專利名稱：顯示面板的檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于用以檢查液晶顯示面板等顯示面板的裝置。
用語(yǔ)的定義本發(fā)明中，將與檢查裝置所接收的顯示面板平行的面內(nèi)的一方向及另一方向，分別稱為X方向及Y方向，將與X方向及Y方向垂直的方向(與顯示面板垂直的方向)稱為Z方向。
背景技術(shù)：
用來(lái)檢查顯示面板的裝置，通常為了要防止通電用探針(probe)的破損，分別設(shè)有將面板交接到檢查裝置的交接位置(面板安置部)；及使用檢查平臺(tái)進(jìn)行面板的點(diǎn)燈檢查的檢查位置，并且將未檢查的面板從交接位置搬送至檢查位置，或?qū)z查后的面板從檢查位置搬送至交接位置。
這種檢查裝置的一個(gè)例子，有使用兩個(gè)搬送機(jī)構(gòu)(承載架(carrier))，使面板從交接位置移動(dòng)至檢查位置及使面板反向移動(dòng)的(專利文獻(xiàn)1)。
日本特開(kāi)平11-14957號(hào)公報(bào)該檢查裝置中，各搬送機(jī)構(gòu)是將可在Y方向移動(dòng)的一對(duì)滑塊(slider)，以在Y方向保持間隔的狀態(tài)加以連結(jié)，并且將兩個(gè)保持器(holder)在X方向保持間隔且朝相對(duì)側(cè)的滑塊突出的狀態(tài)配置于各滑塊。
此種承載架中，面板的把持是通過(guò)令兩滑塊朝彼此靠近的方向移動(dòng)，以兩滑塊的保持器來(lái)共同進(jìn)行。相對(duì)于此，把持的卸除是通過(guò)令兩滑塊朝彼此分離的方向移動(dòng)，使兩滑塊的保持器從面板脫離來(lái)進(jìn)行。
然而，現(xiàn)有的檢查裝置僅把持面板相對(duì)的一對(duì)緣部，故進(jìn)行大型面板的檢查時(shí)，面板在滑塊分離方向的中間區(qū)域會(huì)彎曲，而造成面板無(wú)法搬送或損傷的情形。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于可穩(wěn)定地搬送大型面板而不會(huì)造成損傷。
本發(fā)明的檢查裝置包括用以接收矩形的顯示面板的檢查平臺(tái)；及進(jìn)行相對(duì)于該檢查平臺(tái)的上述面板搬送的搬送裝置，上述搬送裝置包括至少一個(gè)承載架，該承載架是在X方向的兩緣部及Y方向的兩緣部以可卸除的方式支持上述面板以進(jìn)行搬送。
從分別對(duì)應(yīng)于矩形的四個(gè)邊的四個(gè)緣部來(lái)支持面板時(shí)，即使是大型的面板，也可通過(guò)在Y方向的緣部的支持及在X方向的緣部的支持，而防止面板在X方向中央?yún)^(qū)域的彎曲及面板在Y方向中央?yún)^(qū)域的彎曲。因此，可穩(wěn)定地搬送大型面板而不會(huì)造成損傷。
上述承載架可具有抵接于上述X方向的各緣部的在Y方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，及抵接于上述Y方向的各緣部的在X方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，而以可卸除的方式支持上述面板以進(jìn)行搬送的構(gòu)造。如此，面板的支持會(huì)很穩(wěn)定。
上述承載架可包括用以支持上述面板的上述X方向的緣部的X保持器；用以支持上述面板的上述Y方向的緣部的Y保持器；使上述X保持器在X方向移動(dòng)的X移動(dòng)機(jī)構(gòu)；及使上述Y保持器在Y方向移動(dòng)的Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
上述承載架可包括數(shù)個(gè)X保持器，用以支持上述面板的上述X方向的兩緣部的在Y方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位；同時(shí)還包括數(shù)個(gè)Y保持器，用以支持上述面板的上述Y方向的兩緣部的在X方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位。如此，面板的支持更加穩(wěn)定。
