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帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置制造方法

文檔序號:6302959閱讀:227來源:國知局
帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置制造方法
【專利摘要】具備:上游側(cè)閥(AV),將來自具有希望的氣體供給壓的氣體供給源的氣體的流通開閉;流量控制裝置,連接在上游側(cè)閥(AV)的下游側(cè),具備耐供給壓力變動性;溫度傳感器(T),以將上游側(cè)閥(AV)的出口側(cè)與流量控制裝置的入口側(cè)連通的通路的內(nèi)容積為降落容量(BC),并檢測在形成該降落容量(BC)的通路內(nèi)流通的氣體的溫度;壓力傳感器(P),檢測在形成降落容量(BC)的通路內(nèi)流通的氣體的壓力;監(jiān)測流量運(yùn)算控制部(CPb),進(jìn)行上游側(cè)閥(AV)的開閉控制,并且在通過上游側(cè)開閉閥(AV)的開放使降落容量(BC)內(nèi)的氣體壓力成為設(shè)定上限壓力值后,通過上游側(cè)閥(AV)的封閉在規(guī)定時間t秒后使氣體壓力下降到設(shè)定下限壓力值,由此通過降落方式運(yùn)算并輸出監(jiān)測流量(Q);將上述監(jiān)測流量(Q)運(yùn)算為Q=1000/760×60×273/(273+T)×V×ΔP/Δt并輸出。
【專利說明】帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及關(guān)于帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置的改良,特別涉及通過對具備耐 壓變動特性的熱式流量控制裝置或使用節(jié)流孔的壓力式流量控制裝置有機(jī)地組合降落方 式的流量監(jiān)測器、能夠?qū)幼髦械牧髁靠刂蒲b置的控制流量實(shí)時地監(jiān)測的帶有降落方式流 量監(jiān)測器的流量控制裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] W往,在半導(dǎo)體控制裝置用氣體供給裝置中,廣泛地使用熱式流量控制裝置MFC 或壓力式流量控制裝置FCS,此外,近年來開始使用提高了耐供給壓力變動特性的熱式流量 控制裝置。
[0003] 圖33是表示上述壓力式流量控制裝置FCS的結(jié)構(gòu)的圖,該壓力式流量控制裝置 FCS由控制閥CV、溫度檢測器T、壓力檢測器P、節(jié)流孔化及運(yùn)算控制部CD等構(gòu)成。此外, 該運(yùn)算控制部CD由溫度修正/流量運(yùn)算電路CDa、比較電路C抓、輸入輸出電路CDc及輸出 電路CDd等構(gòu)成,具備對于一次側(cè)供給壓的變動具有穩(wěn)定的流量控制特性的優(yōu)良的特性。
[0004] 參照圖33,來自壓力檢測器P及溫度檢測器T的檢測值被變換為數(shù)字信號并向溫 度修正/流量運(yùn)算電路CDa輸入,在該里進(jìn)行檢測壓力的溫度修正及流量運(yùn)算后,將流量運(yùn) 算值Qt向比較電路C抓輸入。此外,設(shè)定流量的輸入信號Qs被從端子In輸入,由輸入輸 出電路CDc變換為數(shù)字值后向比較電路C抓輸入,在該里被與來自上述溫度修正/流量運(yùn) 算電路CDa的流量運(yùn)算值Qt比較。在比較的結(jié)果是設(shè)定流量輸入信號Qs比流量運(yùn)算值Qt 大的情況下,向控制閥CV的驅(qū)動部輸出控制信號PcL由此,控制閥CV被向封閉方向驅(qū)動, 被向閉閥方向驅(qū)動,直到設(shè)定流量輸入信號Qs與運(yùn)算流量值Qt的差(Qs - Qt)成為零。
