專利名稱：數(shù)控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行控制的數(shù)控裝置，特別地，涉及一種對(duì)由平移軸及旋轉(zhuǎn)軸具有的誤差產(chǎn)生的影響進(jìn)行校正，從而可以進(jìn)行高精度的加工的數(shù)控裝置。
背景技術(shù)：
首先，使用圖5，對(duì)由于平移軸的運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的姿態(tài)誤差進(jìn)行說明。對(duì)于由引導(dǎo)部2約束運(yùn)動(dòng)方向而在X軸方向運(yùn)動(dòng)的工作臺(tái)I來說，公知在X軸方向的平移誤差、Y軸方向的平移誤差及Z軸方向的平移誤差的基礎(chǔ)上，存在圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)的姿態(tài)誤差(偏轉(zhuǎn))、圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)的姿態(tài)誤差(俯仰)及圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的姿態(tài)誤差(滾動(dòng))。各個(gè)方向的平移誤差與工作臺(tái)I上的相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的距離無關(guān)而是恒定的，但由姿態(tài)誤差產(chǎn)生的影響根據(jù)與上述基準(zhǔn)點(diǎn)的距離而不同，因此，其校正更加困難。
另外，使用圖6對(duì)垂直度誤差或旋轉(zhuǎn)軸中心線的傾斜進(jìn)行說明。例如，考慮X軸和Z軸的關(guān)系，理想情況下希望其是完全正交的，但如圖6中左圖所示，實(shí)際上存在由組裝誤差等的影響產(chǎn)生的垂直度誤差。如果存在這種垂直度誤差，則會(huì)產(chǎn)生由平移軸的運(yùn)動(dòng)引起的平移誤差。同樣地，例如由于傾斜旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)3的組裝誤差等的影響，原本應(yīng)與X軸平行的A軸旋轉(zhuǎn)中心線和原本應(yīng)與Z軸平行的C軸旋轉(zhuǎn)中心線，均存在平行度誤差，如果存在這種誤差，則會(huì)產(chǎn)生由旋轉(zhuǎn)軸運(yùn)動(dòng)引起的平移誤差和姿態(tài)誤差。此外，如圖6中右圖所示，由于約束A軸運(yùn)動(dòng)的軸承等的影響，有時(shí)會(huì)觀察到在使A軸旋轉(zhuǎn)的情況下，C軸旋轉(zhuǎn)中心線的方向變化的現(xiàn)象，其成為由旋轉(zhuǎn)軸運(yùn)動(dòng)引起平移誤差和姿態(tài)誤差的原因。目前，提出一種方法(例如參照專利文獻(xiàn)1)，其用于在旋轉(zhuǎn)軸中心位置從本來的位置偏離或傾斜的情況下，或主軸旋轉(zhuǎn)中心從本來的位置偏離或傾斜的情況下，使用2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸來校正刀具方向，使用3個(gè)平移軸來校正刀具前端位置。另外，提出一種方法(例如參照專利文獻(xiàn)2)，其根據(jù)與平移軸相關(guān)的平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差，及與旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)的平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差，計(jì)算刀具前端位置所產(chǎn)生的平移誤差量，將2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸向被指令的角度驅(qū)動(dòng)，將3個(gè)平移軸向與上述平移誤差量對(duì)應(yīng)地校正后的位置驅(qū)動(dòng)。專利文獻(xiàn)I :日本專利第4038185號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利第4327894號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而,使用專利文獻(xiàn)I中記載的誤差校正方法,可以校正由旋轉(zhuǎn)軸中心位置偏離或傾斜引起的刀具前端位置的平移誤差和姿態(tài)誤差，但不能體現(xiàn)中心位置的偏離或傾斜，例如無法校正由圖6右側(cè)所示的誤差產(chǎn)生的影響。另外，因?yàn)槭褂?個(gè)旋轉(zhuǎn)軸校正3個(gè)方向的姿態(tài)誤差，所以除了可能由于姿態(tài)誤差的方向而使旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行操作者意料之外的運(yùn)動(dòng)以外，在利用相同軸結(jié)構(gòu)的機(jī)械加工相同形狀的情況下，還可能由于姿態(tài)誤差的方向而成為完全不同的動(dòng)作。此外，還存在無法校正與平移軸相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差的問題。另外，在專利文獻(xiàn)2記載的方法中，可以校正由與平移軸相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差、及與旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差引起的刀具前端位置的偏離，但因?yàn)閷⑿D(zhuǎn)軸向所指令的角度驅(qū)動(dòng)，所以姿態(tài)誤差完全未得到校正。本發(fā)明是鑒于上述課題提出的，目的在于提供一種數(shù)控裝置，其可以通過使刀具前端位置移動(dòng)至沒有誤差的位置，并且，對(duì)于可合理校正的方向的刀具姿態(tài)，保持為沒有誤差的姿態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)高精度的加工。