上述承載架又包括可安裝上述X保持器且可通過(guò)上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在X方向移動(dòng)的X臂；及可安裝上述Y保持器且可通過(guò)上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在Y方向移動(dòng)的Y臂。如此，X保持器及Y保持器的移動(dòng)變得滑順，面板的支持會(huì)更加穩(wěn)定。
上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一方也可支持于另一方。
上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一方包括第1驅(qū)動(dòng)源；通過(guò)該第1驅(qū)動(dòng)源而旋轉(zhuǎn)的第1滑輪；于X方向及Y方向的另一方，與該第1滑輪保持間隔的第2滑輪；及繞掛于上述第1及第2滑輪，且與上述X臂及上述Y臂的一方連結(jié)的皮帶，上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一方包括第2驅(qū)動(dòng)源；通過(guò)該第2驅(qū)動(dòng)源而旋轉(zhuǎn)且沿X方向及Y方向的一方延伸，且在Y方向及X方向的一方的兩處具有方向相反的螺紋部的滾珠螺桿；及螺合于各螺紋部且與上述X臂及上述Y臂的另一方連結(jié)的螺帽。
檢查裝置可另包括于X方向與上述檢查平臺(tái)保持間隔的面板安置部，且上述承載架是進(jìn)行對(duì)上述檢查平臺(tái)和上述面板安置部的上述顯示面板的交接。再者，上述搬送裝置可包括兩個(gè)上述承載架。
上述搬送裝置可再包括以上述兩個(gè)承載架可個(gè)別移動(dòng)的方式支持上述兩個(gè)承載架的支持臺(tái)；以及使兩個(gè)承載架個(gè)別移動(dòng)的兩個(gè)承載架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。


圖1是顯示本發(fā)明的使用電性連接裝置的檢查裝置的一實(shí)施例的正面圖；圖2是圖1所示的檢查裝置的正面圖，為去除搬送裝置而顯示的圖；圖3是沿著圖1的3-3線剖開(kāi)的剖視圖；圖4是顯示圖1所示的檢查裝置中使用的搬送裝置的一實(shí)施例的俯視圖；圖5是從圖4的5-5方向看圖4的搬送裝置所見(jiàn)的圖；圖6是顯示圖4所示的搬送裝置中使用的承載架的一實(shí)施例的斜視圖；圖7是圖6所示的承載架的正面圖；圖8是沿著圖7的8-8線剖開(kāi)的剖視圖；圖9是用以說(shuō)明圖6至圖8所示的承載架的動(dòng)作的圖，(A)是表示把持面板的狀態(tài)，(B)是表示卸除面板的狀態(tài)；圖10(A)至(C)是顯示搬送裝置中使用的保持器的實(shí)施例的圖。
具體實(shí)施例方式
參考圖1至圖3，檢查裝置10是矩形顯示面板12的點(diǎn)燈檢查裝置。圖標(biāo)的例中，面板12在矩形的三個(gè)邊(對(duì)應(yīng)的兩個(gè)短邊和一個(gè)長(zhǎng)邊)，分別具備數(shù)個(gè)電極。設(shè)置于各邊的電極是在該邊的方向(即長(zhǎng)度方向)保持著間隔，且朝垂直于該邊的方向延伸。
檢查裝置10在由數(shù)個(gè)長(zhǎng)形構(gòu)件和數(shù)個(gè)板構(gòu)件所制成的框體14內(nèi)，收容有點(diǎn)燈檢查所需的各種機(jī)器。檢查裝置10的前面上部，是形成愈往上部愈后方側(cè)后退的傾斜面16。形成有該傾斜面16的板狀構(gòu)件是作為板狀的本體基底18。
圖標(biāo)的例中，圖1中的左右方向是X方向，傾斜的上下方向是Y方向。Z方向是與檢查裝置10傾斜接收的面板12垂直的方向。
