專利名稱：玻璃基板的涂膜裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板的涂膜裝置及其方法，特別涉及這樣一種玻璃基板的涂膜裝置及其方法，通過(guò)將大型玻璃基板垂直設(shè)置而進(jìn)入涂膜裝置后，向其兩面涂敷薄膜，由此來(lái)降低振動(dòng)，并防止異物流入，而且通過(guò)使涂敷設(shè)備的安裝空間最小化，從而能夠高效地利用潔凈室的空間。
背景技術(shù)：
一般，TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)、PDP(等離子顯示屏)、EL(Electro luminescence，有機(jī)電致發(fā)光)等的平板顯示器的制造領(lǐng)域所使用的玻璃基板是將在玻璃熔爐熔化了的玻璃液供給到熔化成形機(jī)來(lái)制造后，按初步規(guī)格切斷，在表面上涂敷保護(hù)薄膜并傳輸?shù)郊庸ぞ€上。
為了這樣將保護(hù)薄膜涂敷到玻璃基板的表面上，以往利用具有水平傳送系統(tǒng)的裝置，也使用圖1概略示出的裝置。參照?qǐng)D1來(lái)說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)大型的玻璃基板2以豎立的狀態(tài)進(jìn)入涂敷器，在玻璃基板2的上部被固定的狀態(tài)下，設(shè)置在玻璃基板的前后面上的輥頭4一邊上下傳送一邊涂敷薄膜。
因此，以往，需要上下傳送重的輥頭4，所以在涂敷玻璃基板時(shí)有振動(dòng)，會(huì)有在驅(qū)動(dòng)輥頭4的伺服電機(jī)上超負(fù)荷的不良狀況。此外，在薄膜涂敷時(shí)流入異物，會(huì)有薄膜的切斷長(zhǎng)度產(chǎn)生偏差的不良狀況。
本發(fā)明就是鑒于上記情況而提出的，其目的在于提供一種玻璃基板的涂膜裝置及其方法，通過(guò)將大型玻璃基板以垂直狀態(tài)傳送到涂膜位置，并且向其兩面同時(shí)涂敷薄膜，來(lái)降低振動(dòng)，防止異物的流入，使涂敷設(shè)備的設(shè)置面積最小化，從而能夠高效地利用潔凈室的空間。

發(fā)明內(nèi)容
為了實(shí)現(xiàn)這種目的，本發(fā)明提供一種玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，包含加載輸送機(jī)，用于利用空氣使上述玻璃基板浮起的同時(shí)對(duì)其進(jìn)行傳送；第1及第2涂膜器，用于向由上述加載輸送機(jī)傳送的玻璃基板的兩面上涂敷薄膜；以及涂敷器傳送設(shè)備，用于使上述第1及第2涂膜器分別在向上述玻璃基板涂敷薄膜的涂膜位置、和向上述第1及第2涂膜器供給薄膜的薄膜卷(film roll)供給位置之間移動(dòng)。


圖1是用于說(shuō)明向玻璃基板涂敷薄膜的現(xiàn)有涂膜裝置的概念的示意圖。
圖2是根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式的涂膜裝置的主視圖。
圖3是圖2的俯視圖。
圖4是圖2所示的第1或第2涂敷器的詳圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式的玻璃基板涂膜裝置。
圖2及圖3是根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式的玻璃基板涂膜裝置的主視圖及俯視圖。如圖所示，本發(fā)明的玻璃基板涂膜裝置包含加載輸送機(jī)100，以垂直狀態(tài)兩面非接觸地用空氣浮起玻璃基板，并向一個(gè)方向傳送；第1及第2涂膜器200、250，它們與加載輸送機(jī)100配置在一條直線上并垂直設(shè)置，以便向從加載輸送機(jī)100排出的垂直狀態(tài)的玻璃基板的兩面上同時(shí)涂敷薄膜；涂敷器傳送設(shè)備300，用于將第1及第2涂膜器200、250分別在薄膜卷供給位置和涂敷位置之間傳送；卸載輸送機(jī)400，將兩面涂敷了薄膜、從第1涂膜器200或第2涂膜器250排出的玻璃基板向一個(gè)方向傳送；以及控制機(jī)構(gòu)500，其控制加載/卸載輸送機(jī)100、400、第1及第2涂膜器200、250以及涂敷器傳送設(shè)備300的工作。
