專利名稱：圖形檢測(cè)方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過利用光束或電子束等等獲得代表著半導(dǎo)體晶片等等的對(duì)象物的物理性質(zhì)的圖象或波形并將該圖象或波形與根據(jù)設(shè)計(jì)信息獲得的圖象進(jìn)行比較對(duì)圖形進(jìn)行檢測(cè)的方法及其裝置，以及使用該檢測(cè)方法和裝置的制造半導(dǎo)體晶片方法。
原有的圖形檢測(cè)方法例如由日本特開平6-294750號(hào)公報(bào)公開的第一種方法，利用彼此鄰接的芯片應(yīng)該具有相同的圖形的性質(zhì)比較彼此鄰接的芯片，如果發(fā)現(xiàn)差異即判定兩個(gè)芯片的圖形之一具有缺陷的方法，又例如由日本特開昭57-196530號(hào)公報(bào)所公開的第二種方法，利用芯片內(nèi)的存儲(chǔ)元應(yīng)該具有相同的圖形的性質(zhì)比較彼此鄰接的單元的圖形，如果發(fā)現(xiàn)差異即判定兩個(gè)單元之一的圖形具有缺陷的方法。
在日本特開平3-232250號(hào)公報(bào)中還公開了第三種方法，它具有根據(jù)一維傳感器的掃描方向和來自芯片啟始點(diǎn)的載物臺(tái)掃描方向，存儲(chǔ)有關(guān)芯片比較檢測(cè)區(qū)域和重復(fù)的圖形(存儲(chǔ)單元的圖形)比較檢測(cè)區(qū)域的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部，從而使芯片內(nèi)圖形配置數(shù)據(jù)在原來狀態(tài)下與傳感器掃描位置、載物臺(tái)檢測(cè)位置同步，并控制是否輸出芯片比較檢測(cè)的缺陷輸出和重復(fù)的圖形比較檢測(cè)的缺陷輸出的方法。
在原有的第一方法中，由于作為比較對(duì)象的圖形是不同的芯片而混入兩種類型的誤差，所以即使作為正常部分也會(huì)產(chǎn)生有差異，因而難以識(shí)別細(xì)微的缺陷。第一種誤差是由對(duì)象物引起的，由于曝光裝置不是同時(shí)對(duì)整個(gè)晶片曝光，所以不同的芯片的曝光條件不同，或者雖然可以用CVD裝置等對(duì)整個(gè)晶片同時(shí)進(jìn)行處理，但是當(dāng)比較的距離變長(zhǎng)時(shí)，特別會(huì)使晶片周邊的膜厚不同，從而使圖形也不同。第二種誤差來源于檢測(cè)裝置，由于難以同時(shí)對(duì)大面積進(jìn)行檢測(cè)，雖然可以設(shè)置時(shí)間差進(jìn)行圖形檢測(cè)比較，但是當(dāng)時(shí)間間隔比較長(zhǎng)時(shí)容易受到裝置漂移、振動(dòng)等影響，為了能確保其可靠性，將使裝置的構(gòu)成復(fù)雜和價(jià)格增加。
在用原有的第二種或第三種方法中，待比較用的對(duì)象的圖形并不一定存在，即需要將檢測(cè)區(qū)域限定在按存儲(chǔ)元的規(guī)則正確配置的存儲(chǔ)器板內(nèi)部和與比較方向相符的存儲(chǔ)器之間的部分的分割線上，所以需要進(jìn)行嚴(yán)密的區(qū)域指定，特別是對(duì)于在存儲(chǔ)器板內(nèi)部進(jìn)一步細(xì)分了的、用現(xiàn)有的設(shè)置方式分割的區(qū)域內(nèi)部也要進(jìn)行檢測(cè)區(qū)域的設(shè)定，可以預(yù)想到區(qū)域設(shè)定將花費(fèi)大量的時(shí)間，并限制著可進(jìn)行檢測(cè)的區(qū)域。
本發(fā)明的目的就是要解決上述的原有技術(shù)中存在的問題，提供一種在簡(jiǎn)單的檢測(cè)區(qū)域指定的方式下，對(duì)半導(dǎo)體晶片等被檢測(cè)對(duì)象物上的細(xì)小的重復(fù)部分的各個(gè)區(qū)域進(jìn)行高可靠性的檢測(cè)圖形的方法和裝置。
本發(fā)明的另一個(gè)目的就是要提供一種可以對(duì)形成有由存儲(chǔ)器板部和直接周邊電路構(gòu)成的重復(fù)圖形的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行高可靠性的缺陷檢測(cè)，從而提供可以制造高品質(zhì)的半導(dǎo)體晶片的方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明的圖形檢測(cè)方法的特征在于對(duì)形成為若干個(gè)相同的圖形組的被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象以獲得被檢測(cè)對(duì)象物的二維數(shù)字圖象信號(hào)，將由該二維數(shù)字圖象信號(hào)中的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)出的圖形組的圖形數(shù)字圖象信號(hào)、與相對(duì)于該檢測(cè)出的圖形組的圖形的、原來相同的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的其它若干個(gè)組中的圖形的圖象信號(hào)進(jìn)行比較以便找出缺陷，并將有關(guān)該找出的缺陷的數(shù)據(jù)輸出至通信電路。
另外，本發(fā)明的圖形檢測(cè)方法的特征在于對(duì)形成為若干個(gè)相同的圖形組的被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象以獲得被檢測(cè)對(duì)象物的圖象信號(hào)，將由該圖象信號(hào)中的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)出的圖形組的圖形圖象信號(hào)與相對(duì)于應(yīng)該檢測(cè)該圖象信號(hào)中上述被檢測(cè)對(duì)象物上的應(yīng)該檢查的圖形群的圖形圖象信號(hào)原來應(yīng)為相同的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的其它圖形組中的圖形的圖象信號(hào)進(jìn)行比較以排除虛假缺陷并檢測(cè)出真實(shí)缺陷，輸出有關(guān)該檢測(cè)出的真實(shí)缺陷的數(shù)據(jù)。
另外，本發(fā)明的圖形檢測(cè)方法的特征在于對(duì)在預(yù)定的芯片上重復(fù)形成具有存儲(chǔ)板和直接周邊電路的圖形的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行攝象，并將該攝象獲得的圖象信號(hào)變成數(shù)字圖象信號(hào)，將對(duì)應(yīng)在該變換的數(shù)字圖象信號(hào)中的上述半導(dǎo)體晶片上的被檢查圖形的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)同與對(duì)應(yīng)從該著眼點(diǎn)離開上述預(yù)定芯片的位置上的若干個(gè)數(shù)字圖象信號(hào)分別比較，并且找出候選缺陷，從該找出的候選缺陷中找出虛假缺陷，檢測(cè)從上述候補(bǔ)缺陷中排出的上述虛假缺陷后的真正的缺陷，通過通訊手段輸出關(guān)于該檢測(cè)出的真正缺陷的缺陷。
另外，本發(fā)明的圖形檢測(cè)方法的特征在于對(duì)按預(yù)定的芯片重復(fù)形成具有存儲(chǔ)器板和直接周邊電路的圖形的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行攝象，將該攝象獲得的圖象信號(hào)變換為數(shù)字圖象信號(hào)，將相對(duì)于由該變換所獲得的數(shù)字圖象信號(hào)中的前述半導(dǎo)體晶片上的應(yīng)檢測(cè)用的圖象的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)同與該著眼點(diǎn)周圍的若干個(gè)位置相對(duì)應(yīng)的數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較，以便找出存在于前述應(yīng)檢測(cè)的圖形中的前述存儲(chǔ)器板和/或直接周邊電路處的缺陷，并輸出與該檢測(cè)出的缺陷相關(guān)的數(shù)據(jù)。
另外，本發(fā)明的圖形檢測(cè)裝置的特征在于，包括對(duì)被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象的組件，將用該攝象組件獲得的前述被檢測(cè)對(duì)象物的圖象信號(hào)變換為數(shù)字圖象信號(hào)的A/D變換組件，將用該A/D變換組件變換后的數(shù)字圖象信號(hào)中的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)同相對(duì)于該著眼點(diǎn)的圖形應(yīng)為原來相同的若干個(gè)圖形的、與前述著眼點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的比較點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較、以便找出前述著眼點(diǎn)的候選缺陷的候選缺陷選取組件，由該選出的候選缺陷中檢測(cè)出真實(shí)缺陷的缺陷檢測(cè)組件，輸出與該檢測(cè)出的真實(shí)缺陷有關(guān)的信息的輸出組件。
