光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置，屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括：控制模塊和與所述控制模塊連接的檢測(cè)模塊，所述檢測(cè)模塊用于在所述控制模塊的作用下采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠；所述檢測(cè)模塊還用于在所述控制模塊的控制下，采集所述光源照射所述待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊；所述控制模塊用于將所述光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，并根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，所述指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。本發(fā)明解決了檢測(cè)的參數(shù)較單一的問題，實(shí)現(xiàn)了豐富檢測(cè)參數(shù)的效果，用于光刻膠的參數(shù)檢測(cè)。
【專利說明】
光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示器的制造過程中，光刻工藝是極為重要的制造工藝之一。光刻工藝中，需要對(duì)涂覆在陣列基板指定位置的光刻膠的參數(shù)(如光刻膠的厚度)進(jìn)行檢測(cè)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中有一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，該裝置采用光的反射原理檢測(cè)待測(cè)光刻膠的厚度，具體的，該裝置采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠，一部分光被待測(cè)光刻膠的表面反射，另一部分光被待測(cè)光刻膠與陣列基板之間的臨界面反射。由于該裝置得到的反射波是由同一光源發(fā)射出來的可干涉性光，所以這些反射波會(huì)根據(jù)波長(zhǎng)出現(xiàn)互補(bǔ)干涉現(xiàn)象或相消干涉現(xiàn)象，從而產(chǎn)生某一形狀的波形。由于不同厚度的光刻膠會(huì)出現(xiàn)不同形狀的波形，所以根據(jù)產(chǎn)生的波形的形狀可以逆推出待測(cè)光刻膠的厚度。
[0004]但上述裝置僅用于檢測(cè)光刻膠的厚度，檢測(cè)的參數(shù)較單一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決檢測(cè)的參數(shù)較單一的問題，本發(fā)明提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置。所述技術(shù)方案如下:
[0006]第一方面，提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，所述裝置包括:控制模塊和與所述控制模塊連接的檢測(cè)模塊，
[0007]所述檢測(cè)模塊用于在所述控制模塊的作用下采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠；
[0008]所述檢測(cè)模塊還用于在所述控制模塊的控制下，采集所述光源照射所述待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊；
[0009]所述控制模塊用于將所述光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，并根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，所述指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。
[0010]可選的，所述檢測(cè)模塊包括至少一個(gè)檢測(cè)子模塊，每個(gè)所述檢測(cè)子模塊包括發(fā)光單元和采集單元，
[0011]所述發(fā)光單元用于在所述控制模塊的作用下采用所述光源照射所述待測(cè)光刻膠；
[0012]所述采集單元用于在所述控制模塊的控制下，采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊。
[0013]可選的，所述發(fā)光單元包括光源探頭和聚焦透鏡，
[0014]所述光源探頭通過電源線與所述控制模塊連接，用于在所述控制模塊的作用下產(chǎn)生光，所述光源探頭產(chǎn)生的光能夠通過所述聚焦透鏡，并集中照射所述待測(cè)光刻膠的指定位置。
[0015]可選的，所述發(fā)光單元還包括濾波片，
[0016]所述濾波片用于對(duì)所述光源探頭產(chǎn)生的光進(jìn)行濾光處理，得到處理后的光，經(jīng)過濾光處理后的光能夠通過所述聚焦透鏡，并集中照射所述待測(cè)光刻膠的指定位置。
[0017]可選的，所述采集單元包括光纖探頭和采集透鏡，
[0018]所述光纖探頭通過光纖與所述控制模塊連接，用于在所述控制模塊的控制下，通過所述采集透鏡采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊。
[0019]可選的，所述控制模塊包括處理單元、分光轉(zhuǎn)換單元和供電單元；
[0020]所述處理單元用于控制所述分光轉(zhuǎn)換單元，以使所述分光轉(zhuǎn)換單元控制所述至少一個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)所述檢測(cè)子模塊的采集單元采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述分光轉(zhuǎn)換單元；
