專利名稱：用于過程狀態(tài)監(jiān)測和端點(diǎn)檢測的斜率對(duì)門限變換的方法及設(shè)備的制作方法
背景技術(shù)：
1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體制造，更具體來說，涉及半導(dǎo)體制造過程中的過程和晶片狀態(tài)監(jiān)測的實(shí)時(shí)計(jì)量。
2.相關(guān)技術(shù)說明在半導(dǎo)體制作過程中，存在多個(gè)步驟，在其中，基礎(chǔ)襯底進(jìn)行各種層、覆蓋層的形成、修改和消除，或者形成圖案。小形體尺寸、密集表面平面性要求與對(duì)提高吞吐量的恒定追求使得極為需要在已經(jīng)獲得所處理薄膜的目標(biāo)屬性(厚度、阻力、平面度、透明度、化學(xué)成分等)時(shí)、即在對(duì)于當(dāng)前過程步驟已經(jīng)達(dá)到終點(diǎn)時(shí)停止或改變過程參數(shù)。部分半導(dǎo)體制作步驟無疑在當(dāng)前過程步驟已經(jīng)完成獲取所定義晶片特性的任務(wù)之后轉(zhuǎn)變到后續(xù)制作步驟。用于晶片特性的控制的實(shí)時(shí)計(jì)量在這時(shí)是必要的，使得可確定特定處理操作的端點(diǎn)或轉(zhuǎn)變點(diǎn)。與半導(dǎo)體操作關(guān)聯(lián)的實(shí)時(shí)現(xiàn)場監(jiān)測提供關(guān)于處理操作的端點(diǎn)或轉(zhuǎn)變點(diǎn)有關(guān)的有用信息。牢固地鏈接到過程中的晶片的對(duì)象、無論是晶片本身或者是另一個(gè)對(duì)象的屬性通常在轉(zhuǎn)變之前和之后受到單調(diào)變化，在轉(zhuǎn)變本身的過程中遇到突然的屬性變化。這導(dǎo)致在被監(jiān)測系統(tǒng)足夠小以及對(duì)于檢驗(yàn)空間的監(jiān)視點(diǎn)同時(shí)出現(xiàn)轉(zhuǎn)變的情況下的監(jiān)測信號(hào)變化的階躍式屬性。對(duì)于較大的系統(tǒng)、如半導(dǎo)體晶片，存在與對(duì)應(yīng)于過程參數(shù)變化的數(shù)據(jù)點(diǎn)關(guān)聯(lián)的時(shí)間分布，它把階躍式轉(zhuǎn)變點(diǎn)轉(zhuǎn)移到斜率變化，從而創(chuàng)建端點(diǎn)或轉(zhuǎn)變點(diǎn)的指示符。但是，斜率變化檢測要求導(dǎo)數(shù)的使用，它們與減小的信噪比相關(guān)，從而使這個(gè)方法變得復(fù)雜。

圖1是在處理操作、如平面化處理操作過程中隨時(shí)間監(jiān)測的半導(dǎo)體晶片的厚度的曲線圖。線條100表示與用于確定處理操作過程中的端點(diǎn)/轉(zhuǎn)變點(diǎn)的基于紅外線(IR)的傳感器關(guān)聯(lián)的值。線條102表示與用于在處理過程中隨時(shí)間捕捉半導(dǎo)體晶片的厚度的多個(gè)渦流傳感器(ECS)關(guān)聯(lián)的值?？梢钥吹剑瑓^(qū)域104表示出現(xiàn)端點(diǎn)/轉(zhuǎn)變點(diǎn)的時(shí)間。在區(qū)域104中，與線條102和線條100關(guān)聯(lián)的一般斜率轉(zhuǎn)變。但是，對(duì)于IR監(jiān)測或渦流監(jiān)測所監(jiān)測的信號(hào)與每個(gè)行程改變的有效且可變的背景噪聲重疊。因此，當(dāng)測量基于導(dǎo)數(shù)的斜率以確定端點(diǎn)時(shí)，信噪比等級(jí)影響端點(diǎn)確定的穩(wěn)定性和可靠性。這樣，根據(jù)基于斜率的分析所預(yù)測的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的嵌入式確定沒有提供半導(dǎo)體操作必需的健壯數(shù)據(jù)。因此，需要解決先有技術(shù)的問題，以便提供一種用于對(duì)于通過被監(jiān)測過程參數(shù)的基于斜率的轉(zhuǎn)變出現(xiàn)的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的過程提供穩(wěn)定且可靠的轉(zhuǎn)變點(diǎn)確定的方法及設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
廣義來說，本發(fā)明通過消除對(duì)于分析基于導(dǎo)數(shù)的數(shù)據(jù)的需要并且實(shí)現(xiàn)通過門限分析確定轉(zhuǎn)變點(diǎn)，以便提供轉(zhuǎn)變點(diǎn)的確定的可靠性和穩(wěn)定性，來滿足這些需求。應(yīng)當(dāng)知道，本發(fā)明可通過多種方式來實(shí)現(xiàn)，其中包括例如方法、系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)可讀媒體或裝置。下面描述本發(fā)明的幾個(gè)創(chuàng)造性實(shí)施例。
在一個(gè)實(shí)施例中，提供一種用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法。該方法以定義與所監(jiān)測過程的值對(duì)應(yīng)的點(diǎn)的集合的近似方程來開始。然后，預(yù)測所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值。隨后，計(jì)算所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值。然后，對(duì)連續(xù)點(diǎn)監(jiān)測該差值，以便檢測測量值與預(yù)計(jì)值之間的偏差值。隨后，所監(jiān)測過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)根據(jù)偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)。
在另一個(gè)實(shí)施例中，提供一種用于通過門限檢測來檢測基于斜率的變化的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的方法。該方法以監(jiān)測與轉(zhuǎn)變點(diǎn)關(guān)聯(lián)的參數(shù)來開始。然后，參數(shù)的預(yù)計(jì)值從所監(jiān)測過程參數(shù)的過去值來計(jì)算。預(yù)計(jì)值對(duì)應(yīng)于所監(jiān)測過程參數(shù)的當(dāng)前值。隨后，定義門限值。然后，跟蹤當(dāng)前值與預(yù)計(jì)值之間的差值。隨后，當(dāng)該差值超過門限值時(shí)，標(biāo)識(shí)轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