本發(fā)明涉及的數(shù)控裝置對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行控制，其具有旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn) 軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。另外，本發(fā)明涉及的數(shù)控裝置對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行控制，其具有平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。另外，本發(fā)明涉及的數(shù)控裝置對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行控制，其具有平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分、和與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種數(shù)控裝置，其通過使刀具前端位置移動(dòng)至沒有誤差的位置，并且，對(duì)于可合理校正的方向的刀具姿態(tài)，保持為沒有誤差的姿態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)高精度的加工。


圖I是本發(fā)明的實(shí)施例I涉及的數(shù)控裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖2是說明使用本發(fā)明的工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)型5軸加工機(jī)的示意圖。圖3是說明使用本發(fā)明的混合型5軸加工機(jī)的示意圖。圖4是說明使用本發(fā)明的主軸頭旋轉(zhuǎn)型5軸加工機(jī)的示意圖。圖5是說明與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的示意圖。圖6是說明垂直度誤差及旋轉(zhuǎn)軸中心線傾斜的示意圖。標(biāo)號(hào)的說明I工作臺(tái)2運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)部
3傾斜旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4平移軸相關(guān)誤差保存部5旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)誤差保存部6平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元7旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元8旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元9位置疊加校正量計(jì)算單元10主軸頭
11 刀具12 工件13 支柱14 夾盤15萬能頭
具體實(shí)施例方式實(shí)施例I下面，使用圖I至圖4對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例I進(jìn)行說明。此外，圖I是表示實(shí)施例I中的數(shù)控裝置的進(jìn)行平移軸位置校正量和旋轉(zhuǎn)軸角度校正量的計(jì)算的部分的結(jié)構(gòu)圖。另夕卜，該實(shí)施例I中的數(shù)控裝置的硬件結(jié)構(gòu)是由CPU、存儲(chǔ)器等構(gòu)成的一般結(jié)構(gòu)，另外，保存部4、5 (存儲(chǔ)器)以外的結(jié)構(gòu)要素(平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元6、旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元7、旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元8、位置疊加校正量計(jì)算單元9等)主要由軟件構(gòu)成。在圖I中，在平移軸相關(guān)平移誤差 平移軸相關(guān)姿態(tài)誤差保存部4 (以下稱為平移軸相關(guān)誤差保存部)中，將與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，作為與平移軸的指令位置相對(duì)應(yīng)的數(shù)值數(shù)據(jù)進(jìn)行保存。已知在具有3個(gè)平移軸(X軸、Y軸及Z軸)的機(jī)械中，作為與X軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的誤差分量,存在xtx、xty、xtz、xrx、xry、xrz這6個(gè)量。其中，xtx表示伴隨X軸運(yùn)動(dòng)的X軸方向的平移誤差，xty表示伴隨X軸運(yùn)動(dòng)的Y軸方向的平移誤差。平移誤差的單位是米。另外，xrx表示伴隨X軸運(yùn)動(dòng)的圍繞X軸的姿態(tài)誤差(滾動(dòng))，xry表示伴隨X軸運(yùn)動(dòng)的圍繞Y軸的姿態(tài)誤差(俯仰)。姿態(tài)誤差的單位是弧度。同樣地,關(guān)于Y軸，也存在ytx、yty、ytz、yrx、yry、yrz這6個(gè)分量的誤差,關(guān)于Z軸，也存在ztx、zty> ztz、zrx、zry、zrz這6個(gè)分量的誤差,在此基礎(chǔ)上，因?yàn)榇嬖赯軸與Y軸之間的垂直度誤差ywx、Y軸與Z軸之間的垂直度誤差zwy、及Z軸與X軸之間的垂直度誤差zwx，所以與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的誤差共計(jì)21個(gè)分量。此外，將與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差，定義為工件與刀具間的相對(duì)角度誤差。在旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)平移誤差 旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)姿態(tài)誤差保存部5 (以下稱為旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)誤差保存部)中，將與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，作為與旋轉(zhuǎn)軸的指令角度相對(duì)應(yīng)的數(shù)值數(shù)據(jù)進(jìn)行保存。