專利名稱：用于自動的傳感器安裝的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，尤其涉及使用圖形用戶接口(GUI)配置和使用傳感器的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
計算機(jī)一般用于控制、監(jiān)視和初始化制造過程。如果由于再入的晶片流程、關(guān)鍵的處理步驟和過程的可維護(hù)性而使半導(dǎo)體制造廠具有復(fù)雜性，計算機(jī)對于這樣的操作是理想的。使用各種輸入/輸出(I/O)裝置來控制和監(jiān)視處理流、晶片狀態(tài)以及維護(hù)調(diào)度。在半導(dǎo)體制造廠中具有多種工具用于完成這些復(fù)雜的步驟，從關(guān)鍵的操作例如蝕刻到批處理和檢驗。大部分工具安裝使用顯示屏來完成，所述顯示屏是含有安裝軟件的控制計算機(jī)的圖形用戶接口(GUI)的一部分。半導(dǎo)體處理工具的安裝是一種費時的過程。
半導(dǎo)體處理設(shè)備需要不斷地被監(jiān)視。處理條件隨時間而改變，在關(guān)鍵的處理參數(shù)中的最輕微的改變便能產(chǎn)生有害的結(jié)果。蝕刻氣體的成分或壓力、處理室或晶片溫度容易發(fā)生小的改變。在許多情況下，借助于簡單地參考所顯示的處理數(shù)據(jù)，不能檢測反映處理特性的劣化的處理數(shù)據(jù)的改變。難于檢測處理的早期階段的異常性和特性劣化。通常需要由先進(jìn)的處理控制(APC)提供的預(yù)測和圖形識別。
通常由具有多種控制器的若干個不同的控制系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)備控制。一些控制系統(tǒng)可以具有人機(jī)接口例如觸摸屏，而另一些可能只采集和顯示一個變量例如溫度。監(jiān)視系統(tǒng)可以采集用于處理控制系統(tǒng)的列表的數(shù)據(jù)。監(jiān)視系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集可以包括單變量數(shù)據(jù)和多變量數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)的分析和顯示，并能夠選擇被采集的處理變量。在處理中的多種條件由被提供在每個處理室中的不同的傳感器監(jiān)視，并且被監(jiān)視的條件的數(shù)據(jù)被傳遞和存儲在一個控制計算機(jī)中。如果處理數(shù)據(jù)自動地被顯示和檢測，則大量生產(chǎn)線的最佳的處理條件可以被設(shè)置，并通過統(tǒng)計處理控制(SPC)圖表進(jìn)行控制。設(shè)備的無效的監(jiān)視可以導(dǎo)致設(shè)備的停機(jī)，這增加了總的生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
按照一個方面，本發(fā)明提供一種使用圖形用戶接口(GUI)配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的方法，所述方法包括訪問系統(tǒng)配置GUI屏幕，選擇一個配置部分，選擇傳感器類型任選項，以及使用傳感器類型列表屏幕、傳感器信息屏幕和傳感器參數(shù)屏幕中的至少一個來產(chǎn)生每個傳感器的傳感器類型。
本發(fā)明的另一個方面提供一種使用圖形用戶接口(GUI)配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的方法，所述方法包括使用傳感器類型列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器參數(shù)GUI屏幕中的至少一個來配置傳感器類型；以及使用傳感器列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器設(shè)置項目信息GUI屏幕中的至少一個來配置傳感器實例。
本發(fā)明的另一個方面提供一種用于在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中設(shè)置傳感器的控制系統(tǒng)和圖形用戶接口(GUI)，包括用于執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃的裝置；用于使用所述數(shù)據(jù)采集計劃確定傳感器設(shè)置計劃的裝置；以及用于執(zhí)行以傳感器設(shè)置計劃以設(shè)置所述傳感器的裝置。
本發(fā)明的另一個方面提供一種用于配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的控制系統(tǒng)和圖形用戶接口(GUI)，包括用于利用傳感器類型列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器參數(shù)GUI屏幕中的至少一個配置傳感器的裝置；以及用于利用傳感器列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕、和傳感器設(shè)置項目信息GUI屏幕中的至少一個配置傳感器實例的裝置。


作為本說明的一部分并被包括在本說明中的

本發(fā)明的實施例，其和上面給出的一般性說明以及在下面給出的實施例的詳細(xì)說明一道，用于說明本發(fā)明的原理。參看下面的詳細(xì)說明將獲得對本發(fā)明的實施例的更加完整的理解，尤其是當(dāng)結(jié)合附圖時。附圖中圖1表示按照本發(fā)明的一個實施例的先進(jìn)的處理控制(APC)的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的示例方塊圖；圖2表示按照本發(fā)明的一個實施例的用于監(jiān)視半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的處理工具的示例的流程圖；圖3表示按照本發(fā)明的一個實施例的策略和計劃的示例的關(guān)系圖；圖4表示按照本發(fā)明的一個實施例的策略和計劃的示例的流程圖；圖5表示按照本發(fā)明的一個實施例的選擇屏幕的示例圖；圖6是按照本發(fā)明的一個實施例的計劃信息屏幕的示例圖；
圖7是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器設(shè)置屏幕的示例圖；圖8是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器設(shè)置項目的示例圖；圖9是按照本發(fā)明的一個實施例的參數(shù)保存屏幕的示例圖；圖10是按照本發(fā)明的一個實施例的公式信息屏幕的示例圖；圖11是按照本發(fā)明的一個實施例的參數(shù)采集信息屏幕的示例圖；圖12是按照本發(fā)明的一個實施例的屏幕選擇屏幕的示例圖；圖13是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器類型選擇屏幕的示例圖；圖14是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器信息屏幕的示例圖；圖15是按照本發(fā)明的一個實施例傳感器參數(shù)屏幕的示例圖；圖16是按照本發(fā)明的一個實施例另一個傳感器參數(shù)屏幕幕的示例圖；圖17是按照本發(fā)明的一個實施例另一個傳感器參數(shù)屏幕的示例圖；圖18是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器實例選擇GUI屏幕的示例圖；圖19是按照本發(fā)明的一個實施例傳感器信息屏幕幕的示例圖；圖20是按照本發(fā)明的一個實施例傳感器設(shè)置項目信息屏幕的示例圖；圖21是按照本發(fā)明的一個實施例另一個選擇屏幕的示例圖；圖22是按照本發(fā)明的一個實施例的另一個配置屏幕的示例圖；圖23A，23B是按照本發(fā)明的一個實施例附加的配置屏幕的示例圖；以及圖24-27是按照本發(fā)明的一個實施例另一個配置屏幕的示例圖。
具體實施例方式
圖1表示在按照本發(fā)明的一個實施例的半導(dǎo)體制造環(huán)境中的APC系統(tǒng)的示例方塊圖。在所示的實施例中，半導(dǎo)體制造環(huán)境100包括至少一個半導(dǎo)體處理工具110，多個處理模塊120，PM1-PM4，用于監(jiān)視所述工具、模塊和處理的多個傳感器130，傳感器接口140和APC系統(tǒng)145。APC系統(tǒng)145可以包括接口服務(wù)器(IS)150，APC服務(wù)器160，客戶工作站170，GUI元件180，以及數(shù)據(jù)庫190。在一個實施例中，IS 150可以包括實時存儲器數(shù)據(jù)庫，其可被視為一個“網(wǎng)絡(luò)集線器”。
APC系統(tǒng)145可以包括工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)，用于監(jiān)視處理工具、處理模塊和傳感器中的至少一個的性能。
在所示的實施例中，和4個處理模塊120一道示出了一個工具110，但本發(fā)明不限于此。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)可以與若干個處理工具接口，所述處理工具包括具有一個或多個處理模塊的群集工具。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)可用于配置和監(jiān)視若干個處理工具，所述處理工具包括具有一個或多個處理模塊的群集工具。例如，工具以及其相關(guān)的處理模塊可用于進(jìn)行蝕刻、淀積、擴(kuò)散、清洗、測量、拋光、顯影、轉(zhuǎn)印、存儲、裝載、卸載、對準(zhǔn)、溫度控制、光刻技術(shù)、集成的度量衡(IM)、光學(xué)數(shù)據(jù)成形(ODP)、微粒檢測以及其它的半導(dǎo)體制造工藝。
在一個實施例中，處理工具110可以包括工具代理(未示出)，其可以是一個在工具110上運行的軟件處理，并且其可以提供事件信息、環(huán)境信息(context information)和用于使數(shù)據(jù)獲取和工具處理同步的開始-停止定時指令。此外，APC系統(tǒng)145可以包括代理客戶(未示出)，其可以是能夠用于提供與所述工具代理的連接的軟件處理。例如，APC系統(tǒng)145可以通過互聯(lián)網(wǎng)或內(nèi)聯(lián)網(wǎng)連接和處理工具110相連。
在一個實施例中，IS 150使用套接字進(jìn)行通信。例如，接口可以使用TCP/IP套接字通信來實現(xiàn)。在每次通信之前，建立一個套接字。然后作為一個串發(fā)送信息。在該信息被發(fā)送之后，所述套接字被取消。
或者，接口可以作為利用C/C++代碼擴(kuò)展的TCL處理或者作為使用專用類別例如分布式消息集線器(DMH)客戶類的C/C++處理來構(gòu)建。在這種情況下，可以修改通過套接字連接采集處理/工具事件的邏輯，以使得在IS 150中的表中插入事件及其環(huán)境數(shù)據(jù)(contextdata)。
工具代理可以發(fā)送消息，以便對工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)提供事件和環(huán)境信息。例如，工具代理可以發(fā)出塊開始/停止消息、批開始/停止消息、晶片開始/停止消息、制法開始/停止消息和處理開始/停止消息。此外，工具代理可用于發(fā)送和/或接收設(shè)置點數(shù)據(jù)以及用于發(fā)送和/或接收維護(hù)計數(shù)器數(shù)據(jù)。
當(dāng)處理工具包括內(nèi)部傳感器時，這一數(shù)據(jù)可以發(fā)送給工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)?？梢允褂脭?shù)據(jù)文件傳遞該數(shù)據(jù)。例如，一些處理工具可以產(chǎn)生跟蹤文件，該文件在產(chǎn)生時便在工具中被壓縮。壓縮的和/或未壓縮的文件可被傳遞。當(dāng)在處理工具中產(chǎn)生跟蹤文件時，跟蹤數(shù)據(jù)可以包括或者可以不包括端點檢測(EPD)數(shù)據(jù)。跟蹤數(shù)據(jù)提供關(guān)于處理的重要信息。在完成晶片的處理之后，跟蹤數(shù)據(jù)可被更新和傳遞。對于每種處理，跟蹤文件被傳遞給合適的目錄。在一個實施例中，可以從處理工具110獲得工具跟蹤數(shù)據(jù)、維護(hù)數(shù)據(jù)和EPD數(shù)據(jù)。
在圖1中示出了4個處理模塊，但是本發(fā)明不限于此。半導(dǎo)體處理系統(tǒng)可以包括任何數(shù)量的處理工具，它們具有任何數(shù)量的與其相關(guān)的處理模塊以及獨立的處理模塊。包括工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的APC系統(tǒng)145可用于配置和監(jiān)視任何數(shù)量的處理工具，所述處理工具具有任何數(shù)量的與其相關(guān)的處理模塊以及獨立的處理模塊。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)可以采集、提供、處理、存儲和顯示從涉及處理工具、處理模塊和傳感器的處理獲得的數(shù)據(jù)。