另外，本發(fā)明的圖形檢測(cè)裝置的特征在于，包括對(duì)把形成重復(fù)圖形的被檢測(cè)對(duì)象物的物理量作為二維圖象信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的圖象信號(hào)檢測(cè)組件，將用該圖象信號(hào)檢測(cè)組件獲得的二維圖象信號(hào)變換為二維數(shù)字圖象信號(hào)的A/D變換組件，將該A/D變換組件變換后的二維數(shù)字圖象信號(hào)中的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)與沿X方向和Y方向重復(fù)芯片的整倍數(shù)的若干個(gè)數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較，以便分別找出著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)和若干個(gè)比較點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)之間的差異圖象信號(hào)的差異圖象選取組件，根據(jù)該差異圖象選取組件選取出的若干個(gè)差異圖象信號(hào)找出候選缺陷的候選缺陷選取組件，由該候選缺陷選取組件找出的候選缺陷中找出真實(shí)缺陷的缺陷選取組件。
利用如上所述的檢測(cè)方法和它的延遲效應(yīng)，可以采用容易的區(qū)域設(shè)定方法，便可以對(duì)細(xì)小的重復(fù)部分的全部區(qū)域的缺陷進(jìn)行高可靠性的檢測(cè)。
如果采用前述構(gòu)成，可以采用容易的區(qū)域設(shè)定方法，從而可以對(duì)細(xì)小的重復(fù)部分的全部區(qū)域的缺陷進(jìn)行高速且高可靠性的檢測(cè)。
如果采用前述構(gòu)成，可以對(duì)形成由存儲(chǔ)器板部和直接周邊電路構(gòu)成的重復(fù)圖形的半導(dǎo)體晶片的缺陷進(jìn)行高可靠性檢測(cè)，從而可以制造出高品質(zhì)的半導(dǎo)體晶片。
圖1為表示制造本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器用的晶片和芯片的布線設(shè)計(jì)的示意圖。圖2為表示本發(fā)明所涉及的存儲(chǔ)器板部和直接周邊電路的布線設(shè)計(jì)的示意圖。圖3為表示本發(fā)明所涉及的比較檢測(cè)二維重復(fù)圖形布線配置內(nèi)部用的說明性示意圖。圖4為表示本發(fā)明所涉及的存儲(chǔ)器板和直接周邊電路中的檢測(cè)區(qū)域的示意圖。圖5為表示本發(fā)明所涉及的比較檢測(cè)二維重復(fù)圖形布線配置邊部的說明性示意圖。圖6為表示本發(fā)明所涉及的比較檢測(cè)一維重復(fù)圖形布線配置內(nèi)部用的說明性示意圖。圖7為表示本發(fā)明所涉及的比較檢測(cè)一維重復(fù)圖形布線配置邊部的說明性示意圖。圖8為表示本發(fā)明所涉及的比較檢測(cè)孤立點(diǎn)和角部用的說明性示意圖。圖9為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第一實(shí)施形式的概略性示意圖。圖10為說明本發(fā)明所涉及的特征量用的示意圖。圖11為表示如圖9所示的第一實(shí)施形式中的第一變形實(shí)例的說明性示意圖。圖12為表示如圖9所示的第一實(shí)施形式中的第二變形實(shí)例的說明性示意圖。圖13為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第二實(shí)施形式的概略性示意圖。圖14為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第二實(shí)施形式中的能可靠的選出作為候選缺陷用的缺陷形狀的模式的說明性示意圖。圖15為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第三實(shí)施形式的概略性示意圖。圖16為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第四實(shí)施形式的概略性示意圖。圖17為表示本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法及其裝置的第五實(shí)施形式的概略性示意圖。
下面參考


本發(fā)明的最佳實(shí)施例。
作為本發(fā)明所涉及的被檢查對(duì)象物的一種實(shí)施形式的、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器制造過程中的半導(dǎo)體晶片的圖形布線配置的示意性模擬圖如圖1所示。晶片1上配置有若干個(gè)作為最終的相同制品的芯片2。如圖2所示，在芯片2內(nèi)部的圖形布線配置中，形成有圖形非常粗糙的間接周邊電路6，其存儲(chǔ)元沿X方向Px、Y方向Py按二維重復(fù)的芯片有規(guī)律配置的存儲(chǔ)器板部3，以及具有與該存儲(chǔ)器板的圖形密度相當(dāng)?shù)摹⒂晌挥诖鎯?chǔ)器板周邊處的傳感器放大器、I/O電路、譯碼器電路等構(gòu)成的直接周邊電路4、5。存儲(chǔ)器板3被進(jìn)一步分割成更為細(xì)小的區(qū)域(在分割線上僅沿一個(gè)方向重復(fù))。直接周邊電路包括沿存儲(chǔ)器板的X方向?yàn)橹貜?fù)的、僅沿Y方向重復(fù)芯片為存儲(chǔ)單元重復(fù)芯片Py的整數(shù)倍的n*Py的部分(Y方向直接周邊電路)5，和沿存儲(chǔ)器板的Y方向重復(fù)的、僅沿X方向重復(fù)芯片為存儲(chǔ)元多重設(shè)置芯片Px的整數(shù)倍的m*Px的部分(X方向直接周邊電路)4。
而且存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5每32～128線為一組。為使圖形布線配置形成有0.3μm以下的最小線寬，應(yīng)在其重要缺陷的尺寸比較小的、檢測(cè)到高敏感度的細(xì)微缺陷的區(qū)域構(gòu)成存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5。位于除此以外的區(qū)域處的間接周邊電路，由于線寬比較大，嚴(yán)重的缺陷也比較大，因而沒有必要進(jìn)行高敏感度的缺陷檢測(cè)。
下面對(duì)這種被檢測(cè)對(duì)象物說明本發(fā)明的基本技術(shù)思想。即本發(fā)明是相對(duì)于著眼點(diǎn)101，準(zhǔn)備一個(gè)以上的若干個(gè)作為比較對(duì)象的比較點(diǎn)102，將著眼點(diǎn)101的圖象和這些比較點(diǎn)102的圖象進(jìn)行比較，當(dāng)著眼點(diǎn)的圖形布線配置與某個(gè)比較點(diǎn)的圖形布線配置的許可值相符的場(chǎng)合，判定該著眼點(diǎn)圖形不存在缺陷。比如說對(duì)于圖2所示的被檢測(cè)對(duì)象圖形，為了檢測(cè)如圖3中的黑點(diǎn)所示的著眼點(diǎn)101處的圖形，可將其與作為比較對(duì)象的白點(diǎn)所示的呈十字形的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的、即沿Y方向具有直接周邊電路中的重復(fù)芯片Qy的整倍數(shù)的距離的圖形(圖中表示的為+/-1倍的實(shí)例)，以及沿X方向具有直接周邊電路中的重復(fù)芯片Qx的整倍數(shù)(圖中表示的為+/-1倍的實(shí)例)的距離的圖形進(jìn)行比較。對(duì)于這一比較結(jié)果，當(dāng)著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與這些比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的圖形布線配置的許可值為相符的場(chǎng)合，判定該著眼點(diǎn)101處的圖形不存在缺陷(為正常的圖形)。比如說對(duì)于如圖3所示的、具有沿X方向和Y方向重復(fù)的存儲(chǔ)器板3類的被檢測(cè)對(duì)象圖形，即使比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的某個(gè)存在有缺陷，只要著眼點(diǎn)101與這些比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的某一個(gè)相符，仍判定其為正常的圖形。然而，當(dāng)著眼點(diǎn)101存在有缺陷，它將與比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的任何一個(gè)都不相符，故可以判定著眼點(diǎn)101存在有缺陷。即使對(duì)于如圖6所示的、僅在一個(gè)方向?yàn)槎嘀卦O(shè)置的直接周邊電路4、5作為被檢測(cè)對(duì)象圖形的場(chǎng)合，即使比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的某個(gè)存在有缺陷，而著眼點(diǎn)101只要與比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的某一個(gè)相符，仍判定其為正常的圖形布線配置。然而，當(dāng)著眼點(diǎn)101存在有缺陷，它將與比較點(diǎn)102a和比較點(diǎn)102b中的任何一個(gè)都不相符，而且通常還與比較點(diǎn)102c和比較點(diǎn)102d中的任何一個(gè)都不相符，故可以判定著眼點(diǎn)101存在有缺陷。即當(dāng)著眼點(diǎn)101存在有缺陷時(shí)，如果同比較點(diǎn)102c和比較點(diǎn)102d的圖象具有相同的深淺電位，則尚不能判定著眼點(diǎn)101真正存在有缺陷。換句話說就是，應(yīng)考慮檢測(cè)出的缺陷形狀會(huì)有所變化。通過采用相對(duì)于相符度運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行比較結(jié)果的選擇的方式，對(duì)于只保持為缺陷形狀的狀態(tài)，也可以檢測(cè)出缺陷。
