷。可是， 在經(jīng)驗(yàn)上知道在制造過(guò)程中，如果在襯底的某尺寸的區(qū)域中集中產(chǎn)生 缺陷，就會(huì)大量產(chǎn)生無(wú)效的產(chǎn)品。因此，在本具體例子中，積極利用 該經(jīng)驗(yàn)的知識(shí)，能有效提高工廠的成品率。
下面說(shuō)明本具體例子的第一變形例。
圖11是在橫軸取玻璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻
璃村底的縱向位置(x坐標(biāo))，例示本變形例中的缺陷的合計(jì)結(jié)果的 圖。圖ll表示與圖9所示的檢查結(jié)果相同的結(jié)果。
如圖8和圖9所示，在所述的第一具體例子中，對(duì)管理者輸出合 計(jì)結(jié)果時(shí)，用圖示表示各缺陷，用數(shù)字表示每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域的缺陷 數(shù)。與此相對(duì)，在本變形例中，如圖ll所示，在輸出合計(jì)結(jié)果時(shí)，根 據(jù)缺陷數(shù)把各監(jiān)視單位區(qū)域中的缺陷的產(chǎn)生程度分級(jí)，通過(guò)各色的標(biāo) 記表示各等級(jí)。須指出的是，在圖11中，為了方便起見(jiàn)，利用矩形(口)、 在矩形(□)的內(nèi)部記錄交叉線(xiàn)(x)的記號(hào)、或者涂抹矩形(□)的 內(nèi)部的一部分或全部的記號(hào)，表示各色的標(biāo)記。
例如，對(duì)監(jiān)視單位區(qū)域每一個(gè)，把缺陷的程度分類(lèi)為6個(gè)等級(jí)， 對(duì)缺陷的程度等級(jí)最高的監(jiān)視單位區(qū)域、即缺陷數(shù)多的監(jiān)視單位區(qū)域 中配置紅色的標(biāo)記，對(duì)缺陷的程度等級(jí)第二高的監(jiān)視單位區(qū)域中配置 黃色的標(biāo)記，對(duì)缺陷的程度等級(jí)第三高的監(jiān)視單位區(qū)域中配置綠色的 標(biāo)記，對(duì)等級(jí)第四高的監(jiān)視單位區(qū)域中配置淺藍(lán)色的標(biāo)記，對(duì)等級(jí)第 五高的監(jiān)視單位區(qū)域中配置深藍(lán)色的標(biāo)記，在不產(chǎn)生缺陷的監(jiān)視單位 區(qū)域不配置標(biāo)記。據(jù)此，管理者能在視覺(jué)上把握缺陷的集中狀態(tài)。本 變形例的上述以外的結(jié)構(gòu)、動(dòng)作和效果與所述的第 一具體例子相同。
下面說(shuō)明本具體例子的第二變形例。
圖12是在橫軸取玻璃村底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在縱軸取玻 璃村底的縱向位置(X坐標(biāo))，例示本變形例中的缺陷的合計(jì)結(jié)果的 圖。圖12表示與圖9以及圖ll所示的檢查結(jié)果相同的結(jié)果。
如圖12所示，在本變形例中，在所述的第一具體例子中表示缺 陷的合計(jì)結(jié)果時(shí)，不表示全部的監(jiān)視單位區(qū)域的合計(jì)結(jié)果，通過(guò)標(biāo)記 只表示缺陷集中區(qū)域。即在合計(jì)結(jié)果的顯示畫(huà)面中，只對(duì)缺陷集中區(qū) 域配置紅色的標(biāo)記R，對(duì)此外的監(jiān)視單位區(qū)域不配置標(biāo)記。據(jù)此，能 強(qiáng)調(diào)顯示缺陷集中區(qū)域，管理者能更容易把握缺陷的集中狀態(tài)。本變 形例中的上述以外的結(jié)構(gòu)、動(dòng)作和效果與所述第一具體例子的第一變 形例相同。
下面說(shuō)明本具體例子的第三變形例。
在本變形例中，在所述的第一具體例子的第一變形例中表示缺陷 的合計(jì)結(jié)果時(shí)，把連續(xù)配置的多個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域的合計(jì)結(jié)果作為一個(gè) 結(jié)果匯總表示。即將顯示合計(jì)結(jié)果時(shí)的顯示單位區(qū)域設(shè)為比監(jiān)視單位 區(qū)域大的區(qū)域。據(jù)此，管理者容易觀察合計(jì)結(jié)果，能容易把握缺陷的 集中狀態(tài)的整體的傾向。本變形例在把監(jiān)視單位區(qū)域設(shè)定小時(shí)特別有 效。本變形例的上述以外的結(jié)構(gòu)、動(dòng)作和效果與所述第一具體例子的 第一變形例相同。
下面說(shuō)明本具體例子的第四變形例。
圖13是在X軸取玻璃襯底的縱向位置(X坐標(biāo))，在Y軸取玻 璃襯底的橫向位置(Y坐標(biāo))，在Z軸取缺陷數(shù)，例示本變形例中的 缺陷的合計(jì)結(jié)果的三維分布圖。須指出的是，圖13表示與圖9所示的 檢查結(jié)果相同的結(jié)果。
