專利名稱：可調(diào)輸出基模二氧化碳激光的調(diào)諧機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于激光技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種可調(diào)式易輸出基模的二氧化碳激光器，尤其是涉及一種輸出基模的二氧化碳激光中的調(diào)諧機(jī)構(gòu)的改進(jìn)。
以前在封離型二氧化碳激光器制作過(guò)程中，均采用傳統(tǒng)貼片方式，即在激光放電管兩端面的腔鏡是粘接在激光管外殼兩端面上。此方法將激光放電管兩端面磨成平行度很高并且分別要垂直于激光放電管內(nèi)徑軸線。在平行光管監(jiān)測(cè)下將兩片腔鏡用膠分別粘接在激光放電管的兩端面上，并將其對(duì)接處進(jìn)行烘烤處理。采用傳統(tǒng)貼片方式其激光放電管兩端面磨平費(fèi)工、費(fèi)時(shí)并且相互位置精度不易保證。由于對(duì)粘接膠層處進(jìn)行烘烤處理時(shí)，粘接膠層處容易發(fā)生位置變化，使兩腔鏡相互位置很難與烘烤前一樣。很難保證激光放電管兩端的腔鏡片在夾具中所處理想的相對(duì)位置不變。因此，很難制作出輸出基模的二氧化碳激光器。
本實(shí)用新型的詳細(xì)內(nèi)容它包括在與激光放電管的兩端對(duì)稱安置有調(diào)整螺釘1、活動(dòng)法蘭2、固定法蘭3、電極接線柱4、激光放電管5、回氣管6、腔鏡7、錐體調(diào)整墊8、水嘴9、電極10，其靜態(tài)結(jié)構(gòu)及相互位置關(guān)系特點(diǎn)是在激光放電管5的兩端面分別對(duì)接出一個(gè)固定法蘭3作為定位基準(zhǔn)，固定法蘭3與激光放電管5之間固定聯(lián)接，兩個(gè)固定法蘭3的平面與激光放電管5內(nèi)徑的軸線垂直，并且兩個(gè)固定法蘭3的平面相互平行，兩個(gè)腔鏡7分別固定安裝在活動(dòng)法蘭2上，固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2之間加入錐體調(diào)整墊8，在固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2的平面上均勻布置六個(gè)調(diào)整螺釘1，固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2上均勻布置間隔的三個(gè)調(diào)整螺釘1組合成一組，其中一組起到調(diào)整作用，間隔的另一組調(diào)整螺釘1起到緊固作用。
本實(shí)用新型的動(dòng)態(tài)連接關(guān)系首先將激光放電管兩端的調(diào)諧機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整，使用調(diào)諧機(jī)構(gòu)中的調(diào)整螺釘調(diào)整兩個(gè)腔鏡間的平行度、調(diào)整兩個(gè)腔鏡與激光放電管內(nèi)徑軸線的垂直度。當(dāng)激光器通電工作時(shí)，使兩個(gè)腔鏡的平行度及兩個(gè)腔鏡與激光放電管內(nèi)徑軸線的垂直度，提供一種可調(diào)輸出基模的二氧化碳激光調(diào)諧機(jī)構(gòu)。
本實(shí)用新型解決了貼片式激光放電管難于輸出基模二氧化碳激光，根據(jù)六點(diǎn)定位及平面調(diào)平原理，提出用法蘭式調(diào)諧機(jī)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)貼片方法，通過(guò)調(diào)整法蘭式調(diào)諧機(jī)構(gòu)能使兩個(gè)腔鏡相互位置滿足激光放電管輸出基模的條件，從而制作出的二氧化碳激光器。因此，用法蘭式調(diào)諧機(jī)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)貼片式方法制作出的二氧化碳激光器易輸出基模，調(diào)節(jié)方便、操作簡(jiǎn)單、制作組裝激光放電管時(shí)效率高，可廣泛應(yīng)用于各種二氧化碳激光管的制作、二氧化碳激光工業(yè)加工、二氧化碳激光刻劃、打標(biāo)設(shè)備、二氧化碳激光醫(yī)用設(shè)備中。


