專利名稱：激光設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光設(shè)備，配備有激光二極管，二極管配備有光學(xué)諧振器，用于向光學(xué)系統(tǒng)中發(fā)射激光；該激光設(shè)備還配備有監(jiān)測(cè)二極管，該二極管具有光敏面，用于測(cè)量激光二極管的光學(xué)量。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的激光設(shè)備配備有一個(gè)激光二極管和一個(gè)監(jiān)測(cè)二極管，監(jiān)測(cè)二極管會(huì)感測(cè)激光二極管發(fā)出的一部分光，至少是它的一小部分，其目的可以是將激光二極管鎖定在預(yù)定的工作點(diǎn)、實(shí)現(xiàn)安全功能(尤其是在超額發(fā)射能量的情況下)，也可以是為了檢測(cè)激光二極管的老化并允許進(jìn)行調(diào)節(jié)。
圖3描述了現(xiàn)有s技術(shù)中的一個(gè)激光設(shè)備。在這種情況下，監(jiān)測(cè)二極管是嵌入在硅片2′中的光敏二極管2′，它直接固定在基板3′上。為了能夠計(jì)算關(guān)于感應(yīng)激光51′的測(cè)量信號(hào)，利用焊線8′將監(jiān)測(cè)二極管2′連接到設(shè)備的引線插頭9′上。垂直發(fā)射激光二極管1′被牢固地焊接在監(jiān)測(cè)二極管2′上面，激光二極管1′也通過(guò)焊線8連接到激光設(shè)備的引線插頭9′上。
激光二極管1′發(fā)出的激光5′，通過(guò)激光設(shè)備的窗口4或者透鏡系統(tǒng)4′進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)。例如，該透鏡系統(tǒng)4′可以連接到光學(xué)系統(tǒng)的光纖、其它光學(xué)元件或者光電元件。激光二極管1′所發(fā)激光5′的一部分51′，從窗口4′或者透鏡系統(tǒng)4′反射(或反向散射)到監(jiān)測(cè)二極管2′。而所發(fā)激光5′的大部分被耦合到光學(xué)系統(tǒng)中，例如耦合到光纖中。為了防止與該光束通路產(chǎn)生干涉，也為了保護(hù)組件(例如抵抗潮濕和機(jī)械應(yīng)力)，激光設(shè)備擁有密封外殼31′。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是在已有技術(shù)的基礎(chǔ)上，不增加激光設(shè)備的空間尺寸，而實(shí)現(xiàn)激光設(shè)備的簡(jiǎn)單設(shè)計(jì)。
根據(jù)激光設(shè)備發(fā)明的專利要求1，這個(gè)目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。在從屬權(quán)利要求中，說(shuō)明了本發(fā)明的有利改進(jìn)。
因而，監(jiān)測(cè)二極管的光敏面和激光二極管的一側(cè)光學(xué)耦合。激光二極管產(chǎn)生的光和監(jiān)測(cè)二極管測(cè)量的光，可以通過(guò)光學(xué)耦合建立有效的光學(xué)聯(lián)系。除了改變激光二極管的光學(xué)特性這一主要目的之外，監(jiān)測(cè)二極管或者其它集成組件還可以用于測(cè)試其它參數(shù)，例如溫度。
激光二極管排列在接收激光的光學(xué)系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)二極管之間，因此，監(jiān)測(cè)二極管的光敏面與激光二極管的背面光學(xué)耦合，這一背面與光學(xué)系統(tǒng)諧振器的出口側(cè)相對(duì)。為了與監(jiān)測(cè)二極管耦合，激光二極管背部也發(fā)射光，該光和發(fā)射到光學(xué)系統(tǒng)中的光有特殊的有效關(guān)系，例如可以是其中的一部分。
依據(jù)發(fā)明制作的激光器，至少擁有一個(gè)帶有光學(xué)諧振器的激光二極管，以及一個(gè)帶有光學(xué)激活區(qū)域，用于測(cè)量激光二極管的光學(xué)數(shù)量的監(jiān)測(cè)二極管。諧振器的組成，舉例來(lái)說(shuō)，包括通常所說(shuō)的布拉格反射器，根據(jù)設(shè)計(jì)，該反射鏡主要實(shí)現(xiàn)反射功能，但是也能透射或者吸收一部分光線?？梢詮募す舛O管出口側(cè)析取一部分的光線，用于給監(jiān)測(cè)二極管進(jìn)行測(cè)量，但這不是沒(méi)有必需的。
