一種直流電源輸出換向系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種將直流電源輸出換向的【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是應(yīng)用在不同工作電位的離子注入機(jī)直流電源輸出換向技術(shù)。一種直流電源輸出換向系統(tǒng)，包括工控機(jī)(1)、光纖(2)、光纖控制單元(3)、換向器(4)設(shè)有狀態(tài)顯示單元(7)與換向元件(6)、直流電源(5)、直流電源輸出線(10)、換向后輸出線(8)以及磁鐵線包(9)。說明書對一種直流電源輸出換向系統(tǒng)作出了詳細(xì)說明，并給出了具體實(shí)施例。
【專利說明】—種直流電源輸出換向系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將直流電源輸出進(jìn)行換向向磁場線包供電的【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是應(yīng)用在不同工作電位的離子注入機(jī)直流電源輸出換向技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前電路的集成度越來越高，結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，存儲(chǔ)速度越來越快，對材料性能的要求越來越苛刻。到65nm代器件，源漏區(qū)注入不但最小結(jié)深只有15nm，而且要求暈(halo)注入的摻雜濃度非常大，達(dá)到lE16/cm2量級，中束流注入機(jī)的能量范圍和注入效率都已不能適應(yīng)這一工藝要求，只有超低能大束流注入才能滿足注入結(jié)深和注入劑量大要求。與傳統(tǒng)的注入機(jī)不同，低能大束流離子注入對設(shè)備在束平行性、束能量純度、離子束減速技術(shù)、注入晶圓電荷消除技術(shù)、離子束擴(kuò)束技術(shù)、注入深度控制、注入重復(fù)性、均勻性與生產(chǎn)率等方面都提出了更高的要求。離子源產(chǎn)生高密度等離子體，由引出系統(tǒng)引出具有一定張角的寬帶離子束，在寬帶束低能離子注入機(jī)中用于控制透鏡磁場的直流電源分布在不同的電位，許多透鏡磁場的調(diào)節(jié)方式，要求電源電流能正負(fù)可變，而市場上很難找著既能滿足輸出大電流又能提供換向功能的電源，僅有幾家配有換向功能選項(xiàng)的電源廠家，不僅價(jià)格昂貴，而且只能通過SCPI命令控制，通過工控機(jī)直接與電源連接通訊才能完成換向功能，無法通過0-10V標(biāo)準(zhǔn)模擬接口處控制，無法實(shí)現(xiàn)不同的工作電位換向控制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明專利即是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的一種結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)現(xiàn)可靠的用于具有不同工作電位的離子注入機(jī)直流電源輸出換向技術(shù)。
[0004]本發(fā)明專利通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0005]—種直流電源輸出換向系統(tǒng)，包括工控機(jī)(I)、光纖(2)、光纖控制單兀(3)、換向器⑷設(shè)有狀態(tài)顯示單元⑵與換向元件(6)、直流電源(5)、直流電源輸出線(10)換向后輸出線⑶以及磁鐵線包(9)。所述換向器⑷由態(tài)顯示單元(7)與換向元件(6)構(gòu)成。
[0006]所述的工控機(jī)(I)與光纖控制單元通過光纖(2)相連；所述光纖控制單元(3)與狀態(tài)顯示單元⑵和換向元件(6)相連；所述換向元件(6)與所述光纖控制單元(3)以及所述狀態(tài)顯示單元(7)相連；所述直流電源(5)通過直流電源輸出線(10)與換向元件(6)相連；所述的換向元件(6)通過換向后輸出線與磁鐵線包(9)相連。
[0007]相對現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述電路的有益效果在于:
[0008]1.僅用一個(gè)換向元件實(shí)現(xiàn)直流電源輸出換向，解決了常見多個(gè)元件控制時(shí)因響應(yīng)不同步造成換向失敗或接觸不好；
[0009]2.電路簡潔，可以實(shí)現(xiàn)模塊化，利于生產(chǎn)和安裝，成本低；
