專利名稱：不受自動(dòng)生成的虛設(shè)形狀影響的電路元件功能匹配的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及集成電路(IC)設(shè)計(jì)，更具體地說，涉及提供了不 受使用自動(dòng)生成的虛設(shè)形狀的影響的電路元件的匹配功能的集成電路設(shè) 計(jì)。
背景技術(shù)：
隨著硅技a供了不斷增加的集成水平，專用集成電路(ASIC)設(shè)計(jì) 者不斷面臨使用相同或更少的資源來提高生產(chǎn)率并生產(chǎn)越來越大的設(shè)計(jì)的 難題，使用更小的電路元件(有時(shí)稱為"微元件(咖cros)"，對于集成 電路(IC)的一部分，每個(gè)微元件都包括預(yù)定的結(jié)構(gòu)并且可以重復(fù)使用) 是解決該難題的一種技術(shù)。使用重復(fù)的電路元件消除了集成電路設(shè)計(jì)者不 斷地重新設(shè)計(jì)芯片部分的需要，從而提髙了生產(chǎn)率.因此，涉及使用集成 電路電路元件的設(shè)計(jì)重用方法成為集成電路設(shè)計(jì)的重要部分。
使用集成電路電路元件的設(shè)計(jì)者面臨提供對于這些集成電路電路元件 具有可預(yù)測功能的產(chǎn)品的難題. 一個(gè)難題是匹配集成電路設(shè)計(jì)中不同位置 的相同電路元件的兩個(gè)或更多實(shí)例的電氣性能。這通常與自動(dòng)生成的填充 形狀(在布局完成后和在設(shè)計(jì)者完成了所有電路分析后將其放置在總體設(shè) 計(jì)中)不一致。具體地說，如果設(shè)計(jì)系統(tǒng)使用自動(dòng)放置的"虛設(shè)填充"或 其他自動(dòng)生成的虛設(shè)形狀，所述虛設(shè)形狀將被自動(dòng)放置在電路元件周圍。 如果電路元件是敏感電路，設(shè)計(jì)者可能希望確保電路元件功能的每個(gè)實(shí)例 都與集成電路中的每個(gè)其他實(shí)例盡可能相同地匹配。但是，自動(dòng)生成的虛 設(shè)形狀通常位于跨集成電路設(shè)計(jì)的相容網(wǎng)格上，使得電路元件的不同實(shí)例 可以發(fā)現(xiàn)自身處于不同的局部環(huán)境。即，當(dāng)放置在集成電路設(shè)計(jì)中時(shí)，不
能保i^目同電路元件的不同實(shí)例將看到相同的局部環(huán)境(如，虛設(shè)填充和 空穴形狀)。任何因此引起的電氣^lt (例如，電阻，電容等)的失配對 設(shè)計(jì)者都是未知的，并且導(dǎo)致所討論的精密電路的功能降級。為了解決該 問題，許多設(shè)計(jì)者試圖禁止在敏感電路附近自動(dòng)生成虛設(shè)形狀，并且手動(dòng) 放置所有需要的虛設(shè)形狀。但是，該方法對于設(shè)計(jì)者更困難，并且通常對 總體工藝性和處理窗口不利。
有鑒于此，本領(lǐng)域需要一種克月W目關(guān)領(lǐng)域問題的方法來設(shè)計(jì)集成電路。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明包括控制在敏感電路元件周圍的虛設(shè)形狀的放置的方法、系統(tǒng)
和程序產(chǎn)品，使得對于每個(gè)電路元件來說，所述虛設(shè)形狀至少;LS4^目似 的，盡管所述虛設(shè)形狀是自動(dòng)生成的。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明包括向設(shè) 計(jì)者提供虛設(shè)形狀圖案的間距信息，并且允許以一個(gè)或多個(gè)所述間距的整 數(shù)倍^M:置電路元件，使得在所述電路元件的每個(gè)實(shí)例周圍，所述虛設(shè)形 狀至少是基本相似的。另一個(gè)實(shí)施例包括允許在電路元件周圍放置標(biāo)記 (咖rker)，以指示其中虛設(shè)形狀將基;M目同的區(qū)域，然后使用所述標(biāo)記 來放置所述電路元件。對于所述電路元件的每個(gè)實(shí)例來說，在所述標(biāo)記內(nèi) 生成的虛設(shè)形狀確保了^i4^相同的虛設(shè)形狀。本發(fā)明還包括所形成的集成 電路。
本發(fā)明的第 一方面涉及一種形成集成電路的 一部分的方法，所述方法 包括以下步驟提供虛i更形狀圖案，所述虛設(shè)形狀圖案中的虛設(shè)形狀之間 具有X間距和Y間距；允許將多個(gè)基^M目同的電路元件放置在襯底上，所 述電路元件間隔所述X間距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整lfc倍；以
