專利名稱:紫外多波段激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉激光領(lǐng)域,具體涉及紫外多波段激光器,它應(yīng)用在激光生物學、激光醫(yī)學、環(huán)境光學方面。
圖1中,1、調(diào)QNdYAG激光器,2、倍頻晶體,3、分色光鏡,8、鈦寶石激光器的后腔鏡,9、鈦寶石激光器的調(diào)諧棱鏡或棱鏡組,10、鈦寶石激光晶體,11、鈦寶石激光器的前腔鏡,12、倍頻晶體,13、分光棱鏡,B為基頻激光680nm-1100nm可調(diào),A為紫(或蘭)諧波激光340nm-550nm,其中分色鏡3鍍膜對1064nm全反射,對532nm高透射。上述可調(diào)諧鈦寶石激光器系統(tǒng)只能獲得蘭光或紫光,不能同時獲得其它多波段的激光光束。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的本實用新型是在原有的QNdYAG激光器及倍頻晶體之后利用諧波技術(shù)獲得532nm、355nm、266nm多種波段諧波,并用分光棱鏡或分色鏡獲得輸出,同時利用剩余的532nm激光束,作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)倍頻獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或蘭綠光的激光束。
一種紫外多波段激光器,包括QNdYAG激光器、倍頻晶體、分色鏡、鈦寶石激光器的后腔鏡、鈦寶石激光器的調(diào)諧棱鏡、鈦寶石晶體、鈦寶石激光器的前腔鏡、倍頻晶體、分光棱鏡,激光器部件按紙面布置,則調(diào)QNdYAG激光器的倍頻晶體之后532nm激光束的偏振方向為平行于紙面,其特征在于在倍頻晶體之后,去掉分色鏡,依次安裝一個三次諧波晶體和二個分光棱鏡,二個分光棱鏡之間安裝有光欄,將倍頻晶體生成1064nm+532nm二波段激光束經(jīng)三次諧波晶體變成1064nm+532nm+355nm三種波段激光束,經(jīng)分光棱鏡和光欄,獲得分離出來的355nm和532nm波段激光束,再經(jīng)另一分光棱鏡將剩余的532nm波段的激光束作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)倍頻晶體及分光棱鏡,獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或蘭光的激光束。
本實用新型另一種結(jié)構(gòu)是,在分色鏡之后,依次安裝一個四次諧波晶體和分色鏡,本分色鏡45度對266nm激光束全反射,對532nm激光束高透射,經(jīng)分色鏡獲得分離出來266nm激光束,將剩余的532nm波段的激光束作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)倍頻晶體及分光棱鏡,獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或蘭光的激光束。經(jīng)過增加二個部件就可同時獲得多波段的激光輸出,增加了功能。
圖2是用三次諧波紫外多波段激光器結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是用四次諧波紫外多波段激光器結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中標號為,1、調(diào)QNdYAG激光器,2、調(diào)QNdYAG激光器倍頻晶體,3、分色鏡,4、四次諧波晶體,5、三次諧波晶體,6、7、分光棱鏡組,8、鈦寶石激光器的后腔鏡,9、鈦寶石激光器的調(diào)諧棱鏡,10、鈦寶石激光晶體,11、鈦寶石激光器的前腔鏡,12、鈦寶石激光器的倍頻晶體,13、分光棱鏡,14、光欄,15、分色鏡,其中分色鏡3鍍膜45度對1064nm全反射,對532nm高透射,分色鏡15鍍膜45度對266nm激光束全反射,對532nm激光束高透射,。C1為355nm激光束,C2為266nm激光束,B為基頻激光680nm-1100nm,A、諧波激光340nm-550nm紫(蘭)。
圖2是在QNdYAG激光器1和倍頻晶體2之后,去掉分色鏡3,換上一個三次諧波晶體5,可將倍頻晶體2后生成的1064nm+532nm+355nm三種波,再經(jīng)分光棱鏡6,則獲得分離出來的355nm、532nm和1064nm,其后又設(shè)一光欄14和一分光棱鏡7,去掉1064nm激光束,將剩余532nm光束引入光泵可調(diào)諧鈦寶石激光系統(tǒng)10,最后獲得紫外(或蘭光)的激光束。
圖3是另一種諧波技術(shù)方案,是指在QNdYAG激光器1、倍頻晶體2及45度分色鏡3后,加入一個四次諧波晶體4和分色鏡15,分色鏡3只能通532nm,經(jīng)四次倍頻得到532nm+266nm二種波,再經(jīng)分色鏡15,則獲得266nm波,將剩余的532nm光束經(jīng)分光棱鏡7引入光泵可調(diào)諧鈦寶石激光系統(tǒng)10,最后獲得紫外(或蘭光)的激光束。
權(quán)利要求1.一種紫外多波段激光器,包括調(diào)QNdYAG激光器、倍頻晶體、分色鏡、鈦寶石激光器的后腔鏡、鈦寶石激光器的調(diào)諧棱鏡、鈦寶石晶體、鈦寶石激光器的前腔鏡、倍頻晶體、分光棱鏡,激光器部件按紙面布置,則調(diào)QNdYAG激光器的倍頻晶體之后532nm激光束的偏振方向為平行于紙面,其特征在于在調(diào)QNdYAG激光器之后的倍頻晶體之后,去掉分色鏡,依次安裝一個三次諧波晶體和二個分光棱鏡,將倍頻晶體生成的1064nm+532nm二波段激光束經(jīng)三次諧波變成1064nm+532nm+355nm三種波段激光束,經(jīng)分光棱鏡,獲得分離出來的355nm或532nm波段激光束,再經(jīng)另一分光棱鏡將剩余的532nm波段的激光束作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)鈦寶石激光器的倍頻晶體及分光棱鏡,獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或蘭光的激光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外多波段激光器,其特征在于二個分光棱鏡之間安裝有光欄。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外多波段激光器,其特征在于在分色鏡之后,依次安裝一個四次諧波晶體和一個分色鏡,獲得266nm激光束,將剩余的532nm波段的激光束作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)倍頻晶體及分光棱鏡,獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或蘭光的激光束。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外多波段激光器,其特征在于分色鏡安裝為45度,對266nm激光束全反射,對532nm激光束高透射。
專利摘要本實用新型公開了一種紫外多波段激光器,包括調(diào)QNdYAG激光器、倍頻晶體、分色鏡、鈦寶石激光器的后腔鏡、鈦寶石激光器的調(diào)諧棱鏡、鈦寶石晶體、鈦寶石激光器的前腔鏡、倍頻晶體,其特征在于在調(diào)QNdYAG激光器及倍頻晶體之后利用諧波技術(shù)獲得532nm\355nm\266nm多種波段,并用分光棱鏡組或分色鏡獲得輸出,同時利用剩余的532nm激光束,作為光泵可調(diào)諧鈦寶石激光器的泵浦源,獲得鈦寶石可調(diào)諧的激光束,再經(jīng)倍頻獲得可調(diào)諧鈦寶石激光器紫外或藍光的激光束。本實用新型在激光生物學、激光醫(yī)學、環(huán)境光學中有重要的應(yīng)用。
文檔編號H01S3/00GK2588633SQ0228643
公開日2003年11月26日 申請日期2002年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月28日
發(fā)明者陳長水, 劉佩田, 吳先友 申請人:中國科學院安徽光學精密機械研究所