第1涂膜器200如圖4詳細(xì)示出的那樣，前部的結(jié)構(gòu)和后部的結(jié)構(gòu)相互對(duì)稱，具有薄膜卷(film roll)供給部210，其安裝有薄膜卷；接觸輥220，使從上述薄膜卷供給部210供給的薄膜黏附到玻璃基板的兩面上傾斜輥232，其用于在上述薄膜卷供給部210和接觸輥220之間調(diào)整薄膜的松弛量；由荷重元(ロ一ドセル)輥234、粘著輥236、靜電輥238、以及加壓輥240構(gòu)成的一系列輥組；層壓(積層)輥250，將通過(guò)上述接觸輥220的薄膜壓接到玻璃基板上；以及切斷片260，被設(shè)置在上述接觸輥220的前面、即圖4所示的接觸輥220的左側(cè)，用于將涂敷在玻璃基板上的薄膜從薄膜的剩余部分切斷。270是吸入切斷薄膜時(shí)產(chǎn)生的異物的吸入罩，280是用于保持薄膜的黏結(jié)的真空塊(真空ブロツク)。在薄膜卷的后面、即圖4所示的薄膜卷的上部，設(shè)置有EPC(edge position controller，邊緣位置控制器)290，其根據(jù)邊緣傳感器(未圖示)的信號(hào)來(lái)補(bǔ)償薄膜的松弛。
另一方面，涂敷器傳送設(shè)備300使滑動(dòng)自如地設(shè)置在軌道310上的第1及第2涂敷器200、250交替地在涂敷位置和薄膜卷供給位置之間傳送。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，在第1涂敷器200在涂敷位置上向玻璃基板上涂敷薄膜的期間，第2涂敷器250可在薄膜卷供給位置上由薄膜卷供給裝置600供給薄膜卷。由此，能夠使由更換薄膜引起的停工時(shí)間最小化。本發(fā)明的實(shí)施方式是2個(gè)單元，但是也可以是3個(gè)以上的單元。
根據(jù)如上所述構(gòu)成的本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式的玻璃基板的涂敷裝置如下所述地工作。
如圖2所示，以與地面垂直的狀態(tài)兩面非接觸地用空氣漂起玻璃基板進(jìn)行并將其經(jīng)加載輸送機(jī)100向箭頭方向傳送后，控制機(jī)構(gòu)500驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)離合器制動(dòng)裝置，以便向位于涂敷位置上的涂敷器傳送設(shè)備300的處于涂敷位置上的第1涂敷器200的各輥提供動(dòng)力，使薄膜保持適當(dāng)?shù)膹埩?，并使薄膜同時(shí)涂敷到玻璃基板的兩面上。此外，在涂敷過(guò)的玻璃基板穿過(guò)第1涂敷器200前，控制部500驅(qū)動(dòng)切斷片260使其動(dòng)作來(lái)切斷薄膜。通過(guò)第1涂敷器200的涂敷了薄膜的玻璃基板利用由導(dǎo)輥方式構(gòu)成的卸載輸送機(jī)400而被傳送，由機(jī)械手(未圖示)從卸載輸送機(jī)400中取出。
第1涂敷器200的薄膜卷的薄膜被消耗后，控制部500使涂敷器傳送設(shè)備300動(dòng)作，以便將位于涂敷位置上的第1涂敷器200傳送到薄膜卷供給位置上，將位于薄膜卷供給位置上的第2涂敷器250傳送到涂敷位置上。操作者使用薄膜卷供給裝置600將新的薄膜卷供給到位于薄膜卷供給位置上的第1涂敷器200。
以上說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求的范圍地能進(jìn)行各種改變。