個(gè)所述電路元件相鄰的基本相似的虛設(shè)形狀。
本發(fā)明的第二方面涉及一種集成電路，所述集成電路包括襯底上的 虛設(shè)形狀圖案，所述虛設(shè)形狀圖案在其中的虛設(shè)形狀之間具有X間距和Y 間距；以及所述襯底上的多個(gè)基^目同的電路元件，所述電路元件間隔所 述X間距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍，使得基;M目似的虛設(shè) 形狀與每個(gè)所述電路元件相鄰。
本發(fā)明的第三方面涉及一種包括計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)的計(jì)算一序產(chǎn)品，
元件來設(shè)計(jì)集成電路(IC)，所述程序產(chǎn)品包括用于獲取集成電路設(shè)計(jì) 的虛設(shè)形狀圖案中的虛設(shè)形狀的X間距和Y間距的程序代碼；以及用于將
述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍，以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的
^i4^目似的虛設(shè)形狀的程序代碼'
本發(fā)明的第四方面涉及一種包括計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)的計(jì)算M序產(chǎn)品， 所述計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)中包^i十算機(jī)可讀程序代碼以便在設(shè)計(jì)集成電路(IC) 期間確保電路元件的基本相同的虛設(shè)形狀，所述程序產(chǎn)品包括用于獲取 要在集成電路設(shè)計(jì)中多次使用的電路元件的程序代碼；用于有選擇地形成 在所述電路元件周圍的標(biāo)記，以指示其中在所述電路元件周圍的虛i殳形狀 將基4^目同的區(qū)域的程序代碼；以及用于使用所述標(biāo)記在所述集成電i^i殳 計(jì)中標(biāo)識所述電路元件副本的放置的程序代碼。
本發(fā)明的第五方面涉及一種在設(shè)計(jì)集成電路UC)期間確保電路元件 的基本相同的虛設(shè)形狀的方法，所述方法包括以下步驟接收包括標(biāo)記的 集成電路設(shè)計(jì)，所述標(biāo)記指示在所述電路元件周圍的區(qū)域，在該區(qū)域中， 在所述電路元件周圍的虛設(shè)形狀將^相同；在所述集成電路設(shè)計(jì)中多次 形成所述電路元件；以及生成虛設(shè)形狀，所述虛設(shè)形狀包括在由相應(yīng)標(biāo)記 指示的區(qū)域中的在每個(gè)電路元件周圍的*^目同的虛設(shè)形狀.
本發(fā)明的第六方面涉及一種集成電路，所述集成電路包括多個(gè)在襯 底上的基本相同的電路元件，每個(gè)電路元件具有在所述電路元件周圍的區(qū) 域，在該區(qū)域中，虛設(shè)形狀與在每個(gè)其他電路元件周圍的虛設(shè)形狀基^目 同。
從以下對本發(fā)明的實(shí)施例的更具體的描述，本發(fā)明的上述和其他特征 將是顯而易見的。


參考以下附圖，將詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，其中相同的標(biāo)號表示相
同的部件，這些附圖是
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的設(shè)計(jì)環(huán)境的方塊圖2示出了4il據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的方法的it^圖3示出了實(shí)例電路元件；
圖4示出了根據(jù)虛設(shè)形狀圖案的由自動(dòng)生成的虛設(shè)形狀環(huán)繞的圖3的 實(shí)例電路元件；
圖5示出了圖4的虛i殳形狀圖案的細(xì)節(jié)；
圖6示出了作為集成電路(IC)設(shè)計(jì)的一部分在襯底上放置圖3的實(shí) 例電路元件；
圖7示出了在圖6的集成電路設(shè)計(jì)附近生成虛設(shè)形狀； 圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的方法的流程圖； 圖9示出了圖3的實(shí)例電路元件，其包括指示其中虛設(shè)形狀對于所述
電路元件的每個(gè)實(shí)例都將是相同的區(qū)域的標(biāo)記；
圖IO示出了在集成電路設(shè)計(jì)中使用的圖9的標(biāo)記和電路元件及在其周
圍生成的虛設(shè)形狀.