[0005] 在該壓力式流量控制裝置FCS中,在節(jié)流孔化的下游側(cè)壓力P2(即,處理腔室側(cè)的 壓力P2)與節(jié)流孔化的上游側(cè)壓力Pi (即,控制閥CV的出口側(cè)的壓力Pi)之間保持著Pi/ P2 >約2的關(guān)系(所謂臨界膨脹條件)的情況下,流通過節(jié)流孔化的氣體Go的流量Q成為 Q=KPi (其中K是常數(shù)),通過控制壓力Pi,能夠高精度地控制流量Q,并且具備即使控制閥CV 的上游側(cè)的氣體Go的壓力較大地變化、控制流量值也幾乎不變化的優(yōu)良的特性。
[0006] 另外,由于壓力式流量控制裝置FCS及具備耐壓力變動特性的熱式流量控制裝置 本身是周知的,所W該里省略其詳細(xì)的說明。
[0007] 但是,例如在壓力式流量控制裝置FCS中,由于使用微小的孔徑的節(jié)流孔化,所W 通過由團(tuán)素類氣體帶來的腐蝕、反應(yīng)活性氣體的析出等,引起節(jié)流孔化的孔徑老化。結(jié)果, 在壓力式流量控制裝置FCS的控制流量值與現(xiàn)實(shí)流通的氣體Go的實(shí)際流量值之間產(chǎn)生差 異,為了檢測該差異,需要頻繁進(jìn)行所謂流量監(jiān)測,有給半導(dǎo)體制造裝置的開動性及制造出 的半導(dǎo)體的品質(zhì)等帶來較大影響的問題。
[0008] 因此,在壓力式流量控制裝置的領(lǐng)域中,W往較多采用通過盡可能早地檢測節(jié)流 孔化的孔徑的變化、來防止在壓力式流量控制裝置FCS的控制流量值與現(xiàn)實(shí)流通的氣體Go 的實(shí)際流量值之間發(fā)生差異的對策,此外,在節(jié)流孔化的孔徑變化的檢測中,較多采用使 用所謂增進(jìn)方式或降落方式的氣體流量測量方法。
[0009] 但是,W往的使用所謂增進(jìn)方式或降落方式的氣體流量測量必須將實(shí)際氣體的供 給暫時停止,結(jié)果有造成半導(dǎo)體制造裝置的開動率的下降或給制造出的半導(dǎo)體的品質(zhì)等帶 來較大影響的問題。
[0010] 因此,近年來,在熱式質(zhì)量流量控制裝置或壓力式流量控制裝置的領(lǐng)域中,不將實(shí) 際氣體的供給暫時停止、而能夠?qū)崟r地簡單監(jiān)測供給氣體的流量控制是否被適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行的 帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置的開發(fā)正在被推進(jìn)。
[0011] 例如,圖34是表示其一例的圖,作為該熱式質(zhì)量流量控制裝置(質(zhì)量流量控制器) 的帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置20由流路23、上游側(cè)壓力的第1壓力傳感器27a、開閉 控制閥24、設(shè)在其下游側(cè)的熱式質(zhì)量流量傳感器25、設(shè)在其下游側(cè)的第2壓力傳感器27b、 設(shè)在第2壓力傳感器27b的下游側(cè)的節(jié)流部(聲速噴嘴)26、運(yùn)算控制部28a和輸入輸出電 路28b等構(gòu)成。
[0012] 上述熱式質(zhì)量流量傳感器25具有插入在流路23內(nèi)的整流體25a、從該流路23分 支規(guī)定的比例F/A的流量的分支流路2化和設(shè)在分支流路2化中的傳感器主體25c,輸出表 示總流量F的流量信號Sf。
[0013] 此外,節(jié)流部26是當(dāng)其一次側(cè)與二次側(cè)的壓力差為規(guī)定值W上時使與一次側(cè)的 壓力對應(yīng)的流量的流體流過的聲速噴嘴。另外,在圖34中,Spa、S化是壓力信號,Pa、化是 壓力,F(xiàn)是總流量,Sf是流量信號,Cp是閥開度控制信號。
[0014] 上述運(yùn)算控制部28a通過將來自壓力傳感器27a、2化的壓力信號Spa、Spb及來自 流量傳感器25的流量控制信號Sf反饋而輸出閥開度控制信號Cp,來反饋控制開閉閥24。 目P,經(jīng)由輸入輸出電路28b向運(yùn)算控制部28a輸入流量設(shè)定信號Fs,調(diào)整向質(zhì)量流量控制裝 置20流動的流體的流量F,W使其與流量設(shè)定信號Fs相符。
