專利名稱：信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底和信息記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底和信息記錄介質(zhì)。更詳細(xì)地講，本發(fā)明涉及楊氏模量高、具有高剛性、特別是適合作為要求優(yōu)異的表面平滑性以及高彈性模量和高膨脹率的信息記錄介質(zhì)用襯底的玻璃襯底，以及具備該玻璃襯底的信息記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
計(jì)算機(jī)等的磁存儲(chǔ)裝置的主要構(gòu)成要素是磁記錄介質(zhì)和磁記錄再現(xiàn)用的磁頭。作為前者磁記錄介質(zhì)，已知軟盤和硬盤。其中作為硬盤用的襯底材料，主要使用鋁合金。最近，伴隨硬盤驅(qū)動(dòng)器的小型化和磁記錄的高密度化，磁頭的浮動(dòng)量顯著減少。與之相伴，對(duì)于磁盤襯底的表面平滑性要求極高的精度。可是，在鋁合金的場(chǎng)合，由于硬度低，因此即使使用高精度的拋光劑和工作機(jī)器進(jìn)行拋光加工，該拋光面也發(fā)生塑性變形，因此制造某種程度以上高精度的平坦面是困難的。另外，伴隨硬盤驅(qū)動(dòng)器的小型化·薄型化，也要求減小磁盤用襯底的厚度?？墒?，由于鋁合金的強(qiáng)度、剛性低，因此保持由硬盤驅(qū)動(dòng)器的情形所要求的給定強(qiáng)度，同時(shí)減薄磁盤是困難的。于是，需要高強(qiáng)度、高剛性、高耐沖擊性、高表面平滑性的磁盤用玻璃襯底出現(xiàn)了。其中，市售有用離子交換法強(qiáng)化了襯底表面的化學(xué)強(qiáng)化玻璃襯底，和實(shí)施了晶化處理的晶化襯底等。
可是，伴隨最近的硬盤小型化、薄型化、記錄的高密度化，磁頭的低浮動(dòng)化以及盤旋轉(zhuǎn)的高速化急速發(fā)展，因此，更嚴(yán)格地要求磁盤襯底材料的強(qiáng)度和楊氏模量、表面平滑性等。特別是由于最近個(gè)人電腦和服務(wù)器用硬盤信息記錄的高密度化，嚴(yán)格要求襯底材料的表面平滑性和表面平坦性，另外，相應(yīng)于數(shù)據(jù)處理的高速化，需要使盤的轉(zhuǎn)速在10000rpm以上，因此，對(duì)襯底材料的剛性度的要求更加嚴(yán)格，現(xiàn)有的鋁襯底的極限已經(jīng)清楚。今后，只要硬盤的高容量化、高速旋轉(zhuǎn)化的需要是必然的，作為磁記錄介質(zhì)用襯底材料就一定強(qiáng)烈要求高楊氏模量、高強(qiáng)度、優(yōu)異的表面平坦性以及平滑性、耐沖擊性等。
可是，市場(chǎng)銷售的各種化學(xué)強(qiáng)化玻璃，其楊氏模量為約80GPa左右，顯然不能適應(yīng)今后硬盤的嚴(yán)格要求。市場(chǎng)銷售的晶化玻璃，雖然楊氏模量高達(dá)90GPa左右，但是由于在材料的內(nèi)部存在異相種的晶粒，因此在拋光后的表面以由晶粒造成的凹凸的形式殘存是不可避免的，與化學(xué)強(qiáng)化玻璃比，具有表面平滑性差的缺點(diǎn)。
另外，對(duì)于非晶玻璃制的襯底，為了得到優(yōu)異的表面平滑性，要求極高的耐水性。當(dāng)襯底的耐水性不充分時(shí)，在洗滌時(shí)，襯底表面的平滑性降低，作為信息記錄介質(zhì)用襯底，不能夠滿足今后要求的高的平滑性。
本發(fā)明人中的一人早先為了適應(yīng)高速旋轉(zhuǎn)化，提出了一種由具有高楊氏模量(100GPa以上)、液相溫度為1350℃以下的玻璃構(gòu)成的信息記錄介質(zhì)用襯底(WO98/55993號(hào)公報(bào))。該信息記錄介質(zhì)用襯底由于具有極高的楊氏模量，因此在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)也能夠穩(wěn)定、較低地確保浮動(dòng)高度(記錄再現(xiàn)時(shí)的磁頭和磁盤之間的距離)。