對(duì)于這種存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5，可如圖4所示，不進(jìn)行檢測(cè)區(qū)域的設(shè)定，并對(duì)二維多重設(shè)置圖形布線配置的角部等等的粗線所示的非多重設(shè)置的位置9之外的區(qū)域，進(jìn)行呈十字形的比較檢測(cè)。在非多重設(shè)置性的角部等等的位置處有所不同，它們與各個(gè)芯片產(chǎn)生有差異的場(chǎng)合相類似，在芯片之間進(jìn)行這種比較時(shí)，可以用除去相同部分的方式排除這些區(qū)域。在另一方面，即使在缺陷的第二階段的比較檢測(cè)(第二次比較檢測(cè))時(shí)還形成有某種差異，則不將其排除，并識(shí)別其為缺陷。
另外，在上述的比較中，或者根據(jù)需要利用若干個(gè)階段的判定基準(zhǔn)進(jìn)行比較，或輸出相符度。這是由于在實(shí)際晶片的圖形上形成圖形的曝光裝置是在圖象分辨率的極限內(nèi)使用的，所以由于相鄰部分的圖形有無產(chǎn)生圖形形狀的微小差異(現(xiàn)在的曝光技術(shù)可達(dá)0.1μm或更小)。在被檢測(cè)的缺陷尺寸比其更小或與其大約相等的場(chǎng)合下，如在鄰接部分處的圖形的非重復(fù)端點(diǎn)上沒有使檢測(cè)敏感度下降，則可能將正常部分判定為虛假的缺陷部分。這種虛假數(shù)據(jù)在采用常規(guī)的判定基準(zhǔn)的場(chǎng)合，會(huì)使基準(zhǔn)本身不穩(wěn)定，而將其假定為相對(duì)于與各個(gè)芯片均不產(chǎn)生相同性的場(chǎng)合，采用第二次比較也不能進(jìn)行排除。因此，對(duì)于第二次比較，如果缺陷判定基準(zhǔn)與第一次比較結(jié)果的允許范圍相符，則進(jìn)行不將其判定為缺陷的處理。
下面參考圖3、圖5～圖8對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)說明。對(duì)著眼點(diǎn)101的圖形布線配置(數(shù)字圖象信號(hào))與相距著眼點(diǎn)101為一定距離處的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的圖形布線配置(數(shù)字圖象信號(hào))進(jìn)行比較。在如圖3所示的某一定的二維多重設(shè)置部分的內(nèi)部，如果著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與相距一定距離的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的圖形布線配置完全相符，則判定為沒有缺陷。當(dāng)著眼點(diǎn)101的圖形布線配置存在有缺陷時(shí)，它與比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d間的圖形布線配置將全不相符，故可以判定其為缺陷。
對(duì)于如圖5所示的靠近某一定的二維重復(fù)部分邊部的周邊部分，如果著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與相距一定距離處的比較點(diǎn)102a、102b、102c的圖形布線配置完全相符，則判定為沒有缺陷。當(dāng)著眼點(diǎn)101的圖形布線配置存在有缺陷時(shí)，與比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d間的圖形布線配置將全不相符，則可以判定其存在有缺陷。其中圖形布線配置尺寸的細(xì)微處，102c與作為重復(fù)的端部的著眼點(diǎn)的圖形布線配置101可能會(huì)有所不同。因此，對(duì)于著眼點(diǎn)101和比較點(diǎn)102間的圖形布線配置比較，即使為正常部分也可能會(huì)產(chǎn)生某種程度的差異。然而對(duì)于著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102a、以及著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102b之間的比較，由于不是重復(fù)的端部，故可以假定為正常部分時(shí)它們將具有完全相同的圖形布線配置。
對(duì)于如圖6所示的某一定的一維重復(fù)部分，如果為正常部分，則著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與相距一定距離的比較點(diǎn)102a、102b的圖形布線配置應(yīng)完全相符。對(duì)于如圖7所示的某一定的一維重復(fù)的端部，如果為正常部分，則著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與相距一定距離的比較點(diǎn)102a的圖形布線配置應(yīng)完全相符。作為重復(fù)的端部，在圖形布線配置的尺寸方面可能會(huì)與著眼點(diǎn)101有某種程度的不同。因此，對(duì)于著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102a之間的比較，即使為正常部分也將有某種程度的差異。然而著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102c、著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102d之間的比較，由于不是重復(fù)的端部，故可以假定在為正常部分時(shí)將具有完全相同的圖形布線配置。在如上所述的圖3、圖5至圖7所說明的為二維重復(fù)的內(nèi)部、邊部和一維的重復(fù)的場(chǎng)合，均可以僅在著眼點(diǎn)101存在有缺陷的部分時(shí)將其判定為候選缺陷，而對(duì)于正常部分不能判定為候選缺陷。
在另一方面，對(duì)于如圖8所示的某一定的二維重復(fù)部分的角部部分或孤立點(diǎn)，即使為正常部分，著眼點(diǎn)101的圖形布線配置與相距一定距離的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的圖形布線配置也會(huì)全部都不相符，故判定為候選缺陷。
可對(duì)這種候選缺陷進(jìn)行兩次比較檢查。兩次比較檢查是利用以芯片內(nèi)的原點(diǎn)為基準(zhǔn)的坐標(biāo)系，如果不同芯片之間具有相同的候選缺陷坐標(biāo)，并且其相符度在許可范圍內(nèi)，便將其作為虛假缺陷加以排除。這樣，可以排除如圖8所示的某一定的二維重復(fù)部分的角部部分或孤立點(diǎn)，而選取出真正的缺陷。
另外，也可以不采用兩次比較方式，而是參考預(yù)先求出的不具有重復(fù)性的位置數(shù)據(jù)，來排除孤立點(diǎn)等的虛假缺陷。
由以上說明可知，X方向直接周邊電路4按存儲(chǔ)元的重復(fù)芯片的整數(shù)倍(m*Px)沿X方向重復(fù)，Y方向直接周邊電路5按存儲(chǔ)元的重復(fù)芯片的整數(shù)倍(n*Py)沿Y方向重復(fù)，故采用上述的十字形比較的方式，可對(duì)存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5進(jìn)行通用的比較檢測(cè)。相應(yīng)于制造作為被檢測(cè)對(duì)象的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器用的半導(dǎo)體晶片的種類(存儲(chǔ)器的種類)的不同，而使上述的存儲(chǔ)元的重復(fù)芯片(Px、Py)發(fā)生變化時(shí)，應(yīng)該相對(duì)于著眼點(diǎn)101改變上述的十字形比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的距離。因此，即使不對(duì)存儲(chǔ)器板部3和直接周邊電路4、5進(jìn)行檢測(cè)區(qū)域設(shè)定，也可以高敏感度的檢測(cè)出為最小線寬(0.3μm以下)一半以下的重要的細(xì)微缺陷。
檢測(cè)出的有關(guān)缺陷的信息顯示在顯示器等的顯示組件上，并可以通過LAN(Local Area Network)等的通信電路送入至管理整個(gè)程序的計(jì)算機(jī)等的其它的處理裝置中，還可以作為程序管理用的數(shù)據(jù)，與其它的檢測(cè)裝置和程序控制裝置的數(shù)據(jù)組合使用。