在又一個(gè)實(shí)施例中，提供一種能夠通過門限確定實(shí)時(shí)檢測斜率變化轉(zhuǎn)變的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括處理模塊，它配置成處理半導(dǎo)體晶片，直至獲得與所處理的半導(dǎo)體晶片關(guān)聯(lián)的已定義參數(shù)。處理系統(tǒng)包括配置成監(jiān)測與過程操作關(guān)聯(lián)的過程參數(shù)的傳感器。該系統(tǒng)包括與傳感器通信的檢測器。檢測器配置成把測量值與預(yù)計(jì)值進(jìn)行比較，其中的測量值通過斜率變化來表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)。預(yù)計(jì)值從先前測量值中導(dǎo)出。檢測器還配置成跟蹤測量值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值，以便增強(qiáng)轉(zhuǎn)變點(diǎn)處的變化，從而使門限偏差值可以被定義。門限偏差值表明與過程操作關(guān)聯(lián)的轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
在又一個(gè)實(shí)施例中，提供一種用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的具有程序指令的計(jì)算機(jī)可讀媒體。計(jì)算機(jī)可讀媒體包括用于定義與所監(jiān)測過程的值對(duì)應(yīng)的點(diǎn)的集合的近似方程的程序指令以及用于預(yù)測所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值的程序指令。提供用于計(jì)算所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值的程序指令。包括用于監(jiān)測該差值以便檢測測量值與預(yù)計(jì)值之間的偏差值的程序指令以及用于根據(jù)偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)所監(jiān)測過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的程序指令。
通過以下作為實(shí)例、結(jié)合附圖描述本發(fā)明的原理的詳細(xì)說明、本發(fā)明的其它方面和優(yōu)點(diǎn)將變得非常明顯。
附圖簡介 通過以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，將便于理解本發(fā)明，相同參考標(biāo)號(hào)表示相同結(jié)構(gòu)元件。
圖1是在處理操作、如平面化處理操作過程中隨時(shí)間監(jiān)測的半導(dǎo)體晶片的厚度的曲線圖。
圖2是基于紅外線(IR)的軌跡的曲線圖，其中，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，轉(zhuǎn)變區(qū)域的噪聲級(jí)經(jīng)過平滑以表示轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
圖3是隨時(shí)間的信號(hào)軌跡的示范曲線圖，其中，該時(shí)間段包括轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
圖4是經(jīng)過平滑以消除噪聲的、圖3的信號(hào)的示范曲線圖。
圖5是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、從圖3的實(shí)際信號(hào)的點(diǎn)產(chǎn)生的預(yù)測信號(hào)的示范曲線圖。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、通過計(jì)算各種時(shí)間點(diǎn)的實(shí)際信號(hào)與相應(yīng)的預(yù)測信號(hào)之間的差值所產(chǎn)生的偏差信號(hào)的示范曲線圖。
圖7是示范曲線圖，其中包含相互疊加的圖4、5和6的曲線，以便說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的門限確定。
圖8A是示范曲線圖，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的實(shí)際信號(hào)和預(yù)測信號(hào)的軌跡。
圖8B是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、原始信號(hào)值的曲線圖以及實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的偏差的相應(yīng)曲線圖。
圖8C是曲線圖，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、與預(yù)計(jì)值軌跡重疊的圖8A和圖8B的實(shí)際軌跡和Δ軌跡，它們?nèi)坑糜诨谛甭实娜蝿?wù)到基于門限的任務(wù)的轉(zhuǎn)換。
圖9是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法的方法操作的流程圖。
圖10是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、與配置成把斜率檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)轉(zhuǎn)換為門限檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)的檢測器通信的處理模塊的高級(jí)示意圖。
圖11是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、具有紅外線傳感器以確定所處理的半導(dǎo)體襯底的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的CMP系統(tǒng)的簡化示意圖。
圖12是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、具有配置成確定所處理的半導(dǎo)體襯底的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的渦流傳感器的處理系統(tǒng)的簡化示意圖。
優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)說明 對(duì)于提供半導(dǎo)體處理操作過程中的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的可靠且穩(wěn)定測量的系統(tǒng)、裝置及方法來描述本發(fā)明。然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員十分清楚，即使沒有這些具體的詳細(xì)資料的部分或全部，也可以實(shí)施本發(fā)明。在其它情況下，眾所周知的過程操作沒有進(jìn)行詳細(xì)描述，以免不必要地影響對(duì)本發(fā)明的理解。圖1在“發(fā)明背景”部分描述。