各處理模塊可以使用例如ID、模塊類型、氣體參數(shù)和維護(hù)計數(shù)器等數(shù)據(jù)來識別，并且這些數(shù)據(jù)可被保存在數(shù)據(jù)庫中。當(dāng)新的處理模塊被配置時，可以使用GUI元件180中的模塊配置屏面/屏幕來提供這一類型的數(shù)據(jù)。例如，APC系統(tǒng)可以支持以下的來自Tokyo ElectronLimited工具類型與單一相關(guān)(Unity-related)的處理模塊，與三相關(guān)的(rias-related)處理模塊，與Telius相關(guān)的(Telius-related)處理模塊，與OES相關(guān)的處理模塊，以及與ODP相關(guān)的模塊?；蛘撸珹PC系統(tǒng)可以支持其它工具及其相關(guān)的處理模塊。例如，可以使APC系統(tǒng)145通過互聯(lián)網(wǎng)或內(nèi)聯(lián)網(wǎng)連接與處理模塊120相連。
在所示的實施例中，和相關(guān)的處理模塊一道示出了一個傳感器130，但是本發(fā)明不限于此。任何數(shù)量的傳感器都可以和處理模塊相耦連。傳感器130可以包括ODP傳感器、OES傳感器、VIP傳感器、模擬傳感器、以及包括數(shù)字探針在內(nèi)的其它類型的半導(dǎo)體處理傳感器?？梢允褂肁PC數(shù)據(jù)管理應(yīng)用程序來采集、處理、存儲、顯示和輸出來自各個傳感器的數(shù)據(jù)。
在APC系統(tǒng)中，可以由內(nèi)部和外部兩種源提供傳感器數(shù)據(jù)?？梢允褂猛獠繑?shù)據(jù)記錄器類型來規(guī)定外部源；一個數(shù)據(jù)記錄器對象可被分配給每個外部源；并且可以使用狀態(tài)變量表示。
傳感器配置信息組合傳感器類型和傳感器實例參數(shù)。傳感器類型是相應(yīng)于傳感器功能的一般的術(shù)語。傳感器實例使傳感器類型與特定處理模塊和工具上的特定傳感器配對。對于和一個工具連附的每個物理的傳感器，配置至少一個傳感器實例。
例如，OES傳感器可以是一種類型的傳感器；VI探針可以是另一種類型的傳感器，以及，模擬傳感器可以是一種不同類型的傳感器。此外，可以具有附加的通用類型的傳感器和附加的特定類型的傳感器。傳感器類型包括在運行時為設(shè)置一個特定種類的傳感器所需的所有變量。這些變量可以是靜態(tài)的(所有這種類型的傳感器具有相同的值)，其可通過實例來配置(傳感器類型的每個實例可以具有一個唯一的值)，或者可以是可通過數(shù)據(jù)采集計劃動態(tài)地配置的(每一次傳感器在運行時被啟動，其被給予一個不同的值)。
“通過實例可配置的”變量可以是傳感器/探針I(yè)P地址。這個地址通過實例改變(對于每個處理室)，但是從運行到運行不改變?！巴ㄟ^數(shù)據(jù)采集計劃配置的”變量可以是一個諧波頻率表。對于每個晶片，根據(jù)環(huán)境信息這些可被不同地配置。例如，晶片環(huán)境信息可以包括工具ID，模塊ID，槽ID，制法ID，盒ID，開始時間和結(jié)束時間?？梢跃哂邢嗤瑐鞲衅黝愋偷脑S多實例。一個傳感器實例相應(yīng)于一特定的硬件，并將一種傳感器類型連接到工具和/或處理模塊(室)。換句話說，傳感器類型是一般的，而傳感器實例是特定的。
如圖1所示，傳感器接口140可用于提供傳感器130和APC系統(tǒng)145之間的接口。例如，APC系統(tǒng)145可以通過互聯(lián)網(wǎng)或內(nèi)聯(lián)網(wǎng)連接與傳感器接口140相連，傳感器接口140可以通過互聯(lián)網(wǎng)或內(nèi)聯(lián)網(wǎng)連接與傳感器130相連。此外，傳感器接口140可以用作為協(xié)議轉(zhuǎn)換器、介質(zhì)轉(zhuǎn)換器和數(shù)據(jù)緩沖器。此外，傳感器接口140可以提供實時的功能，例如數(shù)據(jù)獲取、對等的通信、以及I/O掃描?；蛘?，傳感器接口140可被取消，而傳感器130可以直接地和APC系統(tǒng)145相連。
傳感器130可以是靜態(tài)的或動態(tài)的傳感器。例如，動態(tài)VI傳感器可以具有其頻率范圍、采樣周期、比例變換(scaling)、觸發(fā)、以及在運行時使用由數(shù)據(jù)采集計劃提供的參數(shù)確定的偏離信息。傳感器130可以是模擬傳感器，其可以是靜態(tài)的和/或動態(tài)的。例如，模擬傳感器可用于為ESC電壓提供數(shù)據(jù)、可以提供匹配器參數(shù)、氣體參數(shù)、流率、壓力、溫度、RF參數(shù)、以及其它的與處理相關(guān)的數(shù)據(jù)。傳感器130可以包括VIP探針，OES傳感器，模擬傳感器，數(shù)字傳感器和半導(dǎo)體處理傳感器中的至少一個。
在一個實施例中，傳感器接口可以把數(shù)據(jù)點寫入原始數(shù)據(jù)文件中。例如，IS 150可以向傳感器接口發(fā)送一個開始指令，以便啟動數(shù)據(jù)獲取，并可以發(fā)出一個停止指令，以便使文件關(guān)閉。IS 150然后可以讀取和分析傳感器數(shù)據(jù)文件，處理所述數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)值粘貼到內(nèi)部存儲器數(shù)據(jù)表中。
或者，傳感器接口能夠?qū)崟r地把數(shù)據(jù)傳遞給IS 150?？梢蕴峁┮粋€開關(guān)，以便使得傳感器接口能夠把文件寫入盤中。傳感器接口還可以提供一種用于讀取文件并把數(shù)據(jù)點送入IS 150以進(jìn)行離線處理和分析的方法。
如圖1所示，APC系統(tǒng)145可以包括數(shù)據(jù)庫190。工具狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)可被存儲在數(shù)據(jù)庫190中。此外，來自工具的原始數(shù)據(jù)和跟蹤數(shù)據(jù)可以作為文件存儲在數(shù)據(jù)庫190中。數(shù)據(jù)的量取決于由用戶配置的數(shù)據(jù)采集計劃和執(zhí)行處理以及處理工具運行的頻率。例如，可以建立數(shù)據(jù)采集計劃，用于確定如何、何時采集工具狀態(tài)數(shù)據(jù)。從處理工具、處理室、傳感器和APC系統(tǒng)獲得的數(shù)據(jù)被存儲在表中。
在一個實施例中，這些表可以在IS 150中作為存儲器內(nèi)的表來實現(xiàn)，并在數(shù)據(jù)庫190中作為持久的存儲來實現(xiàn)。IS 150可以使用結(jié)構(gòu)化查詢語言(SQL)用于生成列和行，并用于向表傳遞數(shù)據(jù)。這些表可以在數(shù)據(jù)庫190中被復(fù)制成持久的表(即，可以使用DB2)，并且可以使用相同的SQL語句來增加。
在所示的實施例中，IS 150可以是存儲器內(nèi)的實時數(shù)據(jù)庫和預(yù)約服務(wù)器。例如，客戶處理能夠使用利用熟悉的相關(guān)數(shù)據(jù)表的編程方式的SQL來執(zhí)行數(shù)據(jù)庫功能。此外，IS 150可以提供數(shù)據(jù)預(yù)約服務(wù)，其中當(dāng)滿足它們的選擇準(zhǔn)則的數(shù)據(jù)被插入、更新或刪除時客戶軟件便接收異步的通知。一個預(yù)約使用SQL選擇語句的全部能力，用于指定哪些表列是感興趣的以及使用何種行選擇準(zhǔn)則，以便過濾將來的數(shù)據(jù)改變通知。
因為IS 150是數(shù)據(jù)庫又是預(yù)約服務(wù)器，所以當(dāng)它們被初始化時，客戶可以打開和現(xiàn)有的表數(shù)據(jù)“同步的”預(yù)約。IS 150通過公布/預(yù)約機(jī)構(gòu)、存儲器內(nèi)數(shù)據(jù)表和用于通過系統(tǒng)對事件和警報進(jìn)行編組的監(jiān)控邏輯來提供數(shù)據(jù)同步。IS 150提供基于包括套接字、UDP和公布/預(yù)約技術(shù)的若干個通信TCP/IP。
例如，IS 150體系結(jié)構(gòu)可以使用多個數(shù)據(jù)集線器(即SQL數(shù)據(jù)庫)，它們可以提供實時的數(shù)據(jù)管理和預(yù)約功能。應(yīng)用程序模塊和用戶接口使用SQL消息訪問和更新數(shù)據(jù)集線器中的信息。由于與向關(guān)系數(shù)據(jù)庫粘貼運行時間數(shù)據(jù)相關(guān)的性能限制，運行時間數(shù)據(jù)被粘貼到由IS 150管理的存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)表。這些表的內(nèi)容在晶片處理結(jié)束時可被粘貼到關(guān)系數(shù)據(jù)庫。
在圖1所示的實施例中，示出了一個客戶工作站170，但本發(fā)明不限于此。APC系統(tǒng)145可以支持多個客戶工作站170。在一個實施例中，客戶工作站170允許用戶配置傳感器、察看包括工具、室和傳感器狀態(tài)的狀態(tài)、察看處理狀態(tài)、察看歷史數(shù)據(jù)、察看故障數(shù)據(jù)以及進(jìn)行模擬和繪制圖表的功能。
在圖1所示的實施例中，APC系統(tǒng)145可以包括與IS 150相連的APC服務(wù)器160，客戶工作站170，GUI元件180，以及數(shù)據(jù)庫190，但是本發(fā)明不限于此。APC服務(wù)器160可以包括許多應(yīng)用程序，其中包括至少一個和工具相關(guān)的應(yīng)用程序，至少一個和模塊相關(guān)的應(yīng)用程序，至少一個和傳感器相關(guān)的應(yīng)用程序，至少一個和IS相關(guān)的應(yīng)用程序，至少一個和數(shù)據(jù)庫相關(guān)的應(yīng)用程序，以及至少一個和GUI相關(guān)的應(yīng)用程序。此外，APC服務(wù)器可以包括許多工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)應(yīng)用程序。
APC服務(wù)器160包括至少一個計算機(jī)和軟件，所述軟件支持多個處理工具；采集和同步來自工具、處理模塊、傳感器以及探針的數(shù)據(jù)；在數(shù)據(jù)庫中存儲所述數(shù)據(jù)，使得用戶能夠察看現(xiàn)存的圖表；以及提供故障檢測。例如，APC服務(wù)器160可以包括操作軟件，例如來自TokyoElectron的Ingenio軟件。APC服務(wù)器允許進(jìn)行在線的系統(tǒng)配置、在線的塊到塊故障檢測、在線的晶片到晶片故障檢測、在線的數(shù)據(jù)庫管理和使用基于歷史數(shù)據(jù)的模型進(jìn)行概要數(shù)據(jù)(summary data)的多變量分析。此外，工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)允許實時地監(jiān)視處理工具。
例如，APC服務(wù)器160可以包括最小為3GB的可用盤空間；至少為600MHz的CPU(雙處理器)；最小512Mb的RAM(物理存儲器)；按RAID 5配置的9GB SCSI硬驅(qū)動器；大小為RAM的兩倍的最小盤高速緩沖存儲器；已安裝的Windows 2000服務(wù)器軟件；微軟的Internet Explorer；TCP/IP網(wǎng)絡(luò)協(xié)議；以及至少兩個網(wǎng)卡。
APC系統(tǒng)145可以包括至少一個存儲裝置，其存儲包含來自傳感器的原始數(shù)據(jù)的文件和包含來自工具的跟蹤數(shù)據(jù)的文件。如果這些文件不被正確地管理(即被定期地刪除)，存儲裝置可用完盤空間，因而可能停止采集新數(shù)據(jù)。APC系統(tǒng)145可以包括數(shù)據(jù)管理應(yīng)用程序，其使用戶能夠刪除過時文件，借以釋放盤空間，以使得數(shù)據(jù)采集得以繼續(xù)而不中斷。APC系統(tǒng)145可以包括用于操作系統(tǒng)的多個表，這些表可被存儲在數(shù)據(jù)庫190中。此外，其它的計算機(jī)(未示出)例如在現(xiàn)場或者不在現(xiàn)場的計算機(jī)/工作站和/或主機(jī)可被連成網(wǎng)絡(luò)，以便對于一個或多個工具提供例如數(shù)據(jù)/圖表瀏覽、SPC圖表編制、EPD分析、文件訪問等功能。
如圖1所示，APC系統(tǒng)145可以包括GUI元件180。例如，GUI元件可以在APC服務(wù)器160、客戶工作站170和工具110上作為一個應(yīng)用程序運行。
GUI元件180使APC系統(tǒng)用戶能夠利用盡可能少的輸入執(zhí)行所需的配置、數(shù)據(jù)采集、監(jiān)視、模擬故障檢測任務(wù)。GUI設(shè)計符合用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的SEMI人性接口標(biāo)準(zhǔn)(SEMI Draft Doc.#2783B)，并符合SEMATECH Strategic Cell Controller(SCC)User-InterfaceStyle Guide 1.0(Technology Transfer 92061179A-ENG)。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，GUI屏面/屏幕可以包括從左到由的選擇標(biāo)記結(jié)構(gòu)和/或從右到左的結(jié)構(gòu)，從底到頂?shù)慕Y(jié)構(gòu)，從頂?shù)降椎慕Y(jié)構(gòu)，或者組合的結(jié)構(gòu)。
此外，雖然所示的屏幕是英語的型式，但是本發(fā)明不限于此，可以使用不同的語言。