具體實(shí)施例方式
只是為了清晰起見，本說明包括以下標(biāo)題I.環(huán)境和系統(tǒng)概述；II. ^Mt方法；以及III.結(jié)論. I.環(huán)境和系統(tǒng)概述
參考附圖，圖l是根據(jù)本發(fā)明的設(shè)計(jì)環(huán)境90的方塊圖。設(shè)計(jì)環(huán)境90 包括設(shè)計(jì)者在其上設(shè)計(jì)集成電路(IC)的客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92，以及接收所述 設(shè)計(jì)、修改所述設(shè)計(jì)并生成所述集成電路的制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100。通常，制 造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100的客戶在客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92上設(shè)計(jì)集成電路并提供相關(guān)數(shù)據(jù) 以供系統(tǒng)100制造。但是，應(yīng)認(rèn)識到的是，該環(huán)境只是示例性的，并且可 以在其他環(huán)境中采用本發(fā)明。
為了簡潔，將只描述制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)。但;Ul認(rèn)識到，客戶 設(shè)計(jì)系統(tǒng)92可以包含類似結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)IOO被示出在計(jì)算機(jī)102上作為計(jì)算 ;t^呈序代碼實(shí)現(xiàn)。在此方面，計(jì)算機(jī)102示為包括存儲(chǔ)器112、處理單元 (PU) 114、輸入/輸出U/0)接口 116，以及總線118。此外，計(jì)算機(jī)102 示為與外部1/0設(shè)備/資源120和存儲(chǔ)系統(tǒng)122通信。 一般地，處理器114 執(zhí)行計(jì)算M序代碼，如存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器112和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)122中的系統(tǒng) 100。當(dāng)執(zhí)行計(jì)算;tME序代碼時(shí)，處理器114可以從/向存儲(chǔ)器112、存儲(chǔ) 系統(tǒng)122和/或1/0設(shè)備120讀出和/或?qū)懭霐?shù)據(jù)?？偩€118提供了計(jì)算機(jī) 102中的每個(gè)組件之間的通信銜洛，并且I/O設(shè)備120可以包括任何使用 戶能夠與計(jì)算機(jī)102交互的設(shè)備(例如，M、指點(diǎn)設(shè)備、顯示器等)。
備逸地，用戶可以與另一個(gè)和計(jì)算機(jī)102通信的計(jì)算設(shè)備(未示出) 交互。在此情況下，1/0設(shè)備116可以包括,使計(jì)算機(jī)102能夠通過網(wǎng) 絡(luò)(例如，網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)適配器、I/O端口、調(diào)制解調(diào)器等)與一個(gè)或 多個(gè)其他計(jì)算設(shè)備通信的設(shè)備。所述網(wǎng)絡(luò)可以包括多種類型的通信銜洛的 任意組合。例如，所述網(wǎng)絡(luò)可以包括能夠利用有線線路和/或無線傳輸方法 的任意組合的可尋址連接。在此情況下，所述計(jì)算設(shè)備(例如，計(jì)算機(jī)102 ) 可以利用傳統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)連通性，如令牌環(huán)、以太網(wǎng)、WiFi或其他傳統(tǒng)通信標(biāo) 準(zhǔn)。此外，所述網(wǎng)絡(luò)可以包括一個(gè)或多個(gè)任意類型的網(wǎng)絡(luò)，包括因特網(wǎng)、 廣域網(wǎng)(WAN)、局域網(wǎng)(LAN)、虛擬專用網(wǎng)(VPN)等.在通過因特網(wǎng)進(jìn) 行通信時(shí)，可以由傳統(tǒng)的基于TCP/IP套接字的協(xié)議提供連通性，并且計(jì)算 設(shè)備可以利用因特網(wǎng)服務(wù)提供商來建立到因特網(wǎng)的連通性。
