一種超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及高純氨和超純氨檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]高純氨和超純氨是電子工業(yè)中太陽(yáng)能電池，發(fā)光二級(jí)管和液晶顯示器等元器件生產(chǎn)中一種重要的電子氣體。對(duì)于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的電子氣體中，水是嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害雜質(zhì)之一，據(jù)報(bào)導(dǎo)，在氣體中只要含有十億分之幾(PPb級(jí))的水含量，就可以使硅片上出現(xiàn)瑕疵，因此嚴(yán)格監(jiān)控電子氣體中的水含量是保證半導(dǎo)體器件產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵，所以電子氣體中痕量水的檢測(cè)是生產(chǎn)中必不可少的一道工序。
[0003]經(jīng)過(guò)相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)人員多年的技術(shù)攻關(guān)，已有多家企業(yè)可自行生產(chǎn)純度為99.9995%的電子級(jí)氨和純度不小于99.99994%的光電子級(jí)氮，隨著電子工業(yè)用氨量的增力口，當(dāng)前急需解決氨中痕量水快速準(zhǔn)確測(cè)定的方法及技術(shù)。
[0004]電子工業(yè)用氨中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，純度為99.9995%的電子級(jí)氮中允許水含量<3X 1^6VA,純度小于等于99.99994%的光電子級(jí)氨中允許水含量〈0.2X 10_6V/V，最近國(guó)際上出現(xiàn)純度為99.99999%的氨中允許的水含量〈0.1X10_6V/V。我國(guó)國(guó)標(biāo)規(guī)定產(chǎn)品出廠時(shí)，必須要測(cè)定氨中痕量水。用水分儀測(cè)定氨中痕量水，由于要測(cè)的水含量已不大于lOOppb，盡管中國(guó)國(guó)內(nèi)所用的檢測(cè)儀器都是從國(guó)外進(jìn)口的，但把檢測(cè)系統(tǒng)內(nèi)的水含量吹掃到PPb級(jí)，費(fèi)氣、費(fèi)時(shí)、費(fèi)錢(qián)，欲檢測(cè)一瓶(罐)超純氨產(chǎn)品中的水，往往需幾小時(shí)或更長(zhǎng)，滿足不了生產(chǎn)之需。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，電子工業(yè)用氨的生產(chǎn)廠或使用單位測(cè)定氨中痕量水時(shí)，大都采用的水分儀，如HALO-LP型光腔衰蕩光譜儀或DF-740型可調(diào)諧激光二級(jí)管吸收光譜儀，由使用單位自行配套氨中痕量水測(cè)定的進(jìn)樣用氣體調(diào)制裝置。圖1為通用的氨中痕量水測(cè)定單點(diǎn)進(jìn)樣氣體調(diào)制系統(tǒng)工藝流程圖，圖中I為超純氮吹掃氣瓶或被測(cè)超純氨氣瓶的G 5/8"接頭；2為高壓手動(dòng)隔膜閥；3為壓力調(diào)節(jié)器；4為4UW型波紋調(diào)節(jié)閥；5為氣體過(guò)濾器；6為接水分析儀進(jìn)口的1/4” VCP接頭。測(cè)定時(shí)，先將超純氮吹掃氣接到標(biāo)號(hào)為I的G 5/8"接頭上吹掃整個(gè)氣體調(diào)制系統(tǒng)及水分儀，當(dāng)吹掃氣流量為1000ml/min，大約吹掃12h后，整個(gè)系統(tǒng)水含量可吹掃到10ppb左右，拆卸超純氮吹掃氣瓶后，在標(biāo)號(hào)I的G 5/8〃接頭上接上被測(cè)的超純氨氣瓶，調(diào)流量，通氨檢測(cè)，由于吹掃氣與被測(cè)氣換瓶拆裝過(guò)程中，氣體調(diào)制系統(tǒng)會(huì)進(jìn)入大氣，需再次吹掃系統(tǒng)。用這樣進(jìn)樣調(diào)制流程進(jìn)行一次氨氣瓶(罐)檢測(cè)，大約需
5-6h左右。
