一種生產機臺的管控系統(tǒng)及管控方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種生產機臺的管控系統(tǒng)及管控方 法。
【背景技術】
[0002] 在半導體制造技術領域，為了提高生產效率，通常需要多條生產線多臺工藝機臺 同時進行同一操作。但是由于每一臺機臺的性能有所不同，有的機臺性能優(yōu)異，有的則性能 較差，性能較差的機臺run出來的產品出現(xiàn)質量問題的幾率更高。
[0003] 而在生產中一旦發(fā)生產品問題，將花費大量的人力物力調查處理解決。因此，我們 建立了各種各樣的方法和系統(tǒng)，對產品特性進行管控，目的都是為了及時追蹤掌控產品特 性，避免發(fā)生問題之后，再去處理解決。但是當產品已經進行加工生產之后，再對其進行管 控是否真的及時？能否提早一步預防不良發(fā)生？如果對生產產品的機臺進行管控是否是 更加有效的方式？
[0004] 目前，對于生產機臺沒有科學有效的管控，一旦發(fā)生問題，再追溯回機臺改善，是 一種滯后浪費資料的方式，對機臺機建立科學的管控勢在必行。通常，生產的關注點直接 單純的集中在產品的特性，很多量測數(shù)據(jù)直接反應到產品特性是否合格，比如，WAT&CP數(shù)據(jù) 是在生產過程中的重要數(shù)據(jù)，當一個問題發(fā)生時，可以通過WAT&CP的數(shù)據(jù)找到為的原因所 在，從而獲得解決問題的方法。其實，WAT&CP與機臺的能力也有著很大的關聯(lián)，但是目前還 沒有系統(tǒng)的方法通過WAT&CP的數(shù)據(jù)來分析機臺的能力。
[0005] 因此，提供一種生產機臺的管控系統(tǒng)及管控方法是本領域技術人員應該解決的課 題。

【發(fā)明內容】

[0006] 鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種生產機臺的管控系統(tǒng) 及管控方法，用于解決現(xiàn)有技術中無法通過WAT&CP數(shù)據(jù)來分析并管控生產機臺的問題。
[0007] 為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本發(fā)明提供一種生產機臺的管控系統(tǒng)，所述管 控系統(tǒng)至少包括：
[0008] 用于收集WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)的及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)；
[0009] 與所述及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)連接、去除WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中的異常值并對剩下的數(shù) 據(jù)分別進行對比分組的數(shù)據(jù)轉換模塊；
[0010] 與所述數(shù)據(jù)轉換模塊連接、將WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中每一組數(shù)據(jù)分別與預設定的基 準進行比較、判斷所述每一組數(shù)據(jù)是否符合工藝要求的數(shù)據(jù)比對模塊；
[0011] 與所述數(shù)據(jù)比對模塊連接并根據(jù)所述WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)是否符合工藝要求來將 相關聯(lián)的生產機臺進行等級劃分的應用模塊。
[0012] 作為本發(fā)明生產機臺的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述生產機臺的管控系統(tǒng)還 包括與所述應用模塊相連接的派工系統(tǒng)。
[0013] 作為本發(fā)明生產機臺的管控系統(tǒng)的一種優(yōu)化的方案，所述及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)分別 與WAT量測機臺和CP測試系統(tǒng)連接，通過所述WAT量測機臺和CP測試系統(tǒng)將WAT數(shù)據(jù)和 CP數(shù)據(jù)錄入所述及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)中。
[0014] 本發(fā)明還提供一種生產機臺的管控方法，所述管控方法至少包括步驟：
[0015] 1)收集需要分析的WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)；
[0016] 2)分別去除WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中的異常值，并對剩下的數(shù)據(jù)分別進行對比分組；
[0017] 3)將每一組數(shù)據(jù)分別與預設定的基準進行比較，判斷所述每一組數(shù)據(jù)是否符合工 藝要求；
[0018] 4)若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)均符合工藝要求，則該WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的 生產機臺為優(yōu)等機臺；若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)只有其中之一符合工藝要求，則該WAT數(shù)據(jù)和 CP數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的生產機臺為次等機臺；若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)均不符合工藝要求，則該 組數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的生產機臺為最劣等機臺。