計(jì)算機(jī)102只是硬件和軟件的多種可能組合的代表。例如，處理器114 可以包含單個(gè)處理單元，或分布在一個(gè)或多個(gè)位置中的一個(gè)或多個(gè)處理單 元間，例如，分布在客戶機(jī)和服務(wù)器上。類似地，存儲(chǔ)器112和/或存儲(chǔ)系 統(tǒng)122可以位于一個(gè)或多個(gè)物理位置。存儲(chǔ)器112和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)122可以 包括多種類型的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)和/或傳輸介質(zhì)(包括磁介質(zhì)、光介質(zhì)、隨 M取存儲(chǔ)器(RAM)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)、數(shù)據(jù)對象等)的任意組合。
1/0接口 116可以包括任何用于與一個(gè)或多個(gè)1/(H殳備120交換信息的系 統(tǒng)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，計(jì)算機(jī)102中可以包括一個(gè)或多個(gè)其他組件(例如， 系統(tǒng)軟件、數(shù)學(xué)協(xié)處理器等-未示出)。在此方面，計(jì)算機(jī)102可以包括任 何類型的計(jì)算設(shè)備，如網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器、臺式計(jì)算機(jī)、膝上型計(jì)算機(jī)、手持設(shè) 備、移動(dòng)電話、尋呼機(jī)、個(gè)人數(shù)字助理等。但是，如果計(jì)算機(jī)102包括手 #^臾備等，則應(yīng)當(dāng)理解，計(jì)算機(jī)102中可以包含一個(gè)或多個(gè)1/0設(shè)備120
(例如，顯示器)和/或存儲(chǔ)系統(tǒng)122，它們并未在外部示出。
如以下進(jìn)一步論述的，制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100示為包括通信器130、電路
(ckt.)元件形成器132、包括基于標(biāo)記的形狀生成器138和通用虛設(shè)形 狀生成器140的虛設(shè)形狀生成器134，以及其他系統(tǒng)組件150?？蛻粼O(shè)計(jì)系 統(tǒng)92可以包括電路(ckt.)元件放置器160、通信器162和標(biāo)記系統(tǒng)164。 應(yīng)i人識到，雖然系統(tǒng)92、 IOO都被示為獨(dú)立的系統(tǒng)，但是它們都可以作為 更大的集成電游4殳計(jì)系統(tǒng)或外圍的一部分。相應(yīng)地，每個(gè)系統(tǒng)中還可以具 備其他傳統(tǒng)的集成電路設(shè)計(jì)系統(tǒng)(未示出)。 11.^Mt方法
轉(zhuǎn)向圖2，其中示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的操作方法的流艱圖. 應(yīng)認(rèn)識到，盡管將以特定流程描il^發(fā)明，但是本發(fā)明可以劃分為只包括 如所附權(quán)利要求中概述的各個(gè)步驟。圖3示出了在描述所迷方法時(shí)使用的 實(shí)例電路元件172。
結(jié)合圖2來參考圖1，在第一步驟S1中，制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100通itif信 器130提供虛設(shè)形狀圖案171 (圖1)，或客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92通itit信器162 獲取虛i更形狀圖案171。如此處所4吏用的，"虛i殳形狀"可以包括任何目 前已知或以后開發(fā)的填充或空穴形狀。圖4示出了由形式為填充形狀的虛 設(shè)形狀200環(huán)繞的電路元件172。虛設(shè)形狀圖案171由方框表示。每個(gè)"虛 設(shè)形狀圖案"171是將在電J^設(shè)計(jì)上重復(fù)的特定數(shù)量的填充或空穴形狀200 的布置。如圖5所示，每個(gè)虛設(shè)形狀圖案171在所述虛設(shè)形狀圖案171中 的虛設(shè)形狀200之間具有X間距(X)和Y間距(Y)。如圖所示，所述 X間距和Y間距似乎為相同大小，但這不是必須的。每個(gè)虛設(shè)形狀圖案171
還包括圖案X間距(XP)，即，整個(gè)虛設(shè)形狀圖案的高度，以及圖案Y 間距(YP)，即，整個(gè)虛設(shè)形狀圖案的寬度。在一個(gè)實(shí)施例中，所述X間 距是所述圖案X間距的一半，并且所述Y間距是所述圖案Y間距的一半。