下面參考圖9說明本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)方法和裝置的第一實(shí)施形式。圖9示出了圖形檢測(cè)方法的第一實(shí)施形式的一種構(gòu)成。本發(fā)明所涉及的圖形檢測(cè)裝置包括有，沿Y方向掃描檢測(cè)作為被檢測(cè)對(duì)象物的晶片1的圖形的物理生質(zhì)用的電子光學(xué)檢測(cè)組件11，用于使晶片1沿X方向移動(dòng)以形成二維圖象的載物臺(tái)12，將用檢測(cè)組件11檢測(cè)出的二維圖形圖象信號(hào)變換為二維數(shù)字圖象信號(hào)的A/D變換組件13，將由該A/D變換組件13A/D變換后的二維數(shù)字圖象14延遲一定時(shí)間以形成圖象15的延遲電路16，將前述A/D變換組件13A/D變換獲得的二維數(shù)字圖象14按預(yù)定的二維掃描區(qū)域存儲(chǔ)用的、由諸如二維移位寄存器等等構(gòu)成的存儲(chǔ)組件(圖象存儲(chǔ)器)17，由存儲(chǔ)在存儲(chǔ)組件17中的圖象中選擇出相應(yīng)于沿X、Y方向的正方向和負(fù)方向相距為直接周邊電路4、5的重復(fù)芯片Qx、Qy的整倍數(shù)Dx、Dy的距離處的若干個(gè)圖象18a、18b、18c、18d用的選擇組件19，將圖象15與圖象18a、圖象15與圖象18b、圖象15與圖象18c、圖象15與圖象18d分別進(jìn)行比較以檢測(cè)有無差異并選取出差異圖象21a、21b、21c、21d用的差異圖象選取部22a、22b、22c、22d，利用這些差異圖象21a、21b、21c、21d運(yùn)算出候選缺陷圖象23用的候選缺陷選取部(候選缺陷選取組件)24a，利用候選缺陷圖象23選取出表示有關(guān)候選缺陷的缺陷發(fā)生位置信息的缺陷坐標(biāo)、表示缺陷立體形狀的、以深淺值不同為基礎(chǔ)的不相符度(如圖10(e)中的斜線區(qū)域所示的、以深淺不相符性為基礎(chǔ)的深淺值的差62)、表示二維缺陷尺寸的缺陷面積S(如圖10(b)中的斜線區(qū)域所示)、以及沿X方向、Y方向的投影長(zhǎng)度Lx、Ly等等的特征量25用的特征量選取部(特征量選取組件)26，利用特征量25選取出真實(shí)缺陷用的缺陷選取部(缺陷選取組件)27，以及控制各個(gè)部分用的、具有記錄載體、打印機(jī)、顯示組件等等的輸出組件的整體控制部28。由整體控制部28選取出的有關(guān)缺陷的數(shù)據(jù)可通過圖中未示出的通信組件作為輸出30輸出。
使搭載在載物臺(tái)12上的、作為被檢測(cè)對(duì)象物的晶片1相對(duì)于檢測(cè)組件11的光軸進(jìn)行位置對(duì)齊(校準(zhǔn))，用光學(xué)顯微鏡對(duì)在晶片1周圍的至少三個(gè)位置處形成的曝光用的校準(zhǔn)標(biāo)志攝象，根據(jù)具有可用光電變換組件將該圖象信號(hào)變換為三個(gè)位置的校準(zhǔn)標(biāo)志的位置的載物臺(tái)的位移計(jì)給出的、或根據(jù)激光測(cè)長(zhǎng)器的載物臺(tái)的位移量進(jìn)行計(jì)算，并根據(jù)該計(jì)算出的三個(gè)位置的校準(zhǔn)標(biāo)志的位置坐標(biāo)，相對(duì)于檢測(cè)組件11的光軸以一個(gè)單元范圍內(nèi)為10μm以下的精度，對(duì)晶片1進(jìn)行X方向、Y方向和旋轉(zhuǎn)(θ)方向的校準(zhǔn)。通過對(duì)晶片外周處進(jìn)行一個(gè)單元范圍內(nèi)為10μm以下的精度校準(zhǔn)，使得在十字形比較時(shí)可以忽視圖象彼此之間的位置差異。
上述的電子光學(xué)檢測(cè)組件11包括有可產(chǎn)生諸如電子束等的電子束源11a，使由電子束源11a發(fā)射的電子束掃描圖象的電子束偏轉(zhuǎn)器11c，使電子束在作為被檢測(cè)對(duì)象物的晶片1上形成0.02～0.2μm直徑的電子束斑點(diǎn)的物鏡11b，將晶片1上產(chǎn)生出的二次電子匯集至二次電子檢測(cè)器11e的ExB11d，調(diào)整高度檢測(cè)傳感器11f和物鏡11b的焦點(diǎn)位置用的焦點(diǎn)位置控制部(未示出)，控制電子束偏轉(zhuǎn)器11c以實(shí)現(xiàn)波束掃描的掃描控制部(未示出)。電子束電流為10～200nA，檢測(cè)圖象象素尺寸換算至被檢測(cè)對(duì)象物上為0.2～0.05μm，被檢測(cè)對(duì)象物上的加速電壓為0.3kV。檢測(cè)象素尺寸應(yīng)設(shè)定在被檢測(cè)對(duì)象物的圖形線寬的大約一半以下。
上述的電子光學(xué)檢測(cè)組件11也可以用光學(xué)的圖象檢測(cè)組件替換。對(duì)于采用光學(xué)圖象檢測(cè)組件的場(chǎng)合，檢測(cè)象素尺寸等與前述相類似。
晶片1上的圖形，一邊由比如說圖3所示的左側(cè)方向沿Y方向按預(yù)定的掃描寬度掃描，一邊沿X的正向方向掃描性移動(dòng)，利用電子光學(xué)檢測(cè)組件11檢測(cè)其二維圖象信號(hào)，并用A/D變換組件13變換為數(shù)字圖象信號(hào)。而且上述的延遲電路16將由A/D變換組件13獲得的數(shù)字圖象中，將包含著十字形比較用的著眼點(diǎn)在內(nèi)的四點(diǎn)處的數(shù)字圖象全部存儲(chǔ)在上述的存儲(chǔ)組件(圖象存儲(chǔ)器)17中，直至一定時(shí)間的延遲之后。換句話說就是，當(dāng)由A/D變換組件13輸出如圖3所示的×點(diǎn)處的數(shù)字圖象信號(hào)時(shí)，由延遲電路16輸出的著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象，將用上述的延遲電路16進(jìn)行了相應(yīng)于由×點(diǎn)至著眼點(diǎn)之間的掃描量的延遲。在該結(jié)果存儲(chǔ)組件17中根據(jù)由整體控制部28獲得的基準(zhǔn)尋址信號(hào)34，存儲(chǔ)著如圖3所示的×點(diǎn)處的預(yù)定的二維掃描區(qū)域的數(shù)字圖象信號(hào)。因此，由于×點(diǎn)與著眼點(diǎn)之間的掃描量為已知的值，所以選擇組件19可以由設(shè)置在內(nèi)部的、相對(duì)于若干個(gè)晶片1品種為不同的值的芯片節(jié)距數(shù)Dx、Dy中，選擇出與由整體控制部28輸入的晶片1的品種信息相對(duì)應(yīng)的所需要的芯片節(jié)距數(shù)Dx、Dy，并且根據(jù)該芯片節(jié)距數(shù)Dx、Dy對(duì)存儲(chǔ)組件17指定相對(duì)于著眼點(diǎn)101地址的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的地址，再由存儲(chǔ)組件17輸出比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d的數(shù)字圖象信號(hào)。而且對(duì)于晶片1的品種數(shù)據(jù)，也可以用鍵盤等等的直接輸入組件輸入至整體控制部28，還可以采用讀取形成在晶片1上的表示其品種的記號(hào)或文字等等方式輸入。
在此之下的動(dòng)作為檢測(cè)動(dòng)作。即用檢測(cè)組件11將載物臺(tái)12同步掃描所獲得的晶片1的圖形作為二維圖象信號(hào)檢測(cè)出來，用A/D變換組件13將其變換為數(shù)字圖象信號(hào)，再將該數(shù)字圖象信號(hào)延遲一定的量以獲得著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15。同時(shí)將依次由預(yù)定的掃描區(qū)域獲得的數(shù)字圖象信號(hào)14存儲(chǔ)在存儲(chǔ)組件17處。因此，已經(jīng)按預(yù)定的掃描區(qū)域存儲(chǔ)在存儲(chǔ)組件17中的數(shù)字圖象信號(hào)中，包含著延遲后的著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15和沿坐標(biāo)X方向的正方向和負(fù)方向相距為Dx象素距離的比較點(diǎn)102a、102b的數(shù)字圖象信號(hào)。
可以通過將相應(yīng)于著眼點(diǎn)101的地址的比較點(diǎn)102a、102b的地址，用選擇組件19由內(nèi)部進(jìn)行有各種設(shè)定的芯片節(jié)距數(shù)Dx、Dy中，選擇相應(yīng)于晶片1的品種信息35并輸入至整體控制部28，并基于選擇出的芯片節(jié)距數(shù)Dx、Dy對(duì)存儲(chǔ)組件17進(jìn)行指定的方式，將與延遲后的著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15同步的比較點(diǎn)102a、102b、102c、102d中的數(shù)字圖象信號(hào)18a、18b、18c、18d由存儲(chǔ)組件17讀出選取(剪切)出來。這時(shí)，將Dx、Dy分別選擇為直接周邊電路4、5沿X、Y方向的重復(fù)芯片Qx、Qy的整倍數(shù)。
然后利用各個(gè)差異圖象選取部22a、22b、22c、22d分別對(duì)選取出的著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15與比較點(diǎn)102a的數(shù)字圖象信號(hào)18a、對(duì)著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15與比較點(diǎn)102b的數(shù)字圖象信號(hào)18b、對(duì)著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15與比較點(diǎn)102c的數(shù)字圖象信號(hào)18c、對(duì)著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15與比較點(diǎn)102d的數(shù)字圖象信號(hào)18d進(jìn)行比較，將由于圖形布線配置正常時(shí)的形狀上的細(xì)微變化所產(chǎn)生的來源明確的變化許可值(深淺許可值)、由于位置偏差所產(chǎn)生的來源明確的變化許可值(位置偏差許可值)和純粹的噪音成分由比較圖形布線配置中取出并除去(減去)，而選取出(輸出)該差異圖象21a、21b、21c、21d。換句話說就是，對(duì)于比較圖形布線配置低于差值的場(chǎng)合，差異圖象21a、21b、21c、21d中沒有差值(差為0)，即它們是彼此相符的。