[0015] 具體而言,運(yùn)算控制部28a使用第2壓力傳感器27b的輸出(壓力信號Spb)反饋 控制開閉控制閥24而控制其開閉,由此控制流過聲速噴嘴26的流體的流量F,并且使用此 時的熱式流量傳感器25的輸出(流量信號Sf )進(jìn)行實(shí)際流動的流量F的測量,通過將該流 量F的測量值與流量F的控制值對比,來確認(rèn)質(zhì)量流量控制裝置20的動作。
[0016] 該樣,在圖34所示的帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置20中,由于在運(yùn)算控制部8a 中裝入了使用用來進(jìn)行流量控制的第2壓力傳感器27b的壓力式流量測量、和使用用來進(jìn) 行流量的監(jiān)視的熱式流量傳感器25的流量測量該兩種測量方式,所W能夠簡單且可靠地 實(shí)時監(jiān)測是否實(shí)際流動了控制流量(設(shè)定流量Fs)的流體、即在控制流量與實(shí)際流量之間是 否有差異,發(fā)揮較高的實(shí)用效用。
[0017] 但是,在該圖34所示的帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置20中,也留有許多要解決 的問題。
[0018] 第1個問題是,由于裝入了使用用來進(jìn)行流量控制的第2壓力傳感器27b的壓力 式流量測量、和使用用來進(jìn)行流量的監(jiān)視的熱式流量傳感器25的流量測量該兩種不同的 流量測量方式,所W帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置20的構(gòu)造變復(fù)雜,不能實(shí)現(xiàn)裝置的小 型化及制造成本的降低。
[0019] 此外,第2個問題是,運(yùn)算控制部28a為使用第2壓力傳感器27b的輸出S化和熱 式流量傳感器25的流量輸出Sf的兩信號將開閉控制閥24開閉控制、并使用第1壓力傳感 器27a的輸出Spa將熱式流量傳感器25的流量輸出Sf修正的結(jié)構(gòu),要使用第I壓力傳感 器27a及第2壓力傳感器27b的兩個壓力信號Spa、S化和來自熱式流量傳感器25的流量 信號Sf的H個信號進(jìn)行開閉控制閥24的開閉控制。因此,不僅運(yùn)算控制部28a的結(jié)構(gòu)變 復(fù)雜,而且有作為壓力式流量控制裝置FCS的穩(wěn)定的流量控制特性及優(yōu)良的高響應(yīng)性相反 被降低的問題。
[0020] 專利文獻(xiàn)1 ;特許第2635929號 專利文獻(xiàn)2 ;特許第2982003號 專利文獻(xiàn)3 ;特許第4308350號 專利文獻(xiàn)4 ;特許第4137666號。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0021] 本申請發(fā)明的主要目的是解決W下等的問題;a在使用W往的降落方式或增進(jìn)方 式的流量測量方法的帶有流量監(jiān)測器的流量控制裝置的情況下,在流量監(jiān)測時必須將實(shí)際 氣體的供給暫時停止,所W發(fā)生半導(dǎo)體制造裝置的開動率的下降及制造的半導(dǎo)體的品質(zhì)變 動等;W及b在W往的圖34那樣的將熱式流量計(jì)與壓力式流量控制裝置組合構(gòu)造的帶有 流量監(jiān)測器的流量控制裝置中,不能實(shí)現(xiàn)流量控制裝置自身的構(gòu)造的簡潔化及裝置的小型 化,而且壓力式流量控制裝置具有的優(yōu)良的響應(yīng)特性及穩(wěn)定的流量控制特性被削弱;本申 請發(fā)明將壓力式流量控制裝置FCS或耐壓力變動式熱式流量控制裝置MFC與設(shè)在其上游側(cè) 的降落方式的流量測量部一體地組合,并且在被流量控制裝置的上游側(cè)壓力(輸入側(cè)壓力) 許容的壓力變動范圍內(nèi)使上述降落方式流量測量部動作,W至少1砂W內(nèi)1次(優(yōu)選的是在 1砂間多次)從降落方式流量測量部發(fā)出流量監(jiān)測信號,由此使得能夠與流量控制裝置的流 量控制同時并行地進(jìn)行通過降落方式流量測量部的實(shí)質(zhì)上接近于實(shí)際監(jiān)測的流量監(jiān)測。