檢查裝置10包括進(jìn)行對(duì)檢查裝置10的面板12交接的面板安置部；及進(jìn)行顯示面板12檢查的檢查部。本體基底18上，比面板12大的矩形開(kāi)口20及22，是分別形成于與面板安置部及檢查部相對(duì)應(yīng)之處。
面板安置部配置有傾斜接收面板12的交接平臺(tái)24、和將所接收的面板12預(yù)先對(duì)準(zhǔn)(pre-alignment)的兩組推動(dòng)器(pusher)26。相對(duì)于此，檢查部配置有傾斜接收面板12的檢查平臺(tái)28(參考圖3)、和用作為電性連接裝置的探針(probe)裝置30。
交接平臺(tái)24是以可傾斜接收面板12的方式，將數(shù)個(gè)長(zhǎng)形構(gòu)件所形成的面板座32安裝于Z平臺(tái)34。面板座32在進(jìn)行面板12的交接時(shí)，可通過(guò)Z平臺(tái)34而在Z方向移動(dòng)。
在X方向保持間隔的推動(dòng)器26，是配置成可在沿X方向延伸的長(zhǎng)形構(gòu)件上朝相互靠近或分離的方向(X方向)移動(dòng)，且通過(guò)未圖標(biāo)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在X方向移動(dòng)。相對(duì)于此，在Y方向保持間隔的推動(dòng)器26，是配置成可在沿Y方向延伸的長(zhǎng)形構(gòu)件上朝相互靠近或分離的方向(Y方向)移動(dòng)，且通過(guò)未圖標(biāo)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在Y方向移動(dòng)。
面板12是在推動(dòng)器26彼此呈分離的狀態(tài)下配置于這些推動(dòng)器26之間，且通過(guò)使各組推動(dòng)器26朝相互靠近的方向移動(dòng)，使面板12相對(duì)于交接平臺(tái)24而移動(dòng)，以進(jìn)行相對(duì)于檢查裝置10的預(yù)先對(duì)準(zhǔn)。
未檢查的面板12，是通過(guò)人力或裝卸機(jī)器人配置于交接平臺(tái)24，在交接平臺(tái)24中通過(guò)推動(dòng)器26而進(jìn)行預(yù)先對(duì)準(zhǔn)，然后，利用搬送裝置36(參考圖1)將其搬送至檢查平臺(tái)28，而在檢查部接受點(diǎn)燈檢查。
圖標(biāo)的例中的點(diǎn)燈檢查是由操作者以目視方式進(jìn)行的目視點(diǎn)燈檢查，然而，也可為使用未圖標(biāo)的視頻攝影機(jī)(video camera)及畫(huà)像處理裝置等的自動(dòng)點(diǎn)燈檢查。
檢查后的面板12是通過(guò)搬送裝置36從檢查平臺(tái)28搬送至交接平臺(tái)24，然后，利用人力或裝卸機(jī)器人從交接平臺(tái)24搬離，而收納于收納用匣。
檢查平臺(tái)28是以使夾盤頭(chuck top)38的面板吸著面可接收傾斜向上的面板12的方式，令面板吸著面與開(kāi)口22相對(duì)。
夾盤頭38的面板吸著面具有用來(lái)真空吸著面板12真空吸著的數(shù)個(gè)吸著溝，而且，夾盤頭38的內(nèi)部具有從面板12的背面照亮面板12的背光單元。
檢查平臺(tái)28具有三維(X、Y及Z)平臺(tái)40、42及44，令傾斜向上接收的面板12，朝向與其平行的X及Y兩方向和與面板12垂直的Z方向移動(dòng)；同時(shí)也具有θ平臺(tái)46，令面板12繞著在Z方向延伸的軸線旋轉(zhuǎn)。
檢查平臺(tái)28是在夾盤頭38下降的狀態(tài)，從搬送裝置36接收面板12，進(jìn)行面板12的檢查時(shí)，使得夾盤頭38上升。又，檢查平臺(tái)28是在面板12交接至搬送裝置36后，在夾盤頭38下降的狀態(tài)下待機(jī)。
探針裝置30包括對(duì)應(yīng)于假想的矩形各個(gè)邊的四個(gè)基底構(gòu)件48；分別配置于三個(gè)基底構(gòu)件48的三個(gè)探針單元50；及為了進(jìn)行探針單元50相對(duì)于面板12的電極的定位，而可使三個(gè)基底構(gòu)件48分別沿著其所對(duì)應(yīng)的邊(即，邊的長(zhǎng)度方向)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖標(biāo))。
