本實用新型主要涉及溫度測量技術領域，特指一種爐體接線排溫度控制裝置。

背景技術：

根據(jù)電力事故分析，開關柜、電纜等故障引起的火災將使大面積設備損壞，造成供電被迫中斷，短時間內(nèi)無法恢復生產(chǎn)，造成重大經(jīng)濟損失。通過事故的分析，引起火災發(fā)生的直接原因很多是電纜接頭質量不良、壓緊頭不緊、接觸電阻過大，長期運行所造成的電纜頭過熱燒穿絕緣、最后導致電纜溝內(nèi)火災的發(fā)生。同樣，在PECVD設備中，加熱用的爐體中的加熱電阻絲通過接線排與外部加熱導線相連接，也可能出現(xiàn)因接線排質量不良、壓緊頭沒有壓緊、或是長期運行，老化引起外部加熱導線接頭與爐體接線排之間的接觸電阻過大。其中PECVD（ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）設備是主要針對晶體硅太陽能電池制造的關鍵工藝設備，用以在硅基片上生長氮化硅減發(fā)射膜，工藝需要在一定溫度（400℃）條件下進行；此外，由于PECVD設備本身的特點，一般會有2～4個爐體至下而上疊層排布在相對密封的柜體中，環(huán)境溫度相對較高。長期受高溫的影響，接線排的老化速度更快。由電阻的特性可知，在大電流的作用下，爐體接線排發(fā)熱過多，溫度過高便容易被燒穿，影響設備的正常運行，嚴重危害設備和人員的安全。爐體接線排是電氣接點，在設備的運行過程中，該接點有裸露高壓，使得對其進行溫度監(jiān)測時，絕緣成為必然要解決的問題。而對于電氣接點溫度的監(jiān)測，已有工程技術人員針對這一問題上做了很多工作。多是采用無線傳輸，將溫度傳感器獲取的溫度信息經(jīng)相應模塊處理過后，通過無線發(fā)射模塊發(fā)射出去。通過這種方式實現(xiàn)“電氣隔離”。

當前已有的工作主要側重于測溫模塊本身的研發(fā)或是整個測溫系統(tǒng)的研發(fā)，而針對電氣接點上裸露的高壓的絕緣處理，多是通過無線傳輸?shù)姆绞揭?guī)避，在傳感器與被測對象之間沒有加強絕緣的措施。另外，考慮PECVD設備本身的特性，溫度傳感器需要安裝在相對密封的柜體中，環(huán)境溫度相對較高，對于前述測溫模塊中數(shù)據(jù)處理模塊和無線傳輸?shù)碾娐芬彩强简?。一般電子元器件的工作環(huán)境溫度范圍是-5℃到45℃，較高的有60℃，而對于PECVD設備而言仍略顯不夠。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術問題就在于：針對現(xiàn)有技術存在的技術問題，本實用新型提供一種結構簡單、電氣絕緣性能好的爐體接線排溫度控制裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型提出的技術方案為：

一種爐體接線排溫度控制裝置，包括陶瓷片和溫度開關，所述溫度開關安裝于所述陶瓷片的一面上，所述陶瓷片的另一面則安裝在爐體接線排上。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述陶瓷片與接線排之間設置有導熱片，所述導熱片呈U型，所述導熱片的一側與所述陶瓷片貼合，另一側上開設有通孔，并與接線端子和接線排通過緊固螺釘緊固在一起。

所述導熱片的一側與陶瓷片之間設有導熱硅膠層；所述導熱片的另一側與接線排之間也設有導熱硅膠層。

所述陶瓷片與溫度開關之間設有雙面背膠的硅膠墊片。

所述陶瓷片為氧化鋁陶瓷片。

還包括測溫回路和信號回路，所述測溫回路與信號回路之間通過光電耦合器耦合，所述溫度開關串聯(lián)于測溫回路中，所述信號回路中串聯(lián)有用于控制爐體加熱單元啟停的繼電器的線圈。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

本實用新型的爐體接線排溫度控制裝置，利用具有導熱絕緣性能的陶瓷片實現(xiàn)接線排電氣接點裸露電壓的電氣絕緣，解決了電氣接點上的裸露高壓的絕緣問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的測溫回路和信號回路的電路原理圖。