[0022] 通過做成上述那樣的結(jié)構(gòu),能夠完全有效利用流量控制特性幾乎不受輸入側(cè)的壓 力變動影響的壓力式流量控制裝置或耐壓力變動型熱式流量控制裝置的流量特性,提供一 種能夠在大致接近于實(shí)時(至少1次/1砂)的狀況下進(jìn)行通過降落方式流量監(jiān)測部的流量 監(jiān)測、并且能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)算控制部的簡潔化、設(shè)備主體部的大幅的小型化及氣體置換性的提 高等的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置。
[0023] 本申請
【發(fā)明者】等首先用使用節(jié)流孔的壓力式流量控制裝置FCS構(gòu)成圖1所示那樣 的試驗(yàn)裝置,進(jìn)行根據(jù)壓力式流量控制裝置FCS與上游側(cè)(一次側(cè))閥AV間的壓力下降的斜 率進(jìn)行流量計(jì)算的與降落方式的流量測量有關(guān)的基礎(chǔ)性的各種試驗(yàn)。
[0024] 目P,在圖1中,馬是氣體供給源,RG是壓力調(diào)整器,ECV是電磁驅(qū)動部,AV是上游側(cè) 閥,F(xiàn)CS是壓力式流量控制裝置,VP是真空粟,BC是降落容量,T是溫度傳感器,P。是來自設(shè) 在壓力式流量控制裝置FCS內(nèi)的壓力傳感器的壓力傳感器輸出,E是電源部,Ei是壓力式流 量控制裝置用電源,Es是運(yùn)算控制部用電源,Es是上游側(cè)閥用電源,S是信號發(fā)生器,CP是 運(yùn)算控制部,CPa是壓力式流量運(yùn)算控制部,CPb是降落監(jiān)測流量運(yùn)算控制部,PC是運(yùn)算顯 示部,NR是數(shù)據(jù)記錄器。
[00巧]上述降落容量BC是與上游側(cè)閥AV的出口側(cè)和壓力式流量控制裝置FCS的控制閥 (圖示省略)的入口側(cè)之間的管路空間容積對應(yīng)的量,構(gòu)成為,通過調(diào)整配管路的長度內(nèi)內(nèi) 徑等、或調(diào)整夾設(shè)在該配管路中的降落用腔室(圖示省略)的內(nèi)容積,能夠?qū)⒔德淙萘緽C切 換調(diào)整為I. 78cc和9. 91cc、4. 6?11. 6cc及I. 58cc?15. 31cc的各容量。
[0026] 另外,在使用降落用腔室的情況下,如在實(shí)施例中后述那樣,將上游側(cè)閥AV的出 口與控制閥CV的入口間的流路的內(nèi)徑設(shè)為1.8mm,并且將降落容量BC選定為1.58CC? 15. 31cc〇
[0027] 此外,在上述運(yùn)算控制部CP內(nèi)的降落監(jiān)測流量運(yùn)算控制CPb中,如后述那樣使用 降落容量BC部分的壓力下降率進(jìn)行需要的監(jiān)測流量的運(yùn)算,進(jìn)而,在壓力式流量運(yùn)算控制 部CPa中,與W往的壓力式流量控制裝置FCS的控制運(yùn)算部同樣地進(jìn)行流通過節(jié)流孔(圖示 省略)的流量的運(yùn)算及控制閥(圖示省略)的開閉控制等。
[0028] 另外,壓力式流量控制裝置FCS、上游側(cè)開閉閥AV、壓力調(diào)整器RG及其他設(shè)備類全 部是周知的,所W該里省略其說明。
[0029] 此外,壓力式流量運(yùn)算控制部CPa -般裝入在運(yùn)算控制部CP內(nèi),但在圖1中為了 便于說明,顯示為從運(yùn)算控制部CP分離的狀態(tài)。進(jìn)而,上述上游側(cè)閥AV由于需要將開閉在 短時間內(nèi)進(jìn)行,所W-般希望直動型電磁閥的使用,但當(dāng)然也可W是設(shè)有先導(dǎo)電磁閥的空 氣動作閥。
[0030] 降落方式的流量測量部由于是不易受到氣體供給壓變動的影響的流量控制裝置、 特別是使用節(jié)流孔的壓力式流量控制裝置FCS,所W能夠配設(shè)到其上游側(cè)。另外,周知的是 通過降落方式的流量測量能夠進(jìn)行高精度的流量測量。
