專(zhuān)利名稱(chēng)：使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于用于半導(dǎo)體制造環(huán)境的生產(chǎn)控制，特別是有關(guān)于使用射頻識(shí)別感應(yīng)操作來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)控制的系統(tǒng)與方法。
背景技術(shù)：
在晶圓廠里，每一晶圓批次上都有標(biāo)示晶圓批次編號(hào)，而各個(gè)加工機(jī)臺(tái)就依據(jù)晶圓批次編號(hào)，選擇對(duì)應(yīng)的制程加工程序(recipe)，來(lái)進(jìn)行晶圓的加工。晶圓批次編號(hào)的確認(rèn)，在自動(dòng)化的晶圓加工機(jī)臺(tái)更是至關(guān)重要，晶圓批次編號(hào)辨識(shí)或輸入的錯(cuò)誤，將使得機(jī)臺(tái)使用不適當(dāng)?shù)闹瞥碳庸こ绦騺?lái)進(jìn)行晶圓加工，而經(jīng)過(guò)錯(cuò)誤制程加工程序處理過(guò)的晶圓產(chǎn)品，輕則需要重新處理，重則無(wú)法挽回而必須加以銷(xiāo)毀。不論是再處理或是銷(xiāo)毀，都造成了機(jī)臺(tái)產(chǎn)能以及成本的耗費(fèi)。
在傳統(tǒng)的晶圓廠中，載具上通常貼附一智能標(biāo)簽(smart tag)，該智能標(biāo)簽中儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)包含載具數(shù)據(jù)(例如載具識(shí)別信息及載具清潔時(shí)間等)、載具中承裝的晶圓數(shù)據(jù)(例如晶圓批次號(hào)碼)、以及該承裝晶圓的處理數(shù)據(jù)(例如制程加工程序數(shù)據(jù))。在每一個(gè)晶圓載具上，貼有載有晶圓批次編號(hào)的智能標(biāo)簽，當(dāng)晶圓載具運(yùn)送到機(jī)臺(tái)載卸部時(shí)，上述儲(chǔ)存于智能標(biāo)簽中的數(shù)據(jù)，需通過(guò)裝設(shè)于處理機(jī)臺(tái)的運(yùn)輸端口上的標(biāo)簽讀取機(jī)來(lái)讀取。并將讀取的數(shù)據(jù)，傳送至一控制裝置，使得該機(jī)臺(tái)能夠依據(jù)該控制裝置發(fā)出的指令，處理該晶圓載具中的晶圓片。通常，載具上除了貼附有智能標(biāo)簽之外，還必須裝設(shè)一顯示屏幕，使得能夠人工讀取該智能標(biāo)簽中儲(chǔ)存的內(nèi)容。
近來(lái)出現(xiàn)以射頻辨識(shí)系統(tǒng)來(lái)辨識(shí)物件的方法，但是如果直接將此方法應(yīng)用到晶圓廠中的話，可能會(huì)發(fā)生下述問(wèn)題。通常射頻識(shí)別感應(yīng)器是裝設(shè)在機(jī)臺(tái)載卸部處，當(dāng)一射頻識(shí)別標(biāo)簽出現(xiàn)在該射頻識(shí)別感應(yīng)器的感應(yīng)范圍內(nèi)時(shí)，其自動(dòng)擷取該射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)(例如晶圓批次識(shí)別碼)。此時(shí)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)一自動(dòng)運(yùn)輸裝置，將對(duì)應(yīng)的晶圓送至該機(jī)臺(tái)載卸部。當(dāng)晶圓盒經(jīng)過(guò)射頻識(shí)別感應(yīng)器時(shí)，該射頻識(shí)別感應(yīng)器常常就自動(dòng)讀取其射頻識(shí)別標(biāo)簽中的信息，并自動(dòng)啟動(dòng)該自動(dòng)運(yùn)輸裝置，而不論該晶圓盒中所裝載的晶圓是否為預(yù)定送至該機(jī)臺(tái)進(jìn)行處理的。此種運(yùn)作方式，常會(huì)造成錯(cuò)誤，并可能因?yàn)樽詣?dòng)啟動(dòng)如機(jī)械手臂等運(yùn)輸裝置而導(dǎo)致工作人員的危險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的就是提供一種使用射頻識(shí)別(radio frequency identification，RFID)的制造控制系統(tǒng)，其可以以接觸控制的方式，使用射頻識(shí)別感應(yīng)操作來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)控制。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供了一種使用射頻識(shí)別(radiofrequency identification，RFID)的制造控制系統(tǒng)，其包括一觸發(fā)器、射頻識(shí)別感應(yīng)器、控制器、及指示器。