[0021]所述分光轉(zhuǎn)換單元用于對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行分光處理和光電轉(zhuǎn)換處理，得到所述電信號(hào)，并將所述電信號(hào)傳輸至所述處理單元；
[0022]所述處理單元還用于根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)；
[0023]所述供電單元用于給所述發(fā)光單元供電。
[0024]可選的，所述裝置還包括固定模塊，
[0025]所述固定模塊用于將所述檢測(cè)模塊設(shè)置在所述控制模塊指定的位置上。
[0026]可選的，所述固定模塊包括探頭固定單元和移動(dòng)支架，所述控制模塊還包括支架控制單元，
[0027]所述支架控制單元分別與所述處理單元和所述移動(dòng)支架連接，用于在所述處理單元的控制下，控制所述移動(dòng)支架移動(dòng)；
[0028]所述探頭固定單元與所述移動(dòng)支架連接，用于固定所述檢測(cè)模塊。
[0029]可選的，所述控制模塊包括一個(gè)分光轉(zhuǎn)換單元，所述檢測(cè)模塊包括至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊，所述采集單元還包括光纖切換器，
[0030]所述光纖切換器的一端與所述分光轉(zhuǎn)換單元連接，另一端與所述至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)所述檢測(cè)子模塊的采集單元連接，所述光纖切換器用于控制至少兩個(gè)采集單元按照順序依次輪流工作。
[0031 ] 可選的，所述控制模塊還包括顯示單元，
[0032]所述處理單元與所述顯示單元連接，用于根據(jù)所述電信號(hào)確定所述電信號(hào)對(duì)應(yīng)的光譜圖，所述光譜圖用于確定所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)；
[0033]所述顯示單元用于輸出所述光譜圖。
[0034]可選的，所述探頭固定單元靠近所述待測(cè)光刻膠的位置設(shè)置有光學(xué)窗片，
[0035]所述光學(xué)窗片用于阻擋外界氣體或塵埃進(jìn)入所述檢測(cè)模塊。
[0036]第二方面，提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法，所述方法包括:
[0037]采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠；
[0038]采集所述光源照射所述待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)；
[0039]將所述光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)；
[0040]根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，所述指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。
[0041]本發(fā)明提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法及裝置，由于該裝置能夠采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，再根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種，相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種，因此，豐富了檢測(cè)的參數(shù)。
[0042]應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本發(fā)明。
【附圖說明】
[0043]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0044]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0045]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測(cè)模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0046]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測(cè)子模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049]圖6-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的近紅外光源照射三種不同厚度的待測(cè)光刻膠后形成的近紅外漫反射的光譜圖；
[0050]圖6-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的近紅外光源照射三種不同厚度的待測(cè)光刻膠后形成的近紅外漫透射的光譜圖；
[0051]圖6-3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種探頭固定單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0052]圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法的流程圖。
[0053]通過上述附圖，已示出本發(fā)明明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本發(fā)明構(gòu)思的范圍，而是通過參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說明本發(fā)明的概念。