如圖13所示，在本變形例中，在所述的第一具體例子中表示缺 陷的合計(jì)結(jié)果時(shí)，利用三維分布圖，立體地表示缺陷的集中狀態(tài)的分 布。椐此，能強(qiáng)調(diào)顯示缺陷集中區(qū)域，管理者能容易且定量地把握缺 陷的集中狀態(tài)的整體傾向。本變形例的上述以外的結(jié)構(gòu)、動(dòng)作和效果 與所述第 一具體例子的第一變形例相同。
須指出的是，在表示缺陷的合計(jì)結(jié)果時(shí)，強(qiáng)調(diào)顯示缺陷集中區(qū)域 的方法并不限定于所述的第二 第四變形例。例如，在第一變形例中， 使標(biāo)記的亮度不同，明亮地顯示表示缺陷集中區(qū)域的標(biāo)記，在缺陷集 中區(qū)域的附近顯示"旁注"。
下面說(shuō)明第二具體例子。
本具體例子的警報(bào)裝置的結(jié)構(gòu)與所述的第一具體例子同樣，但是 在本具體例子中，在制造半導(dǎo)體芯片的工廠的監(jiān)視中使用該警報(bào)裝置。 圖14是模式地例示半導(dǎo)體芯片的制造方法的圖。 如圖14所示，半導(dǎo)體芯片的制造步驟首先例如在由單晶硅構(gòu)成 的晶片301上，形成多個(gè)作為前驅(qū)結(jié)構(gòu)的電子電路302。接著，把晶 片301切割，針對(duì)電子電路302每一個(gè)分割。據(jù)此，制作半導(dǎo)體芯片 303。上述的說(shuō)明是概略性的，實(shí)際上，為了制造半導(dǎo)體芯片，需要數(shù)
百步驟。而且，在制造半導(dǎo)體芯片的工廠中，由多臺(tái)制造裝置并行處 理各步驟。因此，工廠的半導(dǎo)體芯片的通過(guò)路線(xiàn)按各批次而不同。
這時(shí)，如果在一個(gè)步驟的一個(gè)制造裝置中產(chǎn)生異常，則通過(guò)該制 造裝置的半導(dǎo)體片中產(chǎn)生缺陷的可能性提高。例如，如果在擔(dān)負(fù)電子
電路302的制造步驟的一部分的制造裝置中產(chǎn)生異常，則由該制造裝 置形成的電子電路302中產(chǎn)生缺陷304，包含該缺陷304的半導(dǎo)體芯 片303變?yōu)闊o(wú)效的芯片305。
在本具體例子中，通過(guò)與所述的第一具體例子相同的方法，警報(bào) 裝置根據(jù)關(guān)于晶片301的檢查結(jié)果，監(jiān)視缺陷304的產(chǎn)生傾向，來(lái)檢 測(cè)工廠的異常的產(chǎn)生，在異常產(chǎn)生時(shí)，對(duì)工廠的管理者發(fā)出警報(bào)。
須指出的是，所述的第一具體例子的第一 第四中的任意變形例 的警報(bào)裝置也能象本第二具體例子那樣在監(jiān)視半導(dǎo)體芯片的制造工廠 的用途中使用。即在本第二具體例子中，可以象第一具體例子的各變 形例那樣在輸出缺陷的合計(jì)結(jié)果時(shí)，強(qiáng)調(diào)顯示缺陷集中區(qū)域。
此外，在所述的各具體例子中，表示在分析的過(guò)程中依次進(jìn)行警 報(bào)的發(fā)送和結(jié)果的輸出的例子，但是也可以對(duì)于作為分析對(duì)象的全部 種類(lèi)異常，分析結(jié)束后，匯總進(jìn)行警報(bào)的發(fā)送和結(jié)果的輸出。
進(jìn)一步，在所述的各具體例子中，表示通過(guò)電子郵件發(fā)送警報(bào)， 在網(wǎng)站上登載警報(bào)中附帶的信息的例子，但是本發(fā)明并不局限于此， 例如，可以通過(guò)電子郵件對(duì)管理者通知警報(bào)和其中附帶的信息雙方。 或者在警報(bào)裝置上連接顯示裝置、打印機(jī)、或者揚(yáng)聲器，通過(guò)它們進(jìn) 行警報(bào)內(nèi)容的顯示、打印、或基于聲音的輸出，從而不通過(guò)電子網(wǎng)絡(luò)， 也可在設(shè)置警報(bào)裝置的地方發(fā)送警報(bào)。
此外，來(lái)自工廠的制造裝置以及檢查裝置的信息也可以不通過(guò)數(shù) 據(jù)庫(kù)，直接對(duì)警報(bào)裝置輸入，或者作業(yè)者把記錄這些信息的媒體輸送 到警報(bào)裝置，警報(bào)裝置從該媒體讀取信息。
此外，在所述的各具體例子中，表示警報(bào)裝置檢測(cè)到缺陷集中區(qū) 域后，關(guān)于制造裝置計(jì)算裝置共同性，抽出原因候補(bǔ)裝置的例子，但 是本發(fā)明并不局限于此，也可以在檢測(cè)到缺陷集中區(qū)域后，把室共同
性、薄板位置共同性、芯片位置共同性、品種共同性、材料共同性和 制法共同性中的任意一個(gè)以上的共同性與裝置共同性一起計(jì)算，或者
替代裝置共同性來(lái)計(jì)算。據(jù)此，缺陷的原因?yàn)槭?、薄板位置、芯片?置、品種、材料或制法時(shí)，能推測(cè)該原因。
權(quán)利要求