在本發(fā)明的有利配置中，激光二極管的背部直接與監(jiān)測(cè)二極管相鄰。直接鄰近使得裝配非常簡(jiǎn)單，甚至允許激光二極管和監(jiān)測(cè)二極管組成的單元進(jìn)行預(yù)裝配。作為所述配置的選擇之一，在激光二極管的背部和監(jiān)測(cè)二極管之間提供有一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，在最簡(jiǎn)單的情況下，可以是一塊透明塑料。如果打算在激光二極管和監(jiān)測(cè)二極管之間減少除了光學(xué)類型之外的耦合，這樣的方法會(huì)顯得比較有利。其它類型的耦合，例如熱耦合或者電耦合，會(huì)擾亂監(jiān)測(cè)二極管感測(cè)的測(cè)量信號(hào)。
為了在激光二極管和監(jiān)測(cè)二極管之間改進(jìn)光學(xué)聯(lián)系，另一有利配置是，激光二極管擁有光學(xué)反射鏡，該反射鏡裝配在激光二極管的背部，用于和監(jiān)測(cè)二極管進(jìn)行光學(xué)耦合，這樣反射鏡透射一部分被監(jiān)測(cè)二極管感測(cè)到的激光。例如，布拉格反射鏡的獨(dú)立反射鏡數(shù)量減少，或者某些反射鏡根據(jù)它們的反射參數(shù)進(jìn)行了修改。反射鏡擁有一個(gè)減少反射的子區(qū)域，該區(qū)域剛好位于監(jiān)測(cè)二極管的光感應(yīng)區(qū)域的對(duì)應(yīng)位置。這樣從激光二極管析取光線，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)的反射耦合，具有更好的可靠性。
在本發(fā)明的有利形式中，激光二極管的背部與監(jiān)測(cè)二極管相對(duì)，擁有改進(jìn)的反射性能。例如，背部的表面是打毛的。這減少了從監(jiān)測(cè)二極管背向反射到激光二極管中的光線，過(guò)多背向反射光線對(duì)激光二極管操作有害。
監(jiān)測(cè)二極管的接線柱最好安排在監(jiān)測(cè)二極管襯底的重?cái)v雜位置，因此它們最好安排在監(jiān)測(cè)二極管光敏面內(nèi)施主與受主結(jié)合的一側(cè)。在本發(fā)明的改進(jìn)中，監(jiān)測(cè)二極管未與激光二極管相對(duì)的一面，被用以電路連接。這樣配備的先決條件是，監(jiān)測(cè)二極管的襯底不能充分地吸收激光二極管發(fā)出激光的波長(zhǎng)。這樣的低吸收率允許光學(xué)耦合穿過(guò)監(jiān)測(cè)二極管的襯底。
依據(jù)本發(fā)明的另一改進(jìn)，激光二極管未與監(jiān)測(cè)二極管相對(duì)的一側(cè)，被構(gòu)建用來(lái)連接電路，這樣激光二極管和監(jiān)測(cè)二極管之間的光學(xué)耦合，就與激光二極管的電路接觸和機(jī)械連接獨(dú)立開(kāi)來(lái)。更有利的是，激光二極管直接連接在襯底上。
依據(jù)本發(fā)明的有利配置，激光二極管牢固連接在襯底的出口一側(cè)，這樣襯底就與激光的光束路徑處于有效光學(xué)聯(lián)系之中。有利的是，在襯底上集成了一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)。作為一個(gè)光學(xué)子系統(tǒng)，它可以是光束傳輸路徑的一部分，例如，用于耦合到光導(dǎo)纖維中。
在本發(fā)明的有利配置中，為了實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單和自動(dòng)的裝配，激光二極管的發(fā)光側(cè)被固定，在這種情況下，可以采用倒裝晶片技術(shù)，將激光二極管焊接、固定于襯底上。
更有利的是，激光二極管可以獨(dú)立對(duì)應(yīng)與監(jiān)測(cè)二極管背部的裝配對(duì)應(yīng)定位。通過(guò)激光二極管的出口側(cè)的光線出口和監(jiān)測(cè)二極管光線檢測(cè)的功能性分離，實(shí)現(xiàn)獨(dú)立定位。