例如，在僅有圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)的C軸這I個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的機(jī)械中，作為與C軸的旋轉(zhuǎn)相關(guān)的誤差分量,與平移軸的情況同樣地,存在ctx、cty> ctz、crx、cry、crz這6個(gè)量。因?yàn)镃軸是指C軸的旋轉(zhuǎn)中心線，所以ctx表示伴隨C軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)中心位置的X軸方向的平移誤差，Cty表示伴隨C軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)中心位置的Y軸方向的平移誤差。平移誤差的單位是米，其定義在固定于機(jī)械原點(diǎn)的機(jī)械坐標(biāo)系上。另外，crx表示伴隨C軸旋轉(zhuǎn)的圍繞X軸的旋轉(zhuǎn)中心線的姿態(tài)誤差，cry表示伴隨C軸旋轉(zhuǎn)的圍繞Y軸的旋轉(zhuǎn)中心線的姿態(tài)誤差。姿態(tài)誤差的單位是弧度，其定義在固定于機(jī)械原點(diǎn)的機(jī)械坐標(biāo)系上。具有3個(gè)平移軸、2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的數(shù)控裝置，例如稱為5軸加工機(jī)，在工業(yè)界被廣泛應(yīng)用。5軸加工機(jī)根據(jù)將2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸配置在刀具側(cè)和工件側(cè)中的哪一側(cè)，大致分成3種類型。第I種例如如圖2所示，將2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸配置在工件側(cè)，稱為“工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)型”。第2種例如如圖3所示，將I個(gè)旋轉(zhuǎn)軸配置在刀具側(cè)，將另I個(gè)旋轉(zhuǎn)軸配置在工件側(cè)，稱為“混合型”或“主軸頭 工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)型”。第3種例如如圖4所示，將2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸配置在刀具側(cè)，稱為“主軸頭旋轉(zhuǎn)型”。此外，在圖2至圖4中，3是傾斜旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、10是主軸頭、11是刀具、12是工件、13是支柱、14是夾盤、15是萬能頭。 在圖2所示的工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)型的情況下，由于隨著A軸的旋轉(zhuǎn)角度的不同而使C軸旋轉(zhuǎn)中心線的方向變化，因此，伴隨C軸的旋轉(zhuǎn)的平移誤差及姿態(tài)誤差也受到由A軸的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的影響。同樣地，在圖4所示的主軸頭旋轉(zhuǎn)型的情況下，由于隨著C軸的旋轉(zhuǎn)角度的不同而使B軸旋轉(zhuǎn)中心線的方向變化，因此，伴隨B軸的旋轉(zhuǎn)的平移誤差和姿態(tài)誤差也受到由C軸的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的影響。在上述情況下，優(yōu)選將與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和角度誤差，設(shè)定為與2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的2維表格。即，在工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)型的情況下，作為靠近工件側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸中心線的平移誤差和姿態(tài)誤差，在主軸頭旋轉(zhuǎn)型的情況下，作為靠近刀具側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸中心線的平移誤差和姿態(tài)誤差，設(shè)定rtx、rty、rtz、rrx、rry、rrz。上述的誤差分量，保存為與2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的規(guī)定的指令角度相對(duì)應(yīng)的數(shù)值數(shù)據(jù)。另一方面，在圖3所示的混合型的情況下，因?yàn)?個(gè)旋轉(zhuǎn)軸分別分開配置在刀具側(cè)和工件側(cè)，所以I個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度不會(huì)對(duì)另I個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)中心線的方向產(chǎn)生影響。在這種情況下，將每個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的平移誤差和姿態(tài)誤差，分別設(shè)定為與各旋轉(zhuǎn)軸的規(guī)定的指令角度相對(duì)應(yīng)的數(shù)值數(shù)據(jù)，即，與C軸的旋轉(zhuǎn)相關(guān)的誤差分量ctx、cty> ctz、crx、cry、crz,和與B軸的旋轉(zhuǎn)相關(guān)的誤差分量btx、bty、btz、brx、bry、brz。使用平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元6，根據(jù)在平移軸相關(guān)誤差保存部4中保存的平移軸相關(guān)平移誤差和平移軸相關(guān)姿態(tài)誤差，計(jì)算刀具前端位置的位置誤差。如果將由平移軸相關(guān)平移誤差及姿態(tài)誤差而產(chǎn)生的刀具前端位置的位置誤差設(shè)為Et，將指令位置設(shè)為X，將刀具矢量設(shè)為1，則匕可以通過算式I計(jì)算。平移軸相關(guān)位置校正量為使算式I的符號(hào)相反的值。(算式I)Et = P+AX+AtXt其中，