其中該觸發(fā)器，當(dāng)其通過(guò)使用者接觸而被啟動(dòng)時(shí)，發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)，其中該觸發(fā)器包含一按鈕及/或一觸控面板。該射頻識(shí)別感應(yīng)器，當(dāng)其被啟動(dòng)時(shí)，讀取一射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息，例如產(chǎn)品識(shí)別數(shù)據(jù)。該控制器，其是用以啟動(dòng)該射頻識(shí)別感應(yīng)器，并依據(jù)該觸發(fā)信號(hào)發(fā)出一控制信號(hào)。該指示器，其接收該控制信號(hào)，并據(jù)以動(dòng)作，其并提供該射頻識(shí)別感應(yīng)器的操作狀態(tài)及/或該控制信號(hào)內(nèi)容的指示信號(hào)，其中該指示器包含一指示燈及/或液晶顯示屏面。
本發(fā)明提供的制造控制系統(tǒng)是可以進(jìn)一步包含一機(jī)臺(tái)，其是用以處理附有該射頻識(shí)別標(biāo)簽的一物品，其中該機(jī)臺(tái)具有一物品載卸部。而該機(jī)臺(tái)所處理的物品是為半導(dǎo)體產(chǎn)品。該機(jī)臺(tái)及/或該載卸部的操作狀態(tài)及/或該物品的最新信息可以由上述指示信號(hào)表示之。
本發(fā)明提供的制造控制系統(tǒng)是可以進(jìn)一步一主機(jī)，其是與該控制器連接，用以依據(jù)該控制器提供的信息控制該機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，該射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息包含產(chǎn)品識(shí)別數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，該觸發(fā)器包含一按鈕。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，該觸發(fā)器包含一觸控面板。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，該指示器包含一指示燈。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，該指示器包含一液晶顯示屏面。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明亦提供了一種用于射頻識(shí)別的方法。該方法首先提供一物品，其是附有一射頻識(shí)別標(biāo)簽，該物品為半導(dǎo)體產(chǎn)品。繼之，通過(guò)使用者接觸而啟動(dòng)一類(lèi)似如按鈕或觸控面板的觸發(fā)器，并由該觸發(fā)器發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)。依據(jù)該觸發(fā)信號(hào)，讀取一射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息，例如產(chǎn)品識(shí)別數(shù)據(jù)。提供一指示信號(hào)，其是用以顯示一射頻識(shí)別感應(yīng)器的操作狀態(tài)及/或該射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息。該指示信號(hào)是可以由一指示燈及/或液晶顯示屏面所提供。
本發(fā)明提供的用于射頻識(shí)別的方法并進(jìn)一步將該射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息傳送至一主機(jī)，其是用以依據(jù)該控制器提供的信息控制該機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。
本發(fā)明所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，可以以接觸控制的方式，使用射頻識(shí)別感應(yīng)操作來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)控制，可避免制程中出現(xiàn)的控制錯(cuò)誤。


圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制造系統(tǒng)的示意圖。
圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于射頻識(shí)別的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖示圖1及圖2，做詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明說(shuō)明書(shū)提供不同的實(shí)施例來(lái)說(shuō)明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各元件的配置是為說(shuō)明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中圖式標(biāo)號(hào)的部分重復(fù)，是為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，并非意指不同實(shí)施例之間的關(guān)聯(lián)性。