本發(fā)明的實(shí)施例提供用于把斜率檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為門限檢測任務(wù)以及還簡化指示轉(zhuǎn)變的轉(zhuǎn)變特征的系統(tǒng)及方法。門限行為在零或常數(shù)信號(hào)的背景中產(chǎn)生階躍式特征，以及提供更簡單的檢測算法、更高的信噪比和更健壯的可檢測性。與基于斜率的確定相比，對(duì)于轉(zhuǎn)變點(diǎn)/端點(diǎn)的基于門限的確定提供增加的穩(wěn)定性和可靠性。對(duì)于半導(dǎo)體操作，又提供了更穩(wěn)定且可靠的觸發(fā)條件。也就是說，由于轉(zhuǎn)變點(diǎn)/端點(diǎn)以高度的可信度來確定，因此，要求實(shí)質(zhì)上精確測量的下游操作可通過嵌入計(jì)量來發(fā)起。因此，相關(guān)操作的半導(dǎo)體吞吐量可以相應(yīng)地增加。由相對(duì)導(dǎo)數(shù)分析的處理跟蹤信號(hào)的斜率的小變化所產(chǎn)生的復(fù)雜化通過轉(zhuǎn)換為跟蹤信號(hào)的門限類型來消除。應(yīng)當(dāng)知道，本文所使用的術(shù)語“端點(diǎn)”和“轉(zhuǎn)變點(diǎn)”是可交替的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員非常清楚，術(shù)語“端點(diǎn)”和“轉(zhuǎn)變點(diǎn)”可表示半導(dǎo)體過程或其它任何過程中的任何點(diǎn)，在其中正出現(xiàn)目標(biāo)變化、實(shí)現(xiàn)目標(biāo)狀態(tài)、或者達(dá)到與被監(jiān)測參數(shù)關(guān)聯(lián)的某個(gè)值的情況被用來觸發(fā)事件，例如端點(diǎn)或另一個(gè)過程操作的開始。
圖2是基于紅外線(IR)的軌跡的曲線圖，其中，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，轉(zhuǎn)變區(qū)域的噪聲級(jí)經(jīng)過平滑以表示轉(zhuǎn)變點(diǎn)。這里，在區(qū)域106中，噪聲級(jí)實(shí)質(zhì)上被消除，從而顯示作為平滑線的軌跡108?？梢钥吹?，與平滑軌跡108關(guān)聯(lián)的斜率在區(qū)域106中轉(zhuǎn)變。但是，與所監(jiān)測操作、如化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)操作或蝕刻操作關(guān)聯(lián)的噪聲阻止實(shí)時(shí)穩(wěn)定、可再現(xiàn)計(jì)數(shù)觸發(fā)事件，例如端點(diǎn)或另一個(gè)操作的開始。應(yīng)當(dāng)知道，雖然圖2說明與溫度相關(guān)的紅外線信號(hào)，但諸如渦流傳感器、振動(dòng)、光衍射等的其它信號(hào)將呈現(xiàn)相似屬性。也就是說，平滑斜率將表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)。但是，如上所述，背景噪聲阻止穩(wěn)定、精確實(shí)時(shí)讀取進(jìn)行斜率讀取。下面將更詳細(xì)地描述，斜率測量到門限測量的轉(zhuǎn)換消除了與影響對(duì)于關(guān)聯(lián)斜率測量的導(dǎo)數(shù)測量所分析的小差值的噪聲級(jí)關(guān)聯(lián)的不確定性。因此，實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)變點(diǎn)的更精確的實(shí)時(shí)檢測。表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)的斜率的小變化被斜率測量中的噪聲屏蔽，但是，本文所述的實(shí)施例實(shí)質(zhì)上消除了影響轉(zhuǎn)變點(diǎn)的確定的噪聲。
圖3是隨時(shí)間的信號(hào)軌跡的示范曲線圖，其中，該時(shí)間段包括轉(zhuǎn)變點(diǎn)。在這里，隨時(shí)間繪制信號(hào)110。在一個(gè)實(shí)施例中，信號(hào)110來自配置成檢測表明半導(dǎo)體操作過程中的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的過程參數(shù)的渦流傳感器。應(yīng)當(dāng)知道，這里可包括用于檢測半導(dǎo)體操作過程中的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的其它信號(hào)，例如紅外線、振動(dòng)、基于光學(xué)的信號(hào)等。可以看到，信號(hào)110具有與信號(hào)關(guān)聯(lián)的大量噪聲，但是，隨時(shí)間的趨勢(shì)表明時(shí)間100處的轉(zhuǎn)變點(diǎn)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將知道，基于斜率的確定在這里因背景噪聲而將產(chǎn)生不穩(wěn)定結(jié)果。
圖4是經(jīng)過平滑以消除噪聲的圖3的信號(hào)的示范曲線圖。在這里，線條110a已經(jīng)應(yīng)用了規(guī)則正弦噪聲濾波器，以便使信號(hào)平滑。在信號(hào)110a表示隨時(shí)間的渦流傳感器的值的情況下，轉(zhuǎn)變點(diǎn)通過大約在時(shí)間100處的斜率的變化來表示。如上所述，平滑斜率不能以穩(wěn)定和精確的方式實(shí)時(shí)產(chǎn)生。因此，基于斜率的確定在這里不是可行的備選方案。
圖5是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、從圖3的實(shí)際信號(hào)的點(diǎn)產(chǎn)生的預(yù)測信號(hào)的示范曲線圖。在這里，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，數(shù)據(jù)流程點(diǎn)的所選間隔的近似方程用來預(yù)測最近的數(shù)據(jù)讀取。如將參照?qǐng)D8A和圖8B更詳細(xì)地說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，預(yù)測信號(hào)通過把近似方程應(yīng)用于實(shí)際信號(hào)的歷史數(shù)據(jù)點(diǎn)來產(chǎn)生，以便產(chǎn)生預(yù)測實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)點(diǎn)。如圖5所示，線條110b表示的預(yù)測信號(hào)在時(shí)間100開始偏離圖3和圖4的實(shí)際信號(hào)，它表示轉(zhuǎn)變點(diǎn)。