對(duì)這樣的高楊氏模量的玻璃襯底進(jìn)一步付與耐水性，制成表面平滑性優(yōu)異的襯底，由此得到充分滿足上述要求特性的信息記錄介質(zhì)用襯底。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，在這樣的情況之下，提供適合作為要求優(yōu)異的表面平滑性的信息記錄介質(zhì)用襯底，而且，楊氏模量高、具有高剛性的上述襯底和具備高膨脹率的玻璃襯底，以及具備該襯底的信息記錄介質(zhì)。
本發(fā)明人為實(shí)現(xiàn)上述目的而反復(fù)刻苦研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過在某個(gè)條件下在水中保持之后和保持之前的表面的中心線平均粗糙度的比在特定的范圍的玻璃襯底，能夠達(dá)到該目的，基于此知識(shí)見解，完成了本發(fā)明。
即，本發(fā)明提供(1)一種信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，其特征在于，保持前的表面的中心線平均粗糙度Rab相對(duì)于在溫度80℃的水中保持24小時(shí)時(shí)的表面的中心線平均粗糙度Raf的比(Rab/Raf)是0.8-1，楊氏模量是90GPa以上。
(2)根據(jù)上述(1)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，具有實(shí)質(zhì)上由SiO2、Al2O3、Li2O、Na2O、MgO、CaO、TiO2、ZrO2構(gòu)成的組成。
(3)根據(jù)上述(2)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，其特征在于，上述玻璃按摩爾％表示，具有實(shí)質(zhì)上由SiO2超過50％且70％以下、Al2O31％以上不足6％、Li2O超過12％且25％以下、Na2O1％以上不足3％、MgO0％以上不足15％、CaO1-30％、TiO2超過0.1％且不足5％、ZrO2超過3％且10％以下構(gòu)成的組成。
(4)根據(jù)上述(1)至(3)的任1項(xiàng)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，由化學(xué)強(qiáng)化的玻璃構(gòu)成。
(5)根據(jù)上述(1)至(4)的任1項(xiàng)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，在100-300℃下的平均線熱膨脹系數(shù)是80×10-7/℃以上。
(6)一種信息記錄介質(zhì)，其特征在于，在上述(1)至(6)的任1項(xiàng)所述的玻璃襯底上具有信息記錄層。
實(shí)施發(fā)明的最佳方式首先說明本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底。
本發(fā)明的玻璃襯底具有優(yōu)異的耐水性，對(duì)于該耐水性，在將于溫度80℃的水中保持24小時(shí)時(shí)的表面的中心線平均粗糙度記為Raf，將上述保持前的表面的中心線平均粗糙度記為Rab時(shí)，能夠用Rab/Raf表示。在本發(fā)明中，此Rab/Raf的值是0.8-1。該Rab/Raf的值越接近于1，耐水性越好，成為表面粗糙度的劣化小的玻璃襯底。優(yōu)選的Rab/Raf值是0.84-1。另外，作為在水中保持前的表面中心線平均粗糙度Rab，優(yōu)選為0.1-0.5nm的范圍。再者，上述Rab和Raf可使用原子力顯微鏡(AFM)測(cè)定。