第二步驟S2，如圖2和6中所示，包括允許在襯底176上放置多個(gè)基 ;M目同的電路元件172A-D。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖l所示，該步驟由位于 客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92處的電路元件放置器160執(zhí)行，但是該步驟可以由制造設(shè) 計(jì)系統(tǒng)100執(zhí)行。電路元件放置器160可以包括任何目前已知或以后開發(fā) 的用于使用戶放置電路元件172的接口 (例如，圖形用戶接口)。在任何 情況下，電路元件放置器160允許將電路元件172A-D放置為間隔以下項(xiàng) 的整數(shù)倍1)虛設(shè)形狀圖案171的X間距或Y間距；2)所述X間距和 所述Y間距兩者；3)所述圖案X間距或所述圖案Y間距；4)所述圖案X 間距和所述圖案Y間距兩者。
在步驟S3中，如圖2和7所示，電路元件形成器132 (圖1)形成電 路元件172A-D，并且虛設(shè)形狀生成器134以傳統(tǒng)方式，即，使用通用虛設(shè) 形狀生成器140 (圖1)在電路元件172之間自動(dòng)生成虛設(shè)形狀圖案171， 在以所述X間距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍放置電路元件 172A-D的情形中，則生成步驟提供與每個(gè)電路元件172A-D相鄰的 相似"的虛設(shè)形狀200。例如，當(dāng)使用X間距的整數(shù)倍時(shí)，確保了電路元 件172的每個(gè)實(shí)例的水平邊緣l卯與虛i殳形狀200的最近的刊:之間的距離 將^S4^目同，例如，電路元件172A和172B具有^J^相同的虛設(shè)形狀200 的較低的行，但是沒有相同的較高的行或相同的列。相應(yīng)地，這些電路元 件具有"基;M目似"的虛設(shè)形狀。在使用X間距和Y間距兩者的整數(shù)倍時(shí)， 電路元件的每個(gè)實(shí)例將被虛設(shè)形狀200更類似地環(huán)繞，即，對于電路元件 172的每個(gè)實(shí)例，從水平邊緣到虛設(shè)形狀的最近的行的距離和從垂直邊緣 到虛設(shè)形狀的最近的列的距離將基^f目似。鑒于以上所述，"基;M目似" 指對于電路元件的不同實(shí)例，電路元件的特定邊緣與虛設(shè)形狀的最近的行 (如果使用X間距)和/或列(如果使用Y間距)之間的距離相同。但是， 相對于電路元件中的特定點(diǎn)的虛設(shè)形狀的精確放置可以不相同。
在使用所述圖案間距中的一個(gè)間距的整數(shù)倍的情形中，相對于虛設(shè)形
狀200更加相同*故置電路元件172。具體地說，使用所述圖案間距確保 了虛設(shè)形狀200的最近的行或列"1jM目同"。"基4^目同"指對于使用 的方向(即，X和/或Y)并且對于電路元件的所有實(shí)例和所有放置，相鄰 虛設(shè)形狀的放置相對于電路元件中的特定點(diǎn)是相同的(或非常接i^目同)。 具體地說，對于選定的方向，電路元件中的特定點(diǎn)與每個(gè)相鄰虛設(shè)形狀之 間的距離在該方向上是相同的(或非常接i^目同)，并且對于電路元件的 每個(gè)實(shí)例，每個(gè)虛設(shè)形狀相對于所述電路元件的特定點(diǎn)的位置在該方向上 是相同的(或非常接i^t目同)。此外，在使用圖案X間距和Y間距兩者時(shí)， 對于電路元件的每個(gè)實(shí)例，所述電路元件中的特定點(diǎn)與每個(gè)相鄰虛設(shè)形狀 之間的距離，以及每個(gè)虛設(shè)形狀相對于所述特定點(diǎn)的位置，在X和Y方向 上都相同(或非常接^目同).例如，如圖7所示，電路元件172A和172C 使用圖案X間距和圖案Y間距兩者的整數(shù)倍放置，并且相應(yīng)地，就邊緣之 間的距離和放置而言，在X和Y方向上，在它們附近具有^相同的虛設(shè) 形狀。
以上方法形成的集成電路包括村底176上的虛設(shè)形狀圖案171，在所 述虛設(shè)形狀圖案171中的虛設(shè)形狀200之間具有X間距和Y間距，以及村 底176上的多個(gè)^相同的電路元件172A-D。電路元件172A-D間隔X間 距和Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍，使得它們具有與每個(gè)所述電路元 件相鄰的1^相似的虛設(shè)形狀。更具體地說，如上所述，電路元件172可 以間隔以下項(xiàng)的整數(shù)倍1)虛i殳形狀圖案171的X間距或Y間距；2) X 間距和Y間距兩者；3)圖案X間距或圖案Y間距；4)圖案X間距和圖 案Y間距兩者。
轉(zhuǎn)向圖8，其中示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例的流程圖。如圖9所示， 該實(shí)施例需要使用在電路元件372周圍的標(biāo)記300，所述標(biāo)記指示其中在 電路元件周圍的虛設(shè)形狀306將基^M目同的區(qū)域304。在標(biāo)記300外的虛 設(shè)形狀308以傳統(tǒng)方式生成。如圖10所示，標(biāo)記300然后可用于在整個(gè)設(shè) 計(jì)中放置電路元件372，以便獲得在電路元件372周圍的基4^目同的虛設(shè)