圖1是本實(shí)用新型的主視圖圖2是本實(shí)用新型的向視圖本實(shí)用新的實(shí)施例根據(jù)“六點(diǎn)定位”及“平面調(diào)平”原理，如圖1、圖2所示，其部件是調(diào)整螺釘1、活動(dòng)法蘭2、固定法蘭3、電極接線柱4、激光放電管5、回氣管6、腔鏡7、錐體調(diào)整墊8、水嘴9、電極10，在激光放電管5兩端面各對(duì)接出一個(gè)采用金屬制成的固定法蘭3作為定位基準(zhǔn)。固定法蘭3可采用銦鋼材料制成與激光放電管5之間采取燒接固定方法聯(lián)接，燒接時(shí)將激光放電管5與固定法蘭3放在夾具中，以保證固定法蘭3的平面與激光放電管5內(nèi)徑軸線垂直度偏差小于1.23″、平行度偏差小于21″。將兩個(gè)腔鏡7用膠接或壓接固定在活動(dòng)法蘭2上，固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2之間置入用金屬無(wú)氧銅制成的內(nèi)、外錐體調(diào)整墊8。用平行光管監(jiān)測(cè)兩個(gè)腔鏡7之間的平行度和兩個(gè)腔鏡7與激光放電管5內(nèi)徑軸線的垂直度。在固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2平面上均勻布置六個(gè)調(diào)整螺釘1，每隔120℃布置一個(gè)調(diào)整螺釘1，相隔120℃的三個(gè)調(diào)整螺釘1組合成一組，其中一組起到調(diào)整作用，另一組起到緊固作用。通過(guò)反復(fù)調(diào)整螺釘1，帶動(dòng)活動(dòng)法蘭2使其上的錐體調(diào)整墊8的位置發(fā)生變化，錐體調(diào)整墊8調(diào)整兩個(gè)活動(dòng)法蘭2上的兩個(gè)腔鏡7之間的平行度和兩個(gè)腔鏡7與激光放電管5內(nèi)徑軸線的垂直度。錐體調(diào)整墊8與固定法蘭3和活動(dòng)法蘭2的錐體起密封作用。通過(guò)反復(fù)調(diào)整兩個(gè)腔鏡的相互位置，可以使兩個(gè)腔鏡的相互位置滿足激光器輸出基模的條件。電極接線柱4與外部電源連接。電極接線柱4與電極10連接。激光放電管5的回氣孔與回氣管6固定連接。激光放電管5的外殼與水嘴9連接。水嘴9和回氣管6采用普通玻璃制成。電極接線柱4和電極10根據(jù)激光器功率的大小選擇其型號(hào)。調(diào)整螺釘1采用市場(chǎng)上供應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)件。活動(dòng)法蘭2用金屬無(wú)氧銅制成。腔鏡7由平面鏡和曲面鏡組成，采用錫化鋅片、鍺片或k9光學(xué)玻璃制成。
權(quán)利要求1.一種可調(diào)輸出基模二氧化碳激光的調(diào)諧機(jī)構(gòu)，它包括電極接線柱4、激光放電管5、回氣管6、腔鏡7、水嘴9、電極10，其特征在于在與激光放電管5的兩端對(duì)稱安置有調(diào)整螺釘1、活動(dòng)法蘭2、固定法蘭3、電極接線柱4、激光放電管5、回氣管6、腔鏡7、錐體調(diào)整墊8、水嘴9、電極10，在激光放電管5兩端面分別對(duì)接出一個(gè)固定法蘭3作為定位基準(zhǔn)，固定法蘭3與激光放電管5之間固定聯(lián)接，兩個(gè)固定法蘭3的平面與激光放電管5內(nèi)徑的軸線垂直，并且兩個(gè)固定法蘭3的平面相互平行，兩個(gè)腔鏡7分別固定安裝在活動(dòng)法蘭2上，固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2之間加入錐體調(diào)整墊8，在固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2的平面上均勻布置六個(gè)調(diào)整螺釘1，固定法蘭3與活動(dòng)法蘭2上均勻布置間隔的三個(gè)調(diào)整螺釘1組合成一組，其中一組起到調(diào)整作用，間隔的另一組調(diào)整螺釘1起到緊固作用。
專利摘要本實(shí)用新型屬于激光技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種可調(diào)式易輸出基模的二氧化碳激光器,尤其是涉及一種輸出基模的二氧化碳激光中的調(diào)諧機(jī)構(gòu)的改進(jìn)。它包括在螺釘、法蘭、接線柱、激光放電管、回氣管、腔鏡、調(diào)整墊、水嘴、電極。本實(shí)用新型能使兩個(gè)腔鏡相互位置滿足激光放電管輸出基模的條件,制作出二氧化碳激光器易輸出基模,調(diào)節(jié)方便、操作簡(jiǎn)單、制作組裝激光放電管時(shí)效率高,可應(yīng)用于各種二氧化碳激光管的制作、二氧化碳激光工業(yè)加工、二氧化碳激光刻劃、打標(biāo)設(shè)備、二氧化碳激光醫(yī)用設(shè)備中。
文檔編號(hào)H01S3/02GK2442416SQ0025133
公開(kāi)日2001年8月8日 申請(qǐng)日期2000年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月4日
發(fā)明者彭忠琦 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所