此外，GUI元件180提供在工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)和用戶之間進(jìn)行交互作用的裝置。當(dāng)GUI開始時，可以顯示一個登錄屏，其確認(rèn)用戶身份和口令，并提供第一級的安全性。在登錄之前用戶可以使用一個安全應(yīng)用程序注冊。用戶身份的數(shù)據(jù)庫檢查表示授權(quán)等級，其將使可利用的GUI功能成為一個整體。用戶未被授權(quán)使用的選項可以是不同的和不能利用的。安全系統(tǒng)還允許用戶改變現(xiàn)有的口令。例如，登錄屏面/屏幕可以從瀏覽器工具例如Netscape或Internet Explorer打開。用戶可以在登錄字段中輸入用戶ID和口令。
被授權(quán)的用戶和管理員可以使用GUI屏面/屏幕來修改系統(tǒng)配置和傳感器設(shè)置參數(shù)。GUI元件180可以包括配置元件，用于使用戶能夠配置處理工具、處理模塊、傳感器和APC系統(tǒng)。例如，可以對處理工具、處理模塊、傳感器、傳感器實例、模塊暫停和報警中的至少一個提供GUI配置屏面/屏幕。配置數(shù)據(jù)可被存儲在屬性數(shù)據(jù)庫表中，并且在安裝時可以通過缺省被設(shè)置。
GUI元件180可以包括狀態(tài)元件，其顯示用于處理工具、處理模塊、傳感器和APC系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)。此外，狀態(tài)元件可以包括圖表編制元件，用于使用一個或多個不同的圖表向用戶呈現(xiàn)與系統(tǒng)相關(guān)的以及與處理相關(guān)的數(shù)據(jù)。
此外，GUI元件180可以包括實時的操作元件。例如，GUI元件可以和背景任務(wù)相耦連，共享的系統(tǒng)邏輯可以提供由背景任務(wù)和GUI元件兩者使用的公共功能。共享的邏輯可用于保證向GUI元件返回的值和向背景任務(wù)返回的值相同。此外，GUI元件180可以包括APC文件管理GUI元件和安全元件。幫助屏面/屏幕也是可用的。例如，以PDF(便攜的文件格式)和/或HTML格式提供幫助文件。
如圖1所示，包括工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的APC系統(tǒng)145可以和工廠系統(tǒng)105和/或E診斷系統(tǒng)115相連。工廠系統(tǒng)105和/或E診斷系統(tǒng)115可以提供用于從外部監(jiān)視和用于從外部控制半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的工具、模塊、傳感器和處理的裝置?；蛘?，工廠系統(tǒng)105和/或E診斷系統(tǒng)115可以進(jìn)行工具狀態(tài)監(jiān)視。例如，用戶可以使用基于環(huán)球網(wǎng)的終端訪問工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)，所述終端通過工廠系統(tǒng)105和/或E診斷系統(tǒng)115與半導(dǎo)體處理系統(tǒng)相耦連。
此外，APC系統(tǒng)和E診斷系統(tǒng)可以一道工作，以便實時地解決問題。例如，當(dāng)APC系統(tǒng)145檢測到故障時，用于診斷所述問題所需的信息可以由APC服務(wù)器處理，并被傳遞給E診斷系統(tǒng)，或者被存儲以供E診斷系統(tǒng)在以后訪問?？墒褂冒踩s束和/或用戶商務(wù)規(guī)則確定操作方法。
此外，APC包括用于添加傳感器、編輯可以被情況和/或事件驅(qū)動的數(shù)據(jù)采集計劃的裝置。例如，這可以使得E診斷“探針”和/或軟件元件能夠為E診斷系統(tǒng)下載，以便對系統(tǒng)進(jìn)行故障檢修。E診斷系統(tǒng)可以包括一套便攜的診斷工具，其可以提供附加的數(shù)據(jù)，所述數(shù)據(jù)可用于診斷、檢測和/或預(yù)測問題。例如，APC系統(tǒng)可以使用這些診斷工具作為附加的傳感器。利用支持多個協(xié)議的一般的傳感器接口，包括作為最低級的模擬輸入，本地便攜診斷單元可以和工廠系統(tǒng)相耦連，并然后被APC系統(tǒng)、E診斷系統(tǒng)和/或工廠系統(tǒng)在遠(yuǎn)程地使用。
APC系統(tǒng)可以配備在工廠遠(yuǎn)程研發(fā)的并從工廠或E診斷系統(tǒng)下載的新的應(yīng)用程序。例如，新的應(yīng)用程序可以本地駐留于APC服務(wù)器中。APC系統(tǒng)具有學(xué)習(xí)新的程序并動態(tài)地添加傳感器、添加應(yīng)用程序、甚至對于常規(guī)的傳感器添加GUI屏幕的能力。此外，APC系統(tǒng)可以執(zhí)行非常專用的程序，例如定時分析分配，以用于確定工具和/或模塊何時誤操作(即，由于電動機(jī)或致動器位置而引起的晶片處理系統(tǒng)的問題)。
此外，APC系統(tǒng)可以根據(jù)工具性能改變采樣速率。例如，可以根據(jù)工具的健康狀況改變數(shù)據(jù)采集的采樣速率和分析量。APC系統(tǒng)還可以預(yù)測問題或檢測工具和/或模塊正運行在一個限制條件附近。
此外，高級的用戶和管理員可以使用GUI屏幕來修改系統(tǒng)配置和傳感器設(shè)置參數(shù)；產(chǎn)生和編輯與工具相關(guān)的策略和計劃；和/或修改編號工具和模塊。
使用一個可配置的系統(tǒng)實施工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)，所述系統(tǒng)使用戶(終端用戶)能夠添加處理工具、處理模塊和/或傳感器。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)提供一個開發(fā)的環(huán)境和方法，其使得用戶能夠定制監(jiān)視軟件，添加分析應(yīng)用程序，和/或在環(huán)境中安裝并監(jiān)視新的工具、模塊和傳感器。
工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)軟件的體系結(jié)構(gòu)包括4個功能元件數(shù)據(jù)獲取元件，消息傳送系統(tǒng)元件，關(guān)系數(shù)據(jù)庫元件和粘貼處理元件。該體系結(jié)構(gòu)還包括存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)表，用于存儲運行時間數(shù)據(jù)獲取參數(shù)。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的外部是工具，以及工具代理，其提供環(huán)境信息和開始-停止定時指令，用于使數(shù)據(jù)獲取和工具的處理同步。
數(shù)據(jù)獲取元件采集被稱為參數(shù)的數(shù)據(jù)點，并將其寫入一個文件中。消息傳送系統(tǒng)使用存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)表用于暫時存儲從數(shù)據(jù)獲取元件接收的運行時間數(shù)據(jù)。由一個代理和/或工具客戶把數(shù)據(jù)獲取周期的開始和結(jié)束通知消息傳送系統(tǒng)。在數(shù)據(jù)獲取周期結(jié)束時，數(shù)據(jù)被粘貼到關(guān)系數(shù)據(jù)庫，并且清除存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù)表以供下一個獲取周期使用。由消息傳送系統(tǒng)提供的數(shù)據(jù)的粘貼處理在運行時間進(jìn)行；在相關(guān)數(shù)據(jù)庫中存儲的數(shù)據(jù)的后處理被離線執(zhí)行。
工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的目的是使用實時的和歷史的數(shù)據(jù)來改善半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的性能。為實現(xiàn)這個目的，可預(yù)測潛在的問題，并且在其出現(xiàn)之前進(jìn)行校正，因而減少設(shè)備停車時間和所生產(chǎn)的非產(chǎn)品晶片的數(shù)量。這可以通過采集數(shù)據(jù)，然后把數(shù)據(jù)送給用于模擬特定工具的行為的軟件算法來實現(xiàn)。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)輸出處理參數(shù)的修改，然后將其向前或向后傳送，從而把工具性能保持在規(guī)定的限制內(nèi)。這種控制可以在不同的級別以不同的形式進(jìn)行。
工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的報警管理部分可以提供故障檢測算法，故障分類算法和/或故障預(yù)測算法。工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)可以預(yù)測工具將在何時發(fā)生誤操作，并且能夠識別用于校正所述誤操作的可能的解決方案，從而減少在維護(hù)和處理功能期間的非產(chǎn)品晶片的數(shù)量。
故障預(yù)測是故障檢測和故障模擬的組合?？梢允褂眠@種方法來優(yōu)化處理室的清潔和可消耗部件的更換，其旨在幫助當(dāng)生產(chǎn)中出現(xiàn)暫停時進(jìn)行預(yù)防維護(hù)性任務(wù)的“機(jī)會主義的調(diào)度”。故障預(yù)測可以基于復(fù)雜的多變量模型，或者基于簡單的單變量關(guān)系(例如用于蝕刻中的濕式清潔的APC角)。例如，故障預(yù)測可用于預(yù)測傳感器何時失效以及何時需要對檢測器進(jìn)行維護(hù)。
GUI應(yīng)用程序使得用戶能夠確定傳感器是否正在采集數(shù)據(jù)。當(dāng)數(shù)據(jù)采集計劃不需要來自傳感器的數(shù)據(jù)時，傳感器狀態(tài)向用戶提供關(guān)于不期望接通這個傳感器的指示。例如，當(dāng)數(shù)據(jù)采集計劃不需要來自傳感器的數(shù)據(jù)時，該傳感器狀態(tài)應(yīng)當(dāng)是“在線脫機(jī)”，當(dāng)用戶在系統(tǒng)級解除一個傳感器時，所述狀態(tài)應(yīng)當(dāng)是“離線脫機(jī)”。
至傳感器的接口允許故障和與服務(wù)相關(guān)的中斷。此外，所述接口提供設(shè)置和故障查找的能力。例如，當(dāng)中斷發(fā)生時，傳感器和/或APC系統(tǒng)檢測所述中斷并啟動記錄、報警和自動恢復(fù)/分析，以便確定正確的行為并把功能的損失減到最小。用這種方式，可以減小在傳感器和/或APC系統(tǒng)以減少的功能操作時用戶生產(chǎn)產(chǎn)品的風(fēng)險。
此外，傳感器應(yīng)用程序可以在服務(wù)/維護(hù)模式期間運行。為了進(jìn)行傳感器通信的故障查找，傳感器可以在沒有運行的晶片的狀態(tài)下被測試。例如，傳感器可以從基于WEB的GUI被設(shè)置、啟動和停止。這個特征可以在傳感器設(shè)置和例行的傳感器維護(hù)時被共同地使用。
傳感器接口可以和若干個不同的傳感器兼容。例如，傳感器接口可以包括用于與使用套接字信息、RS-232通信或DLL的傳感器接口的裝置。
利用使用戶(終端用戶)能夠添加工具、處理室和傳感器的可配置的系統(tǒng)來實現(xiàn)APC系統(tǒng)。該APC系統(tǒng)提供一種開發(fā)環(huán)境和方法，其使得用戶能夠定制傳感器應(yīng)用程序，以便在系統(tǒng)中添加分析應(yīng)用程序， 以及安裝新的傳感器。
這種傳感器應(yīng)用程序借助于向用戶提供用于延長工具壽命和用于提供潛在的故障特征檢測的裝置，從而改進(jìn)總體設(shè)備效率(OEE)和處理工具的所有權(quán)成本(COO)。
APC系統(tǒng)的一個目的是使用實時的和歷史的數(shù)據(jù)來最大化包括傳感器性能在內(nèi)的工具的性能。為實現(xiàn)這個目的，在預(yù)測潛在的問題并在其發(fā)生之前校正這些問題，因而使設(shè)備的停機(jī)時間和非產(chǎn)品晶片的數(shù)量最小化。這可以通過采集數(shù)據(jù)然后把數(shù)據(jù)送入用來模擬特定傳感器的行為的軟件算法來實現(xiàn)。報警管理系統(tǒng)輸出處理參數(shù)的適應(yīng)性的變化，然后這些自適應(yīng)的變化被向前或向后饋送，以便保持工具的性能和傳感器的性能在特定的限制內(nèi)。這種控制可以在不同的級以不同的形式來實現(xiàn)。
APC系統(tǒng)提供故障檢測算法、故障分類算法和故障預(yù)測算法。APC系統(tǒng)可以預(yù)測何時傳感器將誤操作，可以識別可能的解決辦法，以便校正所述誤操作，并減少在維護(hù)和處理操作期間生產(chǎn)的非產(chǎn)品晶片的數(shù)量。
例如，故障預(yù)測可以是故障檢測和故障模擬的組合。該方法可用于優(yōu)化可消耗的部件例如傳感器的更換，并且旨在當(dāng)生產(chǎn)中具有暫停時有助于預(yù)防性維護(hù)任務(wù)的“機(jī)會主義的調(diào)度”。故障預(yù)測可以基于復(fù)雜的多變量模型或者基于簡單的單變量關(guān)系。
圖2是表示在按照本發(fā)明的一個實施例的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中對處理工具進(jìn)行監(jiān)視的示例流程圖。軟件和相關(guān)的GUI屏幕提供了用于監(jiān)視系統(tǒng)中的一個或幾個處理工具的程序。該流程圖表示在監(jiān)視處理中執(zhí)行的一個示例的控制策略程序。程序200在210開始。