各基底構(gòu)件48是具有沿其所對(duì)應(yīng)邊的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)形板形狀，并且支持于本體基底18的背面?zhèn)?，且使其一部分從開(kāi)口22露出。相鄰的基底構(gòu)件48并不相靠接而保持著間隔。
探針單元50是配置于相向的一對(duì)基底構(gòu)件48、及與這些基底構(gòu)件48相鄰的一個(gè)基底構(gòu)件48。相對(duì)于此，移動(dòng)機(jī)構(gòu)是設(shè)置于相向的另一對(duì)基底構(gòu)件48、及與這些基底構(gòu)件48相鄰的一個(gè)基底構(gòu)件48。
沒(méi)有與移動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)的基底構(gòu)件48是通過(guò)墊片(spacer)(未圖標(biāo))、和螺栓等數(shù)個(gè)固定具(未圖標(biāo))，不能移動(dòng)地安裝于本體基底18而由本體基底18所支持。
剩余的各基底構(gòu)件48是通過(guò)線性引導(dǎo)件(linear guide)等引導(dǎo)機(jī)構(gòu)(未圖標(biāo))，而可在其所對(duì)應(yīng)邊的長(zhǎng)度方向移動(dòng)地安裝支持于本體基底18。
各探針單元50具有以在所對(duì)應(yīng)的基底構(gòu)件48的長(zhǎng)度方向延伸的狀態(tài)安裝于該基底構(gòu)件48的長(zhǎng)板狀探針基底52；配置于探針基底52的數(shù)個(gè)探針塊54；及配置于探針塊54的數(shù)個(gè)探針56。
探針基底52是通過(guò)數(shù)個(gè)螺絲構(gòu)件(未圖標(biāo))，堅(jiān)固地安裝于基底構(gòu)件48的寬度方向的緣部中矩形的中心側(cè)(即前端側(cè))的緣部外側(cè)。
各探針塊54是通過(guò)數(shù)個(gè)螺絲構(gòu)件(未圖標(biāo))，堅(jiān)固地安裝于探針基底52的寬度方向前端側(cè)緣部的外側(cè)。各探針56是以前端側(cè)朝前方突出的狀態(tài)，利用適當(dāng)?shù)氖侄伟惭b于探針塊54的前端部下面。
基底構(gòu)件48用的各移動(dòng)機(jī)構(gòu)是可使用包括安裝于本體基底18的馬達(dá)、通過(guò)該馬達(dá)而旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿(lead screw)、和螺合于導(dǎo)螺桿的導(dǎo)螺帽的一般機(jī)構(gòu)。
各探針56在進(jìn)行搬送至檢查平臺(tái)28的面板12的檢查時(shí)，是通過(guò)夾盤頭(chuck top)38的上升，而按壓于面板12的電極上。在該狀態(tài)下，透過(guò)面板12的電極而對(duì)面板12通電。
如圖4至圖10所示，搬送裝置36是具備安裝于本體基底18背面?zhèn)鹊目蚣?0；以可在X方向移動(dòng)且在X方向保持間隔的狀態(tài)配置于框架60的一對(duì)承載架62、64；及分別令承載架62、64在X方向移動(dòng)的一對(duì)承載架移動(dòng)機(jī)構(gòu)66、68。
框架60是將四個(gè)長(zhǎng)形構(gòu)件70結(jié)合成矩形，又，將兩個(gè)導(dǎo)軌72、74以在Y方向保持間隔且在X方向延伸的狀態(tài)，分別安裝于在Y方向相向的一對(duì)長(zhǎng)形構(gòu)件。
可移動(dòng)地嵌合于導(dǎo)軌72、74的引導(dǎo)件(guide)76、78，是分別安裝于承載架62及64的兩端。因此，承載架62借著導(dǎo)軌72及引導(dǎo)件76而可移動(dòng)地支持于框架60，承載架64借著導(dǎo)軌74及引導(dǎo)件78而可移動(dòng)地支持于框架60。
