一種半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)，包括門開關(guān)單元、互鎖旁路模塊和處理單元；門開關(guān)單元串接在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備供電回路中，在正常工作狀態(tài)下，半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟，控制門開關(guān)單元斷開；互鎖旁路模塊并接在門開關(guān)單元上；其中，在特殊工作狀態(tài)下，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟，互鎖旁路模塊被觸發(fā)導(dǎo)通，同時(shí)門開關(guān)單元被屏蔽；處理單元接收互鎖旁路模塊導(dǎo)通信息，啟動(dòng)旁路警示信號(hào)單元工作。因此，本發(fā)明可以根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備所需的特殊工作狀態(tài)，通過增加互鎖旁路模塊，使設(shè)備門對(duì)與其聯(lián)動(dòng)的門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行屏蔽，實(shí)現(xiàn)安全門互鎖的旁路功能，增強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備的可操作性。
【專利說明】一種半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，對(duì)于大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備，均在保護(hù)人員、設(shè)備和廠區(qū)免受危害方面有許多強(qiáng)有力的安全和保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)和措施。半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)就是一種專門針對(duì)性設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。
[0003]半導(dǎo)體設(shè)備的控制系統(tǒng)通常是上位機(jī)+下位機(jī)+執(zhí)行單元的結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)就是在設(shè)備微環(huán)境門或遙控電源柜門等門體處均安裝有門開關(guān)(執(zhí)行單元)，當(dāng)操作人員打開門體時(shí)，門開關(guān)被觸發(fā)，以同步停止半導(dǎo)體處理設(shè)備門內(nèi)的一些主要功能，設(shè)備門開關(guān)的主要控制功能分為三類，分別為:
[0004](I)當(dāng)門開關(guān)被觸發(fā)時(shí)，控制半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部的一些運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止；
[0005](2)當(dāng)門開關(guān)被觸發(fā)時(shí)，切斷整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的供電電路，以使設(shè)備斷電而緊急停止執(zhí)行接下來的工藝步驟；
[0006](3)當(dāng)門開關(guān)被觸發(fā)時(shí)，通過上位機(jī)+下位機(jī)的軟硬件實(shí)時(shí)獲取門開關(guān)信號(hào)，同時(shí)，由相應(yīng)的軟件進(jìn)行處理，處理結(jié)果通過上位機(jī)的輸出單元通知操作人員，由操作人員進(jìn)行后續(xù)流程，所謂處理可以是發(fā)出報(bào)警信息或打開警示燈等。
[0007]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，在半導(dǎo)體設(shè)備在運(yùn)行期間，為滿足調(diào)試維護(hù)要求，即工作在特殊狀態(tài)，有時(shí)也同樣需要打開半導(dǎo)體設(shè)備的門體。
[0008]從上述介紹可知，設(shè)備開門開啟的同時(shí)，必然會(huì)觸發(fā)門開關(guān)斷開動(dòng)作，并同步停止半導(dǎo)體處理設(shè)備門內(nèi)的一些主要功能。因此，怎樣在調(diào)試維護(hù)期間，使半導(dǎo)體處理設(shè)備門內(nèi)的主要功能模塊可以保持正常工作狀態(tài)，即半導(dǎo)體設(shè)備工作在特殊狀態(tài)，成為目前業(yè)界急需解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)，其根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備所需的特殊工作狀態(tài)，通過增加互鎖旁路模塊，使設(shè)備門對(duì)與其聯(lián)動(dòng)的門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行屏蔽，實(shí)現(xiàn)安全門互鎖的旁路功能，增強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備的可操作性。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0011]一種半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)，包括門開關(guān)單元、互鎖旁路模塊和處理單元；門開關(guān)單元串接在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備供電回路中，在正常工作狀態(tài)下，半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟，控制門開關(guān)單元斷開；互鎖旁路模塊并接在所述門開關(guān)單元上；其中，在特殊工作狀態(tài)下，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟，所述互鎖旁路模塊被觸發(fā)導(dǎo)通，同時(shí)門開關(guān)單元被屏蔽；處理單元接收所述互鎖旁路模塊導(dǎo)通信息，啟動(dòng)旁路警示信號(hào)單元。
