觸摸屏面板及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 所描述的技術(shù)總體涉及觸摸屏面板及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 觸摸屏面板被用作用于平板顯示器諸如液晶顯示器（IXD)、有機(jī)發(fā)光二極管 (0LED)顯示器等等的輸入裝置。取決于所采用的感測(cè)技術(shù)，觸摸屏面板可被分為電阻觸摸 屏面板和電容觸摸屏面板。在電阻觸摸屏面板中，電極被形成在上板或者下板上，觸摸位置 基于當(dāng)直流（DC)電壓被施加到電極時(shí)的電阻而由電壓梯度（gradient)來(lái)確定。在電容觸 摸屏面板中，等電位被形成在導(dǎo)電膜上，觸摸位置在上板或者下板的電壓的變化由于觸摸 輸入操作而出現(xiàn)時(shí)被確定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] -個(gè)發(fā)明方面是一種觸摸屏面板及其制造方法，其能夠選擇性地蝕刻連接線而不 損壞第一和第二觸摸電極圖案以及能夠提高驅(qū)動(dòng)電路布線的導(dǎo)電性。
[0004] 另一方面是一種觸摸屏面板，該觸摸屏面板包括：基板，具有觸摸區(qū)域和圍繞觸摸 區(qū)域的外圍區(qū)域；第一觸摸電極圖案，在第一方向上形成在觸摸區(qū)域中，并且傳送第一觸摸 信號(hào)；多個(gè)第二觸摸電極圖案，在與第一方向交叉的第二方向上形成在觸摸區(qū)域中，并且傳 送第二觸摸信號(hào)；以及第一驅(qū)動(dòng)電路布線，形成在外圍區(qū)域上，并且連接到第一觸摸電極圖 案。第一驅(qū)動(dòng)電路布線可以包括低阻布線層。
[0005] 多個(gè)第二觸摸電極圖案可以彼此間隔開，并且可以進(jìn)一步包括互連相鄰的第二觸 摸電極圖案的連接線。
[0006] 可以進(jìn)一步包括形成在第一觸摸電極圖案與連接線之間以使第一觸摸電極圖案 與第二觸摸電極圖案絕緣的觸摸絕緣構(gòu)件。
[0007] 第一驅(qū)動(dòng)電路布線可以包括順序地層疊的第一透明導(dǎo)電布線層、第二透明導(dǎo)電布 線層以及低阻布線層，第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案均可以包括第一透明導(dǎo)電布 線層和第二透明導(dǎo)電布線層。
[0008] 第一透明導(dǎo)電布線層可以包含銀納米線，第二透明導(dǎo)電布線層和連接線可以包含 透明導(dǎo)電氧化物。
[0009] 低阻布線層可以由從銅和銀選出的一種材料形成。
[0010] 連接線的蝕刻速率高于第二透明導(dǎo)電布線層的蝕刻速率。
[0011] 連接線可以具有比第二透明導(dǎo)電布線層高的銦含量。
[0012] 絕緣層和外圍絕緣構(gòu)件可以順序地層疊在第一驅(qū)動(dòng)電路布線上，觸摸絕緣構(gòu)件和 連接線可以順序地層疊在第一觸摸電極圖案與連接線交疊的第一觸摸交疊部分上。
[0013] 連接線可以接觸第二觸摸電極圖案的第二透明導(dǎo)電布線層。絕緣層可以形成在第 一和第二觸摸電極圖案之間。
[0014] 另一方面為一種制造觸摸屏面板的方法，該方法包括：在具有觸摸區(qū)域和圍繞觸 摸區(qū)域的外圍區(qū)域的基板上，順序地形成第一透明導(dǎo)電層、第二透明導(dǎo)電層、低阻層以及光 敏膜；在觸摸區(qū)域中形成觸摸光敏膜圖案并且在外圍區(qū)域中形成外圍光敏膜圖案；通過(guò)利 用觸摸光敏膜圖案和外圍光敏膜圖案作為蝕刻掩模，形成第一觸摸電極圖案、第二觸摸電 極圖案以及第一驅(qū)動(dòng)電路布線；通過(guò)去除外圍光敏膜層并且通過(guò)減小觸摸光敏膜圖案的厚 度，暴露第一驅(qū)動(dòng)電路布線；在第一驅(qū)動(dòng)電路布線和觸摸光敏膜圖案上形成絕緣層；通過(guò) 去除觸摸光敏膜圖案和形成在其上的絕緣層，暴露第一和第二觸摸電極圖案；以及去除第 一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的低阻層。