本發(fā)明的玻璃襯底在具備上述特性的同時(shí)，具有楊氏模量是90GPa以上的高剛性。更優(yōu)選是95GPa以上。例如可以確定玻璃組成，使楊氏模量是90-120GPa，優(yōu)選達(dá)到95-120GPa。
這樣能夠提供可適用于高速旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異的信息記錄介質(zhì)，且表面平滑性極高的信息記錄介質(zhì)用襯底。
另外，在該襯底中，優(yōu)選在100-300℃下的平均線熱膨脹系數(shù)是80×10-7/℃以上。從將信息記錄介質(zhì)組入磁盤驅(qū)動(dòng)器使用上考慮，在上述范圍內(nèi)與驅(qū)動(dòng)器側(cè)的支撐構(gòu)件的平均線熱膨脹系數(shù)一致為好。
此外，在滿足上述耐水性、楊氏模量、膨脹系數(shù)的基礎(chǔ)上，優(yōu)選比重為3.1以下，更優(yōu)選為2.9以下。例如可以以比重2.3-2.9為目標(biāo)決定玻璃組成。
該玻璃襯底的優(yōu)選玻璃組成是實(shí)質(zhì)上由SiO2、Al2O3、Li2O、Na2O、MgO、CaO、TiO2、ZrO2構(gòu)成的組成。其中，上述各成分的含量用摩爾％表示，優(yōu)選為SiO2超過50％且70％以下、Al2O31％以上不足6％、Li2O超過12％且25％以下、Na2O1％以上不足3％、MgO0％以上不足15％、CaO1-30％、TiO2超過0.1％且不足5％、ZrO2超過3％且10％以下。(以下只要不特別聲明，玻璃的各成分的含量為摩爾％表示。)下面對(duì)于優(yōu)選上述組成的理由進(jìn)行說明。()內(nèi)表示采用重量％表示時(shí)的優(yōu)選含量。
SiO2是玻璃的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的主體成分，其含量的下限考慮玻璃的耐久性、耐晶化性、高溫成型性而確定。另外，上限考慮楊氏模量、膨脹系數(shù)而確定。SiO2的優(yōu)選含量是超過50％且70％以下(超過30重量％且不足66重量％)。SiO2的更優(yōu)選含量是超過50％且不足65％(超過30重量％且不足66重量％)，進(jìn)一步優(yōu)選的含量是超過55％且不足63％。
Al2O3是為使玻璃的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、提高耐久性而必需的成分，將玻璃襯底浸漬在水中洗滌的場(chǎng)合，也是用于防止玻璃表面粗糙的成分。其含量的下限考慮玻璃的耐久性、防止洗滌時(shí)的表面粗糙而確定。另一方面，上限考慮后確定，使成型性不會(huì)因液相溫度上升而降低。Al2O3的優(yōu)選含量是1％以上不足6％(不足12重量％)，更優(yōu)選的含量是1％以上不足6％(不足12重量％)，進(jìn)一步優(yōu)選的含量是不足11重量％，進(jìn)一步更優(yōu)選的含量是不足10重量％。
Li2O是為降低玻璃的熔化溫度、改善熔化性而必不可缺的成分，同時(shí)，也是在化學(xué)強(qiáng)化中進(jìn)行離子交換的成分，因此考慮這些方面確定含量的下限。關(guān)于上限，需要考慮耐失透性來確定。Li2O的優(yōu)選含量是超過12％且25％以下(超過3重量％)，更優(yōu)選的含量是超過12％且25％以下(超過3重量％)，進(jìn)一步優(yōu)選的含量是13％以上(超過4重量％)。
Na2O是必需成分，與Li2O同樣也是降低玻璃的熔化溫度、改善熔化性、在化學(xué)強(qiáng)化中進(jìn)行離子交換的成分，但含量過多時(shí)，降低楊氏模量和耐久性。因此優(yōu)選Na2O的含量為1％以上不足3％(不足4重量％)。
CaO是用于提高玻璃的楊氏模量和熔融性和耐失透性的必需成分，但導(dǎo)入量過多時(shí)，液相溫度上升，并擔(dān)心熔融性和耐失透性都惡化。因此，CaO的導(dǎo)入量優(yōu)選為1-30％(5重量％以上)。