形狀306。
如圖1和8所示，在第一步驟S101中，制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100的通信器 130接收集成電路設(shè)計(jì)170，所述設(shè)計(jì)包含指示在電路元件372周圍的區(qū)域 304的標(biāo)記300，在該區(qū)域中，在所述電路元件周圍的虛設(shè)形狀306將基本 相同。在一個(gè)實(shí)施例中，初始地可以由制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100通過通信器130 或作為客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92處的可選擇電路元件將電路元件372提供給用戶。 然后客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)9 2的用戶可以使用諸如標(biāo)記系統(tǒng)16 4之類的接口 M選 擇地形成在電路元件周圍的標(biāo)記300，以向虛設(shè)形狀生成器134(即，基于 標(biāo)記的虛設(shè)形狀生成器138)指示其中在電路元件372周圍的虛設(shè)形狀306 將基;M目同的區(qū)域304。然后用戶可以使用客戶設(shè)計(jì)系統(tǒng)92的電路元件放 置器160在整個(gè)設(shè)計(jì)中放置電路元件372。但是，在該情形中，電路元件 放置器160禁止重疊(即，在彼此上方)放置標(biāo)記300。
在步驟S102中，電路元件形成器132在集成電路設(shè)計(jì)中多次形成電路 元件372，即，在所述設(shè)計(jì)被傳遞回制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)IOO后.在步驟103中， 生成虛設(shè)形狀306，在相應(yīng)標(biāo)記300指示的區(qū)域304中，虛設(shè)形狀306包 括在每個(gè)電路元件372周圍的基;M目同的虛設(shè)形狀306 (即，由基于標(biāo)記 的虛設(shè)形狀生成器138生成)。還由通用虛設(shè)形狀生成器140以傳統(tǒng)方式 生成在標(biāo)記300以外的虛設(shè)形狀308。
如圖10所示，由上述備選實(shí)施例形成的集成電路包括在襯底376上的 多個(gè)基本相同的電路元件372,每個(gè)電路元件372具有在電路元件周圍的 區(qū)域304,在該區(qū)域中，虛設(shè)形狀306與在每個(gè)其他電路元件372周圍的 虛設(shè)形狀基4^目同。電路元件372不重疊，即，不在彼此的上方.
III.結(jié)論
應(yīng)認(rèn)識到，上述方法的步驟可以出現(xiàn)在不同于所示的位置，例如，所 有步驟可以出現(xiàn)在制造設(shè)計(jì)系統(tǒng)100處。
應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明可以以硬件、軟件、傳掩ft號以及它們的任意組合 來實(shí)現(xiàn)，并且可以不同于所示地被劃分.任何種類的計(jì)算機(jī)/服務(wù)器系統(tǒng)(多 個(gè))-或其他適于執(zhí)行此處描述的方法的裝置-都是適合的.典型的硬件和
軟件的組合可以是具有計(jì)算^l^呈序的通用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，當(dāng)所述程序#>載 和執(zhí)行時(shí)，所述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行此處所描述的相應(yīng)方法。備選地，可以使 用包含用于執(zhí)行本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)功能任務(wù)的專用硬件的專用計(jì)算機(jī)
(例如，設(shè)計(jì)系統(tǒng)92和/或100)。本發(fā)明還可以被嵌入計(jì)算^^呈序產(chǎn)品或 傳播信號，其包括允許實(shí)現(xiàn)此處所述的方法的所有相應(yīng)特征，并且當(dāng)#> 載到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中時(shí)，其能夠執(zhí)行這些方法。當(dāng)前上下文中的計(jì)算^序、 傳播信號、軟件程序、程序或軟件4_指一組指令的以任何語言、代碼或符 號表示的任何表達(dá)，旨在使具有信息處理能力的系統(tǒng)直^C行特定的功能， 或者執(zhí)行以下兩者之一或全部后執(zhí)行特定的功能a)轉(zhuǎn)換為另一種語言、 代碼或符號；和/或b)以不同的材料形式再現(xiàn)。此外，還應(yīng)理解，可以在 訂閱或付費(fèi)的基礎(chǔ)上作為商業(yè)方法來提供本發(fā)明的教導(dǎo)。例如，可以由為 客戶提供此處描述的功能的服務(wù)提供商來創(chuàng)建、維護(hù)、支持和/或部署所述 系統(tǒng)和/或計(jì)算機(jī)。即，服務(wù)^供商可以揭，供上述功能。