承載架62、64的一方62(64)是如圖6至圖8所示，使在Z方向保持間隔地延伸于Y方向的承載架基座80，通過(guò)導(dǎo)軌72(74)及引導(dǎo)件76(78)而可在X方向移動(dòng)地支持于框架60，且使在Y方向保持間隔地延伸于X方向的一對(duì)支持臂82，可在Y方向移動(dòng)地配置于承載架基座80。
引導(dǎo)件76(78)是安裝于承載架基座80的端部。承載架基座80具備與Y方向平行而延伸的導(dǎo)軌84?？梢苿?dòng)地嵌合于導(dǎo)軌84的引導(dǎo)件86，是安裝于支持臂82的一端部。因此，各支持臂82是以懸臂梁的形態(tài)支持于承載架基座80。
各支持臂82上，安裝有在X方向保持間隔的一對(duì)X臂88，同時(shí)也安裝有Y臂。兩X臂88和Y臂90是從支持臂82朝Y方向的中心延伸，而以懸臂梁的形態(tài)支持于支持臂82。
各X臂88是通過(guò)線性引導(dǎo)件等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合機(jī)構(gòu)92，在X方向保持間隔且可朝相互靠近或分離的方向(X方向)移動(dòng)地安裝于各支持臂82。
在各X臂88的前端部具有X保持器94。相對(duì)于此，在Y臂90的前端部具有在X方向保持間隔的一對(duì)Y保持器96。兩X保持器94及Y保持器96，是分別抵接于X方向的面板12的緣部及Y方向的面板12的緣部，而共同支持該面板12。
X保持器94及Y保持器96，可以是以相向的保持器夾持面板12而支持面板12者，也可以是使面板12扣止于扣止片而支持面板12者，也可以是以接收邊接收面板12而支持面板12者。
各承載架移動(dòng)機(jī)構(gòu)66、68是令延伸于X方向的滾珠螺桿(ball screw)100可旋轉(zhuǎn)地支持于框架60，且將螺合于滾珠螺桿100的螺帽(未圖標(biāo))安裝于承載架基座80。滾珠螺桿100是通過(guò)承載架用馬達(dá)104而旋轉(zhuǎn)。
承載架移動(dòng)機(jī)構(gòu)66、68的馬達(dá)104及104相互朝相反的方向而同步旋轉(zhuǎn)。通過(guò)此方式，兩承載架62及64可分別從交接平臺(tái)24移動(dòng)至檢查平臺(tái)28，或分別從檢查平臺(tái)28移動(dòng)至交接平臺(tái)24。
各臂(arm)中，首先Y臂90及90是通過(guò)Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)108及108而在Y方向同步移動(dòng)。然后，X臂88及88是分別通過(guò)X移動(dòng)機(jī)構(gòu)106及106而同步于X方向移動(dòng)。
各X移動(dòng)機(jī)構(gòu)106是包括像馬達(dá)那樣可反轉(zhuǎn)的X驅(qū)動(dòng)源110；通過(guò)X驅(qū)動(dòng)源110而旋轉(zhuǎn)的第1滑輪112；與第1滑輪112于X方向保持間隔的第2滑輪114；及繞掛于第1及第2滑輪112及114上的無(wú)端皮帶116。
上側(cè)的X臂88是安裝于無(wú)端皮帶116的上側(cè)部位，下側(cè)的X臂88是安裝于無(wú)端皮帶116的下側(cè)部位。因此，當(dāng)X驅(qū)動(dòng)源110旋轉(zhuǎn)于一方向時(shí)，兩X臂88及88會(huì)朝彼此靠近的方向移動(dòng)，而旋轉(zhuǎn)于另一方向時(shí)則朝彼此分離的方向移動(dòng)。通過(guò)此方式，兩X臂88及88就可進(jìn)行面板12的把持和解除。
Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)108是包括像馬達(dá)那樣可反轉(zhuǎn)的Y驅(qū)動(dòng)源120；通過(guò)Y驅(qū)動(dòng)源120而繞著延伸于Y方向的軸線旋轉(zhuǎn)，且在Y方向兩處具有螺旋方向相反的螺紋部122a、112b的滾珠螺桿122；及螺合于各螺紋部122a、112b的螺帽124。