程序200可以在由半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的處理工具執(zhí)行的每個生產(chǎn)步驟中被執(zhí)行。生產(chǎn)步驟是蝕刻處理、淀積處理、擴(kuò)散處理、清潔處理、測量處理、轉(zhuǎn)印處理或其它的半導(dǎo)體制造處理。策略限定在一組序列期間在處理工具上發(fā)生的事件。策略可以為一個晶片、一個工具、一個塊或工具活動的組合規(guī)定一組序列。該策略可以包括處理活動、測量活動、預(yù)調(diào)節(jié)活動、預(yù)測量活動和后測量活動的組合。在一個策略中的每個部分(活動的組)被稱為計劃。
策略和環(huán)境相關(guān)?？梢允褂铆h(huán)境信息使給定的操作和另一個操作相關(guān)。具體地說，環(huán)境信息用于使一個處理步驟或制法與一個或多個控制策略和相關(guān)數(shù)據(jù)采集計劃相關(guān)聯(lián)。
在220，根據(jù)處理環(huán)境確定并執(zhí)行數(shù)據(jù)采集(控制)策略。處理環(huán)境可以依賴于正在進(jìn)行的生產(chǎn)步驟和正在被監(jiān)視的工具以及正在被使用的傳感器。環(huán)境對于特定的處理方法確定執(zhí)行哪一種策略和/或計劃。例如，為了使一個控制策略和一個處理類型例如“干清潔”關(guān)聯(lián)，用于該策略的環(huán)境必須含有環(huán)境術(shù)語“干清潔”。在這種情況下，傳感器可被配置為獲得與“干清潔”相關(guān)的數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)采集(控制)策略可以是一個計劃保持器。一個控制策略和相關(guān)的計劃“控制”使用哪些傳感器、它們?nèi)绾伪慌渲谩⒉杉男?shù)據(jù)以及如何預(yù)處理所述數(shù)據(jù)。
在一個實施例中，處理環(huán)境可以和控制策略進(jìn)行比較。例如，APC服務(wù)器160(圖1)當(dāng)“處理開始”事件發(fā)生時作為一個串得到當(dāng)前的處理環(huán)境。所述處理環(huán)境可以和控制策略進(jìn)行比較，然后可以識別合適的策略。
在這個處理中，搜索順序可能是重要的。例如，搜索可以借助于利用GUI表中的優(yōu)先順序進(jìn)行?？梢允褂媒Y(jié)構(gòu)化查詢語言(SQL)語句進(jìn)行搜索。一旦一個策略被識別，數(shù)據(jù)采集計劃、數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃和判斷計劃便被自動地確定，并且傳感器計劃也被確定。數(shù)據(jù)采集計劃ID、數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃ID、以及判斷計劃ID被發(fā)送給“執(zhí)行控制策略”模塊。
可能有多個和運行環(huán)境匹配的控制策略，但是對于一個特定的處理工具在一個特定的時間只執(zhí)行一個控制策略。借助于在表上上下移動這些策略，用戶可以確定特定環(huán)境內(nèi)策略的順序。當(dāng)?shù)竭_(dá)要被選擇的策略的時間時，軟件便從表的頂部開始，并一直向下查找，直到找到和由環(huán)境確定的要求匹配的第一策略。
使用基于環(huán)境執(zhí)行的一種方法可能要進(jìn)行環(huán)境匹配。例如，當(dāng)執(zhí)行環(huán)境匹配時，可以使用當(dāng)前正被處理的晶片的環(huán)境?；蛘撸梢允褂卯?dāng)前正被處理的襯底或其它半導(dǎo)體產(chǎn)品的環(huán)境。當(dāng)環(huán)境被確定時，其便可以和控制策略的環(huán)境進(jìn)行比較。當(dāng)發(fā)生環(huán)境匹配時，則可以執(zhí)行一個或幾個控制策略。
可以借助于組合環(huán)境元素來定義環(huán)境。例如，環(huán)境可以是按照預(yù)定順序的環(huán)境元素的陣列，或者，環(huán)境可以是呈字典的形式的一組名稱-值的對。
用于選擇和執(zhí)行控制策略的環(huán)境元素可以包括工具ID，制法ID，塊ID，和材料ID。此外，可以使用以下的元素盒ID，處理模塊ID，槽ID，制法開始時間，制法停止時間，維護(hù)計數(shù)器值，和/或產(chǎn)品ID，其規(guī)定要被處理的產(chǎn)品的種類。
當(dāng)執(zhí)行控制策略時，可以識別數(shù)據(jù)采集計劃，可以識別數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃，并且可以識別判斷計劃。關(guān)于策略和計劃的一個示例的關(guān)系圖如圖3所示。例如，可以使用允許動態(tài)地設(shè)置和調(diào)用控制策略的環(huán)境匹配執(zhí)行軟件模塊。在一種情況下，晶片內(nèi)的事件可以觸發(fā)系統(tǒng)控制器察看當(dāng)前的環(huán)境數(shù)據(jù)，確定運行哪個策略，并調(diào)用相應(yīng)的腳本以確定相關(guān)的計劃。
在230，可以執(zhí)行和控制策略相關(guān)的計劃?？梢詧?zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃、數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃和判斷計劃中的至少一個。此外，也可以執(zhí)行傳感器計劃、參數(shù)選擇計劃和/或微調(diào)計劃。
在生產(chǎn)運行期間采集的產(chǎn)生高質(zhì)量產(chǎn)品的數(shù)據(jù)可被用于建立“良好傳感器狀態(tài)”數(shù)據(jù)，隨后采集的數(shù)據(jù)可以和這個基準(zhǔn)數(shù)據(jù)比較，以便確定傳感器是否實時地正確地運行。
例如，可以建立一個數(shù)據(jù)采集(控制)策略，用于確定傳感器的狀態(tài)，作為質(zhì)量控制(QC)試驗的一部分?？梢詧?zhí)行OC控制策略及其相關(guān)的計劃，以保證傳感器正在正確地操作或者保證傳感器被設(shè)置，以便證實處理工具正在正確地操作?？梢栽陬A(yù)定的時間或當(dāng)用戶調(diào)度時執(zhí)行QC控制策略及其相關(guān)的計劃。當(dāng)QC控制策略及其相關(guān)的計劃正被執(zhí)行時，傳感器可被設(shè)置，以使得可以采集診斷的晶片數(shù)據(jù)。例如，可以處理診斷晶片、偽晶片、產(chǎn)品晶片或試驗晶片，并且環(huán)境可以是工具、模塊或傳感器診斷。
可以建立QC數(shù)據(jù)采集(控制)策略及其相關(guān)的計劃用于處理模塊預(yù)備處理，例如和干燥相關(guān)的處理。例如，在清潔處理(即濕清潔)之后，可以使用和干燥相關(guān)的策略、計劃和可能包括設(shè)置一個傳感器的制法來處理若干個偽晶片。用戶可以使用作為APC系統(tǒng)的一部分的策略和計劃，或者用戶可以容易和快速地使用AOC系統(tǒng)研發(fā)新的與干燥相關(guān)的控制策略。用戶可以試驗一組不同的干燥數(shù)據(jù)采集計劃和傳感器，以便確定哪種干燥制法具有最好的檢測能力。由這些干燥運行獲得的數(shù)據(jù)還可以用于進(jìn)一步改進(jìn)處理、工具和傳感器模擬。
當(dāng)執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃時，傳感器可被設(shè)置。數(shù)據(jù)采集計劃可包括傳感器設(shè)置計劃。例如，借助于傳感器設(shè)置計劃可以確定傳感器的開始和停止時間。利用傳感器設(shè)置計劃，可以確定傳感器所需的設(shè)置變量?？梢允褂弥品ㄩ_始事件通知傳感器開始記錄。晶片中事件可用于設(shè)置傳感器。制法停止事件或晶片用完事件可用于通知傳感器停止記錄。對于產(chǎn)品晶片和非產(chǎn)品晶片，可以使用不同的傳感器，并且可以采集不同的數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)采集計劃還包括數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃，其確定相對于峰值計數(shù)、步驟微調(diào)、值門限、以及值限幅界限(clip limit)，預(yù)期的觀測參數(shù)將如何被處理。
當(dāng)執(zhí)行數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃時，時間序列數(shù)據(jù)可以從原始數(shù)據(jù)文件產(chǎn)生，并被保存在數(shù)據(jù)庫中；可以從所述時間序列數(shù)據(jù)產(chǎn)生晶片概要數(shù)據(jù)；可以從晶片數(shù)據(jù)產(chǎn)生塊概要數(shù)據(jù)。在晶片正被處理時，可以執(zhí)行數(shù)據(jù)采集。當(dāng)晶片的這個處理步驟結(jié)束時，則可以執(zhí)行數(shù)據(jù)預(yù)處理計劃。
數(shù)據(jù)采集計劃可以是一種由用戶配置的可再用的實體，用于采集所需的數(shù)據(jù)。傳感器計劃包括在一個或幾個單獨的模塊上的一個或多個傳感器的配置。所述計劃還包括選擇應(yīng)當(dāng)由相關(guān)傳感器采集的數(shù)據(jù)項，以及哪些數(shù)據(jù)項要被保存。
傳感器可以是一個裝置、儀表、處理室類型或者其它的實體，所述實體用于或者采集觀測數(shù)據(jù)，或者需要軟件設(shè)置相互作用，或者好像傳感器那樣由系統(tǒng)軟件進(jìn)行處理。例如，處理工具和處理模塊(室)可以被處理為好像它們是數(shù)據(jù)采集計劃中的傳感器。可以使用工具狀態(tài)屏幕、室狀態(tài)屏幕、和/或傳感器狀態(tài)屏幕報告?zhèn)鞲衅鳡顟B(tài)。傳感器狀態(tài)信息可被提供給用戶。例如，傳感器狀態(tài)可以包括離線(解除)；以及在線(記錄，空閑，錯誤，未被選擇)。如果傳感器從在線變成離線，用戶可被通知。
相同傳感器類型的幾個實例可以同時安裝在一個處理系統(tǒng)中。用戶可以選擇一個或幾個特定的傳感器以供每個數(shù)據(jù)采集計劃使用。
對于給定的數(shù)據(jù)采集計劃，APC系統(tǒng)從數(shù)據(jù)庫中讀出傳感器的設(shè)置，或者使用在設(shè)置期間定義的參數(shù)。當(dāng)傳感器配置軟件不能設(shè)置傳感器時，則該軟件假定所述傳感器對于該運行處于缺省的離線狀態(tài)。這個動作與DC計劃要求傳感器離線相同。傳感器配置軟件對于利用處于脫機(jī)狀態(tài)下的傳感器進(jìn)行的處理步驟設(shè)置報警。
APC系統(tǒng)可以包括被設(shè)計用于監(jiān)視若干個不同類型的工具和相關(guān)的傳感器的策略和計劃。例如，APC系統(tǒng)可以與按不同的方式操作的傳感器接口。例如，當(dāng)傳感器實時地發(fā)送數(shù)據(jù)時，APC系統(tǒng)實時地監(jiān)視所述數(shù)據(jù)，當(dāng)傳感器非實時地發(fā)送數(shù)據(jù)時，只要傳感器發(fā)送數(shù)據(jù)，APC系統(tǒng)便處理該數(shù)據(jù)。
APC系統(tǒng)可以包括策略、計劃和基準(zhǔn)模型，其可設(shè)置用于普通的故障檢測和分類應(yīng)用程序、處理室印指紋(fingerprinting)應(yīng)用程序、干燥完成應(yīng)用程序、可消耗的壽命預(yù)測、濕清潔周期應(yīng)用程序以及對于部件裝配體的診斷應(yīng)用程序的傳感器。
APC系統(tǒng)為每個處理室提供獨立的數(shù)據(jù)采集模式和設(shè)置模式；即，每個室可以獨立于任何其它的室，并且一個處理室的設(shè)置不會中斷其它處理室的數(shù)據(jù)采集。此外，APC系統(tǒng)對每個傳感器提供獨立的數(shù)據(jù)采集模式和設(shè)置模式；即，每個傳感器可以獨立于任何其它的傳感器，并且一個傳感器的設(shè)置不會中斷其它傳感器的數(shù)據(jù)采集。
當(dāng)控制策略包括判斷計劃時，所述判斷計劃被執(zhí)行。所述執(zhí)行可以是基于規(guī)則的并包括SQL語句。在“開始事件”發(fā)生之后，可以執(zhí)行開始事件判斷計劃，并且在“結(jié)束事件”發(fā)生之后，可以執(zhí)行結(jié)束事件判斷計劃。例如，當(dāng)一個開始事件判斷計劃和一個控制策略相關(guān)時，在一個開始事件例如晶片內(nèi)事件、處理開始事件或者制法開始事件之后，其可以被執(zhí)行。開始事件判斷計劃可以是工具狀態(tài)監(jiān)視系統(tǒng)的報警管理部分的一部分。
當(dāng)報警發(fā)生，即檢測到故障時，判斷計劃可以向干預(yù)計劃發(fā)送消息和/或指令，使得進(jìn)行以下操作在狀態(tài)屏幕上顯示故障消息，在一個日志文件中寫入故障消息，發(fā)送暫停下一個晶片的消息，發(fā)送暫停下一個塊的消息，向工具發(fā)送一個警告消息，以及向工具的擁有者發(fā)送郵件。例如，判斷計劃可以向干預(yù)計劃發(fā)送消息和/或指令，以便進(jìn)行下述的與傳感器相關(guān)的操作停止使用傳感器，重新配置傳感器，重新校準(zhǔn)傳感器和更換傳感器。
判斷計劃獨立地操作。每個判斷計劃不知道其它判斷計劃的操作。因此，作為整個分析計劃的結(jié)果，在由不同判斷計劃發(fā)送的消息中便可能有某些多余和矛盾之處。干預(yù)計劃用來解決任何問題。用于策略和計劃的一個示例的流程圖示于圖4。