[0031] 目P,在降落方式中,在降落容量BC內(nèi)流通的流量Q可W通過下述的(1)式計(jì)算。
[0032] 「敬式 11

【權(quán)利要求】
1. 一種帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 具備:上游側(cè)閥(AV),將來自具有希望的氣體供給壓的氣體供給源的氣體的流通開 閉;流量控制裝置,連接在上游側(cè)(AV)的下游側(cè),具備耐供給壓力變動性;溫度傳感器(T), 以將上述上游側(cè)閥(AV)的出口側(cè)與上述流量控制裝置的入口側(cè)連通的通路的內(nèi)容積為 降落容量(BC),并檢測在形成該降落容量(BC)的通路內(nèi)流通的氣體的溫度;壓力傳感器 (P),檢測在形成上述降落容量(BC)的通路內(nèi)流通的氣體的壓力;和監(jiān)測流量運(yùn)算控制部 (CPb),進(jìn)行上述上游側(cè)閥(AV)的開閉控制,并且在通過上游側(cè)閥(AV)的開放使降落容量 (BC)內(nèi)的氣體壓力成為設(shè)定上限壓力值后,通過上游側(cè)閥(AV)的封閉在規(guī)定時間t秒后使 上述氣體壓力下降到設(shè)定下限壓力值,由此通過降落方式運(yùn)算并輸出監(jiān)測流量Q ; 將上述監(jiān)測流量Q運(yùn)算為 [數(shù)式3]
(其中,T是氣體溫度(°C),V是降落容量(BC) (1),AP是壓力下降范圍(設(shè)定上限壓力 值一設(shè)定下限壓力值)(Torr),At是從上游側(cè)閥(AV)的封閉到開放的時間(sec))。
2. 如權(quán)利要求1所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,使具備耐壓力變動性的流量控制裝置為壓力式流量控制裝置(FCS),所述壓力 式流量控制裝置(FCS)具備控制閥(CV)、節(jié)流孔(0L)或臨界噴嘴、壓力計(jì)(P1)及/或壓力 計(jì)(P2)和流量運(yùn)算控制裝置(CPa);并且使降落容量(BC)為將上游側(cè)閥(AV)的出口側(cè)與 壓力式流量控制裝置的控制閥(CV)的入口側(cè)連通的通路的內(nèi)容積。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使降落容量(BC)為1. 0?20cc,并使設(shè)定上限壓力值為400?200kPa abs、以及使設(shè) 定下限壓力值為350kPa abs?150kPa abs,此外,使規(guī)定時間t為1秒以內(nèi)。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使降落容量(BC)為1. 78cc,使設(shè)定上限壓力值為370kPa abs,使設(shè)定下限壓力值為 350kPa abs,使壓力下降范圍A P為20kPa abs,以及使規(guī)定時間t為1秒以內(nèi)。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使上游側(cè)閥(AV)為流體壓動作式的電磁直接安裝型電動閥或電磁直動型的電動閥,并 且,通過閥的高速開閉,使由上游側(cè)閥(AV)的打開帶來的從設(shè)定下限壓力值向設(shè)定上限壓 力值的氣體壓力的恢復(fù)時間比由上游側(cè)閥(AV)的關(guān)閉帶來的從設(shè)定上限壓力值到設(shè)定下 限壓力值的氣體壓力下降時間大幅變短。
6. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,向上游側(cè)閥(AV)的出口側(cè)與流量控制器之間的氣體流通路的內(nèi)部插裝棒片, 改變氣體流通路的通路截面積,由此實(shí)現(xiàn)上述降落容量(BC)的調(diào)整及氣體壓力下降特性的 直線化。
7. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,在上游側(cè)閥(AV)的出口側(cè)與流量控制器之間的氣體通路中夾設(shè)適當(dāng)?shù)膬?nèi)容量 的腔室,改變該腔室的內(nèi)容積,由此調(diào)整降落容量(BC)的值。
8. 如權(quán)利要求1或2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,將流量控制裝置的流量運(yùn)算控制裝置(CPa)和降落監(jiān)測流量的運(yùn)算控制裝置 (CPb) -體地形成。
9. 如權(quán)利要求7所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,將腔室做成將內(nèi)筒和外筒以同心狀配設(shè)固定的構(gòu)造,并將形成腔室的內(nèi)、外筒 間的間隙作為氣體流通路,在該腔室中設(shè)置壓力傳感器(P3)。
10. 如權(quán)利要求2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,向上游側(cè)(AV)的出口側(cè)與壓力式流量控制裝置(FCS)的控制閥之間的氣體通 路的內(nèi)部插裝棒片,改變氣體流通路的通路截面積。
11. 如權(quán)利要求2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,在上游側(cè)(AV)的出口側(cè)與壓力式流量控制裝置(FCS)的控制閥之間的氣體通 路中夾設(shè)適當(dāng)?shù)膬?nèi)容積的腔室。
12. 如權(quán)利要求2所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,將壓力式流量控制裝置的流量運(yùn)算控制裝置(CPa)和降落監(jiān)測流量的運(yùn)算控 制裝置(CPb)-體地形成。
13. 如權(quán)利要求9所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 構(gòu)成為,在內(nèi)筒的內(nèi)部設(shè)置氣體從下方朝向上方流通的氣體通路,使氣體從內(nèi)筒的上 端面向內(nèi)筒與外筒的間隙內(nèi)流入。
14. 如權(quán)利要求13所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使設(shè)在內(nèi)筒的內(nèi)部的氣體通路為縱長孔與向縱長孔內(nèi)部插入的圓柱狀銷的間隙(h ), 所述縱長孔設(shè)在內(nèi)筒的中央部。
15. 如權(quán)利要求9所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使內(nèi)筒為在外周面上形成有螺紋的內(nèi)筒。
16. 如權(quán)利要求9所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使內(nèi)筒為在內(nèi)部設(shè)有氣體流通的狹縫的結(jié)構(gòu)的內(nèi)筒。
17. 如權(quán)利要求9所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使內(nèi)筒為在內(nèi)部設(shè)有氣體流通的過濾介質(zhì)的結(jié)構(gòu)。
18. 如權(quán)利要求9所述的帶有降落方式流量監(jiān)測器的流量控制裝置,其特征在于, 使內(nèi)筒為由過濾介質(zhì)或多孔質(zhì)陶瓷材料形成的結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】G05D7/06GK104350443SQ201380028183
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月31日
【發(fā)明者】永瀨正明, 日高敦志, 西野功二, 池田信一 申請人:株式會社富士金
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