一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，包括：服務(wù)器(1)、工控機(jī)(2)、離子注入機(jī)臺(tái)(3)、工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)、工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務(wù)器(1)與工控機(jī)(2)，服務(wù)器(1)與工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)之間是通過(guò)TCP/IP協(xié)議進(jìn)行通信，離子注入機(jī)設(shè)備(3)與服務(wù)器(1)和工控機(jī)(2)之間都是通過(guò)RS232串口或者TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊；工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運(yùn)行于服務(wù)器(1)上的軟件，HOST(7)為運(yùn)行在工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)的軟件。
【專利說(shuō)明】一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造工廠自動(dòng)化車間級(jí)控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]離子注入機(jī)是一種是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入是對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型的設(shè)備，離子注入機(jī)由離子源、均勻性控制系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、靶室系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和輔助系統(tǒng)等組成。此設(shè)備在高真空、高電壓等復(fù)雜環(huán)境下進(jìn)行，在此背景下，對(duì)離子注入機(jī)設(shè)備的自動(dòng)化控制尤其重要，以提高生產(chǎn)效能，減少人工數(shù)量，降低廠商成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是通過(guò)面向國(guó)際SEMI標(biāo)準(zhǔn)的工廠自動(dòng)化設(shè)備控制方法，以提高生產(chǎn)效能，減少人工數(shù)量，降低廠商成本的設(shè)備遠(yuǎn)程控制方法。
[0004]本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]1.本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，包括:服務(wù)器(I)、工控機(jī)(2)、離子注入機(jī)臺(tái)(3)、工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)、工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務(wù)器(I)與工控機(jī)(2)，服務(wù)器(I)與工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)之間是通過(guò)TCP/IP協(xié)議進(jìn)行通信，離子注入機(jī)設(shè)備(3)與服務(wù)器(I)和工控機(jī)
(2)之間都是通過(guò)RS232串口或者TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊；工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運(yùn)行于服務(wù)器(I)上的軟件，HOST (7)為運(yùn)行在工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)⑷的軟件。
[0006]2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:通過(guò)遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)控制離子注入機(jī)臺(tái)(3)，以實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)的車間級(jí)管理。
[0007]3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)可以向不同的離子注入機(jī)臺(tái)(3)發(fā)出統(tǒng)一的、符合SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的操作指令。
[0008]4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:通過(guò)遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化發(fā)出簡(jiǎn)單的組合命令，離子注入機(jī)臺(tái)(3)完成一系列復(fù)雜的晶片離子注入操作。
[0009]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0010]1.軟件模塊間面向接口編程，各個(gè)功能快層次清晰，確保單個(gè)軟件故障不影響整個(gè)設(shè)備，故障診斷簡(jiǎn)單。
[0011]2.控制邏輯層周期請(qǐng)求讀取離子注入機(jī)臺(tái)(3)數(shù)據(jù)，以保證工廠自動(dòng)化遠(yuǎn)程獲取設(shè)備實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，提高設(shè)備性能。如圖2
[0012]3.采用狀態(tài)機(jī)的編程模式，通過(guò)完善的流程和系統(tǒng)控制方法，在保證設(shè)備安全的iu提下，提聞了程序的執(zhí)行速度，節(jié)約了時(shí)間，提聞了效率。[0013]4.采用國(guó)際半導(dǎo)體SEMI標(biāo)準(zhǔn)。如圖3，離子注入機(jī)臺(tái)(3)向工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)發(fā)出S6F11命令(表示FOUP Arrived信息)，工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)返回S6F12命令，進(jìn)行下一步操作，其中S6F11和S6F12是國(guó)際半導(dǎo)體SEMI標(biāo)準(zhǔn)指令。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為離子注入工廠自動(dòng)化的通信控制模式圖。