返回圖2，在步235，可以進(jìn)行詢問，從而確定是否產(chǎn)生報警。當(dāng)報警發(fā)生時，程序200分支到步250。當(dāng)報警未發(fā)生時，程序200分支到步240。
在步驟250，可以執(zhí)行干預(yù)計劃。干預(yù)計劃可以執(zhí)行以下的處理從每個判斷計劃得到消息(判斷)；分類來自不同判斷計劃的操作；對郵件和日志附加處理條件，例如工具ID、制法ID、制法開始時間等；保存日志文件/數(shù)據(jù)庫；和/或向干預(yù)管理器發(fā)送合適的消息。
干預(yù)策略被定義為作為數(shù)據(jù)分析的結(jié)果用戶選擇的要采取的操作。例如，這些操作可以包括標(biāo)記一個可疑的晶片或塊，并通知系統(tǒng)擁有者和/或工具擁有者；尋呼工程師或向其發(fā)送電子郵件，使其檢查數(shù)據(jù)并作出決定；禁止工具處理晶片，直到數(shù)據(jù)被檢查完畢，且所述禁止被解除為止；停止可以從工具中排出剩余的晶片的工具或使其“離線”；以及觸發(fā)處理室清潔或維護(hù)程序。
在干預(yù)計劃被執(zhí)行之后，關(guān)于合適的操作的消息被發(fā)送給干預(yù)管理器。例如，下面是操作候選者在狀態(tài)屏幕上顯示傳感器故障消息；發(fā)送消息以便在下一個晶片之前暫停處理；發(fā)送消息以便在下一個塊之前暫停處理；對一個或幾個工具發(fā)送暫?；蛲Ｖ瓜?；和/或向工具擁有者或方法擁有者發(fā)送電子郵件。例如，可以使用“停止”消息告訴工具繼續(xù)處理已經(jīng)在工具中的晶片，可以使用“中斷”消息告訴工具不處理工具中的晶片，并將其送回載體。
在一些情況下，APC系統(tǒng)能夠干預(yù)和響應(yīng)一個問題而不需人工干預(yù)。在其它的情況下，則需要人工干預(yù)。例如，用戶可以訪問來自APC系統(tǒng)的數(shù)據(jù)，以便確定故障的性質(zhì)。用戶可以干預(yù)，并且用戶可以決定繼續(xù)處理一個塊或者終止處理。如果用戶終止處理，則工具可以進(jìn)入維修狀態(tài)。用戶可以由工具屏幕觸發(fā)這個操作。例如，可以更換傳感器。在傳感器被更換、檢查和進(jìn)行處理測試之后，可以利用下一個晶片繼續(xù)進(jìn)行處理。
在干預(yù)計劃和分析計劃的執(zhí)行期間，APC系統(tǒng)可以向用戶呈現(xiàn)“與傳感器相關(guān)的”圖表。例如，該圖表可以包括壓力計數(shù)據(jù)、質(zhì)量流數(shù)據(jù)、泄漏數(shù)據(jù)、泵數(shù)據(jù)、氣體系統(tǒng)數(shù)據(jù)和轉(zhuǎn)印系統(tǒng)數(shù)據(jù)。這些圖表可以顯示一個或幾個工具的實時數(shù)據(jù)、歷史數(shù)據(jù)以及實時和歷史數(shù)據(jù)的組合。
分析策略也可以在控制策略被執(zhí)行之后由APC系統(tǒng)執(zhí)行。分析型策略，例如故障檢測和分類(FDC)策略確定對處理工具執(zhí)行的一組程序期間發(fā)生的事件。在使用一組分析計劃采集數(shù)據(jù)之后，F(xiàn)DC策略可以“分析”所述數(shù)據(jù)；FDC策略可以使用一組判斷計劃“確定”作用的過程。例如，可以使用SPC圖表和多變量分析。FDC策略可以對于一個晶片、一個工具、一個塊或者工具活動的組合定義一組數(shù)據(jù)分析計劃。在分析策略中的每個部分可被稱為一個計劃。
策略和環(huán)境相關(guān)聯(lián)。環(huán)境信息可用于使一個給定的操作和另一個操作相關(guān)聯(lián)。具體地說，環(huán)境信息使一個處理步驟或制法與一個或幾個策略和/或計劃相關(guān)聯(lián)。一般地說，分析策略可以由一個結(jié)束事件觸發(fā)，并確定一組后處理活動。例如，結(jié)束事件可以是晶片用光事件，塊完成事件，或者其它的處理完成事件。
當(dāng)執(zhí)行分析策略時，可以執(zhí)行一個或多個下面的計劃主要元件分析(PCA)計劃，部分最小平方(PLS)計劃，統(tǒng)計處理控制(SPC)計劃，多變量分析(MVA)計劃和用戶定義的計劃。分析計劃包括執(zhí)行下述操作的裝置當(dāng)工具不處于生產(chǎn)狀態(tài)時用于檢測和分類傳感器問題；在生產(chǎn)期間檢測傳感器問題；在生產(chǎn)期間檢測和分類傳感器問題；在生產(chǎn)期間預(yù)測傳感器問題；以及在生產(chǎn)之后預(yù)測傳感器問題。
圖5是按照本發(fā)明的一個實施例的選擇屏幕的例圖。在所示的實施例中，示出了具有7個子級的導(dǎo)航樹，不過這對于本發(fā)明不是必需的；可以使用任何數(shù)量的子級?；蛘?，可以使用其它的選擇裝置，例如選擇標(biāo)記或按鈕。例如選擇標(biāo)記可以包括左-右標(biāo)記、右-左標(biāo)記、頂-底標(biāo)記和底-頂標(biāo)記。在另一個實施例中，導(dǎo)航樹可以用不同的語言顯示，并可以被不同地排序和定位。例如GUI可以包括來自由英語多級導(dǎo)航樹、日語多級導(dǎo)航樹、臺灣語多級導(dǎo)航樹、漢語多級導(dǎo)航樹、朝鮮語多級導(dǎo)航樹、德語多級導(dǎo)航樹和法語多級導(dǎo)航樹構(gòu)成的組中的至少一個多級導(dǎo)航樹。
所示的第一級是工具級，不過這對本發(fā)明不是必需的?；蛘撸镜目梢允窍到y(tǒng)級或其它較高級的組。例如，可以使工具級與蝕刻工具、淀積工具、清潔工具、轉(zhuǎn)印工具或者其它半導(dǎo)體處理工具相關(guān)。
所示的下一級是處理模塊級。用戶可以打開工具級文件夾，以便顯示處理模塊級的狀態(tài)。例如，圖5表示若干個打開的工具級文件夾，標(biāo)號為“TeliusPC”，以及4個處理模塊文件夾，標(biāo)號為“Process Module1”到“Process Module 4”。用戶可以打開一個處理模塊文件夾，以便顯示與特定的處理模塊相關(guān)的策略的狀態(tài)。
所示的下一級是策略級。用戶可以打開一個處理模塊級文件夾，以便顯示一個策略級的狀態(tài)。例如，圖5表示標(biāo)記為“Data CollectionStrategy”和“Analysis Strategy”的打開的文件夾。用戶可以打開一個策略文件夾，以便顯示與特定的策略相關(guān)的環(huán)境和計劃的狀態(tài)。
數(shù)據(jù)采集(控制)策略文件夾可被打開以便顯示一個數(shù)據(jù)采集策略列表。在所示的實施例中，一個控制策略可以和與控制策略相關(guān)的環(huán)境以及計劃一道顯示。環(huán)境可用于調(diào)用特定的項目例如偽晶片或診斷晶片所需的特定的數(shù)據(jù)采集計劃。
可以打開一個特定的數(shù)據(jù)采集計劃文件夾，以便顯示一個或多個數(shù)據(jù)采集計劃的名稱。在圖5中，顯示了一個數(shù)據(jù)采集計劃名稱“DefaultPlan 1”。
數(shù)據(jù)采集策略具有相關(guān)的數(shù)據(jù)采集計劃，其描述如何配置傳感器以及應(yīng)當(dāng)采集何種觀測參數(shù)。數(shù)據(jù)采集策略還可以和預(yù)處理計劃相關(guān)聯(lián)。預(yù)處理計劃描述預(yù)期的觀測參數(shù)應(yīng)當(dāng)如何相對于峰值計數(shù)、步驟微調(diào)、高限幅和低限幅界限被處理。
用戶可以從數(shù)據(jù)采集計劃級訪問傳感器配置級。在傳感器配置級，用戶可以安裝、改變和卸載傳感器。此外，用戶可以為傳感器產(chǎn)生、編輯和檢查設(shè)置信息。
如圖5所示，選擇屏幕可以包括標(biāo)題屏，信息屏以及控制屏。例如，標(biāo)題屏可以包括屏幕的最上兩行。標(biāo)題屏可以包括公司標(biāo)識字段，用于顯示版本信息；用戶ID字段，用于顯示當(dāng)前用戶的ID；報警信息字段，用于當(dāng)具有一個現(xiàn)行的報警時顯示消息；當(dāng)前日期和時間字段，用于顯示服務(wù)器的當(dāng)前日期和時間；當(dāng)前屏幕名稱字段，用于顯示當(dāng)前屏幕的名稱(例如工具狀態(tài))；通信狀態(tài)字段，用于顯示在服務(wù)器和工具之間的通信鏈路的當(dāng)前狀態(tài)；工具ID字段，用于顯示正被監(jiān)視的工具的ID；注銷字段，用于允許用戶注銷；和/或屏幕選擇字段可以被選擇，用于察看所有可利用的屏幕列表。在另一個實施例中，標(biāo)題屏可以用不同的語言顯示，并可以具有不同的大小和位置。此外，標(biāo)題屏可被方便地顯示在其它屏幕上，例如圖6-20所示的那些。
控制屏可以包括沿著屏幕底部的按鈕。這些按鈕使用戶能夠顯示主要屏幕。主要屏幕按鈕是工具狀態(tài)、模塊、圖表、報警日志，SPC，數(shù)據(jù)管理器和幫助。
例如，工具狀態(tài)按鈕可用于察看用于特定工具的數(shù)據(jù)。模塊按鈕可用于察看用于特定處理模塊的數(shù)據(jù)。圖表按鈕可用于設(shè)置和察看概要和跟蹤圖表。報警日志按鈕可用于察看當(dāng)前報警列表。SPC按鈕可用于察看SPC圖表上的處理參數(shù)。數(shù)據(jù)管理器按鈕可用于配置數(shù)據(jù)采集計劃，以及幫助按鈕可用于顯示在線幫助文檔。這些按鈕可方便地顯示在其他屏幕上，例如圖6-20所示的那些。這些按鈕提供了使得用戶能夠顯示主要屏幕的一種快速而方便的裝置。在替代的實施例中，這些按鈕可用不同的語言顯示，并且它們的大小和位置可以不同。
圖6是可以從圖5的數(shù)據(jù)采集計劃級訪問的按照本發(fā)明的一個實施例的計劃信息屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了具有選擇標(biāo)記的信息屏。所述選擇標(biāo)記可用于選擇其它的GUI屏幕。或者，可以使用導(dǎo)航樹來顯示和選擇其它的GUI屏幕。
傳感器實例列表可以包括與用于工具ID、模塊ID、和計劃名稱ID的標(biāo)準(zhǔn)匹配的傳感器實例的列表。可以提供一個列表，因為一個傳感器類型可以具有許多傳感器實例。例如，示出了具有呈許多字段的信息的名稱為“DefaultPlan 1”的計劃，但是本發(fā)明不限于此。或者，也可以示出其它的計劃和其它的傳感器。例如，可以使用Langmuir探針，OES探針和其它類型的半導(dǎo)體處理探針。
計劃名稱字段包括數(shù)據(jù)采集計劃的名稱，描述字段可以包括所述數(shù)據(jù)采集計劃的詳細(xì)說明。工具ID字段可以包括供選擇的現(xiàn)有的工具(工具ID)的列表，模塊ID字段可以包括供選擇的現(xiàn)有的處理模塊(模塊ID)的列表。最后使用的日期的日期字段可用于指示這個數(shù)據(jù)采集計劃的最后使用日期。
保存(Save)按鈕可用于將來自該屏幕的數(shù)據(jù)保存到數(shù)據(jù)庫中。撤消(Undo)按鈕可用于在所有字段中填入原始的(缺省的)數(shù)據(jù)。添加(Add)按鈕可用于把一個選擇的傳感器實例從右側(cè)的表添加到左側(cè)的表中。移動(Remove)按鈕可用于把一個選擇的傳感器類型從左側(cè)的表移動到右側(cè)的表?？梢燥@示一個用于確認(rèn)的彈出消息窗口，并且可以對右側(cè)的表向回添加一個項目。
借助于啟動圖7所示的傳感器設(shè)置屏幕，編輯(Edit)按鈕可被用來編輯選擇的傳感器參數(shù)。參數(shù)保存(Param Saving)按鈕可用于啟動圖10所示的參數(shù)保存屏幕。
保存按鈕用于在兩個表中更新/插入數(shù)據(jù)dc計劃表和傳感器dc計劃表。
圖7表示按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器設(shè)置屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了具有選擇標(biāo)記的信息屏。選擇標(biāo)記可用于選擇其它的GUI屏幕?；蛘?，可以使用導(dǎo)航樹用來顯示和選擇其它的GUI屏幕。用戶可以使用傳感器配置屏幕，例如傳感器設(shè)置屏幕，用于察看和編輯和傳感器相關(guān)的參數(shù)。作為一個例子，示出了兩個參數(shù)，但是本發(fā)明不限于此。傳感器可以具有任何數(shù)量的與其相關(guān)的參數(shù)。
屏幕上可以示出用于所選擇的傳感器的設(shè)置項目的列表。編輯按鈕可用于顯示如圖8所示的傳感器設(shè)置項目屏幕。這個屏幕使得用戶能夠根據(jù)所選的值類型(value_type)修改所選的參數(shù)。
傳感器設(shè)置屏幕包括項目名稱字段，項目值字段，描述字段和可用于控制對數(shù)據(jù)的訪問的IS_Optional字段。例如，如果IS_Optional變量的值為真，則用戶可以選擇用于這個數(shù)據(jù)采集的參數(shù)。
圖8是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器設(shè)置項目屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了具有選擇標(biāo)記的信息屏。所述選擇標(biāo)記可用于選擇其它的GUI屏幕。或者，可以使用導(dǎo)航樹來顯示和選擇其它的GUI屏幕。用戶可以使用傳感器配置屏幕，例如傳感器設(shè)置項目屏幕來配置傳感器的參數(shù)。作為一個例子，示出了用于“操作頻率”參數(shù)的信息。不過本發(fā)明不限于此，傳感器可以具有與其相關(guān)的任何數(shù)量的參數(shù)。