[0012]優(yōu)選地，所述處理單元由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，所述互鎖旁路模塊包括與門開關(guān)單元相并接的按鈕開關(guān)、串接在所述可編程控制器輸入端的常開觸點(diǎn)和串接在所述可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，所述旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈；其中，所述常開觸點(diǎn)與所述按鈕開關(guān)相聯(lián)動(dòng)。
[0013]優(yōu)選地，所述處理單元由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，所述互鎖旁路模塊包括串接在所述可編程控制器輸入端的按鈕開關(guān)和串接在所述可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，所述旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈。
[0014]優(yōu)選地，所述處理單元將旁路互鎖的信號(hào)和狀態(tài)，發(fā)給上位機(jī)，由所述上位機(jī)統(tǒng)籌更新控制信息。
[0015]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)，在正常工作狀態(tài)，設(shè)備門對(duì)與其聯(lián)動(dòng)的門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行控制；在特殊工作狀態(tài)，其根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備所需的殊工作狀態(tài)，通過增加互鎖旁路模塊，使設(shè)備門對(duì)與其聯(lián)動(dòng)的門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行屏蔽，即設(shè)備門開啟后，仍可以按照調(diào)試維護(hù)的模式正常連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)了安全門互鎖的旁路功能，從而增強(qiáng)了半導(dǎo)體設(shè)備的可操作性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的電路示意圖
[0017]圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)另一較佳實(shí)施例的電路示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0019]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明半導(dǎo)體設(shè)備安全門互鎖系統(tǒng)一較佳實(shí)施例的電路示意圖。在本實(shí)施例中，半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)可以使用半導(dǎo)體設(shè)備的控制系統(tǒng)的一部分，即也可以是上位機(jī)+下位機(jī)+執(zhí)行單元的結(jié)構(gòu)；上位機(jī)可以是計(jì)算機(jī)，下位機(jī)可以由可編程控制器(Programmable Logic Controller,簡(jiǎn)稱PLC)實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)中的執(zhí)行單元通?？梢园ㄩT開關(guān)單元、互鎖旁路模塊、處理單元和旁路警示信號(hào)單元。旁路警示信號(hào)單元可以是指示燈等。
[0020]如圖所示，與現(xiàn)有技術(shù)相同，門開關(guān)單元串接在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備供電回路中，在正常工作狀態(tài)下，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟時(shí)，門開關(guān)單元斷開；也就是說，門開關(guān)單元被觸發(fā)后，整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的供電電路斷開，以使設(shè)備斷電而緊急停止執(zhí)行接下來的工藝步驟，例如，半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部的一些運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止。同時(shí)，上位機(jī)+下位機(jī)的軟硬件實(shí)時(shí)獲取門開關(guān)信號(hào)并進(jìn)行相應(yīng)處理，例如，發(fā)出報(bào)警信息或打開警示燈等。
[0021 ] 與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，在本發(fā)明的實(shí)施例中，在一些特殊工作狀態(tài)下，可以通過增加互鎖旁路模塊，使設(shè)備門對(duì)與其聯(lián)動(dòng)的門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行屏蔽，實(shí)現(xiàn)安全門互鎖的旁路功倉泛。
[0022]如圖1所示，互鎖旁路模塊并接在門開關(guān)單元上，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的物理門打開時(shí)，互鎖旁路模塊被觸發(fā)導(dǎo)通，門開關(guān)單元被屏蔽；處理單元接收互鎖旁路模塊導(dǎo)通信息，啟動(dòng)旁路警示信號(hào)單元。
[0023]在本實(shí)施例中，處理單元由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，互鎖旁路模塊包括與門開關(guān)單元相并接的按鈕開關(guān)、串接在可編程控制器輸入端的常開觸點(diǎn)和串接在可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈；其中，常開觸點(diǎn)與按鈕開關(guān)相聯(lián)動(dòng)。