應(yīng)當(dāng)知道，近似方程可以是任何多項(xiàng)式方程。例如，近似方程可采取線性方程、拋物線方程或其它任何高階方程的形式。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、通過計(jì)算各種時(shí)間點(diǎn)的實(shí)際信號(hào)與相應(yīng)的預(yù)測信號(hào)之間的差值所產(chǎn)生的偏差信號(hào)的示范曲線圖。在這里，線條112表示預(yù)測信號(hào)與實(shí)際信號(hào)之間隨時(shí)間的差值。區(qū)域114表示噪聲的通道。也就是說，偏移可應(yīng)用于實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的差值，以便定義噪聲通道，在其中，噪聲通道外部的點(diǎn)將被認(rèn)為是轉(zhuǎn)變點(diǎn)的有效點(diǎn)。大體上，噪聲的通道定義實(shí)際值與預(yù)計(jì)值之間的差值周圍的邊界。在一個(gè)實(shí)施例中，偏移被選作標(biāo)準(zhǔn)偏差的值的3倍、即3σ。因此，在噪聲分布配置為高斯分布的情況下，3σ將覆蓋分布的所有點(diǎn)的99.7％。因此，在1000點(diǎn)之間，對(duì)于實(shí)際上在噪聲的通道之外的并且不是轉(zhuǎn)變點(diǎn)的起始的一個(gè)點(diǎn)，存在3×10-3的概率。根據(jù)所監(jiān)測過程的性質(zhì)，這個(gè)概率可減小或增加，以便提供符合要求的精確度。
圖7是示范曲線圖，其中包含相互疊加的圖4、5和6的曲線，以便說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的門限確定。在這里，圖4的線條110a、圖5的線條110b和線條112相互疊合。另外，還說明了噪聲通道114。應(yīng)當(dāng)知道，表示偏差信號(hào)、即實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的差值的線條112在時(shí)間100的轉(zhuǎn)變點(diǎn)上開始超過噪聲通道。下面將更詳細(xì)地說明，(噪聲的)3σ通道可經(jīng)過調(diào)整，以便提供正在檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)的更高或更低置信度。例如，要求高度精確度和準(zhǔn)確性的處理過程可能比要求較低精確度和準(zhǔn)確性的過程使用更寬的噪聲通道。在另一個(gè)實(shí)施例中，可要求噪聲通道的邊界之外的一個(gè)以上的連續(xù)點(diǎn)來觸發(fā)對(duì)轉(zhuǎn)變點(diǎn)的確認(rèn)。
圖8A是示范曲線圖，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的實(shí)際信號(hào)和預(yù)測信號(hào)的軌跡。線條120表示隨時(shí)間讀取的過程參數(shù)的曲線。應(yīng)當(dāng)知道，在一個(gè)實(shí)施例中，過程參數(shù)是與薄膜厚度關(guān)聯(lián)的過程參數(shù)。曲線圖的區(qū)域121表示預(yù)先轉(zhuǎn)變區(qū)域，而曲線圖的區(qū)域123則表示后轉(zhuǎn)變區(qū)域。因此，線條120表示兩個(gè)連續(xù)的過程，例如預(yù)先轉(zhuǎn)變區(qū)域過程和后轉(zhuǎn)變區(qū)域過程，以及在兩個(gè)過程之間的是轉(zhuǎn)變點(diǎn)的形式的中斷。這里的轉(zhuǎn)變點(diǎn)表明從一個(gè)狀態(tài)到另一個(gè)狀態(tài)的改變。雖然本文所述的實(shí)施例表示半導(dǎo)體過程，但應(yīng)當(dāng)知道，該計(jì)量可應(yīng)用于其中正出現(xiàn)轉(zhuǎn)變以及斜率檢測過程可捕捉從一個(gè)狀態(tài)到另一個(gè)狀態(tài)的轉(zhuǎn)變的任何系統(tǒng)。
仍然參照?qǐng)D8A，數(shù)據(jù)的前一段或間隔、例如區(qū)域121的段n用來預(yù)測稍后的時(shí)間點(diǎn)上的值。在一個(gè)實(shí)施例中，多項(xiàng)式方程、如拋物線方程用來導(dǎo)出與最近數(shù)據(jù)讀取對(duì)應(yīng)的預(yù)計(jì)值。在這里，獲取又稱作數(shù)據(jù)間隔的數(shù)據(jù)段，以及計(jì)算通過距離m投影的數(shù)據(jù)值。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將知道，在一個(gè)實(shí)施例中，用來投影數(shù)據(jù)值的拋物線(或高階)近似屬于以下形式Y(jié)＝a1tn+a2tn-1+...+an，其中，Y表示預(yù)計(jì)值(y坐標(biāo)值)，以及t表示時(shí)間(x坐標(biāo)值)。
在這里，無疑假定前一個(gè)數(shù)據(jù)表示數(shù)據(jù)與其關(guān)聯(lián)的相應(yīng)區(qū)域的動(dòng)態(tài)特性。
因此，檢測裝置、即傳感器所測量的實(shí)際信號(hào)可與由近似方程所計(jì)算的預(yù)測信號(hào)進(jìn)行比較。只要沒有出現(xiàn)轉(zhuǎn)變，以及投影(外插)距離不是太大，則實(shí)際信號(hào)和預(yù)測信號(hào)實(shí)質(zhì)上相等。也就是說，實(shí)際信號(hào)的值與預(yù)測信號(hào)的值之間的差值(表示為Si-Y，其中，Si為實(shí)際信號(hào)，以及Y為預(yù)測信號(hào))在噪聲級(jí)中接近0。但是，一旦出現(xiàn)轉(zhuǎn)變，實(shí)際信號(hào)與預(yù)計(jì)值之間的差值開始逐漸大于0，即Si-Y＞0，如圖8A的Δ122所表示。因此，門限值這時(shí)可用來檢測實(shí)際信號(hào)與預(yù)計(jì)值偏離的位置。如將要進(jìn)一步說明的那樣，斜率檢測過程到門限檢測過程的轉(zhuǎn)換增加(擴(kuò)大)轉(zhuǎn)變相關(guān)變化，使得可以更精確和準(zhǔn)確地標(biāo)識(shí)轉(zhuǎn)變。
圖8B是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、原始信號(hào)值的曲線圖以及實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的偏差的相應(yīng)曲線圖。圖8B的上方曲線表示圖8A的實(shí)際信號(hào)。例如，對(duì)于半導(dǎo)體過程監(jiān)測，線條120可表示與來自紅外線傳感器、渦流傳感器、振動(dòng)傳感器、溫度傳感器、配置成檢測反射譜的傳感器等的信號(hào)關(guān)聯(lián)的軌跡。在時(shí)間ti出現(xiàn)的轉(zhuǎn)變通過又稱作Δ軌跡的偏差軌跡128來檢測。區(qū)域124和126表示在其中預(yù)計(jì)值從實(shí)際信號(hào)導(dǎo)出、分別作為來自實(shí)際信號(hào)的正和負(fù)差值的區(qū)域。