MgO是對(duì)提高玻璃的楊氏模量有用的成分，但其導(dǎo)入量過多時(shí)，玻璃的液相溫度上升，而且擔(dān)心耐失透性也惡化。因此，MgO的導(dǎo)入量優(yōu)選為0％以上不足15％(不足12重量％)，進(jìn)一步優(yōu)選為不足10％(11重量％以下)。
關(guān)于CaO和MgO的合計(jì)含量，從提高楊氏模量、熔融性和耐失透性的方面出發(fā)希望為2-30％。
ZrO2和TiO2都是為提高玻璃的楊氏模量、耐久性而引入的必需成分，含量的下限考慮上述性質(zhì)來確定。當(dāng)TiO2、ZrO2過多時(shí)，液相溫度上升，高溫熔融性惡化，因此對(duì)這些方面進(jìn)行考慮確定上限。ZrO2的含量優(yōu)選為超過3％且10％以下(超過6重量％)，進(jìn)一步優(yōu)選為3.5％以上(超過7重量％)。
TiO2的含量比ZrO2的含量少在達(dá)到發(fā)明的目的上更優(yōu)選。具體講，TiO2的含量優(yōu)選為超過0.1％且不足5％(不足10重量％)。
另外，考慮到上述楊氏模量提高、液相溫度降低、高溫熔融性提高，ZrO2和TiO2的合計(jì)含量優(yōu)選為20％以下。
作為澄清劑，可外添加Sb2O3、As2O3。添加上述澄清劑的場(chǎng)合，考慮對(duì)環(huán)境的影響，優(yōu)選只添加Sb2O3，添加量不足1％為好，在得到脫泡效果上，優(yōu)選為超過0％不足1％。
B2O3當(dāng)導(dǎo)入少量時(shí)，有液相溫度降低的效果?？墒牵?dāng)導(dǎo)入量變多時(shí)，擔(dān)心楊氏模量急劇降低，因此在導(dǎo)入時(shí)，是需要注意的成分。本發(fā)明的玻璃襯底，不導(dǎo)入B2O3就能夠付與優(yōu)異的低失透性以及高的楊氏模量，因此希望不添加擔(dān)心因?qū)攵沟脳钍夏Ａ考眲〗档偷腂2O3。
當(dāng)考慮離子交換效率時(shí)，K2O的導(dǎo)入量希望為0.1％以下，更希望不導(dǎo)入。
SrO和BaO都具有提高玻璃的耐失透性和膨脹系數(shù)、降低液相溫度的作用，但兩種成分都增加玻璃的比重，降低楊氏模量。因此，這些氧化物不導(dǎo)入為更優(yōu)選。
Y2O3和La2O3提高玻璃的楊氏模量、提高耐水性的效果大，但由于導(dǎo)入使得玻璃變重，穩(wěn)定性惡化。本發(fā)明的玻璃襯底，即使不導(dǎo)入Y2O3和La2O3等稀土類氧化物，也能夠付與高的楊氏模量、優(yōu)異的耐水性，因此重視玻璃的穩(wěn)定性，不導(dǎo)入Y2O3、La2O3為好。另外，優(yōu)選也不導(dǎo)入其他的稀土類氧化物。
關(guān)于其他成分，考慮到環(huán)境影響，希望不導(dǎo)入PbO。ZnO、P2O5、SnO2、CeO2、F也是不需要的成分。
從以上看，本發(fā)明的玻璃襯底的更優(yōu)選的組成可通過上述各成分的優(yōu)選含量的任意組合實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的襯底是由基本上不含晶體相的玻璃(由非晶相構(gòu)成的玻璃)構(gòu)成的。
本發(fā)明的玻璃襯底適合于化學(xué)強(qiáng)化?；瘜W(xué)強(qiáng)化通過在含有Na離子和/或K離子的熔融鹽中浸漬玻璃襯底來進(jìn)行。熔融鹽的溫度可以設(shè)定成高于玻璃的畸變點(diǎn)、玻璃轉(zhuǎn)變溫度Tg以下的溫度。當(dāng)熔融鹽的溫度過低時(shí)，在襯底表面不易形成壓縮應(yīng)力層，未充分發(fā)揮化學(xué)強(qiáng)化的效果，當(dāng)溫度過高時(shí)，擔(dān)心襯底變形。
在化學(xué)強(qiáng)化中，利用玻璃中的Li離子、Na離子和熔融鹽中的Na離子和/或K離子間的離子交換，可使玻璃表面形成壓縮應(yīng)力層，將玻璃的破壞強(qiáng)度提高數(shù)倍左右。
