專利名稱：多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
顯影機(jī)是對曝光后的硅片進(jìn)行顯影以做出微米級圖形的設(shè)備?，F(xiàn)存DR-8設(shè)備，在同一顯影單元中，有顯影液2和顯影液1各一種。根據(jù)所處理硅片工藝不同，設(shè)備所用程序也不同，設(shè)備將自動選擇相應(yīng)的顯影液噴頭對硅片進(jìn)行噴涂處理。
其中，處理顯影液1工藝的硅片時(shí)，設(shè)備將自動選擇顯影液1噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂二次顯影液1。
處理顯影液2工藝的硅片時(shí)，設(shè)備將自動選擇顯影液2噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂一次顯影液2。
在實(shí)際使用中，由于設(shè)備控制軟件存在的某些缺陷，使得在某些不確定的場合，設(shè)備會選錯噴頭類型，錯誤地對硅片進(jìn)行加工。具體表現(xiàn)在處理顯影液1工藝的硅片時(shí)，設(shè)備自動選擇顯影液2噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂二次顯影液2。
在處理顯影液2工藝的硅片時(shí)，設(shè)備自動選擇顯影液1噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂一次顯影液1。
由于設(shè)備沒有任何報(bào)警，對硅片使用了錯誤的顯影液，使得被處理的硅片報(bào)廢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種既能對顯影液噴吐的控制信號進(jìn)行采集、處理，又可在顯影機(jī)錯誤使用噴嘴時(shí)發(fā)出聲音報(bào)警的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括信號采集單元，與顯影單元中的二個(gè)電磁閥DEV和NOZZLE、信號計(jì)數(shù)單元相連接，用于采集所述電磁閥DEV和NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號，并將該信號輸入至信號計(jì)數(shù)單元，所述信號計(jì)數(shù)單元用于對電磁閥DEV的驅(qū)動電信號次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元，與T1時(shí)間選擇單元、信號計(jì)數(shù)單元相連接，用于接收T1時(shí)間選擇單元和信號計(jì)數(shù)單元輸出的信號，并將信號進(jìn)行計(jì)時(shí)處理，所述的T1時(shí)間選擇單元用于T1時(shí)間的設(shè)定；報(bào)警控制及清零單元，與信號計(jì)數(shù)單元、時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元、報(bào)警數(shù)選擇單元和報(bào)警部件相連接，用于接收報(bào)警數(shù)選擇單元、信號計(jì)數(shù)單元和時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元的信號，再經(jīng)邏輯判斷將信號傳輸給報(bào)警部件或自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是2或3，說明設(shè)備選用噴嘴類型正確，報(bào)警控制及清零單元自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是1，說明設(shè)備選用噴嘴類型錯誤，報(bào)警控制及清零單元使報(bào)警部件報(bào)警，所述的報(bào)警數(shù)選擇單元用于對報(bào)警次數(shù)進(jìn)行選擇設(shè)定，所述的報(bào)警部件用于執(zhí)行報(bào)警。
由于采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)可在實(shí)際生產(chǎn)過程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)多路顯影液設(shè)備錯選噴頭類型、錯誤地對硅片進(jìn)行加工的情況，并能及時(shí)報(bào)警。


圖1是本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號的正常時(shí)序圖；圖2是本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號的異常時(shí)序圖；圖3是本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)電路原理框圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
以顯影液1為例，在處理顯影液1工藝的硅片時(shí)，DR-8顯影機(jī)設(shè)備將自動選擇顯影液1噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂二次顯影液1，這種顯影液顯影控制信號的正常波形時(shí)序圖如圖1所示，但是，在實(shí)際使用中，由于設(shè)備控制軟件存在某些缺陷，使得在某些不確定的場合，設(shè)備會選錯噴頭類型，錯誤地對硅片進(jìn)行加工，在處理顯影液2工藝的硅片時(shí)，設(shè)備自動選擇顯影液1噴頭，在處理一枚硅片的周期內(nèi)，噴涂一次顯影液1，這種情況的異常波形時(shí)序圖如圖2所示。由于設(shè)備沒有任何報(bào)警監(jiān)視系統(tǒng)，許多硅片錯噴顯影液后就報(bào)廢了。
在圖3中，本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)包括信號采集單元10，與顯影單元中的二個(gè)電磁閥DEV和NOZZLE、信號計(jì)數(shù)單元11相連接，用于采集所述電磁閥DEV和NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號，并將該信號輸入至信號計(jì)數(shù)單元11，所述信號計(jì)數(shù)單元11用于對DEV的驅(qū)動電信號次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元12，與T1時(shí)間選擇單元13、信號計(jì)數(shù)單元11相連接，用于接收T1時(shí)間選擇單元13和信號計(jì)數(shù)單元11輸出的信號，并將信號進(jìn)行計(jì)時(shí)處理，所述的T1時(shí)間選擇單元13用于T1時(shí)間的設(shè)定；報(bào)警控制及清零單元14，與信號計(jì)數(shù)單元11、時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元12、報(bào)警數(shù)選擇單元15和報(bào)警部件16相連接，用于接收報(bào)警數(shù)選擇單元15、信號計(jì)數(shù)單元11和時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元12的信號，再經(jīng)邏輯判斷將信號傳輸給報(bào)警部件16或自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元15選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元11在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是2或3，說明設(shè)備選用噴嘴類型正確，報(bào)警控制及清零單元14自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元15選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元11在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是1，說明設(shè)備選用噴嘴類型錯誤，報(bào)警控制及清零單元14使報(bào)警部件16報(bào)警，所述的報(bào)警數(shù)選擇單元15用于對報(bào)警次數(shù)進(jìn)行選擇設(shè)定，所述的報(bào)警部件16用于執(zhí)行報(bào)警。