該屏幕可以包括作為標(biāo)題被顯示的名稱字段，以及用于對用戶提供指令和/或幫助消息的說明/指令/幫助字段。傳感器設(shè)置項目屏幕還可以包括用于提供值的若干個字段。例如，可以使用缺省值字段，插入值字段，最小限制字段，最大限制字段和所選項目字段。
保存按鈕可用于把該屏幕的數(shù)據(jù)保存在數(shù)據(jù)庫中。撤消按鈕可用于在所有字段中填入原始的(缺省的)數(shù)據(jù)。添加按鈕可用于把一個選擇的傳感器實例從右側(cè)的表添加到左側(cè)的表中。移動按鈕可用于把一個選擇的傳感器類型從左側(cè)的表移動到右側(cè)的表?？梢燥@示一個用于確認(rèn)的彈出消息窗口，并且可以對右側(cè)的表向回添加一個項目。
傳感器設(shè)置項目屏幕提供一種容易使用的裝置，用于配置傳感器和/或改變和傳感器相關(guān)的參數(shù)。所示的例子表示，可以對用戶提供特定傳感器的詳細(xì)的說明。詳細(xì)的描述性消息可以對用戶提供安全的感覺，并且防止錯誤。例如，可以向用戶提供缺省值、最小限制值和最大限制值，并提供使得用戶能夠保存和編輯一些項目的按鈕。用于所選擇的參數(shù)的傳感器設(shè)置項目(編輯)屏幕和所選擇的參數(shù)的值類型有關(guān)，對于示例的屏幕，值類型可以作為選擇。
當(dāng)在模塊上安裝新的傳感器或改變現(xiàn)有的傳感器時，APC系統(tǒng)和傳感器安裝應(yīng)用程序使一個模塊離線。例如，和任何一個傳感器相關(guān)的電纜(RS232，以太網(wǎng)，光纖等)可被斷開和被重新連接；傳感器的網(wǎng)絡(luò)地址可被改變；傳感器設(shè)置可被配置；傳感器可被測試，包括手動地設(shè)置傳感器，(即，手動地啟動傳感器，實時地監(jiān)視傳感器數(shù)據(jù)，停止所述傳感器，保存作為一個文件采集的傳感器數(shù)據(jù)，以及作為一個文件保存?zhèn)鞲衅髟O(shè)置)，而不中斷其它模塊的運行。
圖9是按照本發(fā)明的一個實施例的參數(shù)保存屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了一個具有選擇標(biāo)記的信息屏。所述選擇標(biāo)記可用于選擇GUI屏幕。或者，可以使用導(dǎo)航樹顯示和選擇其它的GUI屏幕。用戶可以使用傳感器配置屏幕，例如參數(shù)保存屏幕，以便確定要在數(shù)據(jù)庫中保存的傳感器參數(shù)。
參數(shù)保存屏幕顯示在選擇的數(shù)據(jù)采集計劃中的所選傳感器實例的參數(shù)列表。數(shù)據(jù)庫保存計劃可以被提供至參數(shù)保存屏幕中的每個參數(shù)的連接。
參數(shù)保存屏幕可以包括用于所選的傳感器的項目表，包括所選傳感器的設(shè)置項目的名稱。參數(shù)保存屏幕還可以包括用于選通屏的編輯按鈕；可用于添加具有特定公式的新的參數(shù)名稱的添加按鈕；以及概要信息(Summary info)按鈕。所述概要信息按鈕可用于選擇供保存的參數(shù)以及啟動圖10所示的屏幕。撤消按鈕可用于利用原始值填充所有的字段，保存按鈕可用于在運行值(run_value)表中保存選擇的復(fù)選框。列表的項目包括項目名稱，新的項目名稱，公式和保存選擇復(fù)選框。
圖10是按照本發(fā)明的一個實施例的公式信息屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了一個基具有選擇標(biāo)記的信息屏。公式信息屏可以對所選的與傳感器相關(guān)的參數(shù)提供公式編輯器。
例如，用戶可以對于在新參數(shù)名稱字段中現(xiàn)存的參數(shù)分配一個新的參數(shù)名。參數(shù)名稱字段顯示原始的參數(shù)名。保存的計劃參數(shù)字段可以包括在選擇的數(shù)據(jù)采集計劃中的參數(shù)列表。添加按鈕可用于在公式描述字段中添加來自向下移動框所的選擇的保存的計劃參數(shù)。保存按鈕可用于把信息保存到運行值表中。軟件進(jìn)行公式檢查并確定所分配的參數(shù)名是否是唯一的。撤消按鈕可用于撤消所述的改變。保存復(fù)選框可用于選擇用于數(shù)據(jù)采集計劃的參數(shù)，并啟動圖11所示的屏幕。
圖11是按照本發(fā)明的一個實施例的參數(shù)采集信息屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了一個具有選擇標(biāo)記的信息屏。參數(shù)采集信息屏幕用于對所選擇的與傳感器相關(guān)的參數(shù)提供用于編輯概要的數(shù)據(jù)采集信息的裝置。
例如，參數(shù)采集信息屏幕可以包括用于顯示選擇的參數(shù)名的名稱字段。新(New)按鈕用于選通右側(cè)字段用于輸入；編輯按鈕可用于在右側(cè)字段中填入值。設(shè)置點、百分?jǐn)?shù)以及絕對復(fù)選框用于對于數(shù)據(jù)采集計劃中的參數(shù)選擇這些數(shù)據(jù)采集類型中的一個。門限、低峰值、高峰值和限幅復(fù)選框用于選擇一個或多個這些數(shù)據(jù)預(yù)處理項目，以用于啟動相應(yīng)的文本字段。保存按鈕可用于在參數(shù)限制表中保存來自右側(cè)字段的信息。撤消按鈕可用于撤消所作的改變。
圖12是按照本發(fā)明的一個實施例的屏幕選擇屏幕的示例圖。屏幕選擇屏幕提供用于訪問與傳感器相關(guān)的安裝和配置屏幕的裝置。
例如，屏幕選擇GUI屏幕可以包括組菜單，其包括下述的按鈕狀態(tài)圖表，日志，配置，主菜單和運行時間設(shè)置。此外，屏幕選擇GUI屏幕可以包括當(dāng)選擇配置按鈕時出現(xiàn)的項目菜單。配置項目菜單可以包括配置項目按鈕，例如系統(tǒng)，傳感器類型，模塊，傳感器實例，模塊暫停，報警，屬性，接受者和Msg內(nèi)容。當(dāng)用戶點擊一個項目菜單按鈕時，可以對用戶呈現(xiàn)一組特定的GUI?？墒沟每捎玫捻椖坎藛伟粹o比不能利用的項目菜單按鈕的外觀更亮?？梢允褂冒踩猿绦蚝陀脩舻燃?，以便阻止由沒有資格的人員進(jìn)行未被授權(quán)的改變。
當(dāng)用戶決定把傳感器轉(zhuǎn)換到最近的模塊或者甚至從一個蝕刻工具轉(zhuǎn)換到另一個蝕刻工具時，用戶可以啟動配置改變程序。例如，可以在客戶的工作站使用系統(tǒng)配置屏幕首先進(jìn)行配置改變。在進(jìn)行所有所需的改變之后，用戶可以停止并下載所述的配置，遠(yuǎn)程地重新置控制器，或者在線接受所述的改變，視情況而定。在配置改變被確定之后，可以啟動無源數(shù)據(jù)采集、模擬和測試的整個新的周期。
圖13是通過圖12的傳感器類型按鈕訪問的按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器類型選擇屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了具有選擇標(biāo)記的信息屏。選擇標(biāo)記可用于選擇其它的GUI屏幕?；蛘撸梢允褂脤?dǎo)航樹來顯示和選擇其它的GUI屏幕。
用戶可以使用傳感器配置屏幕，例如傳感器類型選擇屏幕，用于當(dāng)研發(fā)新的傳感器接口時或者當(dāng)新的處理工具、處理模塊或傳感器需要配置時產(chǎn)生新的傳感器類型。APC系統(tǒng)可以包括由APC軟件支持的傳感器類型的預(yù)先定義的列表。例如，在安裝之后在開始運行處理設(shè)備之前或者當(dāng)從工廠發(fā)送重新配置的實例時，可以在用戶所在地進(jìn)行改變。
在安裝時或者在添加新的傳感器類型時可以進(jìn)行傳感器類型配置。只有有資格的用戶才能進(jìn)行這個操作；其涉及在后來當(dāng)產(chǎn)生一個傳感器實例時或者當(dāng)在數(shù)據(jù)采集計劃中在運行時間配置一個傳感器實例時要被使用的所有輸入和輸出參數(shù)的完整的定義。在這個設(shè)置步驟中產(chǎn)生的參數(shù)可以在以后在傳感器實例配置中和在數(shù)據(jù)采集計劃中作為用于保存和設(shè)置的參數(shù)來顯示。
當(dāng)用戶產(chǎn)生一個新的傳感器類型時，可以使用靜態(tài)變量或動態(tài)變量。例如，變量名可以是“參數(shù)”，并且其可以包含可以為數(shù)據(jù)采集計劃保存的變量名的列表。這個處理可以對每個傳感器類型進(jìn)行，并且當(dāng)傳感器被定義之后可以在一個表中具有已安裝的或者可利用的傳感器的表。傳感器可以被列表而不被使用(即，傳感器的預(yù)配置列表，而沒有被定義為作為實例被安裝)。
例如，一個傳感器配置屏幕，如圖13所示的傳感器類型選擇屏幕，可以包括若干個按鈕。所述按鈕可以包括新按鈕，編輯按鈕，察看按鈕，另存為按鈕和刪除按鈕。此外，該屏幕可以包括一個傳感器類型列表。作為一個例子，示出了一個電壓/電流探針(VIP)，示出了一個端點傳感器，并示出了一個模擬探針?；蛘撸梢允境銎渌暮?或附加的探針，其中可以包括Langmuir探針，OES探針，并且可以使用其它類型的半導(dǎo)體處理探針。
使用新按鈕，用戶可以產(chǎn)生新傳感器類型并顯示傳感器信息屏幕。使用編輯按鈕，用戶可以選擇現(xiàn)有的傳感器，并顯示傳感器信息屏幕，以便修改用于那個傳感器的相關(guān)參數(shù)。使用察看按鈕，用戶可以通過顯示傳感器信息屏幕察看傳感器定義。例如，可以使用圖14所示的傳感器信息屏幕。使用另存為按鈕，用戶可以根據(jù)現(xiàn)有的傳感器類型產(chǎn)生一個新的傳感器類型。使用刪除按鈕，用戶可以清除選擇的傳感器類型。當(dāng)用戶產(chǎn)生一個新的傳感器類型時必須產(chǎn)生一個幫助文件，因此用戶可輸入用于那個幫助文件URL(例如gui_sensor_help.html)。
傳感器類型可以是相應(yīng)于傳感器的功能的一個一般的術(shù)語。傳感器實例使傳感器類型與在處理模塊(室)和工具上的特定傳感器配對。對于和一個工具連附的每個物理傳感器，配置至少一個傳感器實例。
傳感器類型可包括為在運行時間設(shè)置一個特定傳感器類型所需的所有變量。這些變量可以是靜態(tài)的(即，所有這種類型的傳感器具有相同的值)，其可以通過實例來配置(即，傳感器類型的每個實例可以具有一個唯一的值)，或者是可以通過數(shù)據(jù)采集計劃配置的(即，在運行時間每當(dāng)傳感器被啟動，其可被給予一個不同的值)。例如，“通過實例可配置的”變量可以是探針I(yè)P地址。這個地址通過實例改變(對于每個處理室)，但是從運行到運行不改變。“通過數(shù)據(jù)采集計劃”配置的變量對于探針可以是一個諧波頻率列表。這種傳感器可以是動態(tài)的，基于環(huán)境信息的處理可以配置這些變量。例如，處理環(huán)境信息可以包括工具ID，模塊ID，槽ID，制法ID，盒ID，開始時間和結(jié)束時間。
圖14是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器信息屏幕的示例圖?？梢允褂脗鞲衅髋渲闷聊焕鐐鞲衅餍畔⑵聊粊懋a(chǎn)生、編輯、察看和刪除與一個傳感器相關(guān)的參數(shù)。
例如，傳感器信息屏幕可以包括若干個字段，其中包括傳感器類型字段，參數(shù)名字段，值類型字段，數(shù)值最小字段，數(shù)值最大字段IS_Optional字段，IS_Invisible字段，IS-Per-Instance字段，IS_Computed字段，提示，描述字段，缺省值字段和值數(shù)據(jù)字段。傳感器類型字段可用于識別正在被顯示的傳感器的類型。參數(shù)名字段可用于提供參數(shù)說明。值類型字段可用于識別傳感器實例是靜態(tài)的不是動態(tài)的。當(dāng)需要時，可以向用戶提供一個彈出窗口用于這些字段的更多的鍵入空間。作為一個例子，示出了若干個電壓/電流探針，不過本發(fā)明不限于此?；蛘撸梢允境銎渌膫鞲衅黝愋?，例如Langmuir探針，OES探針和其它類型的半導(dǎo)體處理探針。
傳感器信息屏幕可以包括若干個按鈕。例如，所述按鈕可以包括新參數(shù)按鈕，編輯參數(shù)按鈕，察看按鈕，另存為按鈕，刪除參數(shù)按鈕，保存?zhèn)鞲衅靼粹o和撤消按鈕。此外，該屏幕可以包括傳感器參數(shù)表，其可以包括和一個特定的傳感器類型相關(guān)的參數(shù)的列表。
新參數(shù)按鈕可用于產(chǎn)生用于傳感器的新的參數(shù)并啟動如圖15所示的傳感器參數(shù)屏幕。編輯參數(shù)按鈕允許用戶修改選擇的參數(shù)。另存為按鈕可用于復(fù)制和一個新的和/或被編輯的參數(shù)相關(guān)的信息。刪除參數(shù)按鈕可用于刪除選擇的參數(shù)。
當(dāng)用戶選擇幫助URL字段時，在屏幕的頂部顯示一個附加的文本區(qū)域屏。用戶輸入一個幫助項目，并且可以向用戶提供一個幫助屏幕。以幾種不同的語言來提供幫助屏幕。
圖15是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器參數(shù)屏幕的示例圖。一個傳感器配置屏幕例如傳感器參數(shù)屏幕可以包括可用于定義一個傳感器的多個信息項目。
例如，傳感器參數(shù)屏幕可以包括多個射頻按鈕?？梢蕴峁┒鄠€射頻按鈕以用于選擇一個傳感器參數(shù)的值類型。一個射頻按鈕可用于定義用于這個傳感器參數(shù)的值類型是靜態(tài)的(即，每個傳感器類型一個)。一次/實例按鈕可用于定義這個傳感器參數(shù)的值類型為作為一個實例發(fā)生的值類型，例如名稱和地址。隨DC計劃可改變的按鈕可用于定義這個傳感器參數(shù)的值類型為動態(tài)的(即，每次用戶產(chǎn)生一個傳感器的新的實例時該值可被改變)。