圖8B的Δ軌跡128表示實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間隨時(shí)間的差值。區(qū)域114表示噪聲的通道。應(yīng)當(dāng)知道，實(shí)際信號(hào)的Δ軌跡128和軌跡120可能具有與各軌跡關(guān)聯(lián)的背景噪聲。因此，軌跡120可能與圖3的軌跡相似，以及Δ軌跡128可能與圖6的軌跡相似。也就是說，軌跡可能具有與各軌跡關(guān)聯(lián)的噪聲而不是平滑線條。因此，噪聲通道配置成考慮噪聲級(jí)，使得噪聲級(jí)不影響轉(zhuǎn)變點(diǎn)的確定。同時(shí)，又稱作噪聲通道的偏移的幅度經(jīng)過選擇，使得在噪聲級(jí)之上出現(xiàn)轉(zhuǎn)變，即噪聲通道不是大到屏蔽了轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
在一個(gè)實(shí)施例中，噪聲通道的偏移定在Δ軌跡128的3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差(3σ)。因此，在噪聲為高斯分布的情況下，3σ將覆蓋分布的所有點(diǎn)的99.7％。如上所述，對(duì)于超出噪聲通道之外的并且不是轉(zhuǎn)變點(diǎn)的起始的一個(gè)點(diǎn)，存在3×10-3的概率，意味著每1000點(diǎn)中的3點(diǎn)可能實(shí)際上在所定義的3σ間隔之外。將參照?qǐng)D9進(jìn)一步說明，可能要求噪聲通道之外的多個(gè)連續(xù)點(diǎn)表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)的開始，以便進(jìn)一步減小錯(cuò)誤肯定的概率。在一個(gè)實(shí)施例中，如果使用了噪聲通道之外的適當(dāng)高的數(shù)量的連續(xù)點(diǎn)或者使用了大于3σ的噪聲通道，則偏移可能不需要。應(yīng)當(dāng)知道，噪聲通道之外的任何數(shù)量的連續(xù)點(diǎn)均可被定義為轉(zhuǎn)變點(diǎn)的觸發(fā)。表明已經(jīng)到達(dá)轉(zhuǎn)變點(diǎn)所需的連續(xù)點(diǎn)的數(shù)量越高，則已經(jīng)得到的實(shí)際轉(zhuǎn)變點(diǎn)的可信度越大。因此，對(duì)于在其中錯(cuò)誤肯定將是損失慘重的并且導(dǎo)致不能恢復(fù)的損壞的精確操作，噪聲通道之外的三個(gè)或三個(gè)以上連續(xù)點(diǎn)被選取，以便提供高度的可信度。在操作不是高要求的情況下，可能希望選擇低于三點(diǎn)。
圖8C是曲線圖，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、與預(yù)計(jì)值軌跡重疊的圖8A和圖8B的實(shí)際軌跡和Δ軌跡，它們?nèi)坑糜诨谛甭实娜蝿?wù)到基于門限的任務(wù)的轉(zhuǎn)換。軌跡120表示實(shí)際傳感器讀數(shù)。軌跡136表示拋物線外插預(yù)計(jì)值。軌跡128表示Δ軌跡，它是實(shí)際傳感器計(jì)數(shù)與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值。拋物線外插預(yù)計(jì)值包含與數(shù)據(jù)點(diǎn)的所選間隔關(guān)聯(lián)的拋物線近似以及對(duì)最近數(shù)據(jù)讀取的拋物線預(yù)測。Δ軌跡128通過減去當(dāng)前點(diǎn)以及多個(gè)先前連續(xù)點(diǎn)的拋物線外插預(yù)計(jì)值來計(jì)算。因此，門限可在Δ軌跡穩(wěn)定高于噪聲級(jí)時(shí)被定義。例如，在確認(rèn)已經(jīng)出現(xiàn)轉(zhuǎn)變點(diǎn)之前定義噪聲級(jí)之外的多個(gè)連續(xù)點(diǎn)將提供關(guān)于轉(zhuǎn)變點(diǎn)確定是精確的高置信度。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將知道，轉(zhuǎn)變點(diǎn)包括如本文所使用的端點(diǎn)。雖然拋物線方程在本實(shí)施例中用作近似方程，但應(yīng)當(dāng)知道，任何多項(xiàng)式方程可用作近似方程，因?yàn)閷?shí)際傳感器計(jì)數(shù)所定義的曲線的形狀將影響近似方程的類型。
參照?qǐng)D3和圖6，可以看到，圖6的Δ軌跡的門限確定方法優(yōu)于圖3的基于斜率的方法。也就是說，基于斜率的確定中的噪聲隱藏斜率的小變化，而基于門限的確定中的噪聲則受到關(guān)注，通過在開始轉(zhuǎn)變點(diǎn)的識(shí)別之前定義偏移或者通過要求噪聲通道之外的多個(gè)連續(xù)點(diǎn)來消除。一旦已經(jīng)得到轉(zhuǎn)變點(diǎn)，應(yīng)當(dāng)知道，可開始另一個(gè)已定義操作，或者可出現(xiàn)當(dāng)前過程的端點(diǎn)。對(duì)于半導(dǎo)體制造，例如蝕刻、淀積、CMP操作或其它任何表面修飾過程，第一層可被添加、消除、平面化或修改，然后，半導(dǎo)體晶片可轉(zhuǎn)換到處理工具中的另一個(gè)模塊或者不同的處理工具。
圖9是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法的方法操作的流程圖。該方法以操作140開始，在其中，對(duì)于一組點(diǎn)定義近似方程。一組點(diǎn)的近似方程對(duì)應(yīng)于所監(jiān)測過程的值。例如，如上所述，多項(xiàng)式方程、如拋物線方程可以是近似方程。所監(jiān)測的過程可通過渦流傳感器、紅外線傳感器、溫度傳感器、振動(dòng)傳感器等來監(jiān)測。然后，該方法進(jìn)入操作142，在其中，預(yù)測所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值。在這里，多項(xiàng)式方程獲取多個(gè)連續(xù)點(diǎn)的數(shù)據(jù)間隔，并預(yù)測當(dāng)前點(diǎn)的預(yù)計(jì)值。大體上，多項(xiàng)式方程允許從過去數(shù)據(jù)點(diǎn)預(yù)測當(dāng)前，如參照?qǐng)D8A所述。