在上述情況中，分離激光二極管上固定有一個(gè)分離監(jiān)測(cè)二極管。作為這種情況的另一選擇，在本發(fā)明的一種改進(jìn)中，監(jiān)測(cè)二極管整體集成在激光二極管的背部。例如，它可以是布拉格反射鏡的部分反射和部分吸收反射鏡單元的一部分。
在本發(fā)明的優(yōu)選配置中，在諧振器和襯底之間的空間充滿了透明塑料。也可能在諧振器和監(jiān)測(cè)二極管之間提供透明塑料。
裝置最好封裝在非透明塑料中，該塑料保護(hù)獨(dú)立組件，并提高設(shè)備的機(jī)械穩(wěn)定性能。
激光二極管最好利用倒裝晶片技術(shù)安裝在襯底上，該襯底作為一個(gè)子載片，對(duì)于激光二極管發(fā)射的波長(zhǎng)是透明的。襯底可由硅或SiC組成。在這種情況下，不透明塑料最好完全包裹住激光二極管、監(jiān)測(cè)二極管和襯底，光線出口窗除外。光線出口窗最好由襯底的子區(qū)域形成，特別是通過(guò)集成在襯底上的光束整形面的外部表面構(gòu)成，例如透鏡的外部表面。
襯底最好裝配在焊接框架中，焊接框架在光線出口窗口附近有一個(gè)開(kāi)口。不透明塑料也可以封裝焊接框架，至少可以封裝一部分。
而且，可以提供充滿不透明塑料的包裝，該包裝至少封裝了激光二極管、監(jiān)測(cè)二極管和襯底，光線出口側(cè)除外。例如，該包裝可以是塑料包裝。
激光二極管最好是垂直發(fā)射激光二極管(VCSEL)。監(jiān)測(cè)二極管被裝配在VCSEL激光二極管的背部。


在下面的內(nèi)容中，將會(huì)參考借助于示例實(shí)施例所繪出的附圖，更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。
圖1顯示了本發(fā)明激光設(shè)備的總體示意圖，圖2給出了圖1中的激光設(shè)備的詳細(xì)示意圖，以及圖3顯示了現(xiàn)有技術(shù)中的激光設(shè)備。
具體實(shí)施例方式
激光設(shè)備的設(shè)計(jì)以示意圖的方式在圖1中給出。接線插腳(沒(méi)有顯示)，可能是焊接框架30的一部分，通過(guò)導(dǎo)線81，82焊接到金屬導(dǎo)體上、連接焊點(diǎn)或者直接連接到光電元件1，2。襯底6被固定在焊接框架30的一個(gè)內(nèi)部區(qū)域。不透明封裝混合物9圍住了裝置，尤其是接線插腳，襯底6和光電元件1，2。裝置被包裝31封裝，該包裝隨意充滿了灌注混合物或者是形成該包裝31的外部輪廓的物質(zhì)。灌注混合物在這種情況下，除用于保護(hù)和屏蔽前述器件外，也被用于機(jī)械支持，尤其是焊接框架和它的連接插腳。
圖2顯示了該激光設(shè)備的詳細(xì)示意圖。金屬互聯(lián)52構(gòu)建在襯底6上。垂直發(fā)射激光二極管1使用倒裝晶片技術(shù)連接到這些連接62上。垂直發(fā)射激光二極管1的觸點(diǎn)16，裝配在激光二極管1與襯底6相對(duì)的一側(cè)13上。
觸點(diǎn)16的優(yōu)化結(jié)構(gòu)是，由蒸發(fā)或者飛濺和構(gòu)成的焊接材料(例如AuZn)組成。定位可能通過(guò)圖象處理被動(dòng)完成，或者通過(guò)操作激光二極管1來(lái)主動(dòng)實(shí)施。
焊球16，也稱為球格，形成了激光二極管1和焊接后的襯底6的內(nèi)部連接62之間的公差不敏感金屬連接，也可以被當(dāng)作觸點(diǎn)。在裝配過(guò)程中，對(duì)定位幾何公差的鈍性，允許激光二極管1與其它光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)需要的定位。
激光二極管1自然擁有諧振器15。在激光二極管的諧振器15的出口側(cè)發(fā)射激光5，該激光所擁有的輻射波長(zhǎng)，使它在襯底6和在二極管襯底12中不會(huì)被吸收，或者僅有小部分被吸收，這樣光束路徑5可以通過(guò)這些材料，而沒(méi)有太多的激光損失。這樣的發(fā)散波長(zhǎng)，舉例來(lái)說(shuō)，其范圍界于1μm和1.8μm之間，如等于1.3μm和1.55μm。
在襯底6和諧振器15或者二極管襯底12之間的區(qū)域，充滿了塑料17，該塑料對(duì)于希望輻射的波長(zhǎng)是透明的。