圖標(biāo)的例中，滾珠螺桿122是將作為螺紋部122a及122b的螺紋棒，通過(guò)連結(jié)具122c連結(jié)，再以可繞著延伸于Y方向的軸線旋轉(zhuǎn)的方式支持于承載架基座80。各螺帽124是安裝于支持臂82。
導(dǎo)軌72、74、84及引導(dǎo)件76、78及78、86，可使用線性引導(dǎo)件。
在檢查裝置10中，在檢查平臺(tái)28檢查面板期間進(jìn)行利用承載架62(或64)將檢查完的面板移置到交接平臺(tái)24；從交接平臺(tái)24移除檢查完的面板；將未檢查的面板12配置到交接平臺(tái)24；該未檢查的面板的預(yù)先對(duì)準(zhǔn)；及將該未檢查面板交接至承載架62(或64)。
檢查結(jié)束時(shí)，交接平臺(tái)24側(cè)的未檢查面板是保持于一方的承載架62(或64)，檢查平臺(tái)28側(cè)的檢查完的面板則保持于另一方的承載架64(或62)，然后將這些面板分別搬送至檢查平臺(tái)28及交接平臺(tái)24。
利用承載架62及64來(lái)搬送未檢查及檢查完的面板，是通過(guò)分別使承載架移動(dòng)機(jī)構(gòu)66及68朝彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行。
利用承載架62及64來(lái)把持面板12，是通過(guò)令X驅(qū)動(dòng)源110、110及Y驅(qū)動(dòng)源120朝一方向旋轉(zhuǎn)，而如圖9(A)所示的令X保持器94、94及Y保持器96、96朝相互靠近的方向移動(dòng)，以令面板12的緣部支持于保持器94、94、96、96來(lái)進(jìn)行。
利用承載架62及64來(lái)搬送面板12，是令X保持器94及Y保持器96，分別抵接于X方向的各緣部的在Y方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，及Y方向的各緣部的在X方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，而在可解除地支持著面板12的狀態(tài)下進(jìn)行。因此，面板12的支持會(huì)很穩(wěn)定。
面板12的卸除是通過(guò)令X驅(qū)動(dòng)源110、110及Y驅(qū)動(dòng)源120朝另一方向旋轉(zhuǎn)，而如圖9(B)所示地令X保持器94、94及Y保持器96、96朝彼此分離的方向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行。
如檢查裝置10的在分別與矩形的四個(gè)邊對(duì)應(yīng)的四個(gè)緣部支持面板12時(shí)，則即使是大型的面板，也可通過(guò)Y方向緣部的支持及X方向緣部的支持，而防止X方向中央?yún)^(qū)域的面板彎曲及Y方向中央?yún)^(qū)域的面板彎曲。結(jié)果，可穩(wěn)定地搬送大型面板而不會(huì)造成損傷。
參考圖10，圖10(A)所示的保持器130，是將L字形的保持片132以L字形的凹部成為面板支持側(cè)的狀態(tài)安裝于X臂88或Y臂90的面板扣止側(cè)，并且將防止面板12落下的一對(duì)落下防止片134，設(shè)置于保持片132的面板扣止側(cè)，并將用以抵接面板12的彈性塊136安裝于保持片132的L字形的凹部。
圖10(B)所示的保持器140，是將ㄈ字形的保持片142以ㄈ字形的凹部成為面板支持側(cè)的狀態(tài)安裝于X臂88及Y臂90，并且將防止面板12落下的一對(duì)落下防止片144，在Z方向保持間隔地設(shè)置于保持片142的面板支持側(cè)，且將用以抵接面板12的彈性塊146安裝于保持片142的ㄈ字形的凹部。
圖10(C)所示的保持器150，是將立方體狀的保持片152安裝于X臂88或Y臂90，且將用以抵接面板12的彈性塊156安裝于保持片152的面板支持側(cè)。