然后，圖9的方法進(jìn)入操作144，在其中，計(jì)算過程的當(dāng)前點(diǎn)處的測量(實(shí)際)值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值。在這里，測量值與預(yù)計(jì)(預(yù)測)值之間的差值在轉(zhuǎn)變點(diǎn)之前將接近0。應(yīng)當(dāng)知道，差值可根據(jù)兩個(gè)值之間的減法來測量，但不限于差值的這個(gè)說明。差值可作為Δ軌跡來捕捉，如以上參照?qǐng)D8A-C所述。因此，在操作146，過程的當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值被監(jiān)測，以便檢測偏差值。偏差值可被定義為噪聲通道之外的多個(gè)連續(xù)點(diǎn)，其中的連續(xù)點(diǎn)的數(shù)量可以是一個(gè)或者多個(gè)。在其它實(shí)施例中，差值也可作為差值的比率、平方等來計(jì)算。也就是說，本文所使用的術(shù)語“差值”表示大范圍的量度，它們表明兩個(gè)值之間的一般化差值?；蛘呖墒褂闷?，在其中，偏移高到足以從表示轉(zhuǎn)變點(diǎn)中消除背景噪聲，并且足夠低，使得表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)的偏差值可被標(biāo)識(shí)，即沒有被偏移屏蔽。隨后，該方法進(jìn)入操作148，在其中，所監(jiān)測過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)根據(jù)偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)。當(dāng)然，轉(zhuǎn)變點(diǎn)可結(jié)束當(dāng)前過程操作并觸發(fā)另一個(gè)過程操作，或者只是結(jié)束當(dāng)前過程。
圖10是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、與配置成把斜率檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)轉(zhuǎn)換為門限檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)的檢測器通信的處理模塊的高級(jí)示意圖。處理模塊160可以是任何處理模塊，例如，諸如CMP模塊、蝕刻模塊等的任何相關(guān)半導(dǎo)體處理模塊。檢測器162與處理模塊160通信。例如，設(shè)置在處理模塊160中的傳感器可用于向檢測器162發(fā)送信號(hào)。檢測器162配置成把在其中斜率確定轉(zhuǎn)變點(diǎn)的過程轉(zhuǎn)換為在其中門限值用來檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)的門限檢測過程。也就是說，參照?qǐng)D8A、8B、8C和9所述的實(shí)施例把斜率檢測過程轉(zhuǎn)換為檢測器162所執(zhí)行的門限檢測過程。此外，在轉(zhuǎn)變點(diǎn)發(fā)生的變化經(jīng)過增強(qiáng)，使得門限值可易于被檢測。在一個(gè)實(shí)施例中，門限值被定義為實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的差值，如本文所述。應(yīng)當(dāng)知道，檢測器162可以是控制在處理模塊160中執(zhí)行的處理操作的通用計(jì)算機(jī)。檢測器162可從配置成監(jiān)測成分改變或者狀態(tài)改變的傳感器接收信號(hào)，如以下所述。處理模塊160與檢測器162之間的通信當(dāng)然也可通過閉合環(huán)路進(jìn)行。
圖11是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、具有紅外線傳感器以確定所處理的半導(dǎo)體襯底的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的CMP系統(tǒng)的簡化示意圖?？刂破?64包括檢測器162。控制器164與紅外線傳感器166通信。紅外線傳感器包含在載板168中。半導(dǎo)體襯底172相對(duì)載板168中的載膜170得到支撐。紅外線傳感器166具有通過窗口178到達(dá)半導(dǎo)體襯底172的視線。拋光墊174使半導(dǎo)體襯底172的表面平面化。拋光墊174設(shè)置在不銹鋼帶176上。檢測器162把與紅外線傳感器關(guān)聯(lián)的基于斜率的信號(hào)過程轉(zhuǎn)換為基于門限的信號(hào)。在一個(gè)實(shí)施例中，通過定義實(shí)際信號(hào)與預(yù)測信號(hào)之間的Δ軌跡，如參照?qǐng)D8A-C和圖9所述，基于斜率的信號(hào)被轉(zhuǎn)換為基于門限的操作。
圖12是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例、具有配置成確定所處理的半導(dǎo)體襯底的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的渦流傳感器的處理系統(tǒng)的簡化示意圖?？刂破?64包括檢測器162?？刂破?64與渦流傳感器180a和180b通信。渦流傳感器180a和180b可配置成監(jiān)測過程參數(shù)，例如設(shè)置在半導(dǎo)體襯底162上的薄膜的厚度。在處理系統(tǒng)為CMP處理系統(tǒng)的情況下，拋光墊174使半導(dǎo)體襯底172的表面平面化。拋光墊174設(shè)置在襯背176上。檢測器162把渦流傳感器180a和180b的基于斜率的檢測輸出轉(zhuǎn)換為門限檢測過程。在這里，檢測器162同樣跟蹤測量值與預(yù)計(jì)值之間的差值，以便檢測表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)的門限偏差值。
圖11和圖12說明用于半導(dǎo)體制作的傳感器的具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)知道，本文所述的實(shí)施例可以與能夠監(jiān)測成分改變或狀態(tài)改變的任何類型的傳感器關(guān)聯(lián)。示范成分改變包括表面成分改變，在其中，第一層被移去，并暴露第二層，或者物體、如半導(dǎo)體晶片的表面被修改。示范狀態(tài)改變包括從流體到氣體、流體到固體等的改變。實(shí)際上，轉(zhuǎn)變點(diǎn)可被定義為出現(xiàn)成分或狀態(tài)改變的點(diǎn)。在轉(zhuǎn)變點(diǎn)，通過本文所述的傳感器被監(jiān)測的屬性因處理?xiàng)l件而改變。目標(biāo)屬性包括諸如厚度、阻力、平面度、透明度、振動(dòng)、化學(xué)成分等的屬性。這種變化被監(jiān)測，以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)通過如本文所述的門限檢測方案來確定。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將知道，本文所述的實(shí)施例不限于以上所述的傳感器的具體類型。更明確地說，配置成檢測表明成分或狀態(tài)改變的任何傳感器可與以上所述的實(shí)施例配合使用，而無論傳感器是否與半導(dǎo)體制作過程關(guān)聯(lián)。還應(yīng)當(dāng)知道，傳感器可檢測通過例如半導(dǎo)體晶片等的所處理物體或者諸如拋光墊等的處理模塊的組件的變化。因此，轉(zhuǎn)變點(diǎn)可直接或間接地檢測。部分示范傳感器包括配置成檢測電阻、電容、反射光、振動(dòng)等的傳感器。