光束路徑5因而對(duì)于鄰近光學(xué)系統(tǒng)也有很強(qiáng)的抗干涉能力，所以激光設(shè)備的包裝31沒(méi)有必要設(shè)計(jì)成為密封形式。最好將其充滿塑料，例如罐裝或者密封。另外，光束5的傳播媒介相對(duì)于空氣來(lái)說(shuō)為光密介質(zhì)，因此光束5會(huì)變短，發(fā)射發(fā)散度減少。由光學(xué)系統(tǒng)的某些部分背部反射，進(jìn)入到垂直發(fā)射激光二極管1中的光線，將會(huì)明顯減少。
在描述的示例模型中，雖然不是必需的，但襯底5還是以集成形式作為光學(xué)系統(tǒng)(例如一個(gè)傳播系統(tǒng))的一部分。由硅構(gòu)成的襯底，在圖2中已經(jīng)集成了透鏡61或者類似的部件，用于會(huì)聚或者擴(kuò)散產(chǎn)生的激光輻射5，或者將其耦合到光波導(dǎo)管中。
在激光二極管1的裝配過(guò)程中，從透鏡的一側(cè)，通過(guò)從透鏡61位置處的襯底6照亮，該透鏡1作為雙重功能以簡(jiǎn)化激光二極管1的裝配，顯得尤其方便。從透鏡61照射出來(lái)的光斑，被用作激光二極管被動(dòng)對(duì)齊的裝配標(biāo)記，因此不必在裝配過(guò)程中對(duì)激光二極管1進(jìn)行操作。
而且，激光二極管1傾斜安裝更為有利，這樣從襯底6發(fā)出的背向反射進(jìn)入到激光二極管1中的光線將明顯減少。為實(shí)現(xiàn)這樣的目標(biāo)，激光二極管1相對(duì)應(yīng)于襯底6的表面，有輕度的裝配傾斜，該傾斜通過(guò)使用精密的硅片觸點(diǎn)的不同厚度，或者使用激光二極管1或者襯底6上的觸點(diǎn)的不同層厚度來(lái)實(shí)現(xiàn)。
透鏡61的表面構(gòu)成了激光設(shè)備的光出口窗口。所有其它區(qū)域都被不透明塑料灌注混合物9包住。焊接框架30在鏡頭61(參考圖1)的附近有一個(gè)孔30a。
結(jié)構(gòu)互聯(lián)62的使用，允許較低雜散電容和雜散電感的布局。而且，在射頻范圍的電路連接性能已經(jīng)大大增強(qiáng)了。微波傳輸帶和共面線可以集成在襯底上。因?yàn)榧す舛O管1被裝配在距離襯底6很近的位置，所以在操作過(guò)程中，它可以以很小的熱阻抗向襯底6和焊接框架30，進(jìn)而向相鄰的介質(zhì)散發(fā)熱量。
在某個(gè)配置中(沒(méi)有顯示出來(lái))，激光二極管1的射頻控制電路，例如驅(qū)動(dòng)器，被附加集成在襯底上。在這種方法中，有可能通過(guò)硅片觸點(diǎn)16產(chǎn)生從驅(qū)動(dòng)器到激光二極管1的極短的電路連線。
監(jiān)測(cè)二極管2使用膠接被直接固定在激光二極管1上面。膠接技術(shù)減少了監(jiān)測(cè)二極管在裝配過(guò)程中總體的熱負(fù)載。監(jiān)測(cè)二極管1被光學(xué)耦合到諧振器15的出口側(cè)對(duì)面的背部11上。該背部11也發(fā)射光線51，該激光51的能量?jī)H僅是光線5發(fā)射到光學(xué)系統(tǒng)中光線的一小部分，這些光線是為了被監(jiān)測(cè)二極管2感應(yīng)到。為實(shí)現(xiàn)這樣的目的，監(jiān)測(cè)二極管有一個(gè)光感應(yīng)而(沒(méi)有在圖2中顯示)，它被裝配在背部發(fā)射光線51的光束路徑51中，方便地吸收該激光光束51。
在背對(duì)著激光二極管1的側(cè)面20，通過(guò)焊接圖1中描述的電線82，監(jiān)測(cè)二極管2已經(jīng)連接了焊點(diǎn)21。根據(jù)監(jiān)測(cè)二極管2的這一設(shè)計(jì)，可能出現(xiàn)非常節(jié)約成本的產(chǎn)品，因?yàn)楸O(jiān)測(cè)二極管2背對(duì)激光二極管1的側(cè)面不需要被固定。
監(jiān)測(cè)二極管的光感應(yīng)面更適宜置于監(jiān)測(cè)器二極管2的頂面20，該頂面也包括連接焊點(diǎn)21，為了允許以簡(jiǎn)單方式接觸光感應(yīng)面。
在被介紹的某種示例實(shí)施例中，激光二極管2的背部11被打毛，因而使得從監(jiān)測(cè)二極管2進(jìn)入到激光二極管1的背部反射光線減小到最小程度。