[0019] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟2)中處于 P25-3*IQR~P75+3*IQR范圍外的數(shù)據(jù)被認為是所述異常值。
[0020] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟2)中通過Duncan 多重極差檢驗的方式來分別對WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)進行對比分組。
[0021] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟3)中的所述基準 包括 BLCP 和 BLWAT+/-〇. 5sigma，BLCP 表示 CP 基準值，BLWAT+/-〇. 5sigma 表示 WAT 基準范圍。
[0022] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟3)中，對于CP數(shù) 據(jù)，若組內有一個CP值大于所述BL CP，則認為該組內其他的CP值均符合工藝要求。
[0023] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟3)中，對于符合正 態(tài)分布的WAT數(shù)據(jù)，分組后若組內有一個WAT值在BL WAT+/-〇. 5sigma范圍內，則認為該組內 其他的WAT值均符合工藝要求。
[0024] 作為本發(fā)明生產機臺的管控方法的一種優(yōu)化的方案，所述步驟3)中，。對于不符 合正態(tài)分布的WAT數(shù)據(jù)，根據(jù)通過率判斷，若通過率大于等于99%，則認為該組內WAT值均 符合工藝要求。
[0025] 如上所述，本發(fā)明的生產機臺的管控系統(tǒng)及管控方法，包括：用于收集WAT數(shù)據(jù)和 CP數(shù)據(jù)的及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)；與所述及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)連接、去除WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中的 異常值并對剩下的數(shù)據(jù)分別進行對比分組的數(shù)據(jù)轉換模塊；與所述數(shù)據(jù)轉換模塊連接、將 WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中每一組數(shù)據(jù)分別與預設定的基準進行比較、判斷所述每一組數(shù)據(jù)是否 符合工藝要求的數(shù)據(jù)比對模塊；與所述數(shù)據(jù)比對模塊連接并根據(jù)所述WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)是 否符合工藝要求來將相關聯(lián)的生產機臺進行等級劃分的應用模塊。
[0026] 具有以下有益效果：通過WAT&CP數(shù)據(jù)自動對機臺進行能力等級劃分，便于對不同 等級的機臺實施不同規(guī)格的管控，這樣可以提高整個生產線內優(yōu)秀機臺的利用率，提升產 品的品質，減少不良情況的發(fā)生，從而節(jié)省大量的人力物力，降低生產成本。
【附圖說明】
[0027] 圖1為本發(fā)明的生產機臺的管控系統(tǒng)示意圖。
[0028] 圖2為本發(fā)明生產機臺的管控方法的流程示意圖。
[0029] 元件標號說明
[0030] S1 ~S4 步驟
[0031] 10 及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)
[0032] 11 數(shù)據(jù)轉換模塊
[0033] 12 數(shù)據(jù)比對模塊
[0034] 13 應用模塊
[0035] 14 派工系統(tǒng)
【具體實施方式】
[0036] 以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領域技術人員可由本說明書 所揭露的內容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實 施方式加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離 本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。
[0037] 請參閱附圖。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明 的基本構想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形 狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布 局型態(tài)也可能更為復雜。