雖然結(jié)合上述特定實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是顯而易見的是，許多替 代、修改和變化對本領(lǐng)域的技術(shù)人員都是顯而易見的.因此，以上說明的 本發(fā)明的實(shí)施例旨在是示例性的而并非是限制性的.可以做出各種更改而 不偏離如以下權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種形成集成電路的一部分的方法，所述方法包括以下步驟提供虛設(shè)形狀圖案，所述虛設(shè)形狀圖案中的虛設(shè)形狀之間具有X間距和Y間距；允許將多個(gè)基本相同的電路元件放置在襯底上，所述電路元件間隔所述X間距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍；以及生成所述電路元件和所述電路元件之間的所述虛設(shè)形狀圖案以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的基本相似的虛設(shè)形狀。
2. 如權(quán)利要求l中所述的方法，其中所述生成步驟包括生成間隔所述 X間距和所述Y間距兩者的整數(shù)倍的所述電路元件，
3. 如權(quán)利要求1中所述的方法，其中所述虛設(shè)形狀圖案具有圖案X 間距和圖案Y間距，并且所述允許步驟包括將所述電路元件放置為間隔所 述圖案X間距和所述圖案Y間距中的一個(gè)間距的整數(shù)倍.
4. 如權(quán)利要求3中所述的方法，其中所述生成步猓包括生成間隔所述 圖案X間距和所述圖案Y間距兩者的整數(shù)倍的所述電路元件以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的^i^目同的虛設(shè)形狀。
5. —種集成電路，所述集成電路包括村底上的虛設(shè)形狀圖案，所述虛設(shè)形狀圖案在其中的虛設(shè)形狀之間具 有X間距和Y間多巨；以及所述襯底上的多個(gè)^N同的電路元件，所述電路元件間隔所述X間 距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍，使得JM^目似的虛設(shè)形狀與 每個(gè)所述電路元件相鄰。
6. 如權(quán)利要求5中所述的集成電路，其中所述電路元件間隔所述X 間距和所述Y間距兩者的整數(shù)倍.
7. 如權(quán)利要求5中所述的集成電路，其中所述虛設(shè)形狀圖案具有圖案 X間距和圖案Y間距，并且所述電路元件間隔所述圖案X間距和所述圖案Y 間距中的一個(gè)間距的整數(shù)倍。
8. 如權(quán)利要求7中所述的集成電路，其中所述電路元件間隔所述圖案 X間距和所述圖案Y間距兩者的整數(shù)倍，以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的基;M目同的虛i殳形狀。
9. 一種包括計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)的計(jì)算;^序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)可用介質(zhì) 中包含計(jì)算機(jī)可讀程序代碼以便使用多個(gè)相同的電路元件來設(shè)計(jì)集成電 路，所述程序產(chǎn)品包括用于獲取集成電路設(shè)計(jì)的虛設(shè)形狀圖案中的虛設(shè)形狀的X間距和Y間 距的程序代碼；以及X間距和所述Y間距中的至少一個(gè)間距的整數(shù)倍，以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的^i^t目似的虛設(shè)形狀的程序代碼.
10. 如權(quán)利要求9中所述的程序產(chǎn)品，還包括用于自動(dòng)生成在所述電 路元件之間具有所述X間距和所述Y間距的所述虛設(shè)形狀圖案的程序代碼。
11. 如權(quán)利要求9中所述的程序產(chǎn)品，其中所述放置代碼將所述電路 元件放置為間隔所述X間距和所述Y間距兩者的整數(shù)倍，
12. 如權(quán)利要求9中所述的程序產(chǎn)品，其中所述虛設(shè)形狀圖案具有圖 案X間距和圖案Y間距，并且所逸故置代碼將所述電路元件放置為間隔所 述圖案X間距和所述圖案Y間距中的一個(gè)間距的整數(shù)倍.