候選缺陷圖象選取部24a運(yùn)算出表示上述的選取出的各差異圖象218、21b、21c、21d中的差值(不相符性)為最小值(表示最小的相符度)的比較圖象，并將差值的最小值為0(相符)以外的差值作為候選缺陷圖象信號(hào)23計(jì)算出來。特征量選取部26利用候選缺陷圖象23選取出如圖10(b)所示的候選缺陷區(qū)域(缺陷形狀)61，并選取出表示缺陷的立體形狀的不相符度(依據(jù)如圖10(e)所示的、由斜線區(qū)域表示的深淺不相符性獲得的深淺值的差62)、表示缺陷發(fā)生位置信息的缺陷區(qū)域61的位置坐標(biāo)(比如說重心位置G)、表示二維缺陷尺寸的缺陷區(qū)域61的缺陷面積S(如圖10(b)中的斜線區(qū)域所示)以及沿X方向和Y方向的投影長(zhǎng)度Lx、Ly等等的候選缺陷的特征量25。將這些候選缺陷用特征量25存儲(chǔ)在作為程序處理的缺陷選取部(缺陷選取組件)27的存儲(chǔ)區(qū)域中?？梢愿鶕?jù)表示缺陷發(fā)生位置信息的缺陷區(qū)域61的位置坐標(biāo)(比如說重心位置G)，將存儲(chǔ)的候選缺陷特征量25按芯片內(nèi)的坐標(biāo)進(jìn)行排列，比如說在一定的坐標(biāo)范圍內(nèi)，將具有比賦予的不相符度平均值的許可域值大的不相符度或比賦予的許可域值大的面積或沿X方向和Y方向的投影長(zhǎng)度的候選缺陷作為真實(shí)的缺陷選取出來。有關(guān)該選取出的真實(shí)缺陷的信息用整體控制部28的輸出組件(記錄載體、打印機(jī)、顯示組件等等)輸出，并作為整體控制部28的輸出30，通過圖中未示出的LAN等等的通信組件傳遞至管理整個(gè)程序的計(jì)算機(jī)或服務(wù)部等等處。
在圖10(a)中示出了比較用正常的配線圖形63，在圖10(b)中示出了存在有候選缺陷61的配線圖形63。在圖10(c)中示出了表示沿圖10(a)所示的的掃描線a-a剖開的深淺圖象信號(hào)64，在圖10(d)中示出了表示沿圖10(b)所示的掃描線b-b剖開的深淺圖象信號(hào)65。在圖10(e)中示出了深淺圖象信號(hào)64與深淺圖象信號(hào)65之間的不相符度(依據(jù)由斜線區(qū)域所示的不相符性獲得的深淺值的差)62。
該第一實(shí)施形式中的第一變種實(shí)例未采用十字形的比較，而是如圖11所示，對(duì)于著眼點(diǎn)101的圖形，用位于沿X、Y方向的兩個(gè)位置處的比較點(diǎn)102a、102c的圖形進(jìn)行比較。如果采用這種方式，可以大大的減少需檢測(cè)的區(qū)域，從而可以用更簡(jiǎn)便的方法、裝置構(gòu)成來實(shí)施檢測(cè)。換句話說就是，它不需要設(shè)置如圖9所示的構(gòu)成中的差異圖象選取部22b、22d。
該第一實(shí)施形式中的第二變種實(shí)例也未采用十字形的比較，而是如圖12所示，在十字形的基礎(chǔ)上，還增加了位于沿X方向的兩個(gè)位置處的比較點(diǎn)102e、102f的圖形以進(jìn)行比較。如果采用這種方式，可以與重復(fù)的芯片為若干個(gè)的場(chǎng)合相對(duì)應(yīng)。類似的，還可以沿X方向和Y方向增加若干個(gè)位置處的比較點(diǎn)。對(duì)于采用該第二變種實(shí)例的場(chǎng)合，需要增加差異圖象選取部22e、22f。
如果采用如上所述的根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的第一實(shí)施形式，可以通過不指定需檢測(cè)區(qū)域坐標(biāo)的方式選取出構(gòu)成半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的具有重復(fù)性的存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5中的缺陷，并且可以用設(shè)定著眼點(diǎn)101和比較點(diǎn)102之間的距離Dx、Dy構(gòu)成參數(shù)的方式進(jìn)行方便的檢測(cè)。
下面利用圖13說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)方法和裝置的第二實(shí)施形式。圖13示出了圖形檢測(cè)裝置的第二實(shí)施形式。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的圖形檢測(cè)裝置的第二實(shí)施形式，相對(duì)于如圖9所示的第一實(shí)施形式，還增加了運(yùn)算著眼點(diǎn)101的數(shù)字圖象信號(hào)15與各個(gè)比較點(diǎn)102a～102的數(shù)字圖象信號(hào)18a、18b、18c、18d的相符度Diff a、Diff b、Diff c、Diff d的、當(dāng)該運(yùn)算出的相符度Diff a、Diff b、Diff c、Diff d的許可值比較大、包含著著眼點(diǎn)和比較點(diǎn)之間的圖形附近沒有大幅度的不同時(shí)使各相符度Diff a、Diff b、Diff c、Diff d為“0”(Diff a＝0、Diff b＝0、Diff c＝0、Diff d＝0)的相符度運(yùn)算部(相符度運(yùn)算組件)35a、35b、35c、35d，可相應(yīng)于由各相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d獲得的相符性信號(hào)36a、36b、36c、36d、對(duì)由候選缺陷選取部24b中的差異圖象選取部(差異圖象選取組件)22a、22b、22c、22d中獲得的差異圖象(Comp a)21a、(Compb)21b、(Comp c)21c、(Comp d)21d中進(jìn)行候選缺陷的判定和選擇用的選擇信號(hào)38的輸出用的比較對(duì)象選擇部37。對(duì)于用差異圖象選取部(差異圖象選取組件)22a～22d選取差異圖象用的比較點(diǎn)102a～102d的數(shù)字圖象，還可以制作成與存儲(chǔ)器板部3、直接周邊電路4、5中的設(shè)計(jì)信息合并的信息并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)組件17中。在此，在由存儲(chǔ)組件17讀取出根據(jù)設(shè)計(jì)信息制作的比較點(diǎn)102a～102d的數(shù)字圖象時(shí)，還需要用由比較對(duì)象選擇部37給出的選擇信號(hào)38進(jìn)行選擇。
各相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d對(duì)各個(gè)差異圖象選取部(差異圖象選取組件)22a～22d進(jìn)行類似的除去(減去)比較圖形的運(yùn)算，在比說5×5個(gè)象素存儲(chǔ)器的范圍內(nèi)剪切出差異圖象Diff a、Diff b、Diff c、Diff d，通過取在該剪切出的存儲(chǔ)器范圍內(nèi)的最小差異圖象為中央象素值的方式，對(duì)于表示基本相符(在5×5個(gè)象素存儲(chǔ)器的范圍內(nèi)的深淺差異為最小最小差異圖象)的差異圖象信號(hào)進(jìn)行二維擴(kuò)大處理，通過采用將較大域值雙值化的方式，可將未超過較大域值的點(diǎn)作為相符的、沒有較大圖形布線配置上不同的點(diǎn)，和其附近(5×5個(gè)象素存儲(chǔ)器的范圍內(nèi))的部分，作為確實(shí)的相符性的點(diǎn)輸出。即各個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d對(duì)于大于許可值(域值)的、但在著眼點(diǎn)和比較點(diǎn)之間的圖形附近未發(fā)現(xiàn)有比較大的不同的點(diǎn)，輸出相符性信號(hào)。這樣，即使存在有細(xì)微的缺陷，比較對(duì)象選擇部37也可以判定著眼點(diǎn)101是處于二維重復(fù)狀態(tài)，處于僅沿橫向(X)方向重復(fù)狀態(tài)，處于僅沿縱向(Y)方向重復(fù)的狀態(tài)，還是處于重復(fù)的端點(diǎn)的狀態(tài)，或處于孤立點(diǎn)的狀態(tài)。即比較對(duì)象選擇部37可以在四個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d輸出相符性信號(hào)時(shí)，判定為二維重復(fù)狀態(tài)，從而以輸出作為候選缺陷的、候選缺陷選取部24b中的四個(gè)差異圖象(Comp a～Comp d)中的最小值(min((Comp a～Comp d))的方式輸出選擇信號(hào)。而且當(dāng)比較對(duì)象選擇部37在四個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d內(nèi)的相符度運(yùn)算部35a、35b輸出相符性信號(hào)(Diff a＝0、Diff b＝0)時(shí)，判定為沿橫向(X)方向的重復(fù)狀態(tài)，從而以輸出作為候選缺陷的、候選缺陷選取部24b中的四個(gè)差異圖象(Comp a～Comp d)中的沿橫向(X)方向的兩個(gè)差異圖象(Comp a、Compb)的最小值(min((Comp a～Comp d))的方式輸出選擇信號(hào)。而且，比較對(duì)象選擇部37在四個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d中的相符度運(yùn)算部35c、35d輸出相符性信號(hào)(Diff c＝0、Diff d＝0)時(shí)，判定為沿縱向(Y)方向的重復(fù)狀態(tài)，并且以輸出作為候選缺陷的、候選缺陷選取部24d中的四個(gè)差異圖象(Comp c～Comp d)中的沿縱向(Y)方向的兩個(gè)差異圖象(Comp c、Comp d)的最小值(min((Comp c～Comp d))的方式輸出選擇信號(hào)。