所述電磁閥DEV輸出的驅(qū)動電信號是噴嘴顯影液吐出的直流24V驅(qū)動電信號，所述電磁閥NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號是噴嘴上升動作的直流24V驅(qū)動電信號。
以監(jiān)視顯影液1為例，采集顯影單元中二個(gè)電磁閥DEV1和NOZZLE1的驅(qū)動電信號，它們作為監(jiān)視系統(tǒng)的輸入端。當(dāng)信號采集單元10收集到NOZZLE1的信號后，整個(gè)監(jiān)視系統(tǒng)就開始運(yùn)作，計(jì)時(shí)器開始計(jì)時(shí)，并在T1的時(shí)間內(nèi)通過計(jì)數(shù)器對DEV1信號的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，如果計(jì)數(shù)器在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是2，則說明設(shè)備選用噴嘴類型正確，清零單元自動清零，然后開始等待下一枚硅片的處理。如果計(jì)數(shù)器在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是1，則說明設(shè)備選用噴嘴類型錯誤，報(bào)警控制單元使報(bào)警部件16產(chǎn)生蜂鳴報(bào)警。
以監(jiān)視顯影液2為例，采集顯影單元中的二個(gè)電磁閥DEV2和NOZZLE2的驅(qū)動電信號，它們作為監(jiān)視系統(tǒng)的輸入端。當(dāng)信號采集單元10收集到NOZZLE2的信號后，整個(gè)監(jiān)視系統(tǒng)就開始運(yùn)作，計(jì)時(shí)器開始計(jì)時(shí)，并在T1的時(shí)間內(nèi)通過計(jì)數(shù)器對DEV2信號的個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，如果計(jì)數(shù)器在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是1，則說明設(shè)備選用噴嘴類型正確，清零單元自動清零，然后開始等待下一枚硅片的處理。如果計(jì)數(shù)器在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是2，則說明設(shè)備選用噴嘴類型錯誤，報(bào)警控制單元使報(bào)警部件16產(chǎn)生蜂鳴報(bào)警。
權(quán)利要求
1.一種多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括信號采集單元(10)，與顯影單元中的二個(gè)電磁閥DEV和NOZZLE、信號計(jì)數(shù)單元(11)相連接，用于采集所述電磁閥DEV和NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號，并將該信號輸入至信號計(jì)數(shù)單元(11)，所述信號計(jì)數(shù)單元(11)用于對電磁閥DEV的驅(qū)動電信號次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)；時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)，與T1時(shí)間選擇單元(13)、信號計(jì)數(shù)單元(11)相連接，用于接收T1時(shí)間選擇單元(13)和信號計(jì)數(shù)單元(11)輸出的信號，并將信號進(jìn)行計(jì)時(shí)處理，所述的T1時(shí)間選擇單元(13)用于T1時(shí)間的設(shè)定；報(bào)警控制及清零單元(14)，與信號計(jì)數(shù)單元(11)、時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)、報(bào)警數(shù)選擇單元(15)和報(bào)警部件(16)相連接，用于接收報(bào)警數(shù)選擇單元(15)、信號計(jì)數(shù)單元(11)和時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)的信號，再經(jīng)邏輯判斷將信號傳輸給報(bào)警部件(16)或自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元(15)選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元(11)在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是2或3，說明設(shè)備選用噴嘴類型正確，報(bào)警控制及清零單元(14)自動清零，如果報(bào)警數(shù)選擇單元(15)選擇數(shù)字1，且信號計(jì)數(shù)單元(11)在T1的時(shí)間內(nèi)得到的數(shù)字是1，說明設(shè)備選用噴嘴類型錯誤，報(bào)警控制及清零單元(14)使報(bào)警部件(16)報(bào)警，所述的報(bào)警數(shù)選擇單元(15)用于對報(bào)警次數(shù)進(jìn)行選擇設(shè)定，所述的報(bào)警部件(16)用于執(zhí)行報(bào)警。
2.如權(quán)利要求1所述的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，所述的時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)由晶體振蕩電路和分頻電路產(chǎn)生秒信號，再由十進(jìn)制分頻器產(chǎn)生不同秒數(shù)的基礎(chǔ)信號。
3.如權(quán)利要求1所述的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，所述的T1時(shí)間為顯影單元處理一枚硅片的時(shí)間。
4.如權(quán)利要求1所述的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁閥DEV輸出的驅(qū)動電信號是噴嘴顯影液吐出的驅(qū)動電信號。
5.如權(quán)利要求1所述的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁閥NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號是噴嘴上升動作的驅(qū)動電信號。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括信號采集單元(10)采集電磁閥DEV和NOZZLE輸出的驅(qū)動電信號，并將該信號輸入至信號計(jì)數(shù)單元(11)；時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)接收T1時(shí)間選擇單元(13)和信號計(jì)數(shù)單元(11)輸出的信號，并將信號進(jìn)行計(jì)時(shí)處理；報(bào)警控制及清零單元(14)接收報(bào)警數(shù)選擇單元(15)、信號計(jì)數(shù)單元(11)和時(shí)鐘產(chǎn)生及計(jì)時(shí)處理單元(12)的信號，再經(jīng)邏輯判斷將信號傳輸給報(bào)警部件(16)或自動清零。本發(fā)明的多路顯影液顯影控制信號監(jiān)視系統(tǒng)在實(shí)際生產(chǎn)過程中能及時(shí)有效地發(fā)現(xiàn)多路顯影液設(shè)備錯選噴頭類型、錯誤地對硅片進(jìn)行加工的情況，并能及時(shí)報(bào)警以避免損失。
文檔編號H01L21/00GK1979339SQ20051011117
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日
發(fā)明者馮駿, 張鵬, 謝華 申請人:上海華虹Nec電子有限公司