請(qǐng)參照?qǐng)D1，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制造系統(tǒng)的示意圖。茲以半導(dǎo)體制造系統(tǒng)100為例，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施。上述半導(dǎo)體制造系統(tǒng)100是用以執(zhí)行晶圓制程，以處理至少一晶圓。
半導(dǎo)體制造系統(tǒng)100包含一處理機(jī)臺(tái)10、一射頻識(shí)別讀取機(jī)13、一主機(jī)15、及一運(yùn)輸裝置12。
處理機(jī)臺(tái)10是用以執(zhí)行晶圓制程步驟，以處理至少一晶圓。處理機(jī)臺(tái)10設(shè)有載卸部101，且該載卸部101裝有射頻識(shí)別標(biāo)簽(RFID)讀取機(jī)13。載卸部101用以將待處理的晶圓批次載入處理機(jī)臺(tái)10，并將處理過(guò)的晶圓批次運(yùn)出處理機(jī)臺(tái)10。處理機(jī)臺(tái)10是與機(jī)械手臂(圖未顯示)及運(yùn)輸裝置12搭配運(yùn)作，使得經(jīng)由晶圓運(yùn)輸裝置12運(yùn)送到處理機(jī)臺(tái)10的晶圓批次，可以通過(guò)機(jī)械手臂將晶圓批次載入處理機(jī)臺(tái)10進(jìn)行處理。
射頻識(shí)別讀取機(jī)13包含一觸發(fā)器131、射頻識(shí)別感應(yīng)器133、指示器135、及控制器137。觸發(fā)器131包含一按鈕、觸控面板、或其他可以通過(guò)使用者接觸而啟動(dòng)的觸發(fā)裝置。當(dāng)觸發(fā)器131通過(guò)使用者接觸而被啟動(dòng)時(shí)，其開(kāi)始一特定操作，并發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)。例如，觸發(fā)器131包含按鈕131a，其發(fā)出的觸發(fā)信號(hào)是使得物品通過(guò)載卸部101載入。觸發(fā)器131包含按鈕131b，其發(fā)出的觸發(fā)信號(hào)是使得物品通過(guò)載卸部101運(yùn)出。觸發(fā)器131包含按鈕131c，其發(fā)出的觸發(fā)信號(hào)是使得射頻識(shí)別感應(yīng)器133讀取一射頻識(shí)別標(biāo)簽中的信息。
指示器135提供載卸部101及/或透過(guò)控制器137取得的其他關(guān)連系統(tǒng)的相關(guān)信息。指示器135包含指示燈135a、顯示屏面135b、以及其他能夠顯示從控制器137傳來(lái)的信息的指示裝置。例如，指示燈135a是發(fā)出具有不同閃爍型態(tài)的燈號(hào)及/或不同顏色的燈光信號(hào)，以依據(jù)該觸發(fā)信號(hào)，提供用以提示載卸部101的操作狀態(tài)及/或射頻識(shí)別感應(yīng)器133的操作狀態(tài)的指示信號(hào)。顯示屏面135b則顯示文字信息或圖表信息，以顯示從控制器137送來(lái)的各種信息。
控制器137是依據(jù)觸發(fā)器131傳來(lái)的該觸發(fā)信號(hào)，啟動(dòng)射頻識(shí)別感應(yīng)器133，并控制指示器135的操作。
當(dāng)欲將晶圓批次165送至處理機(jī)臺(tái)10進(jìn)行處理時(shí)，一操作人員將裝有晶圓批次165的晶圓盒16放置于載卸部101。其中，上述晶圓盒16可以為一開(kāi)放式晶圓盒。該操作人員按壓按鈕131a，使其發(fā)出觸發(fā)信號(hào)，以使得射頻識(shí)別感應(yīng)器133讀取晶圓盒16上一射頻識(shí)別標(biāo)簽161中的信息。射頻識(shí)別標(biāo)簽161中儲(chǔ)存的信息包括晶圓批次識(shí)別碼、產(chǎn)品識(shí)別碼、以及其他相關(guān)信息。從射頻識(shí)別標(biāo)簽161中讀取的信息被傳送到控制器137，以及主機(jī)15。主機(jī)15接收該信息，并針對(duì)晶圓批次165執(zhí)行一必須的確認(rèn)登入程序(check-in)，然后傳送一操作指令到處理機(jī)臺(tái)10，以控制處理機(jī)臺(tái)10的運(yùn)作。主機(jī)15亦可以發(fā)出一運(yùn)作信號(hào)到控制器137。控制器137接收該運(yùn)作信號(hào)，并啟動(dòng)指示器135，以顯示處理機(jī)臺(tái)10的操作狀態(tài)。當(dāng)處理機(jī)臺(tái)10完成晶圓批次165的處理程序時(shí)，即產(chǎn)生另一操作信號(hào)，并將該操作信號(hào)傳送到主機(jī)15以及控制器137。