一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法、裝置及劃片的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法、裝置及劃片機(jī)，其中，該方法包括：獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，該鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)；獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后該鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，該鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；根據(jù)該第一坐標(biāo)參數(shù)、該第二坐標(biāo)參數(shù)、該第三坐標(biāo)參數(shù)、該第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取該X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；根據(jù)該交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制該鏡頭幾何中心點(diǎn)、該工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與該交點(diǎn)重合。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法、裝置及劃片機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)計(jì)及制造領(lǐng)域，特別是涉及一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法、裝置及劃片機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]劃片機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體切割領(lǐng)域，它的工作臺(tái)幾何中心與CCD鏡頭幾何中心重合時(shí)的位置直接決定著劃片機(jī)切割刀的劃切位置，其精度的高低決定了切割道X行進(jìn)步距和劃切街區(qū)的偏差多少。
[0003]作為一種高精尖的高速精密設(shè)備，普通的劃片機(jī)中一般采用第三方的測(cè)量工具來(lái)測(cè)定工作臺(tái)幾何中心與C⑶鏡頭的幾何中心，來(lái)調(diào)整其回轉(zhuǎn)軸中心位置。由于引入了第三方的測(cè)量工具，就不可避免的添加其他不確定因素，造成工作臺(tái)幾何中心和CCD鏡頭幾何中心有一定的精度誤差。此種方法調(diào)整的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心，對(duì)于一般精度要求不高，劃切街區(qū)大，集成度小的晶圓或者玻璃小型切割物等，一般影響不大。隨著科技的發(fā)展，芯片的集成度越來(lái)越高，單一晶圓上集成的芯片越來(lái)越多，其劃切街區(qū)越來(lái)越小。在這種情況下，采用第三方工具來(lái)測(cè)量劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸的中心位置因誤差過(guò)大，切割道就不能與劃切街區(qū)很好的重合，工作臺(tái)幾何中心與CCD鏡頭的幾何中心的誤差越大，越靠近切割晶圓的邊緣，其偏差越大，就越有可能劃切上切割晶圓的芯片。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法、裝置及劃片機(jī)，可以解決現(xiàn)有劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整由于采用第三方測(cè)量工具而造成切割物的劃切區(qū)劃割精度不高的問(wèn)題。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其中，該方法包括如下步驟:
[0006]獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)；
[0007]獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；
[0008]根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)；
[0009]根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。
[0010]進(jìn)一步地，所述預(yù)設(shè)角度為90度。
[0011]進(jìn)一步地，所述獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)的步驟具體為:
[0012]獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；或者
[0013]獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)。
[0014]進(jìn)一步地，所述根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)的步驟具體為:
[0015]在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+yl-y2)/2,以及公式y(tǒng)0= (x2_xl+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù)，xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；或者
[0016]在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+y2-yl)/2,以及公式y(tǒng)0= (xl_x2+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù)，xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)。
[0017]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置，其中，該裝置包括:
[0018]第一獲取模塊，用于獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)；
[0019]第二獲取模塊，用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；
[0020]第三獲取模塊，用于根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)；
[0021]控制模塊，用于根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。
[0022]進(jìn)一步地，所述預(yù)設(shè)角度為90度。
[0023]進(jìn)一步地，所述第二獲取模塊具體用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；或者
[0024]用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)。
[0025]進(jìn)一步地，所述第三獲取模塊具體用于在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+yl_y2)/2,以及公式y(tǒng)0= (x2_xl+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(xO，y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，12為第三坐標(biāo)參數(shù),xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0,y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；或者
[0026]用于在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+y2_yl)/2,以及公式y(tǒng)0= (xl_x2+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0,y0);其中,yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù),xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(xO, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)。
[0027]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的實(shí)施例還提供一種劃片機(jī)，包括如上所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置。