傳感器參數(shù)屏幕還可以包括多個參數(shù)定義字段。名稱字段可用于傳感器參數(shù)名；描述字段可用于參數(shù)描述；值類型字段可以包括參數(shù)類型列表(即，無，浮點，整數(shù)，IP地址，路徑名，選擇，串)。值數(shù)據(jù)字段可用作文本字段，用于提供該參數(shù)的輸入數(shù)據(jù)。提示字段可用于提供該該參數(shù)的簡短描述，其在DC計劃的配置和/或編輯期間可以向用戶顯示。靜態(tài)值字段可用于顯示該參數(shù)的初始值。
最小選擇字段可以提供該參數(shù)的最小值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最小數(shù)量的選擇。最大選擇字段提供該參數(shù)的最大值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最大數(shù)量的選擇。Is_Computed字段可用于確定該參數(shù)是否是從系統(tǒng)采集的數(shù)據(jù)。Is_Optional字段用于確定該參數(shù)是否是對于該傳感器任選的。Is_Visibe字段用于確定該參數(shù)是否在DC計劃的配置和/或編輯期間可由用戶看到。
插入值字段可用于允許用戶鍵入一個值。添加按鈕可用于從文本字段向文本字段下方的表填入數(shù)據(jù)。刪除按鈕可用于從表中刪除選擇的項目。上移和下移按鈕允許用戶在表中重新定位選擇的項目。如果用戶已經(jīng)選擇了靜態(tài)類型，保存按鈕可用于把整個表保存在靜態(tài)值字段中，如果用戶已經(jīng)選擇了選擇類型，則把整個表保存在值數(shù)據(jù)字段中。全部清除按鈕可用于刪除整個表。
在底部的保存按鈕用于把數(shù)據(jù)保存在數(shù)據(jù)庫中的傳感器參數(shù)配置表中。撤消按鈕用于重新顯示在所有字段中保存的數(shù)據(jù)。
在傳感器類型被產(chǎn)生之后，有資格的用戶可以產(chǎn)生傳感器類型的實例。為此，用戶可以選擇在例如圖12所示的鏈接屏幕上的傳感器實例按鈕。
圖16是按照本發(fā)明的一個實施例的另一個傳感器參數(shù)屏幕的示例圖。傳感器參數(shù)屏幕包括用于定義一次/實例傳感器的傳感器變量字段。一次/實例按鈕可用于定義作為一個單獨的實例例如名稱和地址而發(fā)生的參數(shù)的值類型。
例如，“一次/實例”屏幕還可以包括若干個參數(shù)定義字段。名稱字段可用于傳感器參數(shù)名；描述字段可用于參數(shù)說明；值類型字段可以包括參數(shù)類型表(即，無，浮點，整數(shù)，IP地址，路徑名，選擇，以及串)。值數(shù)據(jù)字段可用作文本字段，用于對該參數(shù)提供輸入數(shù)據(jù)。提示字段可用于提供對該參數(shù)的簡短描述，其在DC計劃的配置和/或編輯期間可以向用戶顯示。缺省值字段可用于顯示用于該參數(shù)的初始值。
最小選擇字段可以提供用于該參數(shù)的最小值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最小數(shù)量的選擇。最大選擇字段提供該參數(shù)的最大值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最大數(shù)量的選擇。Is_Computed字段可用于確定該參數(shù)是否是從系統(tǒng)采集的數(shù)據(jù)。Is_Optional字段用于確定該參數(shù)是否是對于該傳感器可任選的。Is_Visible字段用于確定該參數(shù)是否在DC計劃的配置和/或編輯期間可由用戶看到。對于這些字段可以提供下拉式列表。
插入值字段可用于允許用戶鍵入一個值。添加按鈕可用于從文本字段向文本字段下方的表添加數(shù)據(jù)。刪除按鈕可用于從表中刪除選擇的項目。上移和下移按鈕允許用戶在表中重新定位選擇的項目。如果用戶已經(jīng)選擇了類型，保存按鈕可用于把整個表保存在值字段中，如果用戶已經(jīng)選擇了選擇類型，則把整個表保存在值數(shù)據(jù)字段中。全部清除按鈕可用于刪除整個表。在底部的保存按鈕用于把數(shù)據(jù)保存在數(shù)據(jù)庫中的傳感器參數(shù)配置表中。撤消按鈕用于重新顯示在所有字段中保存的數(shù)據(jù)。
在傳感器類型被產(chǎn)生之后，有資格的用戶可以產(chǎn)生傳感器類型的實例。為此，用戶可以選擇在例如圖12所示的鏈接屏幕上的傳感器實例按鈕。
圖17是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器參數(shù)屏幕的示例圖。動態(tài)傳感器配置屏幕例如傳感器參數(shù)屏幕可以包括可被用于定義動態(tài)傳感器的多個信息項目。
例如，傳感器參數(shù)屏幕可以包括多個射頻按鈕?？梢蕴峁┒鄠€射頻按鈕以用于選擇傳感器參數(shù)的值類型。靜態(tài)射頻按鈕可用于定義這個傳感器參數(shù)的值類型為靜態(tài)的(即，每個傳感器類型一個)。一次/實例按鈕可用于定義這個傳感器參數(shù)的值類型為作為單個實例發(fā)生的值類型，例如名稱和地址。隨DC計劃可改變的按鈕可用于定義這個傳感器參數(shù)的值類型為動態(tài)的(即，每次用戶產(chǎn)生一個傳感器的新的實例時該值可被改變)。
傳感器參數(shù)屏幕還可以包括若干個參數(shù)定義字段。名稱字段可用于傳感器參數(shù)名；描述字段可用于參數(shù)描述；值類型字段可以包括參數(shù)類型表(即，無，浮點，整數(shù)，IP地址，路徑名，選擇和串)。值數(shù)據(jù)字段可用作文本字段，用于為該參數(shù)提供輸入數(shù)據(jù)。提示字段可用于提供該參數(shù)的簡短描述，其在DC計劃的配置和/或編輯期間可以向用戶顯示。缺省值字段可用于顯示該參數(shù)的初始值。
最小選擇字段可以提供該參數(shù)的最小值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最小數(shù)量的選擇。最大選擇字段提供該參數(shù)的最大值，或者當(dāng)用戶選擇選擇值類型時提供用于選擇類型的最大數(shù)量的選擇。Is_Computed字段可用于確定該參數(shù)是否是從系統(tǒng)采集的數(shù)據(jù)。Is_Optional字段用于確定該參數(shù)是否是對于該傳感器可任選的。Is_Visible字段用于確定該參數(shù)是否在DC計劃的配置和/或編輯期間可由用戶看到。
插入值字段可用于允許用戶鍵入一個值。添加按鈕可用于從文本字段向文本字段下方的表添加數(shù)據(jù)。刪除按鈕可用于從該表中刪除選擇的項目。上移和下移按鈕允許用戶在表中重新定位選擇的項目。如果用戶已經(jīng)選擇了靜態(tài)類型，保存按鈕可用于把整個表保存在靜態(tài)值字段中，以及，如果用戶已經(jīng)選擇了選擇類型，則把整個表保存在值數(shù)據(jù)字段中。全部清除按鈕可用于刪除整個表。
在底部的保存按鈕用于把數(shù)據(jù)保存在數(shù)據(jù)庫中的傳感器參數(shù)配置表中。撤消按鈕用于重新顯示在所有字段中保存的數(shù)據(jù)。
在傳感器類型被產(chǎn)生之后，有資格的用戶可以產(chǎn)生傳感器類型的實例。
圖18是按照本發(fā)明的一個實施例的傳感器安裝屏幕的示例圖。傳感器安裝屏幕，例如傳感器列表屏幕，可以包括可用于安裝或卸載傳感器的多個信息項目。
例如，傳感器安裝屏幕可以包括若干個按鈕，其中可以包括新按鈕，編輯按鈕，察看按鈕，另存為按鈕和刪除按鈕。此外，該屏幕可以包括一個傳感器表，其可以包括已安裝的傳感器和所述傳感器的狀態(tài)的列表。例如，示出了一個電壓/電流探針(VIP)，示出了一個端點傳感器，并示出了一個模擬探針。或者，可以示出其它的和/或附加的探針。例如，可以使用Langmuir探針。
使用傳感器安裝屏幕，有資格的用戶可以安裝用于處理系統(tǒng)的傳感器。例如，用戶可以是安裝工程師或者是用戶工具擁有者。傳感器安裝屏幕GUI屏幕可以在APC系統(tǒng)安裝期間被使用，或者當(dāng)增加傳感器時、當(dāng)處理室被改變時、當(dāng)工具被改變時或當(dāng)軟件被升級時被使用。
如圖18所示，傳感器信息可被列于一個表中。Is_Enabled欄可用于提供在表中所列的傳感器實例的當(dāng)前狀態(tài)。傳感器類型欄可用于提供傳感器實例的名稱。工具ID欄可以提供和傳感器實例相關(guān)的工具名稱，模塊ID欄可以提供模塊信息。
使用所述新按鈕，用戶可以產(chǎn)生傳感器類型的新的實例。使用編輯按鈕，用戶可以編輯在表中選擇的行。此外，用戶可以使用新按鈕或編輯按鈕來啟動如圖19所示的另一個傳感器安裝屏幕。此外，使用另存為按鈕，用戶可以對一個選擇的傳感器類型提供一個實例ID(即和那個傳感器實例相關(guān)的信息可被復(fù)制到數(shù)據(jù)庫中)。使用刪除按鈕，用戶可以從表和數(shù)據(jù)庫中刪除選擇的行。
例如，傳感器實例可被存儲在傳感器表中。該傳感器實例可用于得到傳感器ID。此外，可以使用數(shù)據(jù)記錄器應(yīng)用程序支持傳感器實例，并且可以使用傳感器ID確定其支持的傳感器類型。數(shù)據(jù)記錄器應(yīng)用程序可以打開傳感器表的預(yù)約，以便查找相關(guān)的傳感器類型和is_enabled＝1信息。一旦傳感器實例被發(fā)現(xiàn)，一個傳感器記錄器等級的新的實例便可被例示，其中利用傳感器ID作為一個參數(shù)。
圖19是按照本發(fā)明的一個實施例另一個傳感器安裝屏幕的示例圖。傳感器安裝屏幕，例如傳感器信息屏幕，可以包括可用于安裝或卸下傳感器的若干個信息項目。
例如，傳感器信息屏幕可以包括傳感器類型字段，其可以包括下拉的組合框，其含有利用“‖”作為分隔符的兩個字段。這兩個字段可以是傳感器類型和說明。工具ID字段可以包括下拉組合框，其含有可利用的工具ID的列表。室ID字段可以包括下拉的組合框，其含有可利用的室ID的列表。Is_Enabled的復(fù)選框可用于允許用戶選擇這個傳感器。
保存實例按鈕可用于保存安裝的傳感器的信息，其中包括傳感器類型、工具ID、室ID、以及與傳感器相關(guān)的參數(shù)信息的用戶的安裝選擇。如果用戶處于編輯模式，撤消按鈕可用于顯示在所有字段中的原始數(shù)據(jù)。傳感器配置幫助按鈕啟動另一個瀏覽器，其允許用戶察看對于該傳感器的幫助環(huán)境。
可以使用每個實例的參數(shù)表來顯示每個實例的所有參數(shù)，包括傳感器類型，參數(shù)名，參數(shù)值，描述和缺省值。編輯按鈕允許有資格的用戶修改選擇的參數(shù)，并顯示如圖20所示的傳感器設(shè)置項目信息屏幕。
圖20是按照本發(fā)明的一個實施例的另一個傳感器安裝屏幕的例圖。用戶可以使用傳感器安裝屏幕，例如傳感器設(shè)置項目信息屏幕來編輯傳感器參數(shù)。
例如，傳感器設(shè)置項目信息屏幕可以包括參數(shù)名字段，其中的參數(shù)名可以是基于在傳感器信息屏幕(圖19)上的選擇的變量。描述字段可用于顯示所選參數(shù)的簡短的描述。可以包括數(shù)據(jù)項字段的列表，并且對于一個選擇的參數(shù)，所述列表顯示來自值-數(shù)據(jù)欄的值的列表。添加按鈕可用于把從左側(cè)的表選擇的的項添加到右側(cè)的表中。移動按鈕可用于把選擇的項從選擇的數(shù)據(jù)表移動到左側(cè)的表。保存按鈕可用于把來自右側(cè)表的值保存到數(shù)據(jù)庫中。撤消按鈕可用于顯示原始數(shù)據(jù)。
圖21是按照本發(fā)明的一個實施例另一個選擇屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了具有工具級、模塊子級和傳感器子級的導(dǎo)航樹。不過本發(fā)明不限于此，可以使用任何數(shù)量的子級?；蛘?，可以使用其它的選擇裝置例如選擇標(biāo)記或按鈕。例如，選擇標(biāo)記可以包括左-右標(biāo)簽、右-左標(biāo)簽、頂-底標(biāo)簽和底-頂標(biāo)簽。在另一個實施例中，可以用不同的語言顯示導(dǎo)航樹，并且可以被不同地排序和定位。
所示的第一級是工具級，不過本發(fā)明不限于此?；蛘撸梢允境鱿到y(tǒng)級或其它較高級的組。例如，工具級可以和蝕刻工具、淀積工具、清潔工具、轉(zhuǎn)印工具或其它半導(dǎo)體處理工具相關(guān)。
所示的下一級是處理模塊級。用戶可以打開工具級文件夾，以便顯示處理模塊級的狀態(tài)。例如，圖21表示標(biāo)號為“Tel 47”的一個打開的工具級文件夾，標(biāo)號為“PM01”的一個打開的處理模塊級文件夾，以及7個傳感器項。這些是和第一處理模塊相關(guān)的傳感器實例。用戶可以打開傳感器項，以便顯示特定的傳感器的細(xì)節(jié)。
如圖21所示，選擇屏幕可以包括導(dǎo)航屏、信息屏和狀態(tài)屏。例如，導(dǎo)航屏可以包括屏幕的頂部的兩行。導(dǎo)航屏可以包括公司標(biāo)志字段，用于顯示版本信息，以及允許用戶提交選擇、編輯選擇、察看選擇和配置選擇的導(dǎo)航項。狀態(tài)屏可用于顯示當(dāng)前用戶的ID；用于顯示關(guān)于當(dāng)前狀態(tài)的消息的狀態(tài)消息字段；用于顯示服務(wù)器的當(dāng)前日期和時間的當(dāng)前日期和時間字段；和/或用于顯示正在被監(jiān)視的工具的ID的工具ID字段。
信息屏可用于察看用于特定工具、模塊、傳感器、計劃、策略和/或圖表的數(shù)據(jù)。導(dǎo)航項和下拉列表可用于改變在該屏幕的信息屏部分中顯示的各項。
圖22是按照本發(fā)明的一個實施例的另一個配置屏幕的示例圖。在所示的實施例中，示出了模塊實例配置編輯器屏幕，其可用于產(chǎn)生、編輯和刪除處理模塊。
圖23A，23B是按照本發(fā)明的一個實施例的附加的配置屏幕的示例圖。在圖23A所示的實施例中，示出了一個可用于產(chǎn)生、編輯和刪除內(nèi)部傳感器的傳感器實例配置編輯器屏幕。在圖23B所示的實施例中，示出了可用于產(chǎn)生、編輯和刪除外部傳感器的傳感器實例配置編輯器屏幕。