13. 如權(quán)利要求12中所述的程序產(chǎn)品，其中所述放置代碼將所述電路 元件放置為間隔所述圖案X間距和所述圖案Y間距兩者的整數(shù)倍，以提供與每個(gè)所述電路元件相鄰的^Ma同的虛設(shè)形狀.
14. 一種包括計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)的計(jì)算;^序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)可用介;M目同的虛設(shè)形狀，所述程序產(chǎn)品包括用于獲取要在集成電路設(shè)計(jì)中多次使用的電路元件的程序代碼；用于有選擇地形成在所述電路元件周圍的標(biāo)記，以指示其中在所述電路元件周圍的虛設(shè)形狀將基;M目同的區(qū)域的程序代碼；以及用于使用所述標(biāo)記在所述集成電路設(shè)計(jì)中標(biāo)識所述電路元件副本的放 置的程序代碼。
15. 如權(quán)利要求14中所述的程序產(chǎn)品，還包括用于生成虛設(shè)形狀的程 序代碼，所述虛設(shè)形狀包括如所述標(biāo)記指示的在每個(gè)電路元件周圍的相同 虛設(shè)形狀。
16. 如權(quán)利要求14中所述的程序產(chǎn)品，其中所述使用代碼防止將標(biāo)記 重疊放置。
17. —種在設(shè)計(jì)集成電路期間確保電路元件的^M^目同的虛設(shè)形狀的 方法，所述方法包括以下步驟接收包括標(biāo)記的集成電路設(shè)計(jì)，所述標(biāo)記指示在所述電路元件周圍的 區(qū)域，在該區(qū)域中，在所述電路元件周圍的虛設(shè)形狀將基^t目同； 在所述集成電路設(shè)計(jì)中多次形成所述電路元件；以及 生成虛設(shè)形狀，所述虛設(shè)形狀包括在由相應(yīng)標(biāo)記指示的區(qū)域中的在每 個(gè)電路元件周圍的基;M目同的虛i殳形狀。
18. 如權(quán)利要求17中所述的方法，還包括生M設(shè)形狀，所述虛設(shè)形狀包括如所述標(biāo)記指示的在每個(gè)電路元件周圍的^jM目同的虛設(shè)形狀。
19. 如權(quán)利要求17中所述的方法，其中所述集成電路設(shè)計(jì)包括多個(gè)不 重疊的標(biāo)記。
20. —種集成電路，所述集成電路包括多個(gè)在襯底上的^Mi同的電路元件，每個(gè)電路元件具有在所述電路 元件周圍的區(qū)域，在該區(qū)域中，虛設(shè)形狀與在每個(gè)其他電路元件周圍的虛^殳形狀基^目同。
21. 如權(quán)利要求20中所述的集成電路，其中所述電路元件不重疊.
全文摘要
本發(fā)明公開了控制在敏感電路元件(172)周圍的虛設(shè)形狀(200)的放置的方法、系統(tǒng)和程序產(chǎn)品，使得對于每個(gè)電路元件，虛設(shè)形狀至少是相似的，盡管虛設(shè)形狀是自動(dòng)生成的。在一個(gè)實(shí)施例中，本發(fā)明包括向設(shè)計(jì)者提供虛設(shè)形狀圖案間距信息(XP，YP)，并且允許以一個(gè)或多個(gè)所述間距的整數(shù)倍來放置電路元件，使得在所述電路元件的每個(gè)實(shí)例周圍，所述虛設(shè)形狀至少是相似的。另一個(gè)實(shí)施例包括允許在電路元件(372)周圍放置標(biāo)記(300)，以指示其中虛設(shè)形狀(306)將是相同的區(qū)域，然后使用所述標(biāo)記來放置電路元件。對于所述電路元件的每個(gè)實(shí)例來說，在所述標(biāo)記內(nèi)生成的虛設(shè)形狀確保了相同的虛設(shè)形狀。本發(fā)明還包括所形成的集成電路。
文檔編號G06F17/50GK101099154SQ200580045986
公開日2008年1月2日 申請日期2005年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月6日
發(fā)明者H·S·蘭迪斯 申請人:國際商業(yè)機(jī)器公司