[0028]本發(fā)明的有益效果是:
[0029]本發(fā)明的回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，在不引入第三方測(cè)量工具的情況下，利用劃片機(jī)自有的功能部件來(lái)測(cè)量調(diào)整劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置，并利用程序自動(dòng)的調(diào)整，具有調(diào)整實(shí)時(shí)性好，精度高，不引入第三方誤差等優(yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1表示本發(fā)明實(shí)施例的一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法流程示意圖；
[0031]圖2表示CXD鏡頭在Y軸上運(yùn)動(dòng)與工作臺(tái)在X軸上運(yùn)的動(dòng)示意圖；
[0032]圖3表不表不本發(fā)明實(shí)施例的一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法原理不意圖；
[0033]圖4表示劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整完成后示意圖；
[0034]圖5表示本發(fā)明劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0036]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整由于采用第三方測(cè)量工具而造成切割物的劃切區(qū)劃割精度不高的問(wèn)題，提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其中，該方法包括如下步驟:獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)；獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)；根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。本發(fā)明的回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，在不引入第三方測(cè)量工具的情況下，利用劃片機(jī)自由的功能部件來(lái)測(cè)量調(diào)整劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置，并利用程序自動(dòng)的調(diào)整，具有調(diào)整實(shí)時(shí)性好，精度高，不引入第三方誤差等優(yōu)點(diǎn)。
[0037]下面結(jié)合附圖及具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法作詳細(xì)描述:
[0038]如圖1所示，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，包括如下步驟:
[0039]步驟100，獲取劃片機(jī)CXD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)；
[0040]步驟101,獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蚧蛘吣鏁r(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；
[0041]步驟102，根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù),獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)；
[0042]步驟103，根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。
[0043]其中，CCD鏡頭用于采集工作臺(tái)上需要?jiǎng)澢械木A或者玻璃等切割物的切割區(qū)圖像，由于CCD鏡頭所采集到的圖像均為矩形形狀，CCD鏡頭的“十”準(zhǔn)星的幾何中心則與該采集到的圖像的幾何中心點(diǎn)重合，當(dāng)然該“十”準(zhǔn)星在CCD鏡頭中并不真實(shí)存在，該“十”準(zhǔn)星中心點(diǎn)對(duì)應(yīng)于該CCD鏡頭的幾何中心點(diǎn)。
[0044]如圖2所示，CXD鏡頭在Y軸的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，沿Y軸運(yùn)動(dòng)，且該CXD鏡頭幾何中心點(diǎn)位于該Y軸上。工作臺(tái)在X軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，沿X軸運(yùn)動(dòng)，且該工作臺(tái)的幾何中心點(diǎn)位于該X軸上，該工作臺(tái)可以為圓形也可以為方形，這要根據(jù)晶片的形狀來(lái)選擇。X軸、Y軸垂直且構(gòu)成一平行于地面的平面坐標(biāo)系，X軸、Y軸的交點(diǎn)即為該回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)。
[0045]下面以一圓形工作臺(tái)為例，對(duì)本發(fā)明的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法作詳細(xì)描述:
[0046]如圖3所示，首先控制該工作臺(tái)移動(dòng)到CCD鏡頭視野范圍內(nèi)，在工作臺(tái)上或者放在工作臺(tái)的晶片上找一“十”字特征點(diǎn)A，并確保該“十”字特征點(diǎn)A唯一，以便在工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)后再次找到該特征點(diǎn)A。調(diào)整CCD鏡頭的倍率，使能夠清晰的看到工作臺(tái)的“十”字特征點(diǎn)A，調(diào)整CXD鏡頭以及工作臺(tái)，使CXD鏡頭的“十”字準(zhǔn)星與該“十”字特征點(diǎn)A重合于Y軸上，此時(shí)驅(qū)動(dòng)CCD鏡頭運(yùn)動(dòng)的電機(jī)以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)會(huì)根據(jù)各自的驅(qū)動(dòng)程序自動(dòng)讀取該鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)為yl，該工作臺(tái)圓心E在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)為xl，此時(shí)工作臺(tái)圓心以及CXD鏡頭幾何中心的平面坐標(biāo)為D (yl, xl)。
[0047]當(dāng)該工作臺(tái)在Theta驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下繞該工作臺(tái)圓點(diǎn)E沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度，此時(shí)該特征點(diǎn)A旋轉(zhuǎn)到B位置，在此調(diào)整CCD鏡頭倍率以及CCD鏡頭位置、工作臺(tái)的位置，使得該CCD鏡頭的“十”準(zhǔn)星與該“十”字特征點(diǎn)在此重合于F位置于Y軸上，此時(shí)該工作臺(tái)圓點(diǎn)到達(dá)H位置，CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)到達(dá)F位置，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)CCD鏡頭運(yùn)動(dòng)的電機(jī)以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)會(huì)根據(jù)各自的驅(qū)動(dòng)程序自動(dòng)讀取此時(shí)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)為y2，以及工作臺(tái)圓點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)為x2。此時(shí)工作臺(tái)圓心與CCD鏡頭幾何中心平面坐標(biāo)為M (y2，x2)，劃片機(jī)利用程序根據(jù)公式xO= (x2+xl+yl-y2)/2，以及公式y(tǒng)0=(x2-xl+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)O (x0,y0);且驅(qū)動(dòng)CCD鏡頭運(yùn)動(dòng)的電機(jī)將(xO，yO)作為驅(qū)動(dòng)參數(shù)，利用其本身的驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)該CCD鏡頭，使該CXD鏡頭幾何中心點(diǎn)運(yùn)動(dòng)至該交點(diǎn)位置，以及驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)將(xO，yO)作為驅(qū)動(dòng)參數(shù)，并利用其本身的驅(qū)動(dòng)程序驅(qū)動(dòng)該工作臺(tái)，使該工作臺(tái)圓心運(yùn)動(dòng)至交點(diǎn)位置。即回轉(zhuǎn)軸調(diào)整完畢之后使得工作臺(tái)圓心和CXD鏡頭幾何中心都運(yùn)動(dòng)到交點(diǎn)位置，如圖4所