[0006]圖2為通用的氨中痕量水測(cè)定另一種單點(diǎn)進(jìn)樣氣體調(diào)制裝置工藝流程圖，圖中除增加一條與超純氮吹掃氣瓶接口并聯(lián)的被測(cè)超純氨氣瓶G 5/8"接頭7外，其它都和圖1相同。測(cè)定完一瓶(罐)氨樣需換另一瓶(罐)被測(cè)氨樣時(shí)，可以在超純氮?dú)獯祾咔闆r下?lián)Q，十分方便。欲換超純氮吹掃氣瓶時(shí)，則需停止分析操作，關(guān)氨瓶(罐)瓶閥，換瓶拆裝過(guò)程中，氣體調(diào)制系統(tǒng)會(huì)進(jìn)大氣，再次測(cè)定時(shí)還需花一定時(shí)間吹掃系統(tǒng)。用圖2的工藝流程檢測(cè)一個(gè)氮樣，大約需4h左右。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]為了克服上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種可實(shí)現(xiàn)快速檢測(cè)的超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置，其特征在于，所述裝置包括依次連接的超純氮吹掃氣瓶接頭、第一內(nèi)拋光管、壓力調(diào)節(jié)器、波紋調(diào)節(jié)閥、氣體過(guò)濾器和接水分析儀進(jìn)口的接頭，在第一內(nèi)拋光管上并聯(lián)有高壓隔膜閥，在壓力調(diào)節(jié)器與波紋調(diào)節(jié)閥之間通過(guò)第二內(nèi)拋光管連接有超純氨被測(cè)氣瓶的接頭。
[0009]其中優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述超純氮吹掃氣瓶接頭與超純氨被測(cè)氣瓶接頭的尺寸為 G5/8”。
[0010]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述第一內(nèi)拋光管、第二內(nèi)拋光管為316L型不銹鋼制成的內(nèi)拋光管。
[0011]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述壓力調(diào)節(jié)器為316L型不銹鋼制成的壓力調(diào)節(jié)器。
[0012]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述波紋調(diào)節(jié)閥為4UW型無(wú)填料污染的波紋調(diào)節(jié)閥。
[0013]進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述氣體過(guò)濾器為過(guò)濾0.003微米顆粒的氣體過(guò)濾器。
[0014]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述接水分析儀進(jìn)口的接頭的尺寸為1/4”的VCR接頭。
[0015]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述高壓隔膜閥采用316L型不銹鋼制成。
[0016]進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案還有，所述高壓隔膜閥為高壓手動(dòng)隔膜閥。
[0017]優(yōu)選的技術(shù)方案還有，在所述壓力調(diào)節(jié)器上連接有壓力表。
[0018]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及效果在于:該超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置具有下述一些優(yōu)點(diǎn)。
[0019]1、縮短了分析檢測(cè)時(shí)間，應(yīng)用該裝置后，減少了進(jìn)樣調(diào)制系統(tǒng)的吹掃時(shí)間，檢測(cè)一瓶(罐)氨樣，從原來(lái)5-6h縮短到2h左右，大大提高了工作效率；
[0020]2、在裝卸被測(cè)的超純氨樣品瓶或超純氮吹掃氣瓶時(shí)，防止了大氣對(duì)氣體調(diào)制系統(tǒng)的污染，大大減少樣品氣或吹掃氣的消耗，節(jié)約成本；
[0021]3、氨氣是一種有毒氣體，減少氨氣吹掃系統(tǒng)的排放量，確保員工安全，避免污染環(huán)境;
[0022]4、流程簡(jiǎn)單，操作方便，測(cè)值可靠，安全實(shí)用。
【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1為現(xiàn)有技術(shù)氨中痕量水測(cè)定進(jìn)樣用氣體調(diào)制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為現(xiàn)有技術(shù)氨中痕量水測(cè)定進(jìn)樣用氣體調(diào)制裝置的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3本實(shí)用新型超純氨中痕量水測(cè)定用氣體調(diào)制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中:1、超純氮吹掃氣瓶接頭；2、高壓隔膜閥；3、壓力調(diào)節(jié)器；4波紋調(diào)節(jié)閥；5、氣