[0010]3.無需改變和破壞正在使用運(yùn)行的現(xiàn)有直流電源的結(jié)構(gòu)和電路就能順利的滿足不同工作電位電源輸出端換向的功能；【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明所述直流電源換向系統(tǒng)原理框圖；
[0012]圖2是本發(fā)明所述直流電源換向系統(tǒng)實(shí)施電路原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0014]參見圖1 一種直流電源輸出換向系統(tǒng)，包括工控機(jī)(I)、光纖(2)、光纖控制單兀
(3)、換向器⑷設(shè)有狀態(tài)顯示單元(7)與換向元件(6)、直流電源(5)、直流電源輸出線
(10)換向后輸出線⑶以及磁鐵線包(9)。所述換向器⑷由態(tài)顯示單元(7)與換向元件
(6)構(gòu)成。
[0015]所述的工控機(jī)(I)與光纖控制單元通過光纖(2)進(jìn)行通訊，進(jìn)行數(shù)據(jù)的發(fā)送和接收實(shí)現(xiàn)高低電位光電隔離；所述光纖控制單元(3)與狀態(tài)顯示單元(7)和換向元件(6)相連；所述換向元件(6)與所述光纖控制單元(3)以及所述狀態(tài)顯示單元(7)相連；所述直流電源(5)通過直流電源輸出線(10)與換向元件(6)相連；所述的換向元件(6)通過換向后輸出線與磁鐵線包(9)相連。
[0016]所述換向元件(6)采用帶多組常閉，多組常開的交流接觸器來滿足直流電源輸出換向功能及狀態(tài)信號(hào)的采集。
[0017]參見圖2，當(dāng)工控機(jī)(I)通過光纖(2)未向光纖控制單元(2)發(fā)送換向使能信號(hào)時(shí)，光纖控制信號(hào)⑶通過連線(401)發(fā)送低電平信號(hào)，此時(shí)換向元件(6)即Kl接觸器線包不得電未動(dòng)作，直流電源(5)通過直流電源輸出線(10)以及Kl接觸器常閉觸點(diǎn)KlE和KlG將直流電源(5)輸出的電流直接加在磁鐵線包(9)上，Kl接觸器常閉觸點(diǎn)KlA將通過連線(402)將未換向的狀態(tài)信號(hào)反饋到光纖控制單元，同時(shí)Kl接觸器的常閉觸D點(diǎn)KlB和KlC分布將換向和未換向的狀態(tài)信號(hào)送與狀態(tài)顯示板(X)顯示，便于實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地監(jiān)控直流電源
(5)加到磁場線包上的電流工作狀態(tài)；當(dāng)工控機(jī)(I)通過光纖(2)向光纖控制單元(2)發(fā)送換向使能信號(hào)時(shí)，光纖控制信號(hào)(3)通過連線(401)發(fā)送高電平信號(hào)，此時(shí)換向元件(6)即Kl接觸器線包得電動(dòng)作，Kl接觸器常閉觸點(diǎn)KlE和KlG斷開，常開觸點(diǎn)KlD和KlF閉合，此時(shí)直流電源(5)通過直流電源輸出線(10)經(jīng)過觸點(diǎn)KlD和K1F，將直流電源(5)輸出的電流正負(fù)互換后加在磁鐵線包(9)上，同時(shí)光纖控制單元(7)及狀態(tài)顯示單元實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地監(jiān)控直流電源(5)加到磁場線包上的電流工作狀態(tài)；
[0018]本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對本發(fā)明專利專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種直流電源輸出換向系統(tǒng)，其特征在于:該系統(tǒng)包括工控機(jī)(I)、光纖(2)、光纖控制單元⑶、換向器(4)、直流電源(5)、直流電源輸出線(10)、換向后輸出線⑶以及磁鐵線包(9)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種直流電源輸出換向系統(tǒng)，其特征在于:僅用一個(gè)換向兀件完成直流電源輸出的換向。
3.如權(quán)利要求1所述的一種直流電源輸出換向系統(tǒng)，其特征在于所述換向器(4)由狀態(tài)顯示單元(7)與換向元件(6)構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】G05B19/04GK103777530SQ201210442567
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】彭彬 申請人:北京中科信電子裝備有限公司