繼之，指示器135被啟動(dòng)，以顯示處理機(jī)臺(tái)10的操作狀態(tài)。因此，操作人員可以從指示器135的顯示中，得知處理機(jī)臺(tái)10的操作狀態(tài)。另外，操作人員可以在晶圓處理前、處理中、以及處理后，按壓按鈕131c，使其發(fā)出觸發(fā)信號(hào)，以使得射頻識(shí)別感應(yīng)器133讀取晶圓盒16上一射頻識(shí)別標(biāo)簽161中的信息。例如，在晶圓處理前，當(dāng)操作人員按壓按鈕131c時(shí)，控制器137觸發(fā)射頻識(shí)別感應(yīng)器133，使其讀取晶圓盒16上一射頻識(shí)別標(biāo)簽161中的信息，并將該讀取的信息傳送到主機(jī)15。主機(jī)15執(zhí)行預(yù)先設(shè)定的詢(xún)問(wèn)功能，并提供回復(fù)信息給控制器137，繼之使指示器135顯示其結(jié)果數(shù)據(jù)。因此，在執(zhí)行處理程序前，操作人員可以在載卸部101旁，依據(jù)指示器135顯示的該結(jié)果數(shù)據(jù)，確認(rèn)該晶圓批次的狀態(tài)。
圖2顯示本發(fā)明提供的用于射頻識(shí)別的方法。圖2所示的方法，是可以于圖1中的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)100中實(shí)施。
依據(jù)本發(fā)明方法，首先于步驟S20中提供一物品，其是附有一射頻識(shí)別標(biāo)簽，該物品為半導(dǎo)體產(chǎn)品。例如，裝在晶圓盒16中的晶圓批次165，其中晶圓盒16上附有射頻識(shí)別標(biāo)簽161。當(dāng)欲將晶圓批次165送至處理機(jī)臺(tái)10進(jìn)行處理時(shí)，一操作人員將裝有晶圓批次165的晶圓盒16放置于載卸部101。
繼之，通過(guò)使用者接觸而啟動(dòng)一類(lèi)似如按鈕或觸控面板的觸發(fā)器，如步驟S21所示。并由該觸發(fā)器發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)，并將該觸發(fā)信號(hào)傳送至控制器137，如步驟S22所示。
控制器137接收該觸發(fā)信號(hào)，并據(jù)以啟動(dòng)射頻識(shí)別感應(yīng)器133，使其讀取晶圓盒16上一射頻識(shí)別標(biāo)簽161中的信息。射頻識(shí)別標(biāo)簽161中儲(chǔ)存的信息包括晶圓批次識(shí)別碼、產(chǎn)品識(shí)別碼、以及其他與晶圓批次165相關(guān)的信息。
從射頻識(shí)別標(biāo)簽161中讀取的信息被傳送到控制器137，如步驟S23所示，以及傳送至主機(jī)15，如步驟S24所示。也就是說(shuō)，射頻識(shí)別讀取機(jī)13將所識(shí)別的信息通過(guò)射頻識(shí)別感應(yīng)器133傳送給控制器137，并將該信息自射頻識(shí)別讀取機(jī)13直接傳送給主機(jī)15。
主機(jī)15接收該信息，并針對(duì)晶圓批次165執(zhí)行一必須的確認(rèn)登入程序(check-in)、確認(rèn)登出程序(check-out)、或數(shù)據(jù)詢(xún)問(wèn)程序，如步驟S25所示，然后傳送一操作指令到處理機(jī)臺(tái)10，以控制處理機(jī)臺(tái)10的運(yùn)作，如步驟S26所示，或?qū)⒃摂?shù)據(jù)詢(xún)問(wèn)程序得到的結(jié)果數(shù)據(jù)傳回控制器137，并使得指示器135顯示該結(jié)果數(shù)據(jù)的內(nèi)容。當(dāng)?shù)侨氤绦蛞呀?jīng)被確認(rèn)時(shí)，處理機(jī)臺(tái)10接收該操作指令，并依據(jù)該操作指令執(zhí)行其操作程序，如步驟S27所示。并且，主機(jī)15發(fā)出一操作信號(hào)到控制器137，如步驟S28所示?？刂破?37接收該操作信號(hào)，并啟動(dòng)指示器135，以使得指示器135顯示處理機(jī)臺(tái)10的操作狀態(tài)，如步驟S29所示。當(dāng)處理機(jī)臺(tái)10完成晶圓批次165的處理程序時(shí)，即產(chǎn)生另一操作信號(hào)，并將該操作信號(hào)傳送到主機(jī)15以及控制器137。繼之，指示器135被啟動(dòng)，以顯示處理機(jī)臺(tái)10的操作狀態(tài)，如步驟S30所示。操作人員按壓按鈕131b，以執(zhí)行一確認(rèn)登出程序。
雖然本發(fā)明已通過(guò)較佳實(shí)施例說(shuō)明如上，但該較佳實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對(duì)該較佳實(shí)施例做出各種更改和補(bǔ)充，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書(shū)的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號(hào)的簡(jiǎn)單說(shuō)明如下半導(dǎo)體制造系統(tǒng)100處理機(jī)臺(tái)10射頻識(shí)別讀取機(jī)13