根據(jù)所描述的激光設(shè)備的緊湊設(shè)計(jì)，有可能使用很小的包裝尺寸。這樣的設(shè)計(jì)特別適用于表面封裝(SMD技術(shù))。而且，緊湊設(shè)計(jì)允許垂直發(fā)射激光二極管1到4的密集安裝為一維或兩維矩陣形式。
在本發(fā)明的改進(jìn)中，緊湊設(shè)計(jì)也允許自我對(duì)準(zhǔn)處理。在這種情況下，在激光二極管上的焊接點(diǎn)，根據(jù)它們的幾何形狀匹配到襯底的焊接面上，這樣，在焊接過(guò)程中，促使焊接點(diǎn)排成一線的機(jī)械力形成。在這種情況下，自我對(duì)準(zhǔn)基于物理規(guī)則焊點(diǎn)盡可能使其表面張力最小。
概括地說(shuō)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是，因?yàn)榧す舛O管的背部不需要固定，所以激光設(shè)備可以根據(jù)體積合適生產(chǎn)，例如在四英寸技術(shù)中。監(jiān)測(cè)二極管2也是如此。用于半導(dǎo)體芯片的板的裝配可以被使用了。預(yù)燒，和激光二極管1的光學(xué)和電路屬性的測(cè)量一樣，已經(jīng)在板中成為可能，或者在SMD包裝中進(jìn)行過(guò)測(cè)試，因此缺陷部分可以更早地被拋棄。因?yàn)闆](méi)有必要使用反射輻射，監(jiān)測(cè)功能能夠更有效地實(shí)現(xiàn)。
通過(guò)布局設(shè)計(jì)使激光二極管1和監(jiān)測(cè)二極管2安裝在同一個(gè)側(cè)面，因?yàn)榧す舛O管1和監(jiān)測(cè)二極管2的電觸點(diǎn)都在同一側(cè)，所以半導(dǎo)體芯片的可生產(chǎn)性和再生產(chǎn)性都明顯提高了。布局設(shè)計(jì)使得監(jiān)測(cè)二極管2可以使用長(zhǎng)焊接電線82連接，同時(shí)，激光二極管1可以容易地根據(jù)射頻技術(shù)，采用硅片觸點(diǎn)16和短焊接線81實(shí)現(xiàn)連接。
權(quán)利要求
1.一種激光設(shè)備，它包括—一個(gè)帶有光學(xué)諧振器的激光二極管，該二極管有出口側(cè)面，用以向一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)中輻射激光；—一個(gè)帶有光感應(yīng)面的監(jiān)測(cè)二極管，用于測(cè)量激光二極管的至少一種光學(xué)量，其特征在于監(jiān)測(cè)二極管(2)的光感應(yīng)面和激光二極管(1)的背部(11)是光耦合的，所述背部(11)處在諧振器(15)的光線出口側(cè)的另一側(cè)，并且也發(fā)射光線。
2.如權(quán)利要求1所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)是激光二極管(1)的背部(11)直接和監(jiān)測(cè)二極管(2)相鄰。
3.如權(quán)利要求1或2所述的激光設(shè)備，其中的激光二極管擁有光學(xué)反射鏡，其特點(diǎn)在于裝配在激光二極管(1)的背部(11)上用于和監(jiān)測(cè)二極管(2)光耦合的反射鏡被設(shè)計(jì)成能夠傳送激光光線的一部分(51)，該部分可由監(jiān)測(cè)二極管(2)感應(yīng)。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)的背部(11)有增強(qiáng)的反射率。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于監(jiān)測(cè)二極管(2)的背對(duì)激光二極管的表面被構(gòu)造用于電連接。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)背對(duì)監(jiān)測(cè)二極管(2)的側(cè)面(13)被構(gòu)造用于電連接。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)直接固定在襯底(6)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)的發(fā)光側(cè)(13)被構(gòu)造，并且激光二極管(1)被連接和固定在襯底(2)上，采用的方法是倒裝晶片技術(shù)的焊接方法。