從這樣的化學(xué)強(qiáng)化工序和/或信息記錄層的形成工序等方面看，希望使玻璃襯底材料的玻璃轉(zhuǎn)變溫度Tg在500℃以上。當(dāng)玻璃轉(zhuǎn)變溫度過低時(shí)，存在下述問題，即，在上述溫度條件下不能夠熔融用于化學(xué)強(qiáng)化的硝酸鈉或硝酸鉀等鹽，或者由于在形成玻璃襯底上的信息記錄層等時(shí)的加熱，使得襯底變形。在這些方面進(jìn)行考慮，可以以玻璃轉(zhuǎn)變溫度Tg 500-600℃為目標(biāo)確定玻璃組成。
在化學(xué)強(qiáng)化的前后，玻璃襯底的楊氏模量、上述膨脹系數(shù)、玻璃轉(zhuǎn)變溫度、比重等基本不變化，關(guān)于Rab/Raf，相同或增加(上限是1)。
關(guān)于化學(xué)強(qiáng)化工序如上所述，下面說明其他的襯底以及信息記錄介質(zhì)的制造工序。
高溫熔融法，即在空氣中或惰性氣體環(huán)境中熔化給定比例的玻璃原料，通過吹泡或攪拌等進(jìn)行玻璃的均質(zhì)化，不含氣泡，制作均質(zhì)的熔融玻璃。然后，采用眾所周知的壓制法、下拉(down-drawing)法、浮動(dòng)法等任一方法將該熔融玻璃成型成板玻璃，緩冷。其后，適宜地實(shí)施圓形加工、抽芯、內(nèi)外圓周面加工、磨削、拋光等，制成所希望的尺寸、形狀的信息記錄介質(zhì)用襯底。另外，在拋光中采用拋光劑或金剛石顆粒進(jìn)行研磨和氧化鈰等拋光劑的拋光加工，由此將形成信息記錄層的表面精加工成平坦且平滑。通過拋光可使表面精度在例如0.1-0.6nm的范圍?？梢栽趻伖夤ば蚯盎蚝髮?shí)施上述化學(xué)強(qiáng)化。根據(jù)本發(fā)明的襯底，可以減輕拋光后的洗滌引起的表面粗糙，能夠維持極高的平滑性，同時(shí)也能夠降低洗滌時(shí)溶解物的再附著。
下面，說明本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)及其制造方法。
本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)在上述信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底上具有信息記錄層。例如，形成磁記錄介質(zhì)(磁盤)時(shí)，可以在玻璃襯底上依次設(shè)置底層、磁性層(信息記錄層)、保護(hù)層、潤滑層。作為磁性層沒有特別限定，例如優(yōu)選Co-Cr系、Co-Cr-Pt系、Co-Ni-Cr系、Co-Ni-Pt系、Co-Ni-Cr-Pt系、和Co-Cr-Ta系等磁性層。作為底層，可采用Ni層、Ni-P層、Cr層等。作為保護(hù)層，可使用碳膜等，為了形成潤滑層，可使用全氟聚醚類等的潤滑材料。各層也都可使用其他公知的材料。
本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用襯底，不僅適合作為磁記錄介質(zhì)用襯底，也適合作為光磁記錄介質(zhì)、光盤等各種信息記錄介質(zhì)用襯底，通過與各種記錄方式一致地選擇信息記錄層等，能夠提供光磁記錄介質(zhì)、光盤等各種信息記錄介質(zhì)。
下面通過實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些例子的任何限定。
實(shí)施例1-11和比較例1作為初始原料，使用SiO2、Al2O3、Al(OH)3、MgO、Mg(OH)2、MgCO3、CaCO3、Li2CO3、Na2CO3、TiO2和ZrO2等，以得到表1、表2所示的組成的玻璃，稱量300-1500g，充分混合，制成調(diào)和批料，將它放入鉑坩堝，在1400-1600℃的溫度在空氣中進(jìn)行玻璃的熔化約3-8小時(shí)。熔化后，使玻璃熔液流進(jìn)40×40×20mm碳模，放冷到玻璃的轉(zhuǎn)變點(diǎn)溫度后，立即放入退火爐，保持1小時(shí)后，在爐內(nèi)自然冷卻到室溫。得到的玻璃未析出可用顯微鏡觀察到的晶體。