主機(jī)15運(yùn)輸裝置12載卸部101射頻識(shí)別標(biāo)簽(RFID)讀取機(jī)13運(yùn)輸裝置12觸發(fā)器131射頻識(shí)別感應(yīng)器133指示器135控制器137按鈕131a、131b、131c指示燈135a顯示屏面135b晶圓批次165晶圓盒16射頻識(shí)別標(biāo)簽16權(quán)利要求
1.一種使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，所述使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)包括一觸發(fā)器，當(dāng)其通過(guò)使用者接觸而被啟動(dòng)時(shí)，發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)；一射頻識(shí)別感應(yīng)器，當(dāng)其被啟動(dòng)時(shí)，讀取一射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息；一控制器，其是用以啟動(dòng)該射頻識(shí)別感應(yīng)器，并依據(jù)該觸發(fā)信號(hào)發(fā)出一控制信號(hào)；以及一指示器，其接收該控制信號(hào)，并據(jù)以動(dòng)作，其并提供該射頻識(shí)別感應(yīng)器的操作狀態(tài)及/或該控制信號(hào)內(nèi)容的指示信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包含一機(jī)臺(tái)，其是用以處理附有該射頻識(shí)別標(biāo)簽的一物品，其中該機(jī)臺(tái)具有一物品載卸部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該物品為半導(dǎo)體產(chǎn)品。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包含一主機(jī)，其是與該控制器連接，用以依據(jù)該控制器提供的信息控制該機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該指示器提供該機(jī)臺(tái)及/或該載卸部的操作狀態(tài)及/或該物品的最新信息的指示信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息包含產(chǎn)品識(shí)別數(shù)據(jù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該觸發(fā)器包含一按鈕。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該觸發(fā)器包含一觸控面板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該指示器包含一指示燈。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其特征在于，該指示器包含一液晶顯示屏面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使用射頻識(shí)別的制造控制系統(tǒng)，其包括一觸發(fā)器、射頻識(shí)別感應(yīng)器、控制器及指示器。其中該觸發(fā)器，當(dāng)其通過(guò)使用者接觸而被啟動(dòng)時(shí)，發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)。該射頻識(shí)別感應(yīng)器，當(dāng)其被啟動(dòng)時(shí)，讀取一射頻識(shí)別標(biāo)簽中儲(chǔ)存的信息。該控制器，其是用以啟動(dòng)該射頻識(shí)別感應(yīng)器，并依據(jù)該觸發(fā)信號(hào)發(fā)出一控制信號(hào)。該指示器，其接收該控制信號(hào)，并據(jù)以動(dòng)作，其并提供該射頻識(shí)別感應(yīng)器的操作狀態(tài)及/或該控制信號(hào)內(nèi)容的指示信號(hào)。本發(fā)明可以以接觸控制的方式，使用射頻識(shí)別感應(yīng)操作來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)控制，可避免制程中出現(xiàn)的控制錯(cuò)誤。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1801172SQ200510125700
公開(kāi)日2006年7月12日 申請(qǐng)日期2005年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月7日
發(fā)明者吳宏益, 游瑛準(zhǔn), 廖鴻文 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司