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[0048]其中，公式x0=(x2+xl+yl-y2)/2，以及公式 yO= (x2_xl+yl+y2)/2 的推導(dǎo)過(guò)程如下:
[0049]工作臺(tái)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度，假定D點(diǎn)繞E點(diǎn)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度后的點(diǎn)為G，此時(shí)，ED=EG ;又因AE=BE，Z BEG= Z DEA，可得，BG丄AD且BG=AD=0F。過(guò)F點(diǎn)做BE的平行線(xiàn)，與X軸的交點(diǎn)為H，有FH // BE，BF=EH0
[0050]B點(diǎn)為特征點(diǎn)，若要使B點(diǎn)再次在鏡頭中心，工作臺(tái)需正向移動(dòng)BF的距離，即工作臺(tái)由E點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到H點(diǎn)，顯微鏡需從A點(diǎn)運(yùn)動(dòng)到F點(diǎn)，此時(shí)顯微鏡與工作臺(tái)的坐標(biāo)即為M點(diǎn)的坐標(biāo)，設(shè)M點(diǎn)坐標(biāo)為(y2，x2)。
[0051]根據(jù)圖中各坐標(biāo)點(diǎn)之間的幾何關(guān)系可得:
[0052]AF=A0+0F=A0+AD
[0053]BF=EG-EO=ED - EO
[0054]由上面的式子可得:
[0055]J2-J1 = Y0-Y1-(Xo-Xi)
[0056]X2-X1 = Y0-Y^X0-X1
[0057]整理后，得出
【權(quán)利要求】
1.一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其特征在于，包括: 獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)； 獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)； 根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)； 根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)角度為90度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其特征在于，所述獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)的步驟具體為: 獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；或者` 獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)的步驟具體為: 在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)9 O度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+yl-y2)/2,以及公式y(tǒng)0= (x2_xl+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù)，xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；或者 在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)9 O度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+y2-yl)/2,以及公式y(tǒng)0= (xl_x2+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù)，xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)。
5.一種劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置，其特征在于，所述裝置包括: 第一獲取模塊，用于獲取劃片機(jī)CCD鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述劃片機(jī)工作臺(tái)上一特征點(diǎn)重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在一坐標(biāo)系中Y軸上的第一坐標(biāo)參數(shù)以及工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第二坐標(biāo)參數(shù)； 第二獲取模塊，用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿一預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)一預(yù)設(shè)角度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)； 第三獲取模塊，用于根據(jù)所述第一坐標(biāo)參數(shù)、所述第二坐標(biāo)參數(shù)、所述第三坐標(biāo)參數(shù)、所述第四坐標(biāo)參數(shù)，獲取所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；其中，所述交點(diǎn)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)； 控制模塊，用于根據(jù)所述交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)，控制所述鏡頭幾何中心點(diǎn)、所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)與所述交點(diǎn)重合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置，其特征在于，所述預(yù)設(shè)角度為90度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置，其特征在于，所述第二獲取模塊具體用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)；或者 用于獲取在工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度后所述鏡頭幾何中心點(diǎn)與所述特征點(diǎn)再次重合后，所述鏡頭幾何中心點(diǎn)在Y軸上的第三坐標(biāo)參數(shù)以及所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)在X軸上的第四坐標(biāo)參數(shù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置，其特征在于，所述第三獲取模塊具體用于在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+yl_y2)/2,以及公式y(tǒng)0= (x2_xl+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù),xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)；或者 用于在所述工作臺(tái)繞所述工作臺(tái)幾何中心點(diǎn)沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度時(shí)，根據(jù)公式x0=(x2+xl+y2-yl)/2,以及公式y(tǒng)0= (xl_x2+yl+y2)/2,計(jì)算得到所述X軸與所述Y軸的交點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)(x0, y0);其中，yl為第一坐標(biāo)參數(shù)，y2為第三坐標(biāo)參數(shù)，xl為第二坐標(biāo)參數(shù)，x2為第四坐標(biāo)參數(shù)，(x0, y0)為所述回轉(zhuǎn)軸中心位置點(diǎn)坐標(biāo)參數(shù)。
9.一種劃片機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求5至8任一項(xiàng)所述的劃片機(jī)回轉(zhuǎn)軸中心位置調(diào)整裝置。
【文檔編號(hào)】G05D3/12GK103728989SQ201310750691
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】劉曉斌, 樊兵, 劉婷婷 申請(qǐng)人:北京中電科電子裝備有限公司