將這樣得到的玻璃加工成40×20×15mm、5Φ×20mm、30×30×2mm，制作各物性評(píng)價(jià)用的試樣，按照下述所示的方法測(cè)定各物性。
表1表示出實(shí)施例1-6的玻璃組成(摩爾％)和物性，表2表示出基于表1所記載的玻璃組成算出的玻璃組成(重量％)，表3表示出實(shí)施例7-11和比較例1的玻璃組成(摩爾％)和物性，表4表示出基于表3所記載的玻璃組成算出的玻璃組成(重量％)。
(1)玻璃轉(zhuǎn)變溫度(Tg)對(duì)于5mmΦ×20mm的試樣，使用Rigaku公司制的熱機(jī)械分析裝置(TMA8140)，以+4℃/分的升溫速度進(jìn)行測(cè)定。另外，作為標(biāo)準(zhǔn)試樣，使用SiO2。
(2)平均線熱膨脹系數(shù)是指在100-300℃下的平均線熱膨脹系數(shù)，在測(cè)定玻璃轉(zhuǎn)變溫度時(shí)一起測(cè)定。
(3)比重對(duì)于40×20×15mm的試樣，采用阿基米德法測(cè)定。
(4)楊氏模量對(duì)于40×20×15mm的試樣，采用超聲波法測(cè)定。
(5)堿洗脫量將在乙醇浴中超聲波洗滌處理了的30×30×2mm的試樣預(yù)先用原子力顯微鏡(AFM)測(cè)定平均粗糙度(Rab)，然后，放入酸洗滌了的聚丙烯制容器中，稱量，得到干燥質(zhì)量。在容器中添加約20ml的80℃超純水，在蓋上蓋的狀態(tài)下放入80℃的烘箱中，放置24小時(shí)。然后，半開烘箱的門，斷電，自然冷卻30分鐘，從烘箱取出容器。稱量處理終了后的容器，然后取出玻璃，得到試樣溶液。溶液量為從處理終了后的稱量值減去干燥質(zhì)量得到的值。洗脫的元素的定量使用ICP-AES(Barian制的ICP發(fā)光分光分析裝置“VISTA AX”)進(jìn)行。
(6)Rab/Raf將從上述(5)中的處理終了后的容器取出的玻璃干燥之后，用原子力顯微鏡(AFM)測(cè)定平均粗糙度(Raf)，求出Rab相對(duì)于Raf的比(Rab/Raf)。此值越接近于1，表示耐水性越高。
表1

表2

表3

(注)比較例1是關(guān)于特開平1-239036號(hào)公報(bào)所公開的強(qiáng)化玻璃的數(shù)據(jù)。
表4

由表1、表3顯然可知，實(shí)施例1-11所示的玻璃襯底的楊氏模量高達(dá)90GPa，在100-300℃下的平均線熱膨脹系數(shù)是80×10-7/℃以上，顯示合適的值。另外，堿的洗脫量少，為0.3μmol/cm2以下，另外，表面粗糙度的比(Rab/Raf)為0.8以上。
與之相比，比較例1玻璃的楊氏模量低達(dá)79GPa，表面粗糙度比(Rab/Raf)也小，為0.21，因此顯然不能適應(yīng)于高記錄密度、高速旋轉(zhuǎn)硬盤。
因此，根據(jù)本發(fā)明的玻璃，可以得到高剛性且表面平滑性優(yōu)異的磁記錄介質(zhì)用玻璃襯底，因此適于適應(yīng)高密度、高速旋轉(zhuǎn)的磁記錄介質(zhì)的制作。
作為磁記錄介質(zhì)用襯底材料使用具有優(yōu)異的特性的實(shí)施例1-11的各玻璃，成型襯底毛坯并緩冷，將它加工成給定尺寸的盤，同時(shí)對(duì)兩面實(shí)施磨削、拋光，制作平坦且平滑的玻璃襯底。在混合了硝酸鈉和硝酸鉀的熔融鹽(溫度設(shè)定在比畸變點(diǎn)高且玻璃轉(zhuǎn)變溫度以下)中浸漬各襯底，對(duì)得到的玻璃襯底進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化，對(duì)于得到的襯底、和未進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化的玻璃襯底，確認(rèn)對(duì)應(yīng)于各實(shí)施例也能夠得到與表1所示的特性同等的結(jié)果。洗滌這些玻璃襯底的結(jié)果，未發(fā)現(xiàn)表面粗糙，另外，也未看到附著物等。