圖24-27是按照本發(fā)明的一個實施例的其它的配置屏幕的示例圖。在圖24所示的實施例中，示出了一個可用于產(chǎn)生、編輯和刪除工具、處理模塊、和/或傳感器的配置屏幕。在圖25所示的實施例中，示出了可用于產(chǎn)生、編輯和刪除由系統(tǒng)自動配置的參數(shù)的“自動配置”屏幕。在圖26所示的實施例中，示出了可用于產(chǎn)生、編輯和刪除自動配置參數(shù)的自動配置參數(shù)編輯器屏幕。在圖27所示的實施例中，示出了可用于產(chǎn)生自動配置參數(shù)的自動配置添加功能屏幕。例如，當(dāng)系統(tǒng)、工具、模塊和/或傳感器被初始設(shè)置或再配置時，APC系統(tǒng)可以進(jìn)行自動配置。
和傳感器相關(guān)的應(yīng)用程序是靈活的和可配置的。例如，與用戶相關(guān)的信息例如IP地址、工具ID等可以是系統(tǒng)變量，并且在用戶或現(xiàn)場工程師配置設(shè)置之后，可以在下一次啟動時使用該信息。傳感器應(yīng)用程序可以在幾個不同的操作系統(tǒng)下操作，例如Windows NT和Windows 2000。
功能按鈕可以沿著GUI屏幕的底部和/或頂部設(shè)置。因為在許多屏幕上顯示相同的功能按鈕，所以用戶可以從任何屏幕導(dǎo)航到任何功能而不必跨過一系列的菜單?？梢栽跇?biāo)題屏上顯示注銷按鈕，用于系統(tǒng)的注銷。當(dāng)數(shù)據(jù)已被修改但未保存時，可以提供提配信息。此外，可以顯示幫助按鈕，可用于觀看內(nèi)容特定的和一般的文件，以便幫助用戶理解正向用戶呈現(xiàn)的數(shù)據(jù)和/或正由用戶請求的數(shù)據(jù)。
按照上面的教導(dǎo)，本發(fā)明可以具有許多改變和改型。因此，應(yīng)當(dāng)理解，在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，本發(fā)明可以用不同于本說明書中所述的方式來實施。
權(quán)利要求
1.一種使用圖形用戶接口(GUI)配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的多個傳感器的方法，所述方法包括訪問系統(tǒng)配置GUI屏幕；選擇一個配置選項；選擇傳感器類型選項；以及使用傳感器類型列表屏幕、傳感器信息屏幕和傳感器參數(shù)屏幕中的至少一個來產(chǎn)生用于每個傳感器的傳感器類型。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕選擇傳感器類型；使用傳感器信息GUI屏幕確定和所述傳感器類型相關(guān)的多個參數(shù)；以及使用傳感器參數(shù)GUI屏幕確定用于每個參數(shù)的值類型。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕為傳感器創(chuàng)建新的傳感器類型；使用包括下列傳感器參數(shù)中的至少兩個傳感器參數(shù)來定義新的傳感器類型傳感器類型，參數(shù)名稱，值類型，數(shù)值最小，數(shù)值最大，IS_Optional，IS_Invisible，IS-Per-Instance，IS_Computed，提示，描述，缺省值，以及值數(shù)據(jù)；以及保存所述新的傳感器類型。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中的值類型包括靜態(tài)值類型，一次/實例值類型，和隨DC計劃可變的值類型之一。
5.如權(quán)利要求2所述的方法，還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕來編輯現(xiàn)有的傳感器類型；通過改變下述參數(shù)中的至少一個來定義被編輯的傳感器類型傳感器類型，參數(shù)名稱，值類型，數(shù)值最小，數(shù)值最大，Is_Optional，Is_Invisible，Is-Per-Instance，Is_Computed，提示，描述，缺省值，以及值數(shù)據(jù)；以及保存被編輯的傳感器類型。
6.如權(quán)利要求2所述的方法，還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕選擇現(xiàn)有的傳感器類型；以及刪除所選擇的傳感器類型。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括從項目菜單中選擇傳感器實例選項；以及使用傳感器列表GUI屏幕，傳感器信息GUI屏幕和傳感器設(shè)置項信息GUI屏幕中的至少一個來配置用于每個傳感器的傳感器實例。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，還包括使用傳感器列表GUI屏幕產(chǎn)生半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的新的傳感器實例；使用包括下列傳感器參數(shù)中的至少兩個傳感器參數(shù)來定義新的傳感器類型傳感器類型，工具ID，模塊ID，參數(shù)名稱，參數(shù)值，值類型，缺省值，數(shù)值最小，數(shù)值最大，描述和is_enabled；以及保存新的傳感器實例。
9.如權(quán)利要求7所述的方法，還包括使用傳感器列表GUI屏幕來編輯半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中現(xiàn)有的傳感器實例；通過改變以下參數(shù)中的至少一個來定義被編輯的傳感器實例傳感器類型傳感器類型，工具ID，模塊ID，參數(shù)名稱，參數(shù)值，值類型，缺省值，數(shù)值最小，數(shù)值最大，描述，和is_enabled；以及保存被編輯的傳感器實例。
10.如權(quán)利要求7所述的方法，還包括定義傳感器設(shè)置計劃；以及執(zhí)行所述傳感器設(shè)置計劃，以便設(shè)置每個傳感器。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，還包括在計劃GUI屏幕上從傳感器實例的列表中選擇一個傳感器實例；以及向為該計劃列表選擇的實例添加所選擇的傳感器實例。
12.如權(quán)利要求10所述的方法，還包括從計劃GUI屏幕上用于該計劃列表的選擇的實例中選擇傳感器實例；以及把從用于該計劃列表的選擇的實例中選擇的傳感器實例移動到傳感器實例列表的列表中。
13.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括至少一個屏幕，該屏幕含有來自由下述標(biāo)記構(gòu)成的組中的標(biāo)記左-右標(biāo)記、右-左標(biāo)記、頂-底標(biāo)記和底-頂標(biāo)記。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括從由下述多級導(dǎo)航樹構(gòu)成的組中選擇的至少一個多級導(dǎo)航樹英語多級導(dǎo)航樹，日語多級導(dǎo)航樹，臺灣語多級導(dǎo)航樹，漢語多級導(dǎo)航樹，朝鮮語多級導(dǎo)航樹，德語多級導(dǎo)航樹，和法語多級導(dǎo)航樹。
15.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，至少一個GUI屏幕包括標(biāo)題屏，信息屏和控制屏。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述標(biāo)題屏包括公司標(biāo)識塊，用于顯示版本信息；用戶ID塊，用于顯示當(dāng)前用戶的ID；報警消息塊，用于當(dāng)具有一個現(xiàn)行的報警時顯示報警消息；當(dāng)前日期和時間塊，用于顯示服務(wù)器的當(dāng)前日期和時間；當(dāng)前屏幕名稱塊，用于顯示當(dāng)前屏幕的名稱；通信狀態(tài)塊，用于顯示服務(wù)器和工具之間的通信鏈路的當(dāng)前狀態(tài)；工具ID塊，用于顯示正在被監(jiān)視的工具的ID；注銷塊，用于允許用戶注銷；以及屏幕選擇塊，用于瀏覽所有可利用的屏幕的列表。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述控制屏包括工具狀態(tài)按鈕，室按鈕，圖表按鈕，報警按鈕，SPC按鈕，控制設(shè)置按鈕和幫助按鈕。
18.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述GUI包括英語屏幕、日語屏幕、臺灣語屏幕、漢語屏幕、朝鮮語屏幕、德語屏幕和法語屏幕中的至少一個屏幕。
19.如權(quán)利要求10所述的方法，還包括執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃，以便確定傳感器設(shè)置計劃。
20.如權(quán)利要求19所述的方法，還包括執(zhí)行一個控制策略，以便確定數(shù)據(jù)采集計劃。
21.如權(quán)利要求20所述的方法，還包括使用處理環(huán)境來確定控制策略，所述處理環(huán)境與正在進(jìn)行的處理、傳感器實例、正在被監(jiān)視的處理模塊以及正在被監(jiān)視的工具中的至少之一有關(guān)。
22.一種使用圖形用戶接口(GUI)配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的方法，所述方法包括使用傳感器類型列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器參數(shù)GUI屏幕中的至少一個來配置傳感器類型；以及使用傳感器列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器設(shè)置項目信息GUI屏幕中的至少一個來配置傳感器實例。
23.如權(quán)利要求22所述的用于配置傳感器的方法，其中配置傳感器類型還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕創(chuàng)建新的傳感器類型；使用包括下列字段中的至少兩個的傳感器參數(shù)表來定義新的傳感器類型傳感器類型，參數(shù)名稱，值類型，數(shù)值最小，數(shù)值最大，IS_Optional，IS_Invisible，IS-Per-Instance，IS_Computed，提示，描述，缺省值，以及值數(shù)據(jù)；使用傳感器參數(shù)GUI屏幕配置至少一個參數(shù)；以及保存新的傳感器類型。
24.如權(quán)利要求22所述的用于配置傳感器的方法，其中配置傳感器類型還包括使用傳感器類型列表GUI屏幕來編輯現(xiàn)有的傳感器類型；使用包括下列字段中的至少兩個的傳感器參數(shù)表來定義被編輯的傳感器類型傳感器類型，參數(shù)名稱，值類型，數(shù)值最小，數(shù)值最大，Is_Optional，Is_Invisible，Is-Per-Instance，Is_Computed，提示，描述，缺省值，以及值數(shù)據(jù)；使用傳感器參數(shù)GUI屏幕配置至少一個參數(shù)；以及保存被編輯的傳感器類型。
25.一種用于配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的控制系統(tǒng)和圖形用戶接口(GUI)，包括用于利用傳感器類型列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器參數(shù)GUI屏幕中的至少一個來配置用于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的每一不同類型傳感器的傳感器類型的裝置；以及用于利用傳感器列表GUI屏幕、傳感器信息GUI屏幕和傳感器設(shè)置項目信息GUI屏幕中的至少一個來配置用于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的每一傳感器的傳感器實例的裝置。
26.一種用于配置半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的傳感器的控制系統(tǒng)和圖形用戶接口(GUI)，包括用于執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃的裝置；用于使用所述數(shù)據(jù)采集計劃來確定傳感器設(shè)置計劃的裝置；以及用于執(zhí)行用于設(shè)置所述傳感器的傳感器設(shè)置計劃的裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖形用戶接口(GUI)，用于配置和設(shè)置在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中用于監(jiān)視工具和處理性能的傳感器。所述半導(dǎo)體處理系統(tǒng)包括許多處理工具、許多處理模塊(室)和許多傳感器。圖形顯示被這樣組織，以使得所有的重要參數(shù)被清楚地和合乎邏輯地顯示，從而用戶能夠利用盡可能少的輸入進(jìn)行所需的配置和設(shè)置任務(wù)。所述GUI是基于環(huán)球網(wǎng)的，且用戶可以使用環(huán)球網(wǎng)瀏覽器察看。
文檔編號G06F17/50GK1666203SQ03815554
公開日2005年9月7日 申請日期2003年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月3日
發(fā)明者莫瑞特·芬克, 史蒂文·哈特曼 申請人:東京電子株式會社