[0024]具體地，互鎖旁路模塊中的按鈕開關(guān)可以是一帶指示燈式自鎖按鈕開關(guān)，將其一組常開觸點(diǎn)與門開關(guān)單元進(jìn)行并聯(lián)，另一組常開觸點(diǎn)串接入PLC模塊數(shù)字量輸入端，同時(shí)，開關(guān)指示燈串接在PLC模塊的輸出端。當(dāng)自鎖按鈕開關(guān)的按鈕被按下后，其常開觸點(diǎn)閉合，門開關(guān)單元被屏蔽，屏蔽后的門開關(guān)單元不會(huì)產(chǎn)生導(dǎo)致改變?cè)O(shè)備任何工作情況動(dòng)作，即設(shè)備可以繼續(xù)正常運(yùn)行在特殊需要的工作情況，例如，按照調(diào)試維護(hù)的模式正常連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。處理單元(由PLD的軟硬件實(shí)現(xiàn))接收按鈕開關(guān)信號(hào)控制指示燈亮，顯示當(dāng)前互鎖旁路功能啟動(dòng)。
[0025]請(qǐng)參閱圖2，圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)另一較佳實(shí)施例的電路圖。在本實(shí)施例中，處理單元同樣可以由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，互鎖旁路模塊包括串接在可編程控制器輸入端的按鈕開關(guān)和串接在可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈。
[0026]也就是說，對(duì)于一些重要等級(jí)相對(duì)不高，在硬件上對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)行并無直接影響的這一類門開關(guān)單元，就可以僅將門開關(guān)信號(hào)給PLC，通過軟硬件進(jìn)行相應(yīng)處理，如提示
性報(bào)警等。
[0027]具體地，互鎖旁路模塊中的按鈕開關(guān)可以是一帶指示燈式自鎖按鈕開關(guān)，一組常開觸點(diǎn)串接入PLC模塊數(shù)字量輸入端，同時(shí)，控制開關(guān)指示燈串接在PLC模塊輸出端；當(dāng)自鎖按鈕開關(guān)的按鈕被按下后，其常開觸點(diǎn)閉合，門開關(guān)單元被屏蔽(即處理模塊接收到的門開關(guān)信號(hào)被按鈕開關(guān)信號(hào)屏蔽)，屏蔽后的門開關(guān)單元不會(huì)產(chǎn)生導(dǎo)致改變?cè)O(shè)備任何工作情況動(dòng)作，即設(shè)備可以繼續(xù)正常運(yùn)行在特殊需要的工作情況，例如，按照調(diào)試維護(hù)的模式正常連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。處理單元(由PLD的軟硬件實(shí)現(xiàn))接收按鈕開關(guān)信號(hào)控制指示燈亮，顯示當(dāng)前互鎖旁路功能啟動(dòng)狀態(tài)。
[0028]在上述兩個(gè)實(shí)施例中，處理單元(由PLD的軟硬件實(shí)現(xiàn))還可以將旁路互鎖的信號(hào)和狀態(tài)，發(fā)給上位機(jī)，由上位機(jī)統(tǒng)籌更新控制信息。
[0029]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例中結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)設(shè)備門開關(guān)的不同作用，分別采用不同方式對(duì)門開關(guān)信號(hào)進(jìn)行屏蔽，使設(shè)備在特定情況下運(yùn)行時(shí)，觸發(fā)門開關(guān)后設(shè)備仍可連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)屏蔽安全互鎖系統(tǒng)，增強(qiáng)設(shè)備操作性。
[0030]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的安全門互鎖系統(tǒng)，其特征在于，包括: 門開關(guān)單元，其串接在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備供電回路中，在正常工作狀態(tài)下，所述半導(dǎo)體設(shè)備的物理門開啟，控制所述門開關(guān)單元斷開； 互鎖旁路模塊，并接在所述門開關(guān)單元上；其中，在特殊工作情況下，當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的物理門打開時(shí)，所述互鎖旁路模塊被觸發(fā)導(dǎo)通，同時(shí)，所述門開關(guān)單元被屏蔽； 處理單元，接收所述互鎖旁路模塊導(dǎo)通信息，啟動(dòng)旁路警示信號(hào)單元。
2.如權(quán)利要求1所述的安全門互鎖系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，所述互鎖旁路模塊包括與門開關(guān)單元相并接的按鈕開關(guān)、串接在所述可編程控制器輸入端的常開觸點(diǎn)和串接在所述可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，所述旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈；其中，所述常開觸點(diǎn)與所述按鈕開關(guān)相聯(lián)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的安全門互鎖系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元由可編程控制器實(shí)現(xiàn)，所述互鎖旁路模塊包括串接在所述可編程控制器輸入端的按鈕開關(guān)和串接在所述可編程控制器輸出回路中的旁路警示信號(hào)單元，所述旁路警示信號(hào)單元為旁路警示信號(hào)燈。
4.如權(quán)利要求1至3任意所述的安全門互鎖系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元將旁路互鎖的信號(hào)和狀態(tài)，發(fā)給上位機(jī)，由所述上位機(jī)統(tǒng)籌更新控制信息。
【文檔編號(hào)】G05B19/05GK103809503SQ201410076584
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2014年3月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月4日
【發(fā)明者】劉晨曦, 張海輪, 付運(yùn)濤 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司