總之，上述發(fā)明描述用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法及系統(tǒng)。近似方程、如拋物線方程用來預(yù)測當(dāng)前數(shù)據(jù)點(diǎn)上的預(yù)計(jì)值。預(yù)計(jì)值與從傳感器施加的相應(yīng)實(shí)際值之間的差值被監(jiān)測，以便檢測轉(zhuǎn)變點(diǎn)。被監(jiān)測的差值可作為Δ軌跡來捕捉，如本文所述。差值的跟蹤使門限值可被定義。在一個(gè)實(shí)施例中，在噪聲通道之外檢測到被監(jiān)測差值的預(yù)定數(shù)量的連續(xù)點(diǎn)時(shí)，出現(xiàn)轉(zhuǎn)變點(diǎn)。還可提供偏移，以便定義在其中偏移邊界之外的檢測點(diǎn)、即實(shí)際值與預(yù)計(jì)值之間的差值表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)的等級(jí)。通過把斜率檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為門限檢測任務(wù)，提供一種穩(wěn)定且可靠的轉(zhuǎn)變檢測系統(tǒng)，它消除了如斜率檢測任務(wù)所需的分析導(dǎo)數(shù)的需要。另外，以上所述的Δ軌跡增加了在轉(zhuǎn)變點(diǎn)上出現(xiàn)的變化，以便更易于標(biāo)識(shí)轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
了解了以上實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明可采用其中涉及存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)的各種計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)操作。這些操作包括要求物理量的物理處理的操作。這些數(shù)量通常但不一定采取電或磁信號(hào)的形式，它們能夠被存儲(chǔ)、傳送、組合、比較或者以其它方式處理。此外，所執(zhí)行的處理往往明確表示為例如產(chǎn)生、標(biāo)識(shí)、確定或比較。
以上所述的發(fā)明可采用其它計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置來實(shí)施，其中包括手持式裝置、微處理器系統(tǒng)、基于微處理器或者可編程消費(fèi)電子產(chǎn)品、小型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)等等。本發(fā)明還可在分布計(jì)算環(huán)境中實(shí)施，在這些環(huán)境中，任務(wù)由通過通信網(wǎng)絡(luò)鏈接的遠(yuǎn)程處理裝置來執(zhí)行。
本發(fā)明還可體現(xiàn)為計(jì)算機(jī)可讀媒體中的計(jì)算機(jī)可讀代碼。計(jì)算機(jī)可讀媒體是可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的任何數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置，這些數(shù)據(jù)之后可由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)讀取。計(jì)算機(jī)可讀媒體的實(shí)例包括硬盤驅(qū)動(dòng)器、網(wǎng)絡(luò)連接存儲(chǔ)器(NAS)、只讀存儲(chǔ)器、隨機(jī)存儲(chǔ)存儲(chǔ)器、CD-ROM、CD-R、CD-RW、磁帶以及其它光和非光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置。計(jì)算機(jī)可讀媒體還可分布在網(wǎng)絡(luò)耦合計(jì)算機(jī)系統(tǒng)之間，使得計(jì)算機(jī)可讀代碼以分布方式來存儲(chǔ)和執(zhí)行。
雖然為了清楚地理解，略為詳細(xì)地描述了上述發(fā)明，但大家非常清楚，在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)可實(shí)施某些變更和修改。因此，本實(shí)施例將被視作說明性而不是限制性的，以及本發(fā)明不限于在此提供的詳細(xì)情況，而是可在所附權(quán)利要求書的范圍和等效體之內(nèi)進(jìn)行修改。在權(quán)利要求書中，元件和/或步驟不表示操作的任何特定順序，除非在權(quán)利要求書中明確說明。
權(quán)利要求
1.一種用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法，包括定義與所監(jiān)測過程的值對(duì)應(yīng)的一組點(diǎn)的近似方程；預(yù)測所監(jiān)測的所述過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值；計(jì)算所監(jiān)測的所述過程的所述當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與所述相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值；監(jiān)測所述差值，以便檢測所述測量值與所述預(yù)計(jì)值之間的偏差值；以及根據(jù)所述偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)所監(jiān)測的所述過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述近似方程為多項(xiàng)式方程。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所監(jiān)測的所述過程是從包含化學(xué)機(jī)械平面化過程和蝕刻、淀積或表面修飾過程的組合中選取的半導(dǎo)體過程。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述測量值由配置成檢測與所監(jiān)測過程關(guān)聯(lián)的屬性的傳感器來產(chǎn)生。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于還包括跟蹤所述測量值與所述相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值；以及定義噪聲通道，所述噪聲通道提供邊界，在其中，所述偏差值處于所述邊界之外。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)所述偏差值的檢測標(biāo)識(shí)所監(jiān)測的所述過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的所述方法操作包括，標(biāo)識(shí)一個(gè)以上的連續(xù)點(diǎn)，在其中，與所述至少兩個(gè)連續(xù)點(diǎn)的每個(gè)關(guān)聯(lián)的所述偏差值處于噪聲通道之外。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述近似方程從與所監(jiān)測的所述過程關(guān)聯(lián)的由傳感器產(chǎn)生的過去數(shù)據(jù)的間隔中導(dǎo)出所述預(yù)計(jì)值。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于還包括響應(yīng)對(duì)所述轉(zhuǎn)變點(diǎn)的標(biāo)識(shí)，觸發(fā)所監(jiān)測的所述過程的結(jié)束。