發(fā)明的效果本發(fā)明的玻璃基板的涂敷裝置在使大型玻璃基板以垂直狀態(tài)通過(guò)涂敷器的同時(shí)，向玻璃基板的兩面涂敷薄膜，所以與現(xiàn)有技術(shù)相比，玻璃基板的振動(dòng)降低，設(shè)置面積減少，從而能夠高效地使用潔凈室內(nèi)的空間，設(shè)備的維護(hù)變得容易。此外，能夠防止伺服電機(jī)的超負(fù)荷，在涂敷薄膜時(shí)防止異物的流入、薄膜拉伸及產(chǎn)生曲折(蛇行性)。再者，能夠用2個(gè)涂敷器連續(xù)進(jìn)行涂敷，所以起到下述效果使停工時(shí)間最小化，從而生產(chǎn)率提高。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，包含加載輸送機(jī)，用于在利用空氣使上述玻璃基板浮起的同時(shí)對(duì)其進(jìn)行傳送；第1及第2涂膜器，用于向由上述加載輸送機(jī)傳送的玻璃基板的兩面上涂敷薄膜；以及涂敷器傳送設(shè)備，用于使上述第1及第2涂膜器分別在向上述玻璃基板涂敷薄膜的涂膜位置、和向上述第1及第2涂膜器供給薄膜的薄膜卷供給位置之間移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，還包含控制上述涂敷器傳送設(shè)備的控制機(jī)構(gòu)，使得在上述第1涂膜器位于上述涂膜位置的期間，上述第2涂膜器位于上述薄膜卷供給位置上。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，上述第1及第2涂膜器分別包含薄膜供給部，其安裝有薄膜卷；一對(duì)接觸輥，用于使從上述薄膜供給部供給的薄膜同時(shí)黏附到上述玻璃基板的兩面上；輥組，用于調(diào)整上述薄膜供給部和接觸輥之間的薄膜的松弛量；一對(duì)層壓輥，用于壓接通過(guò)上述接觸輥間的玻璃基板的兩面；以及切割機(jī)構(gòu)，用于切斷被涂敷在上述玻璃基板上的薄膜和薄膜的剩余部分。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，還包含罩，用于吸入由上述切割機(jī)構(gòu)切斷薄膜時(shí)產(chǎn)生的異物。
5.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板的涂膜裝置，其特征在于，上述加載輸送機(jī)將上述玻璃基板豎立來(lái)供給到上述第1及第2涂膜器，上述第1及第2涂膜器向垂直供給的玻璃基板的兩面涂敷薄膜。
6.一種玻璃基板的涂膜方法，其特征在于，包含下述步驟(a)以與地面垂直的狀態(tài)將上述玻璃基板兩面非接觸地用空氣浮起來(lái)進(jìn)行傳送的步驟；(b)在薄膜上保持適當(dāng)?shù)膹埩Φ耐瑫r(shí)，向上述玻璃基板的兩面涂敷薄膜的步驟；(c)將涂敷在上述玻璃基板上的薄膜從薄膜的剩余部分切斷的步驟；(d)使涂敷了上述薄膜的玻璃基板向一個(gè)方向排出的步驟。
7.如權(quán)利要求6所述的玻璃基板的涂膜方法，其特征在于，上述(b)步驟由第1涂膜器進(jìn)行，還包含下述步驟在進(jìn)行上述(b)步驟的期間，使向上述玻璃基板的兩面涂敷用的薄膜卷安裝到第2涂膜器上的步驟；在安裝在上述第1涂膜器上的薄膜卷剩余為所期望的余量以下時(shí)，使上述第1涂膜器和第2涂膜器變更到彼此的位置上的步驟。
8.如權(quán)利要求6所述的玻璃基板的涂膜方法，其特征在于，在上述(c)步驟之后，還包含除去上述(c)步驟中產(chǎn)生的異物的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種玻璃基板的涂膜裝置及方法。其在有效利用潔凈室、使停工時(shí)間及玻璃基板的振動(dòng)、異物的附著等最小化的同時(shí)，向大型玻璃基板涂敷薄膜。包含加載輸送機(jī)，以垂直狀態(tài)兩面非接觸地浮起玻璃基板進(jìn)行傳送；第1及第2涂膜器，其被垂直安裝，以便向從上述加載輸送機(jī)排出的玻璃基板的兩面涂敷薄膜；涂敷器傳送設(shè)備，用于使上述第1及第2涂膜器分別在涂敷位置和供給位置之間移動(dòng)；卸載輸送機(jī)，將兩面涂敷了薄膜的玻璃基板向一個(gè)方向傳送；以及控制機(jī)構(gòu)，控制上述加載/卸載輸送機(jī)、第1及第2涂膜器及涂敷器傳送設(shè)備的動(dòng)作。
文檔編號(hào)H01L21/67GK1623947SQ200410002098
公開(kāi)日2005年6月8日 申請(qǐng)日期2004年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月1日
發(fā)明者李昌夏, 任祥在, 金圣撤, 奇永宰, 柳炅沅 申請(qǐng)人:三星康寧精密琉璃株式會(huì)社