落下防止片134及144的厚度尺寸(與紙面垂直方向的尺寸)，是分別小于保持片132及142。彈性塊136、146、156是利用胺基甲酸酯(urethane)橡膠等橡膠材來(lái)制作。圖1至圖9的實(shí)施例所使用的保持器94、96是保持器130。
上述保持器130、140、150都通過(guò)令面板12的緣部抵接于彈性塊136、146、156，而令面板12摩擦扣合于彈性塊136、146、156的方式支持面板12。然而，保持器也可為使用以接收片接收面板12而支持面板12等的其它類型。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性搬送裝置36也可為使用一個(gè)承載架62或64的構(gòu)成。又，在檢查平臺(tái)28的X方向的兩側(cè)配置交接平臺(tái)24而構(gòu)成檢查裝置的情況下，搬送裝置36也可具備將面板搬送至一方的交接平臺(tái)和檢查平臺(tái)的承載架；及將面板搬送至另一方的交接平臺(tái)和檢查平臺(tái)的承載架的搬送裝置。
本發(fā)明不僅適用于液晶顯示面板，也可適用于玻璃基板、有機(jī)電場(chǎng)發(fā)光(EL)面板等其它顯示面板的電性連接裝置。此外，本發(fā)明不僅適用于將顯示面板在傾斜狀態(tài)下檢查的裝置，也可適用于將顯示面板在朝向上方的狀態(tài)下檢查的裝置等其它類型的檢查裝置。
本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，只要不脫離本發(fā)明的旨意，可進(jìn)行各種的變更。
組件符號(hào)說(shuō)明10 檢查裝置 12 面板14 框體 16 傾斜面18 本體基底 20、22 開(kāi)口24 交接平臺(tái) 26 推動(dòng)器28 檢查平臺(tái) 30 探針裝置32 面板座 34 Z平臺(tái)36 搬送裝置 38 夾盤頭40、42、44 三維平臺(tái) 46 θ平臺(tái)48 基底構(gòu)件 50 探針單元52 探針基底 54 探針塊56 探針 60 框架62、64 承載架 66、68 承載架移動(dòng)機(jī)構(gòu)70 長(zhǎng)形構(gòu)件 72、74、84 導(dǎo)軌76、78、86 引導(dǎo)件 80 承載架基座82 支持臂 88 X臂90 Y臂92 結(jié)合機(jī)構(gòu)94 X保持器96 Y保持器100、122 滾珠螺桿 104馬達(dá)106X移動(dòng)機(jī)構(gòu) 108Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)110X驅(qū)動(dòng)源112、114 滑輪116無(wú)端皮帶 120Y區(qū)動(dòng)源122a、122b 螺紋部 122c 連結(jié)具
124螺帽130、140、150 保持器132、142 保持片 134、144 落下防止片136、146、156 彈性塊
權(quán)利要求
1.一種顯示面板的檢查裝置，包括用以接收矩形的顯示面板的檢查平臺(tái)；及進(jìn)行相對(duì)于該檢查平臺(tái)的上述面板的搬送的搬送裝置，上述搬送裝置是包括至少一個(gè)承載架，該承載架是在X方向的兩緣部及Y方向的兩緣部以可卸除的方式支持上述面板以進(jìn)行搬送。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，上述承載架是抵接于上述X方向的各緣部的在Y方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，及上述Y方向的各緣部的在X方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位，而以可卸除的方式支持上述面板以進(jìn)行搬送。