[0015] 在去除低阻層期間，第一和第二觸摸電極圖案可以通過(guò)層疊第一透明導(dǎo)電布線層 和第二透明導(dǎo)電布線層而形成，第一驅(qū)動(dòng)電路布線可以通過(guò)層疊第一透明導(dǎo)電布線層、第 二透明導(dǎo)電布線層以及低阻布線層而形成。
[0016] 在去除低阻層之后，可以還包括：在外圍區(qū)域的絕緣層上形成外圍絕緣構(gòu)件和在 第二觸摸電極圖案上形成觸摸絕緣構(gòu)件，以及在觸摸絕緣構(gòu)件和第一觸摸電極圖案上形成 連接線。
[0017] 絕緣層可以形成在第一和第二觸摸電極圖案之間。
[0018] 在去除觸摸光敏膜圖案和形成在其上的絕緣層期間，第一觸摸電極圖案和第二觸 摸電極圖案的低阻布線層可以被暴露，第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的第一透明 導(dǎo)電布線層的橫側(cè)面可以被絕緣層覆蓋。
[0019] 具有比觸摸光敏膜圖案小的厚度的外圍光敏膜圖案可以通過(guò)利用狹縫掩模而形 成。
[0020] 第一透明導(dǎo)電層可以包含銀納米線，第二透明導(dǎo)電層可以包含透明導(dǎo)電氧化物， 低阻層由從銅和銀選出的一種材料形成。
[0021] 另一方面是一種觸摸屏面板，該觸摸屏面板包括：基板，具有觸摸區(qū)域和圍繞觸摸 區(qū)域的外圍區(qū)域；多個(gè)第一觸摸電極圖案，形成在觸摸區(qū)域中，在第一方向上延伸，并且配 置成傳送第一觸摸信號(hào)；多個(gè)第二觸摸電極圖案，形成在觸摸區(qū)域中，在與第一方向交叉的 第二方向上延伸，并且配置成傳送第二觸摸信號(hào)；以及多個(gè)第一驅(qū)動(dòng)電路布線，形成在外圍 區(qū)域中，并且分別電連接到第一觸摸電極圖案，其中，第一驅(qū)動(dòng)電路布線包括低阻布線層。
[0022] 第二觸摸電極圖案可彼此間隔開，該面板還可包括電連接在第二方向上相鄰的第 二觸摸電極圖案的多條連接線。該面板還可包括分別形成在第一觸摸電極圖案與連接線之 間并且使第一觸摸電極圖案與第二觸摸電極圖案電絕緣的多個(gè)觸摸絕緣構(gòu)件。第一驅(qū)動(dòng)電 路布線可包括順序地形成的第一透明導(dǎo)電布線層、第二透明導(dǎo)電布線層以及低阻布線層， 第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案可均包括第一透明導(dǎo)電布線層和第二透明導(dǎo)電布 線層。第一透明導(dǎo)電布線層可以包含銀納米線，第二透明導(dǎo)電布線層和連接線可包含透明 導(dǎo)電氧化物。低阻布線層可由銅或銀形成。連接線可具有比第二透明導(dǎo)電布線層的蝕刻速 率大的蝕刻速率。連接線可具有比第二透明導(dǎo)電布線層高的銦含量。絕緣層和外圍絕緣構(gòu) 件可順序地層疊在第一驅(qū)動(dòng)電路布線上。絕緣層可形成在第一觸摸電極圖案與第二觸摸電 極圖案之間。觸摸絕緣構(gòu)件和連接線可順序地并且分別地形成在第一觸摸電極圖案的第一 連接部分上方。連接線可接觸第二觸摸電極圖案的第二透明導(dǎo)電布線層。