比較對(duì)象選擇部37在四個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d中的某一個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d輸出相符性信號(hào)(僅Diffa＝0，或僅Diff b＝0，或僅Diff c＝0，或僅Diff d＝0)時(shí)，判定為重復(fù)端點(diǎn)的狀態(tài)，并且以輸出作為候選缺陷的、候選缺陷選取部24d中的四個(gè)差異圖象中的判定為端點(diǎn)的差異圖象(Comp a，或Comp b，或Comp c，或Comp d)的方式輸出選擇信號(hào)。比較對(duì)象選擇部37在四個(gè)相符度運(yùn)算部35a、35b、35c、35d的輸出均為不相符性信號(hào)(Diff a～Diff d≠0)時(shí)，判定為孤立點(diǎn)的狀態(tài)，故以輸出作為候選缺陷的候選缺陷選取部24b中的四個(gè)差異圖象(Comp a～Comp d)的最小值(min(Comp a～Comp d))的方式輸出選擇信號(hào)。這樣，候選缺陷圖象選取部24b在為二維重復(fù)狀態(tài)中，輸出作為候選缺陷的四個(gè)差異圖象(Comp a～Comp d)中的最小值(min(Comp a～Compd))，在為沿橫向(X)方向的重復(fù)狀態(tài)中，輸出作為候選缺陷的、沿橫向(X)方向的兩個(gè)差異圖象(Comp a、Comp b)中的最小值(min(Comp a，Comp b))，在為沿縱向(Y)方向的重復(fù)狀態(tài)中，輸出作為候選缺陷的、沿縱向(Y)方向的兩個(gè)差異圖象(Comp c、Comp d)中的最小值(min(Compc，Comp d))，在為多重設(shè)置端點(diǎn)的狀態(tài)中，輸出作為候選缺陷的、判定為端點(diǎn)的某一差異圖象(Comp a，或Comp b，或Comp c，或Comp d)，在為孤立點(diǎn)的狀態(tài)中，輸出作為候選缺陷的、判定為孤立點(diǎn)狀態(tài)的四個(gè)差異圖象(Comp a～Comp d)的最小值(min(Comp a～Comp d))。而且由特征量選取部(特征選取組件)26和缺陷選取部(缺陷選取組件)27進(jìn)行的處理，與如圖9所示的圖形檢測(cè)裝置的第一實(shí)施形式相類似。
在前述如圖9所示的圖形檢測(cè)裝置的第一實(shí)施形式中，將由候選缺陷選取部24a給出的、表示各個(gè)差異圖象21a、21b、21c、21d中的差(不相符性)為最小值(表示為最小的相符度)的差異圖象，作為候選缺陷圖象信號(hào)23輸出。對(duì)于這種場(chǎng)合，輸出的、作為候選缺陷信號(hào)的信號(hào)中并不喪失如圖14中的模型所示的微小缺陷141的輪廓(具有微小的階梯差異而產(chǎn)生著比較大的深淺信號(hào)變化。)142，所以對(duì)于微小缺陷141中的平坦部分143，也可能會(huì)喪失與比較點(diǎn)102d的圖形之間的相符性，從而有可能會(huì)輸出隨微小缺陷形狀變化的狀態(tài)的候選缺陷信號(hào)。特別是對(duì)于微小缺陷141為凹入形缺陷的場(chǎng)合，由于由著眼點(diǎn)101的微小缺陷形成的圖象與由不具有重復(fù)性的比較點(diǎn)102d的圖形形成的圖象相符，其結(jié)果將在采用第一實(shí)施形式時(shí)，對(duì)于由于微小缺陷141的輪廓而被選取出的可能性增大。
然而，對(duì)于如前述圖13所示的圖形檢測(cè)裝置的第二實(shí)施形式，由于它可以輸出不隨缺陷形狀等等變化的、可如實(shí)的反映缺陷的、作為候選缺陷信號(hào)23的輸出信號(hào)，所以和第一實(shí)施形式相比，可以用十字形比較實(shí)現(xiàn)微小缺陷的高可靠性的檢測(cè)。
下面利用圖15說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)方法和裝置的第三實(shí)施形式。圖15示出了圖形檢測(cè)裝置的第三實(shí)施形式。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)裝置的第三實(shí)施形式，與圖9所示的第一實(shí)施形式的不同之處在于，它是利用由單掃描柵移位寄存器等等構(gòu)成的延遲電路29a，按照在圖象檢測(cè)時(shí)的X方向掃描中由著眼點(diǎn)101至比較點(diǎn)102a的距離所需要的時(shí)間延遲后的方式，獲得由候選缺陷選取部24a獲得的著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102a之間的差異圖象21a，和由差異圖象選取部22b獲得的差異圖象。當(dāng)由延遲電路29a輸出差異圖象21a時(shí)，同時(shí)由差異圖象選取部22b輸出著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102b之間的差異圖象21b。換句話說就是，由差異圖象選取部22b獲得的差異圖象包含著在第一實(shí)施形式中所說明過的差異圖象21a和差異圖象21b的信息。差異圖象21b為比較著眼點(diǎn)101與由著眼點(diǎn)101沿X方向的正方向相距Dx象素個(gè)距離的比較點(diǎn)102b用的圖象，差異圖象21a為比較著眼點(diǎn)101與由著眼點(diǎn)101沿X方向的負(fù)方向相距Dx象素個(gè)距離的比較點(diǎn)102a用的圖象，換言之，如果僅將差異圖象21b取為沿象素的X方向負(fù)方向，而替代比較點(diǎn)102a中的著眼點(diǎn)和比較對(duì)象，則圖象是等價(jià)的。
另外，還可以利用由單掃描柵移位寄存器等等沿Y方向多個(gè)并列而構(gòu)成的延遲電路29c，通過在圖象檢測(cè)時(shí)的Y方向掃描中由著眼點(diǎn)101至比較點(diǎn)102c的距離所需要的時(shí)間延遲后的方式，獲得由候選缺陷選取部24c獲得的著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102c之間的差異圖象21c，和由差異圖象選取部22d獲得的差異圖象。當(dāng)由延遲電路29c輸出差異圖象21c時(shí)，同時(shí)由差異圖象選取部22d輸出著眼點(diǎn)101與比較點(diǎn)102d之間的差異圖象21d。換句話說就是，由差異圖象選取部22d獲得的差異圖象中，同樣包含著差異圖象21c和差異圖象21d的數(shù)據(jù)。差異圖象21d為比較著眼點(diǎn)101與由著眼點(diǎn)101沿Y方向的正方向相距Dy象素個(gè)距離的比較點(diǎn)102d用的圖象，差異圖象21c為比較著眼點(diǎn)101與由著眼點(diǎn)101沿Y方向的負(fù)方向相距Dy象素個(gè)距離的比較點(diǎn)102c用的圖象，換言之，如果僅將差異圖象21d取作為沿Dy象素的Y方向負(fù)方向，來替代比較點(diǎn)102c中的著眼點(diǎn)和比較對(duì)象，則圖象是等價(jià)的。
如上所述，對(duì)于作為被檢測(cè)對(duì)象物的晶片1的不同品種，為由著眼點(diǎn)101沿X方向和Y方向至比較點(diǎn)102的距離發(fā)生變化的場(chǎng)合。因此，應(yīng)該依據(jù)由選擇組件19獲得的、由著眼點(diǎn)101沿X方向和Y方向至比較點(diǎn)102的距離的數(shù)據(jù)，相應(yīng)的改變各個(gè)延遲電路29a和29c的延遲時(shí)間。
它與如上所述的圖9所示的第一實(shí)施形式相類似，但如果和第一實(shí)施形式相比，由于它將選取比較參數(shù)等的復(fù)雜處理所必需的差異圖象選取部的數(shù)目減少一半，所以不僅可以設(shè)置成構(gòu)成簡(jiǎn)單的延遲電路，還可以以不進(jìn)行可檢測(cè)區(qū)域的坐標(biāo)指定的方式，選取出X直接周邊電路4、Y直接周邊電路5中的部分的缺陷，從而可以用簡(jiǎn)單的參數(shù)設(shè)定方式檢測(cè)。
當(dāng)然，該第三實(shí)施形式也適用于上述的第二實(shí)施形式。
下面利用圖16說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)方法和裝置的第四實(shí)施形式。圖16示出了圖形檢測(cè)裝置的第四實(shí)施形式。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)裝置的第四實(shí)施形式，與前述圖16所示的圖形檢測(cè)裝置的第三實(shí)施形式的不同之處在于，它沒有采用缺陷選取部27，而是配置了存儲(chǔ)有無預(yù)定的重復(fù)性的位置坐標(biāo)的孤立點(diǎn)存儲(chǔ)部31，以及可由候選缺陷中將具有與預(yù)先存儲(chǔ)的無重復(fù)性的位置的坐標(biāo)信息相相符的坐標(biāo)的部分排除，而選取出真實(shí)缺陷的坐標(biāo)校正部32。該坐標(biāo)校正部32具有與第一至第三實(shí)施形式中的缺陷選取部27相同的功能。