在這些玻璃襯底上形成底層、磁性層、保護(hù)層、潤滑層等，制作磁記錄介質(zhì)。
另外，上述說明是關(guān)于磁記錄介質(zhì)用襯底以及具備這些襯底的磁記錄介質(zhì)，但也能夠適用于其他信息記錄介質(zhì)，例如光磁方式、光記錄方式等的各種襯底。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底耐水性優(yōu)異，因而對(duì)表面平滑性降低的耐性極高，而且具有高的楊氏模量，因此適合作為供高速旋轉(zhuǎn)時(shí)變形極少的信息記錄介質(zhì)用的玻璃襯底。
另外，本發(fā)明的玻璃襯底，特別適合作為用于化學(xué)強(qiáng)化的含有堿金屬氧化物的玻璃襯底。
此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供有效利用襯底具備的高剛性、高表面平滑性，可很好地適應(yīng)高速旋轉(zhuǎn)化、高記錄密度化的信息記錄介質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，其特征在于，保持前的表面的中心線平均粗糙度Rab相對(duì)于在溫度80℃的水中保持24小時(shí)時(shí)的表面的中心線平均粗糙度Raf的比(Rab/Raf)是0.8-1，楊氏模量是90GPa以上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，具有實(shí)質(zhì)上由SiO2、Al2O3、Li2O、Na2O、MgO、CaO、TiO2、ZrO2構(gòu)成的組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，其特征在于，上述玻璃按摩爾％表示，具有實(shí)質(zhì)上由SiO2超過50％且70％以下、Al2O31％以上不足6％、Li2O超過12％且25％以下、Na2O 1％以上不足3％、MgO0％以上不足15％、CaO 1-30％、TiO2超過0.1％且不足5％、ZrO2超過3％且10％以下構(gòu)成的組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任1項(xiàng)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，由化學(xué)強(qiáng)化的玻璃構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任1項(xiàng)所述的信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，在100-300℃下的平均線熱膨脹系數(shù)是80×10-7/℃以上。
6.一種信息記錄介質(zhì)，其特征在于，在權(quán)利要求1至6的任1項(xiàng)所述的玻璃襯底上具有信息記錄層。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底以及在該玻璃襯底上具有信息記錄層的信息記錄介質(zhì)。所述信息記錄介質(zhì)用玻璃襯底，其保持前的表面的中心線平均粗糙度Rab相對(duì)于在溫度80℃的水中保持24小時(shí)時(shí)的表面的中心線平均粗糙度Raf的比(Rab/Raf)是0.8－1，楊氏模量是90GPa以上。
文檔編號(hào)G11B5/73GK1650353SQ0380985
公開日2005年8月3日 申請(qǐng)日期2003年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月3日
發(fā)明者白石幸一郎, 池西干男, 鄒學(xué)祿 申請(qǐng)人:Hoya株式會(huì)社