3.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，上述承載架是包括用以支持上述面板的上述X方向的緣部的X保持器；用以支持上述面板的上述Y方向的緣部的Y保持器；使上述X保持器在X方向移動(dòng)的X移動(dòng)機(jī)構(gòu)；及使上述Y保持器在Y方向移動(dòng)的Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的檢查裝置，其中，上述承載架是包括數(shù)個(gè)X保持器，用以支持上述面板的上述X方向的兩緣部的在Y方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位；同時(shí)也包括數(shù)個(gè)Y保持器，用以支持上述面板的上述Y方向的兩緣部的在X方向保持間隔的數(shù)個(gè)部位。
5.如權(quán)利要求3所述的檢查裝置，其中，上述承載架又包括可安裝上述X保持器且可通過(guò)上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在X方向移動(dòng)的X臂；及可安裝上述Y保持器且可通過(guò)上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在Y方向移動(dòng)的Y臂。
6.如權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其中，上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一方是支持于另一方。
7.如權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其中，上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一方是包括第1驅(qū)動(dòng)源；通過(guò)該第1驅(qū)動(dòng)源而旋轉(zhuǎn)的第1滑輪；于X方向及Y方向的另一方，與該第1滑輪保持間隔的第2滑輪；及繞掛于上述第1及第2滑輪，且與上述X臂及上述Y臂的一方連結(jié)的皮帶，上述X移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一方是包括第2驅(qū)動(dòng)源；通過(guò)該第2驅(qū)動(dòng)源而旋轉(zhuǎn)且沿X方向及Y方向的一方延伸，且在Y方向及X方向的一方的兩處具有方向相反的螺紋部的滾珠螺桿；及螺合于各螺紋部且與上述X臂及上述Y臂的另一方連結(jié)的螺帽。
8.如權(quán)利要求1至7項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的檢查裝置，其中，又包括于X方向與上述檢查平臺(tái)保持間隔的面板安置部，且上述承載架是進(jìn)行對(duì)上述檢查平臺(tái)和上述面板安置部的上述顯示面板的交接。
9.如權(quán)利要求8所述的檢查裝置，其中，上述搬送裝置包括兩個(gè)上述承載架。
10.如權(quán)利要求9所述的檢查裝置，其中，上述搬送裝置又包括以上述兩個(gè)承載架可個(gè)別移動(dòng)的方式支持上述兩個(gè)承載架的支持臺(tái)；以及使兩個(gè)承載架個(gè)別移動(dòng)的兩個(gè)承載架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示面板的檢查裝置，其目的在于可穩(wěn)定地搬送大型面板而不會(huì)造成損傷。檢查裝置包括用以接收矩形的顯示面板的檢查平臺(tái)；及進(jìn)行相對(duì)于該檢查平臺(tái)的搬送面板的搬送裝置，搬送裝置包括至少一個(gè)承載架，該承載架在X方向的兩緣部及Y方向的兩緣部以可卸除的方式支持面板以進(jìn)行搬送。
文檔編號(hào)H01L21/68GK1598598SQ20041007910
公開(kāi)日2005年3月23日 申請(qǐng)日期2004年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月18日
發(fā)明者齊藤健, 藤原慎治 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司