~e^7l 「工1 FxfI xix +ytx-￥ ztxEt = efr ,X= y sXt = J1 ,F= xty+yty-\- zty
ezT J zzt \j$z^ytz^ztz
權(quán)利要求
1.一種數(shù)控裝置，其對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行數(shù)值控制， 其特征在于，具有 旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量； 旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及 位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。
2.一種數(shù)控裝置，其對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行數(shù)值控制， 其特征在于，具有 平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量； 旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及 位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。
3.—種數(shù)控裝置，其對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行數(shù)值控制， 其特征在于，具有 平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量； 旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量； 旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分、和與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及 位置疊加校正量計(jì)算單元，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。
4.如權(quán)利要求3所述的數(shù)控裝置，其特征在干， 上述與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，在通過權(quán)利要求2所述的數(shù)控裝置對(duì)由上述與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和平移誤差產(chǎn)生的影響進(jìn)行校正后的狀態(tài)下測量。
5.如權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的數(shù)控裝置，其特征在干， 在具有大于或等于2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸的數(shù)控工作機(jī)械中，上述旋轉(zhuǎn)軸校正量計(jì)算單元計(jì)算旋轉(zhuǎn)中心線的方向不隨其他旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)而變化的旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量。
6.如權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的數(shù)控裝置，其特征在干， 上述旋轉(zhuǎn)軸校正量計(jì)算單元使以規(guī)定的角度機(jī)械固定的旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量為零。
全文摘要
為了校正由與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差及姿態(tài)誤差、和與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差及姿態(tài)誤差產(chǎn)生的影響，從而實(shí)現(xiàn)高精度的加工，數(shù)控裝置對(duì)具有平移軸和旋轉(zhuǎn)軸的工作機(jī)械進(jìn)行控制，該數(shù)控裝置構(gòu)成為，具有平移軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元(6)，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸相關(guān)位置校正量計(jì)算單元(7)，其根據(jù)與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的平移誤差和姿態(tài)誤差，計(jì)算平移軸的位置校正量；旋轉(zhuǎn)軸角度校正量計(jì)算單元(8)，其根據(jù)與平移軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分和與旋轉(zhuǎn)軸的運(yùn)動(dòng)相關(guān)的姿態(tài)誤差的一部分，計(jì)算旋轉(zhuǎn)軸的角度校正量；以及位置疊加校正量計(jì)算單元(9)，其計(jì)算與上述旋轉(zhuǎn)軸校正量相對(duì)應(yīng)的平移軸的位置校正量。
文檔編號(hào)G05B19/404GK102782598SQ20108006483
公開日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2010年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月25日
發(fā)明者中村直樹, 佐藤隆太, 小野俊郎, 藤野大助 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社