特征量選取部26由候選缺陷圖象23選取出如圖10(b)所示的候選缺陷區(qū)域(缺陷形狀)61，并且選取出表示缺陷的立體形狀的不相符度(依據(jù)如圖10(e)所示的、由斜線區(qū)域表示的深淺不相符性獲得的深淺值的差62)、表示缺陷發(fā)生位置信息的缺陷區(qū)域61的位置坐標(biāo)(比如說重心位置G)、表示二維缺陷尺寸的缺陷區(qū)域61的面積S(如圖10(b)中的斜線區(qū)域所示)、以及沿X方向和Y方向的投影長(zhǎng)度Lx、Ly等等的候選缺陷用的特征量25。這些候選缺陷用特征量25存儲(chǔ)在作為程序處理的坐標(biāo)校正部32的存儲(chǔ)器區(qū)域中?？梢愿鶕?jù)表示缺陷發(fā)生位置信息的缺陷區(qū)域61的位置坐標(biāo)(比如說重心位置G)，將存儲(chǔ)在坐標(biāo)校正部32中的候選缺陷特征量25按照芯片內(nèi)的坐標(biāo)進(jìn)行排列，比如說在一定的坐標(biāo)范圍內(nèi)，將具有與預(yù)先存儲(chǔ)在坐標(biāo)校正部32中的孤立點(diǎn)的坐標(biāo)信息相符合的坐標(biāo)的候選缺陷加以排除，從而選取出真實(shí)缺陷，并輸出至輸出組件(記錄載體、打印機(jī)、顯示組件)，或通過網(wǎng)絡(luò)傳遞至管理整個(gè)程序的計(jì)算機(jī)處。
對(duì)于存儲(chǔ)在坐標(biāo)存儲(chǔ)部32中的孤立點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，為檢測(cè)對(duì)象設(shè)定數(shù)據(jù)，或檢測(cè)用作業(yè)者登記的場(chǎng)合，或?yàn)樗鼈兊慕M合時(shí)，可以用比如說設(shè)置在整體控制部28處的輸入組件進(jìn)行登記。
該第四實(shí)施形式也適用于第一實(shí)施形式中的第一變形實(shí)例，即可以進(jìn)行第二次的比較檢測(cè)，從而可以對(duì)未排除的虛假缺陷坐標(biāo)進(jìn)行登記，并將其排除。這樣，可以相對(duì)于坐標(biāo)存儲(chǔ)部31用比較少的工序進(jìn)行登記用坐標(biāo)指定。
如果采用該第四實(shí)施形式，通過比較預(yù)先存儲(chǔ)的坐標(biāo)，可以可靠的排除虛假缺陷。
當(dāng)然，該第四實(shí)施形式也適用于上述的第一實(shí)施形式和第二實(shí)施形式。
下面利用圖17說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的圖形檢測(cè)方法和裝置的第五實(shí)施形式。圖17示出了圖形檢測(cè)裝置的第五實(shí)施形式。與第一實(shí)施形式的不同之處在于，它還包括有檢測(cè)芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206用的、存諸A/D變換后的圖象14的存儲(chǔ)組件201，對(duì)由存儲(chǔ)在該存儲(chǔ)組件201的圖象中選擇出的、距芯片整倍數(shù)距離之前的圖象用的圖象207和目前的檢測(cè)圖象14進(jìn)行比較以計(jì)算出候選缺陷圖象206的圖象處理組件203，根據(jù)由整體控制部28獲得的檢測(cè)位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)、選擇由候選缺陷選取部24獲得的十字形比較用的候選缺陷圖象23和芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206的候選缺陷選取組件204。
候選缺陷選取部24運(yùn)算出由各個(gè)差異圖象選取部22a～22d選取出的差異圖象21a、21b、21c、21d中的最小值(最相符的差異圖象)，并由此計(jì)算出十字形比較用的候選缺陷圖象23。
在另一方面，用圖象處理組件203對(duì)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)組件201中的數(shù)字圖象14為一個(gè)芯片節(jié)距之前的圖象和數(shù)字圖象14進(jìn)行圖象處理，并計(jì)算出芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206。候選缺陷選擇組件204利用十字形比較用的候選缺陷圖象23和芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206，依據(jù)芯片上的存儲(chǔ)器板部3、直接周邊電路4、5和間接周邊電路6的區(qū)域和坐標(biāo)數(shù)據(jù)，選取出所選擇出的候選缺陷圖象208。換句話說就是，候選缺陷選取組件204對(duì)于芯片上的存儲(chǔ)器板3和直接周邊電路4、5的區(qū)域，選擇十字形比較用的候選缺陷圖象23，對(duì)于間接周邊電路6區(qū)域，選擇芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206，并作為候選缺陷圖象207輸出。
特征量選取部26利用這種選擇出的候選缺陷圖象107，選取出如圖10(b)所示的候選缺陷區(qū)域(缺陷形狀)61，并且選取出表示缺陷的立體形狀的不相符度(依據(jù)如圖10(e)所示的、由斜線區(qū)域表示的深淺不相符性獲得的深淺值的差62)、表示缺陷發(fā)生位置信息的缺陷區(qū)域61的位置坐標(biāo)(比如說重心位置G)、表示二維缺陷尺寸的缺陷區(qū)域61的面積S(如圖10(b)中的斜線區(qū)域所示)、以及沿X方向和Y方向的投影長(zhǎng)度Lx、Ly等等的候選缺陷用的特征量25。這些候選缺陷用特征量25存儲(chǔ)在作為程序處理的特征量選取部26的存儲(chǔ)區(qū)域中。特征量選取部26可用芯片內(nèi)坐標(biāo)對(duì)存儲(chǔ)的候選缺陷的特征量25進(jìn)行排列，比如說在一定的坐標(biāo)范圍內(nèi)，將具有大于賦予在不相符度平均值的許可域值的候選缺陷，作為真實(shí)缺陷選取出來。而且候選缺陷選擇部(候選缺陷選取組件)204根據(jù)檢測(cè)位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，對(duì)具有重復(fù)性的存儲(chǔ)器板3、X方向直接周邊電路4、Y方向直接周邊電路5選定出十字形比較用的候選缺陷圖象23，對(duì)位于其外的間接周邊電路6選定出芯片節(jié)距比較用的候選缺陷圖象206。
可以用該第五實(shí)施形式進(jìn)行十字形比較和芯片節(jié)距比較的混合檢測(cè)，所以可以對(duì)不同于具有重復(fù)性的存儲(chǔ)器板3、X方向直接周邊電路4、Y方向直接周邊電路5的部分的間接周邊電路6，選取出缺陷。
當(dāng)然，該第五實(shí)施形式也適用于上述的第二、第三和第四實(shí)施形式。
如上所述的第一～第五實(shí)施形式，均是以采用電子光學(xué)檢測(cè)組件的裝置為例進(jìn)行說明的，但采用光學(xué)檢測(cè)組件等其它類型的檢測(cè)組件，也可以進(jìn)行類似的實(shí)施。
如果采用本發(fā)明，通過簡(jiǎn)單的指定檢測(cè)區(qū)域的方式，便可以獲得高可靠性的檢測(cè)效果。
如果采用本發(fā)明，通過容易指定檢測(cè)區(qū)域的方式，可以對(duì)小于重復(fù)部分的全部區(qū)域獲得高速且高可靠性的檢測(cè)缺陷的效果。
如果采用本發(fā)明，可以對(duì)形成有由存儲(chǔ)器板和直接周邊電路構(gòu)成的重復(fù)圖形的半導(dǎo)體晶片，高可靠性的進(jìn)行缺陷檢測(cè)，從而可以獲得可以制造出高品質(zhì)的半導(dǎo)體晶片的效果。
權(quán)利要求
1.一種圖形檢測(cè)方法，其特征在于對(duì)形成若干個(gè)相同的圖形組的被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象以獲得被檢測(cè)對(duì)象物的二維數(shù)字圖象信號(hào)，將由該二維數(shù)字圖象信號(hào)中的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)圖形組中的圖形的數(shù)字圖象信號(hào)、與相對(duì)于該檢測(cè)出的圖形組的圖形的原來相同的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的其它若干個(gè)圖形組中的圖形的圖象信號(hào)進(jìn)行比較以選取出缺陷，并將有關(guān)該選取出的缺陷的數(shù)據(jù)輸出至通信電路。
2.一種如權(quán)利要求1所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述其它的圖形組為與前述檢測(cè)圖形組相鄰接的圖形組。
3.一種如權(quán)利要求1所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述若干個(gè)其它圖形組為沿與前述檢測(cè)圖形組相正交的方向相鄰接的圖形組。
4.一種如權(quán)利要求1所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)用圖形組中的圖形的數(shù)字圖象信號(hào)與相對(duì)于作為與該檢測(cè)的圖形組的圖形相同的圖形的、所希望的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的其它若干個(gè)圖形組的比較圖形的圖象信號(hào)中的任何一個(gè)不相符時(shí)，就將前述檢測(cè)圖形組中的圖形作為候選缺陷選擇出來，并由該選擇出的候選缺陷中選取出真實(shí)的缺陷。