1.一種警報(bào)裝置，用對(duì)通過(guò)處理襯底來(lái)制造產(chǎn)品的工廠中的異常產(chǎn)生進(jìn)行檢測(cè)，該警報(bào)裝置的特征在于根據(jù)所述產(chǎn)品的制造過(guò)程中的所述襯底表面的檢查結(jié)果，對(duì)按所述異常的每個(gè)種類(lèi)設(shè)定的規(guī)定尺寸的每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域的缺陷產(chǎn)生程度進(jìn)行合計(jì)；把各所述監(jiān)視單位區(qū)域中所述缺陷的產(chǎn)生程度與基準(zhǔn)進(jìn)行比較；在檢測(cè)出所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域時(shí)，發(fā)送警報(bào)并輸出所述合計(jì)結(jié)果。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的警報(bào)裝置，其特征在于 判定是否存在處理了檢測(cè)出所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域的襯底中、規(guī)定比例以上的所述襯底的制造條件；在所述處理了規(guī)定比例以上的所述襯底的制造條件存在時(shí)，把表 示處理規(guī)定比例以上的襯底的所述制造條件的信息與所述警報(bào)和所述 合計(jì)結(jié)果一起進(jìn)行輸出。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的警報(bào)裝置，其特征在于在處理了規(guī)定比例以上的襯底的所述制造條件存在時(shí)，只對(duì)由處 理了檢測(cè)出所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域的襯 底中、規(guī)定比例以上的襯底的所述制造條件所處理的襯底，針對(duì)所述 每個(gè)監(jiān)視單位區(qū)域合計(jì)缺陷的產(chǎn)生程度；輸出該合計(jì)結(jié)果。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的警報(bào)裝置，其特征在于通過(guò)生成設(shè)定了與所述村底上的坐標(biāo)相對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)的圖，在所述 圖的相當(dāng)于所述襯底上的所述缺陷的產(chǎn)生位置的位置上顯示表示所述 缺陷的信息，來(lái)進(jìn)行所述合計(jì)結(jié)果的輸出。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的警報(bào)裝置，其特征在于 在所述圖的顯示中，強(qiáng)調(diào)顯示所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還 高的監(jiān)視單位區(qū)域。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的警報(bào)裝置，其特征在于 在所述圖的顯示中，對(duì)所述缺陷的產(chǎn)生程度比所述基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域配置標(biāo)記，在此外的所述監(jiān)視單位區(qū)域不配置標(biāo)記。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的警報(bào)裝置，其特征在于 在所述圖的顯示中，按與所述監(jiān)視單位區(qū)域不同尺寸的每個(gè)區(qū)域表示所述襯底的檢查結(jié)果。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任意一項(xiàng)所述的警報(bào)裝置，其特征在于對(duì)多個(gè)所述襯底的檢查結(jié)果進(jìn)行加法計(jì)算，進(jìn)行所述缺陷的產(chǎn)生 程度的合計(jì)。
全文摘要
提供一種根據(jù)產(chǎn)品的檢查結(jié)果可自動(dòng)地檢測(cè)工廠異常的警報(bào)裝置。警報(bào)裝置(1)是檢測(cè)工廠(102)中異常產(chǎn)生的裝置。在工廠(102)中設(shè)置通過(guò)處理襯底來(lái)制造產(chǎn)品的制造裝置(103)、檢查裝置(104)。警報(bào)裝置(1)根據(jù)產(chǎn)品的制造過(guò)程中的襯底表面的檢查結(jié)果，對(duì)按照各異常的種類(lèi)設(shè)定的規(guī)定尺寸的各監(jiān)視單位區(qū)域合計(jì)缺陷的產(chǎn)生程度，把各監(jiān)視單位區(qū)域的缺陷的產(chǎn)生程度與基準(zhǔn)比較，在檢測(cè)到缺陷的產(chǎn)生程度比基準(zhǔn)還高的監(jiān)視單位區(qū)域時(shí)，發(fā)送警報(bào)，輸出合計(jì)結(jié)果。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101097842SQ20071011226
公開(kāi)日2008年1月2日 申請(qǐng)日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月30日
發(fā)明者浪岡保男 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