掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種掃描電鏡樣品臺，尤其涉及一種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺。
【背景技術(shù)】
[0002]裝配有電子背散射衍射(EBSD)系統(tǒng)的掃描電子顯微鏡設(shè)備日益廣泛應(yīng)用于各種晶體材料的微觀結(jié)構(gòu)分析中，如金屬、陶瓷、地質(zhì)和礦物等，可同時展現(xiàn)晶體材料的微觀形貌、結(jié)構(gòu)與取向分布，獲得晶粒尺寸、晶界類型、織構(gòu)、相分布、應(yīng)變等重要信息。
[0003]根據(jù)電子束作用下背散射電子出射的路徑，需要將試樣表面傾斜70°以增強衍射信號，因此通過樣品臺將試樣精確定位并固定牢固非常關(guān)鍵。目前常用的EBSD樣品臺為適用于小尺寸EBSD試樣的帶70°預(yù)傾斜面的細(xì)圓柱臺和手動傾斜圓形平臺，主要依靠雙面碳導(dǎo)電膠將試樣固定在預(yù)傾斜或手動傾斜樣品臺的表面。碳導(dǎo)電膠在人為按壓作用下，將試樣和樣品臺粘結(jié)一起，之后導(dǎo)電膠將發(fā)生微小的形變恢復(fù)，另外70°傾斜條件下試樣重力作用導(dǎo)致試樣與導(dǎo)電膠發(fā)生微小的分離，這些細(xì)微的形變恢復(fù)和重力影響導(dǎo)致掃描電鏡視野發(fā)生漂移，尤其是在高倍率下，方向不確定；再者，EBSD分析通常需要1-5小時，長時間累積效果下EBSD分析區(qū)域不斷漂移，晶粒常常發(fā)生扭曲、拉伸和壓縮等變形，得到的實驗數(shù)據(jù)失去真實可靠性。顯然地，這兩種樣品臺不適用于尺寸較大、重力較大、樣品形狀不規(guī)則的試樣。
[0004]常規(guī)金相實驗中，試樣需要經(jīng)過鑲嵌、機械研磨/拋光、腐蝕處理等，例如硬質(zhì)合金材料，用含碳導(dǎo)電樹酯金相鑲嵌后的試樣通常為直徑為25mm或30mm的柱狀，尺寸較大、試樣重力較高，在EBSD實驗分析中常常發(fā)生圖像漂移，導(dǎo)致實驗數(shù)據(jù)有較大的偏差。中國專利CN201120465500.4公開了一種掃描電鏡EBSD樣品臺，通過螺絲固定樣品，能有效地夾固樣品，但僅適用于小尺寸、形狀規(guī)則的樣品，對于圓形鑲嵌樣品不能有效固定；中國專利CN200920209791.3公開了一種掃描電鏡EBSD插座式預(yù)傾斜樣品臺，通過彈簧卡子和兩個擋板固定樣品，不適用于鑲嵌樣品；中國專利CN201020239978.0公開了一種多功能掃描電鏡樣品臺，用于EBSD的傾斜樣品臺面通過夾具固定樣品，但該樣品臺整體尺寸較大，且沒有明確試樣夾固的方式，考慮到電鏡腔內(nèi)空間和各探頭之間的幾何位置，該設(shè)計不適用于樣品尺寸較大的鑲嵌樣品；中國專利CN201420542286公開了一種掃描電鏡樣品臺，包含一對預(yù)傾斜凹槽20° -40°，主要應(yīng)用于斷口樣品多角度的觀察，不適用于預(yù)傾斜70°的EBSD實驗。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、測試試樣定位精確、掃描圖像穩(wěn)定的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0007]—種掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺，包括底座，所述底座包括立體部和正立于所述立體部上的梯形部，所述梯形部的底角為65° -70.5°，所述梯形部的其中一傾斜側(cè)面上設(shè)有可容納鑲嵌試樣的柱狀凹槽，通過緊固件固定鑲嵌試樣，另一傾斜側(cè)面上設(shè)有可容納未鑲嵌試樣的矩形凹槽，通過壓緊件固定未鑲嵌試樣，所述柱狀凹槽和矩形凹槽分別垂直于各自所在的傾斜側(cè)面。
[0008]作為上述技術(shù)方案的進一步改進:
[0009]所述梯形部的底角為70°，偏差在0.5°以內(nèi)。
[0010]所述矩形凹槽內(nèi)設(shè)有壓板，所述壓板平行矩形凹槽的側(cè)壁，由兩個所述壓緊螺釘固定，所述梯形部的其中一豎直面上設(shè)有兩個壓緊螺釘孔。
[0011]所述緊固件為緊固螺釘，所述壓緊螺釘孔所在的豎直面上設(shè)有緊固螺釘孔。
[0012]所述底座的長度45 mm _55mm，寬度 45 mm-55mm，高度 38 mm -45mm。
[0013]所述柱狀凹槽的直徑25.5mm-30.5mm，深度8mm-12mm。
[0014]所述矩形凹槽的長度20 mm -30mm，寬度20 mm-30mm，深度10mm-15mm。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于:
[0016](I)本實用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺，底座梯形部的底角范圍為65°至70.5°，兩個傾斜側(cè)面上分別設(shè)置有垂直各自傾斜側(cè)面的柱狀凹槽和矩形凹槽，這樣測試樣品預(yù)傾斜在65-70.5°范圍內(nèi)的任意角度，不僅增強背散射信號而且可對測試試樣精確定位，無需手動傾斜，操作電鏡搖桿時大大降低了試樣與電子束極靴及其他信號探頭之間碰撞的風(fēng)險；進行EBSD測試分析時，可先對一側(cè)的試樣進行測試，完成后通過旋轉(zhuǎn)，對另一側(cè)的試樣進行測試，操作簡單方便。
[0017](2)本實用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺，柱狀凹槽適用于重力較大的鑲嵌試樣，矩形凹槽適用于小尺寸未鑲嵌試樣，采用緊固件、壓緊件或者壓板固定試樣，取代導(dǎo)電膠粘結(jié)方式，大大削弱樣品重力對圖像的漂移，有效穩(wěn)定掃描圖像。
[0018](3)本實用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺，對于多個小尺寸試樣可將其鑲嵌在一個鑲嵌樣品中，標(biāo)記好序號，放入上述樣品臺的柱狀凹槽內(nèi)，通過EBSD測試時微量移動電鏡操作桿，依次測試數(shù)個試樣，免去多次換樣、抽真空的工作，且無需擔(dān)憂與電子束極靴及各信號探頭發(fā)生碰撞。
【附圖說明】
[0019]圖1是本實用新型的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖中各標(biāo)號表不:
[0021]1、底座；11、立體部；12、梯形部；121、壓緊螺釘孔；122、緊固螺釘孔；2、柱狀凹槽；
3、緊固件；4、矩形凹槽；5、壓板；6、壓緊件。
【具體實施方式】
[0022]以下結(jié)合說明書附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細(xì)說明。
[0023]圖1示出了本實用新型掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺的一種實施例，該掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品