5.一種圖形檢測(cè)方法，其特征在于對(duì)形成為若干個(gè)相同的圖形組的被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象以獲得被檢測(cè)對(duì)象物的圖象信號(hào)，將由該圖象信號(hào)中的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)圖形組的圖形的圖象信號(hào)、與相對(duì)于該檢測(cè)的圖形組的圖形的、原來相同的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的其它若干個(gè)圖形組中的圖形的圖象信號(hào)進(jìn)行比較，以排除虛假缺陷并檢測(cè)出真實(shí)缺陷，輸出有關(guān)該檢測(cè)出的真實(shí)缺陷的數(shù)據(jù)。
6.一種如權(quán)利要求5所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于根據(jù)前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)圖形組中的圖形的圖象信號(hào)和前述其它圖形組的圖形之間的不同，選取出前述檢測(cè)的圖形組中的圖形的候選缺陷，通過將該選取出的候選缺陷與前述檢測(cè)圖形組之間進(jìn)行相互比較選取出虛假缺陷，再由選取出的候選缺陷中排除前述虛假缺陷以檢測(cè)出真實(shí)的缺陷。
7.一種如權(quán)利要求5所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于相對(duì)于前述被檢測(cè)對(duì)象物上的檢測(cè)圖形組中的圖形的圖象信號(hào)，對(duì)原來相同的前述被檢測(cè)對(duì)象物上的圖形組的圖形進(jìn)行比較以選取出候選缺陷，再由該候選缺陷中將滿足若干個(gè)圖形組的規(guī)律的現(xiàn)有的缺陷作為虛假缺陷排除掉，以檢測(cè)出真實(shí)的缺陷。
8.一種圖形檢測(cè)方法，其特征在于對(duì)在預(yù)定的芯片上重復(fù)形成具有存儲(chǔ)器板和直接周邊電路的圖形的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行攝象，將該攝象獲得的圖象信號(hào)變換為數(shù)字圖象信號(hào)，將相對(duì)于由該變換所獲得的數(shù)字圖象信號(hào)中的前述半導(dǎo)體晶片上的檢測(cè)的圖形的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)與相對(duì)于該著眼點(diǎn)相距為前述預(yù)定芯片的距離的位置處的若干個(gè)數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較，以選取出候選缺焰，由該選取出的候選缺焰中選取出虛假缺焰，由前述候選缺焰中排除前述虛假缺陷以檢測(cè)出真實(shí)缺陷，并將與該檢測(cè)出的真實(shí)缺陷相關(guān)的數(shù)據(jù)通過通信組件輸出。
9.一種如權(quán)利要求8所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于將前述選取出的候選缺陷中的與前述半導(dǎo)體晶片上的規(guī)律情況相符合的部分作為前述虛假缺陷選取出去。
10.一種圖形檢測(cè)方法，其特征在于對(duì)在預(yù)定的芯片上重復(fù)形成具有存儲(chǔ)器板部和直接周邊電路的圖形的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行攝象，將該攝象獲得的圖象信號(hào)變換為數(shù)字圖象信號(hào)，將相對(duì)于由該變換所獲得的數(shù)字圖象信號(hào)中的前述半導(dǎo)體晶片上的檢測(cè)圖形的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)和與該著眼點(diǎn)周圍的若干個(gè)位置處相對(duì)應(yīng)的數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較，以選取出存在有前述檢測(cè)圖形中的前述存儲(chǔ)器板和/或直接周邊電路處的缺陷，并輸出與該檢測(cè)出的缺陷相關(guān)的數(shù)據(jù)。
11.一種圖形檢測(cè)裝置，其特征在于包括具有對(duì)被檢測(cè)對(duì)象物進(jìn)行攝象的組件，將用該攝象組件獲得的前述被檢測(cè)對(duì)象物的圖象信號(hào)變換為數(shù)字圖象信號(hào)的A/D變換組件，將用該A/D變換組件變換后的數(shù)字圖象信號(hào)中的有關(guān)前述被檢測(cè)對(duì)象物上的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)與相對(duì)于該著眼點(diǎn)的圖形為原來相同的若干個(gè)圖形的、位于與前述著眼點(diǎn)相對(duì)應(yīng)處的比較點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較以選取出前述著眼點(diǎn)的候選缺陷的候選缺陷選取組件，由該選取出的候選缺陷中檢測(cè)出真實(shí)缺陷用的缺陷檢測(cè)組件，輸出與該檢測(cè)出的真實(shí)缺陷有關(guān)的信息的輸出組件。
12.一種如權(quán)利要求11所述的圖形檢測(cè)裝置，其特征在于前述候選缺陷選取組件包括由著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)和相對(duì)于該著眼點(diǎn)的圖形為原來相同的若干個(gè)圖形的、位于與前述著眼點(diǎn)相對(duì)應(yīng)處的比較點(diǎn)的參考圖象信號(hào)中分別選取出差異圖象的差異圖象選取部，和將由該差異圖象選取部選取出的各差異圖象與預(yù)定的值進(jìn)行比較以選取出候選缺陷用的候選缺陷選取部。
13.一種如權(quán)利要求11所述的圖形檢測(cè)裝置，其特征在于前述缺陷檢測(cè)組件包括可選取出用前述候選缺陷選取組件選取出的候選缺陷的特征量的特征量選取部，以及根據(jù)由該特征量選取部選取出的前述候選缺陷的特征量檢測(cè)出真實(shí)缺陷的缺陷選取部。
14.一種圖形檢測(cè)裝置，其特征在于包括對(duì)形成重復(fù)圖形的被檢測(cè)對(duì)象物的物理量作為二維圖象信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的圖象信號(hào)檢測(cè)組件，將用該圖象信號(hào)檢測(cè)組件獲得的二維圖象信號(hào)變換為二維數(shù)字圖象信號(hào)的A/D變換組件，將用該A/D變換組件變換后的二維數(shù)字圖象信號(hào)中的著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)與沿X方向和Y方向重復(fù)芯片節(jié)距的整倍數(shù)處的若干個(gè)數(shù)字圖象信號(hào)分別進(jìn)行比較以便分別選取出著眼點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)和若干個(gè)比較點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)之間的差異圖象信號(hào)用的差異圖象選取組件，根據(jù)該差異圖象選取組件選取出的若干個(gè)差異圖象信號(hào)選取出候選缺陷的候選缺陷選取組件，由該候選缺陷選取組件選取出的候選缺陷中選取出真實(shí)缺陷用的缺陷選取組件。
15.一種如權(quán)利要求14所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述缺陷選取組件對(duì)于前述候選缺陷選取組件選取出的候選缺陷為在被檢測(cè)對(duì)象物上不按規(guī)律產(chǎn)生的部分，將其作為真實(shí)缺陷檢測(cè)出來。
16.一種如權(quán)利要求15所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述差異圖象選取組件具有可將由前述A/D變換組件變換后的二維數(shù)字圖象信號(hào)中的至少為前述若干個(gè)比較點(diǎn)的數(shù)字圖象信號(hào)分別存儲(chǔ)的存儲(chǔ)組件。
17.一種如權(quán)利要求1 5所述的圖形檢測(cè)方法，其特征在于前述缺陷選取組件具有由前述候選缺陷中選取出缺陷特征量用的特征量選取組件。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種圖形檢測(cè)方法和裝置,該方法和裝置在對(duì)于具有二維多重設(shè)置性的位置和僅具有沿X方向、Y方向的重復(fù)性的部分混合在一起的圖形,作為若干個(gè)對(duì)象物進(jìn)行檢測(cè)中,簡(jiǎn)單的進(jìn)行坐標(biāo)指定即可檢測(cè)出缺陷,對(duì)著眼點(diǎn)(101)和只離開重復(fù)的諸如102a～102d的比較點(diǎn)進(jìn)行十字形比較,將與任何一個(gè)都不相同的部分作為候選缺陷選取出來,這樣便可以通過對(duì)具有二維重復(fù)部分、具有沿X方向或Y方向的重復(fù)性的位置進(jìn)行檢測(cè)的將弧立點(diǎn)等的沿X方向和Y方向不具有重復(fù)性的部分作為候選缺陷選取出來。
文檔編號(hào)G06T1/00GK1182921SQ9712141
公開日1998年5月27日 申請(qǐng)日期1997年9月16日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月17日
發(fā)明者廣井高志, 田中麻紀(jì), 渡辺正浩, 久邇朝宏, 品田博之, 野副真理, 杉本有俊, 宍戶千繪 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立制作所