圖3為本實用新型的溫度控制的方法流程圖。

圖中標號表示：1、接線排；2、導熱片；21、通孔；22、安裝孔；3、陶瓷片；4、溫度開關；5、測溫回路；6、信號回路；7、光電耦合器。

具體實施方式

以下結合說明書附圖和具體實施例對本實用新型作進一步描述。

如圖1至圖3所示，本實施例的爐體接線排溫度控制裝置，具體應用于PECVD設備中，包括溫度開關4和陶瓷片3，其中溫度開關4安裝于陶瓷片3的一面上，陶瓷片3的另一面則安裝在爐體接線排1上。本實用新型的爐體接線排溫度控制裝置，利用具有導熱絕緣性能的陶瓷片3實現(xiàn)接線排1電氣接點裸露電壓的電氣絕緣，解決了電氣接點上的裸露高壓的絕緣問題。

本實施例中，陶瓷片3（如氧化鋁陶瓷片）與接線排1之間設置有導熱片2，導熱片2呈U型，其材質與接線端材質相同，導熱片2的一側與陶瓷片3相貼合，另一側上開設有通孔21，通孔21的大小與接線排1上安裝緊固螺釘?shù)耐?1大小一致，連接外部加熱導線時，緊固螺釘同時穿過外部加熱導線的接線端子，接線排1和U型導熱片2后，將三者緊固在一起。為了加強接線排1與U型導熱片2之間的導熱性能，在接線排1和U型導熱片2之間涂抹導熱硅膠層。U型導熱片2的另一個側面開有兩個安裝孔22用于固定陶瓷片3，同樣，為加強U型導熱片2與陶瓷片3之間的導熱性能，在U型導熱片2與氧化鋁陶瓷片3之間涂抹導熱硅膠層。由于金屬是熱的良導體，導熱硅膠也具有很好的導熱性能，壓緊之后的U型導熱片2可以很好的反映接線排1的實際溫度。另外，U型導熱片2在傳遞熱量的同時，增加了接線排1的散熱面積，對接線排1的散熱也是很大的改善。其中溫度開關4與陶瓷片3之間通過雙面背膠的硅膠墊片粘連在一起，在保證溫度開關4與氧化鋁陶瓷片3之間連接的可靠性的同時，保證了熱量能夠有效的傳遞到溫度開關4的測溫面以及為溫度開關4與被測對象之間添加了多一層的電氣絕緣，而且安裝方便，有利于設備后期的維護與維修。

本實施例中，還包括測溫回路5和信號回路6，測溫回路5與信號回路6之間通過光電耦合器7進行光電耦合，溫度開關4串聯(lián)于測溫回路5中，信號回路6中串聯(lián)有用于控制爐體加熱單元啟停的繼電器的線圈。其中測溫回路5和信號回路6與接線排1處于不同的柜體內(nèi)。如圖2所示，其中S表示溫度開關4，此處所選為常開觸點，旁注t℃表示溫度開關4的動作閾值；R1和R2均表示保護電阻；R3表示信號電阻，R3前端引出的電壓信號Vo即表示輸出到控制單元（如PLC）的加熱爐體的接線排1的超溫信號；K表示外部爐體加熱回路的聯(lián)鎖控制繼電器的電磁線圈；中間方框表示光電耦合器7，用以隔離兩個回路，盡量減少測溫回路5對后續(xù)信號回路6的影響。如圖3所示，當溫度開關4（圖2中S）所測溫度T℃大于等于溫度開關4的動作閾值t℃時，溫度開關4動作，常開觸點閉合。測溫回路5導通，溫度開關4動作的信號通光電耦合器7傳輸至信號回路6，信號回路6導通。信號電阻R3前端電壓相比于信號回路6未導通之前的電壓升高，相應PLC的加熱爐體接線排1超溫信號輸入點有信號輸入，PLC即可根據(jù)該點的信號輸入，對設備執(zhí)行相應的保護動作。同時繼電器K的線圈得電，相應加熱控制回路中的觸點動作，切斷加熱回路，爐體停止加熱，以保護爐體，最終實現(xiàn)對設備以及人員的安全保護。

本實用新型的爐體接線排溫度控制裝置，考慮PECVD設備的加熱爐體的接線排1所處環(huán)境溫度較高，同時結合接線排1，電氣接點，過溫防護的目的，保證接線排1的溫度不超過一定的閾值，選用溫度開關4作為測溫傳感器（常規(guī)的片狀傳感器）。溫度開關4的環(huán)境適應性較強，相比于紅外測溫的方式，背景溫度對溫度開關4的影響相對小得多，同時不需要考慮太多電子元器件本身對所處工作環(huán)境溫度的要求，保證測溫過程的穩(wěn)定性。此外，出于經(jīng)濟性的考慮，溫度開關4相比于常規(guī)的紅外測溫傳感器和無線測溫模塊，成本較低。另外，溫度開關4在實際應用時，也相對更為簡單。

以上僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，應視為本實用新型的保護范圍。