[0038] 本發(fā)明提供一種生產機臺的管控系統(tǒng)，如圖1所示，所述生產機臺的管控該系統(tǒng) 至少包括：及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)10、數(shù)據(jù)轉換模塊11、數(shù)據(jù)比對模塊12以及應用模塊13。
[0039] 所述及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)10用于收集產品的WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)，通過該模塊，可以 從各個生產系統(tǒng)及機臺中收集需要分析的數(shù)據(jù)。所述WAT數(shù)據(jù)是晶圓的電性測試數(shù)據(jù)，可 以通過與及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)10相連接的WAT量測機臺，將WAT數(shù)據(jù)錄入到及時數(shù)據(jù)收集系 統(tǒng)10中。所述CP數(shù)據(jù)是晶圓上每一個獨立的芯片（Die)的測試數(shù)據(jù)，用于監(jiān)控前道工藝 良率。可以通過與及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)10相連接的CP測試系統(tǒng)，將CP數(shù)據(jù)錄入到及時數(shù)據(jù) 收集系統(tǒng)10中。不同類型的WAT參數(shù)，比如電阻、電容等對每一道（layer)工藝的影響是 不同的，若WAT參數(shù)的好壞對一道工藝的影響較低或無影響，則這一類型的WAT參數(shù)可不需 進行后續(xù)的分析處理；若WAT參數(shù)的好壞對一道工藝的影響較高，則這一類型的WAT參數(shù)需 要優(yōu)先進行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析處理。同理，對于不同類型的CP參數(shù)也是按照不同的layer，分 別分析CP參數(shù)對其產生的影響，挑選出需要優(yōu)先處理的CP參數(shù)。
[0040] 所述數(shù)據(jù)轉換模塊11用于去除WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中的異常值并對剩下的數(shù)據(jù)分 別進行對比分組的數(shù)據(jù)轉換模塊11，所述數(shù)據(jù)轉換模塊11與及時數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)10相連接。 所述異常值是明顯偏離正常數(shù)據(jù)范圍內的數(shù)值，需要剔除。WAT數(shù)據(jù)經過對比分組分為第一 WAT數(shù)據(jù)組、第二WAT數(shù)據(jù)組、第三WAT數(shù)據(jù)組……第N WAT數(shù)據(jù)組；CP數(shù)據(jù)經過對比分組 分為第一 CP數(shù)據(jù)組、第二CP數(shù)據(jù)組、第三CP數(shù)據(jù)組……第N CP數(shù)據(jù)組。
[0041] 所述數(shù)據(jù)比對模塊12用于將WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)中每一組數(shù)據(jù)分別與預設定的基 準值進行比較，然后再判斷所述每一組數(shù)據(jù)是否符合工藝要求，該模塊與所述數(shù)據(jù)轉換模 塊相連接。當然，WAT數(shù)據(jù)的基準范圍與CP數(shù)據(jù)的基準值是不一樣的，分別由PIE部門的技 術人員給出。將上述第一 WAT數(shù)據(jù)組、第二WAT數(shù)據(jù)組、第三WAT數(shù)據(jù)組……第N WAT數(shù)據(jù) 組分別與WAT基準范圍進行對比判斷，第一 CP數(shù)據(jù)組、第二CP數(shù)據(jù)組、第三CP數(shù)據(jù)組…… 第N CP數(shù)據(jù)組則與CP基準值進行對比判斷。
[0042] 所述應用模塊13與所述數(shù)據(jù)比對模塊12線連接，根據(jù)所述WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)是 否符合工藝要求來將相關聯(lián)的生產機臺進行等級劃分。若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)均符合工藝 要求，則該WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的生產機臺為優(yōu)等機臺；若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)只 有其中之一為符合工藝要求，則該WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的生產機臺為次等機臺； 若WAT數(shù)據(jù)和CP數(shù)據(jù)均不符合工藝要求，則該組數(shù)據(jù)所對應關聯(lián)的生產機臺為最劣等機 臺。次等機臺需要向優(yōu)等機臺的性能優(yōu)化，而最劣等機臺禁止使用，需要向次等機臺的性能 優(yōu)化，并加強最劣等機臺性能檢測的頻率和強度。
[0043] 另外，與所述應用模塊相連接的還有派工系統(tǒng)14 (Lot dispatch system)，用于在 實際產品進行生產時，優(yōu)先選用優(yōu)等機臺，若無空置的優(yōu)等機臺則選用次等機臺，若兩種機 臺均沒有，則繼續(xù)等待。
[0044] 通過上述生產機臺的管控系統(tǒng)，