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，尤其是透鏡(61)，被集成在襯底(6)中，并且激光二極管(1)可以根據(jù)光學(xué)系統(tǒng)(61)進(jìn)行放置，而與背部監(jiān)測(cè)二極管(2)的裝配無(wú)關(guān)。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于監(jiān)測(cè)二極管(21)膠接在激光二極管(1)的背部(11)。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于監(jiān)測(cè)二極管被單片集成在激光二極管的背部。
12.根據(jù)權(quán)利要求7到11中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于在諧振器(15)和襯底(6)之間的區(qū)域中，充滿了透明塑料(17)。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于在諧振器(15)和監(jiān)測(cè)二極管(2)之間提供了透明塑料。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光設(shè)備的組件被不透明塑料(9)罐裝或者封裝。
15.根據(jù)權(quán)利要求7至14中至少一件所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)被以倒裝晶片技術(shù)反裝在襯底上(6)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于襯底(6)是一個(gè)對(duì)激光二極管(1)的發(fā)射波長(zhǎng)透明的子襯片。
17.根據(jù)權(quán)利要求14、15和16所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于除光波出口窗口外，不透明的塑料(9)完全包住了激光二極管(1)、監(jiān)測(cè)器二極管(2)和襯底(6)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于光波出口窗口是通過(guò)襯底(6)的子區(qū)域形成的，特別是通過(guò)集成在襯底上的成形光束表面(61)的外表面形成。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于襯底(6)排列在焊接框架(30)上并且該焊接框架(30)在光波出口窗口附近有一個(gè)孔(30a)。
20.根據(jù)權(quán)利要求17、18或19所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于提供了包裝(31)，該包裝充滿了不透明塑料(9)，并且該包裝至少封裝了激光二極管(1)、監(jiān)測(cè)二極管(2)和襯底(6)，光線出口側(cè)除外。根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一條所述的激光設(shè)備，其特點(diǎn)在于激光二極管(1)是一個(gè)垂直發(fā)射激光二極管。
全文摘要
本發(fā)明涉及激光設(shè)備，配備有激光二極管(1)，該二極管配備有用于發(fā)光的光學(xué)諧振器(15)，此光學(xué)諧振器還具有用來(lái)向光學(xué)系統(tǒng)發(fā)射激光的出口；該激光設(shè)備還配備有監(jiān)測(cè)二極管(2)，該二極管具有光敏面，用于測(cè)量激光二極管的光學(xué)量。依照本發(fā)明，具有光敏面的監(jiān)測(cè)二極管(2)與激光二極管(1)的處于諧振器發(fā)光側(cè)的另一側(cè)的背部(11)發(fā)生光耦合。激光二極管背部(11)也會(huì)產(chǎn)生激光。這一設(shè)計(jì)允許激光設(shè)備采用節(jié)省空間的SMD布局。
文檔編號(hào)H01S5/026GK1431742SQ0310093
公開(kāi)日2003年7月23日 申請(qǐng)日期2003年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月9日
發(fā)明者M·維格特, G·斯泰恩勒, H·D·沃爾夫, H·L·奧爾索斯 申請(qǐng)人:因芬尼昂技術(shù)股份公司