9.一種能夠通過門限確定實(shí)時(shí)檢測斜率變化轉(zhuǎn)變的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，包括處理模塊，配置成處理半導(dǎo)體晶片，直至獲得與所處理的所述半導(dǎo)體晶片關(guān)聯(lián)的已定義參數(shù)，所述處理模塊包括配置成監(jiān)測與過程操作關(guān)聯(lián)的過程參數(shù)的傳感器；與所述傳感器通信的檢測器，所述檢測器配置成把測量值與預(yù)計(jì)值進(jìn)行比較，所述測量值通過斜率變化來表明轉(zhuǎn)變點(diǎn)，所述預(yù)計(jì)值由先前測量值導(dǎo)出，所述檢測器還配置成跟蹤所述測量值與所述相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值，以便增加所述轉(zhuǎn)變點(diǎn)處的變化，從而使門限偏差值可以被定義，所述門限偏差值表明與所述過程操作關(guān)聯(lián)的所述轉(zhuǎn)變點(diǎn)。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測器配置成當(dāng)至少兩個(gè)連續(xù)時(shí)間點(diǎn)的所述測量值與所述預(yù)計(jì)值之間的差值超過所述門限偏差值時(shí)，開始與所述處理系統(tǒng)關(guān)聯(lián)的轉(zhuǎn)變。
11.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理模塊從包含化學(xué)機(jī)械平面化模塊和蝕刻模塊的組合中選取。
12.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器易感受所述過程參數(shù)的變化，所述過程參數(shù)隨成分和狀態(tài)之一的改變而變化，所述成分和狀態(tài)改變與所述半導(dǎo)體晶片和所述處理模塊的組件之一關(guān)聯(lián)。
13.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器從包含渦流傳感器、紅外線傳感器、振動(dòng)傳感器和配置成檢測反射譜的傳感器的組合中選取。
14.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測器配置成與偏移量關(guān)聯(lián)，它設(shè)成實(shí)質(zhì)上消除了背景噪聲對(duì)所述門限確定的干擾。
15.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述門限偏差值在對(duì)應(yīng)于與所述測量值的軌跡關(guān)聯(lián)的斜率轉(zhuǎn)變的時(shí)間點(diǎn)上出現(xiàn)。
16.一種計(jì)算機(jī)可讀媒體，其中具有用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的程序指令，包括用于定義與所監(jiān)測過程的值對(duì)應(yīng)的一組點(diǎn)的近似方程的程序指令；用于預(yù)測所監(jiān)測的所述過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值的程序指令；用于計(jì)算所監(jiān)測的所述過程的所述當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與所述相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值的程序指令；用于監(jiān)測所述差值以便檢測所述測量值與所述預(yù)計(jì)值之間的偏差值的程序指令；以及用于根據(jù)所述偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)所監(jiān)測的所述過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)的程序指令。
17.如權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀媒體，其特征在于，所述近似方程為多項(xiàng)式方程。
18.如權(quán)利要求16所述的計(jì)算機(jī)可讀媒體，其特征在于還包括用于跟蹤所述測量值與所述相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的所述差值的程序指令；以及用于定義噪聲通道的程序指令，所述噪聲通道提供邊界，在其中，所述偏差值處于所述邊界之外。
全文摘要
提供一種用于把基于斜率的檢測任務(wù)轉(zhuǎn)換為基于門限的檢測任務(wù)的方法。該方法以定義與所監(jiān)測過程的值對(duì)應(yīng)的一組點(diǎn)的近似方程(140)來開始。然后，預(yù)測所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的預(yù)計(jì)值(142)。隨后，計(jì)算所監(jiān)測過程的當(dāng)前點(diǎn)處的測量值與相應(yīng)預(yù)計(jì)值之間的差值(144)。然后，對(duì)連續(xù)點(diǎn)監(jiān)測該差值，以便檢測測量值與預(yù)計(jì)值之間的偏差值(146)。隨后，所監(jiān)測過程的轉(zhuǎn)變點(diǎn)根據(jù)偏差值的檢測來標(biāo)識(shí)(148)。還提供一種配置成提供基于斜率的轉(zhuǎn)變以及計(jì)算機(jī)可讀媒體的處理系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G05B23/02GK1726479SQ200380105727
公開日2006年1月25日 申請(qǐng)日期2003年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月13日
發(fā)明者Y·戈特基斯, V·卡茨, D·赫姆克爾, R·基斯特勒, N·J·布賴特 申請(qǐng)人:蘭姆研究有限公司