[0015]圖2為離子注入工廠自動(dòng)化的軟件架構(gòu)圖。
[0016]圖3為離子注入工廠自動(dòng)化的控制流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖1、附圖2和附圖3對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0018]如圖1中所示，服務(wù)器(I)和工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)采用TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊，雙方基于異步通信，服務(wù)器(4)端接收和處理工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)發(fā)出的命令，同時(shí)向工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)反饋事件及相關(guān)參數(shù)；服務(wù)器(I)與離子注入機(jī)臺(tái)(3)不同子系統(tǒng)采用TCP/IP網(wǎng)絡(luò)或者RS232串口通訊，雙方基于異步通信方式，關(guān)鍵設(shè)備間都采用設(shè)備連鎖方法保護(hù)設(shè)備以避免用戶的誤操作；工控機(jī)(2)上運(yùn)行著離子注入機(jī)臺(tái)(2)設(shè)備的嵌入式程序，工控機(jī)(2)與離子注入機(jī)臺(tái)(3)不同子設(shè)備采用TCP/IP網(wǎng)絡(luò)或者RS232串口通訊，工控機(jī)(2)實(shí)時(shí)采集設(shè)備數(shù)據(jù)；而服務(wù)器(I)與工控機(jī)(2)是通過(guò)TCP/IP網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通信，服務(wù)器發(fā)出命令后，不能再次進(jìn)行相應(yīng)操作，等待命令反饋結(jié)果后，才能進(jìn)行其他命令操作，這樣可以避免誤操作，對(duì)設(shè)備部件造成損壞，同時(shí)也是設(shè)備聯(lián)鎖機(jī)制的一部分，提聞設(shè)備的穩(wěn)定性。
[0019]如圖2中所示，工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)⑷運(yùn)行著HOST端SEMI標(biāo)準(zhǔn)程序，向設(shè)備發(fā)出命令，控制邏輯處理(8)翻譯SEMI命令，并向通訊處理(6)層轉(zhuǎn)發(fā)，通訊處理(6)向工廠自動(dòng)化處理層(5)轉(zhuǎn)發(fā)，工廠自動(dòng)化處理層(5)中維護(hù)工廠自動(dòng)化狀態(tài)自動(dòng)機(jī)，工廠自動(dòng)化處理層(5)處理命令，并向通訊處理(6)反饋事件及參數(shù)，通訊處理(6)向控制邏輯處理
(8)轉(zhuǎn)發(fā)，控制邏輯處理(8)按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)向H0ST(7)發(fā)送，操作人員收到信息后，進(jìn)行下一步處理。
[0020]如圖3中所示，工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(I)和服務(wù)器(I)間的控制流程，其中FA為服務(wù)器(I)上的工廠自動(dòng)化處理層(5)程序。
[0021 ] 本發(fā)明專利的特定實(shí)施 例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，包括:服務(wù)器(I)、工控機(jī)(2)、離子注入機(jī)臺(tái)(3)、工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)、工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務(wù)器(I)與工控機(jī)(2)，服務(wù)器(I)與工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)(4)之間是通過(guò)TCP/IP協(xié)議進(jìn)行通信，離子注入機(jī)設(shè)備(3)與服務(wù)器(I)和工控機(jī)(2)之間都是通過(guò)RS232串口或者TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊；工廠自動(dòng)化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運(yùn)行于服務(wù)器(I)上的軟件，HOST (7)為運(yùn)行在工廠自動(dòng)化控制計(jì)算機(jī)⑷的軟件。
2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:通過(guò)遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)控制離子注入機(jī)臺(tái)(3)，以實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)的車間級(jí)管理。
3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:工廠自動(dòng)化計(jì)算機(jī)(4)可以向不同的離子注入機(jī)臺(tái)發(fā)出統(tǒng)一的、符合SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的操作指令。
4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)工廠自動(dòng)化控制方法，其特征在于:通過(guò)遠(yuǎn)程的工廠自動(dòng)化發(fā)出簡(jiǎn)單的組合命令，離子注入機(jī)臺(tái)(3)完成一系列復(fù)雜的晶片離子注入操作。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK103809530SQ201210442534
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】余佳 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司