[0023] 另一方面是一種制造觸摸屏面板的方法，該方法包括：在基板上方，順序地形成第 一透明導(dǎo)電層、第二透明導(dǎo)電層、低阻層以及光敏膜，該基板具有觸摸區(qū)域和圍繞觸摸區(qū)域 的外圍區(qū)域；在觸摸區(qū)域中形成觸摸光敏膜圖案并且在外圍區(qū)域中形成外圍光敏膜圖案； 利用觸摸光敏膜圖案和外圍光敏膜圖案作為蝕刻掩模，蝕刻第一透明導(dǎo)電層、第二透明導(dǎo) 電層以及低阻層，以形成第一觸摸電極圖案、第二觸摸電極圖案以及第一驅(qū)動(dòng)電路布線；執(zhí) 行灰化工藝，以去除外圍光敏膜圖案并且減小觸摸光敏膜圖案的厚度；在第一驅(qū)動(dòng)電路布 線和觸摸光敏膜圖案上方形成絕緣層；去除觸摸光敏膜圖案和形成在其上的絕緣層；以及 去除第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的低阻層。
[0024] 第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的每個(gè)可包括第一透明導(dǎo)電布線層和第 二透明導(dǎo)電布線層，第一驅(qū)動(dòng)電路布線可包括第一透明導(dǎo)電布線層、第二透明導(dǎo)電布線層 以及低阻布線層。該方法還可包括：在去除低阻層之后，在外圍區(qū)域中的絕緣層上方形成外 圍絕緣構(gòu)件并且在第一觸摸電極圖案上方形成觸摸絕緣構(gòu)件；以及在觸摸絕緣構(gòu)件上方形 成連接線，以電連接到第二觸摸電極圖案。絕緣層可形成在第一觸摸電極圖案和第二觸摸 電極圖案之間。在去除觸摸光敏膜圖案期間，第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的低 阻布線層可被暴露，第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案的第一透明導(dǎo)電布線層的橫側(cè) 面被該絕緣層覆蓋。外圍光敏膜圖案的厚度可小于觸摸光敏膜圖案的厚度，外圍光敏膜圖 案可通過(guò)利用狹縫掩模而形成。第一透明導(dǎo)電層可包含銀納米線，第二透明導(dǎo)電層可包含 透明導(dǎo)電氧化物，低阻層可由銅或銀形成。
[0025] 另一方面是一種觸摸屏面板，該觸摸屏面板包括：基板，具有觸摸區(qū)域和圍繞觸摸 區(qū)域的外圍區(qū)域；多個(gè)第一觸摸電極圖案，形成在觸摸區(qū)域中，并且在第一方向上延伸；多 個(gè)第二觸摸電極圖案，形成在觸摸區(qū)域中，并且在與第一方向交叉的第二方向上延伸，其中 第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案被配置成感測(cè)觸摸輸入；以及多個(gè)驅(qū)動(dòng)電路布線， 形成在外圍區(qū)域中，并且分別電連接到第一觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案，其中第一 觸摸電極圖案和第二觸摸電極圖案以及驅(qū)動(dòng)電路布線包括第一透明導(dǎo)電布線層和第二透 明導(dǎo)電布線層，其中驅(qū)動(dòng)電路布線還包括低阻布線層。
[0026] 根據(jù)至少一個(gè)實(shí)施方式，第一驅(qū)動(dòng)電路布線的導(dǎo)電性可通過(guò)在外圍區(qū)域中形成包 括低阻布線層的第一驅(qū)動(dòng)電路布線而提高。
[0027] 此外，當(dāng)觸摸光敏膜圖案被去除并且執(zhí)行用于去除形成在其上的絕緣層的剝離工 藝時(shí)，第一和第二觸摸電極圖案的頂表面因其被第二透明導(dǎo)電布線層和低阻布線層覆蓋而 被保護(hù)免于剝離工藝，而第一和第二觸摸電極圖案的第一透明導(dǎo)電布線層的橫側(cè)面因其被 絕緣層覆蓋而被保護(hù)免于剝離工藝。
[0028] 另外，當(dāng)互連分離的第二觸摸電極圖案的連接線的蝕刻速率被設(shè)定為高于第二透 明導(dǎo)電布線層的蝕刻速率時(shí)，在連接線的圖案化工藝中，可執(zhí)行連接線的選擇性蝕刻，而不 損壞形成在第一和第二觸摸電極圖案上的第二透明導(dǎo)電布線。
【附圖說(shuō)明】