【具體實(shí)施方式】
[0054]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0055]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置01，如圖1所示，該裝置01包括:控制模塊100和與控制模塊100連接的檢測(cè)模塊200。
[0056]檢測(cè)模塊200用于在控制模塊100的作用下采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠。
[0057]檢測(cè)模塊200還用于在控制模塊100的控制下，采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊100。
[0058]控制模塊100用于將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，并根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。
[0059]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，由于該裝置能夠采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，再根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種，相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種，因此，豐富了檢測(cè)的參數(shù)。
[0060]可選的，光源為近紅外光源。
[0061]可選的，光刻膠的指定成分可以為感光樹脂、增感劑及溶劑等，也就是說，該裝置可以對(duì)待測(cè)光刻膠中的感光樹脂、增感劑及溶劑等成分的含量進(jìn)行檢測(cè)。根據(jù)待測(cè)光刻膠的指定成分的含量，可以確定待測(cè)光刻膠的質(zhì)量。
[0062]進(jìn)一步的，如圖2所示，檢測(cè)模塊200包括至少一個(gè)檢測(cè)子模塊210，每個(gè)檢測(cè)子模塊210包括發(fā)光單元211和采集單元212。圖2以檢測(cè)子模塊是兩個(gè)為例進(jìn)行說明。需要說明的是，實(shí)際應(yīng)用中，可以根據(jù)陣列基板和光刻膠的尺寸來確定檢測(cè)子模塊的數(shù)量，也可以結(jié)合待測(cè)光刻膠上預(yù)先設(shè)置的點(diǎn)數(shù)(每個(gè)點(diǎn)對(duì)應(yīng)一個(gè)位置)來確定檢測(cè)子模塊的數(shù)量。多個(gè)檢測(cè)子模塊可以平行排列，這樣一來，在采用多個(gè)檢測(cè)子模塊檢測(cè)完待測(cè)光刻膠的當(dāng)前位置的指定參數(shù)后，可以將多個(gè)檢測(cè)子模塊同時(shí)移動(dòng)至待測(cè)光刻膠的下一個(gè)位置的上方，以便于采用多個(gè)檢測(cè)子模塊檢測(cè)下一個(gè)位置的指定參數(shù)。移動(dòng)的距離可以根據(jù)實(shí)際應(yīng)用中陣列基板和光刻膠的尺寸來確定。此外，為了防止外界氣體或塵埃進(jìn)入檢測(cè)子模塊內(nèi)部而對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生影響，該檢測(cè)子模塊可以為全封閉式。
[0063]具體的，發(fā)光單元211用于在控制模塊的作用下采用光源照射待測(cè)光刻膠。采集單元212用于在控制模塊的控制下，采集光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊。
[0064]圖3示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置01的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，檢測(cè)模塊200包括至少一個(gè)檢測(cè)子模塊210。圖3以檢測(cè)子模塊是四個(gè)為例進(jìn)行說明。參考圖2，每個(gè)檢測(cè)子模塊210包括發(fā)光單元211和采集單元212。
[0065]具體的，如圖4所示，發(fā)光單元211包括光源探頭2111和聚焦透鏡2112。光源探頭2111通過電源線001與控制模塊連接，用于在控制模塊的作用下產(chǎn)生光，光源探頭2111產(chǎn)生的光能夠通過聚焦透鏡2112，并集中照射待測(cè)光刻膠002的指定位置A。光源探頭產(chǎn)生的光通過聚焦透鏡集中照射在待測(cè)光刻膠的指定位置，提高了待測(cè)光刻膠上光的能量密度，進(jìn)而提高了光譜信號(hào)的強(qiáng)度。需要說明的是，照射在待測(cè)光刻膠上的光，一部分光被待測(cè)光刻膠的表面反射，另一部分光被待測(cè)光刻膠與陣列基板之間的臨界面反射，即穿透待測(cè)光刻膠發(fā)生折射再發(fā)生反射。
[0066]進(jìn)一步的，如圖4所示，發(fā)光單元211還包括濾波片2113。濾波片2113用于對(duì)光源探頭2111產(chǎn)生的光進(jìn)行濾光處理，得到處理后的光。經(jīng)過濾光處理后的光能夠通過聚焦透鏡2112，并集中照射待測(cè)光刻膠002的指定位置A。濾波片是一種用于選取所需輻射波段的光學(xué)器件。光源探頭產(chǎn)生的光的波段較寬，所以可以通過濾波片對(duì)光源探頭產(chǎn)生的光進(jìn)行濾光處理，過濾掉不需要的波段的光，如可以過濾掉對(duì)待測(cè)光刻膠有影響的紫外光線(英文:Ultrav1let Rays;簡(jiǎn)稱:UV)和其他一些波段的光，這樣一來，避免了待測(cè)光刻膠被這些光照射后發(fā)生損壞，且提高了光源照射待測(cè)光刻膠的效率。經(jīng)過濾光處理后的光通過聚焦透鏡集中照射在待測(cè)光刻膠上，提高了待測(cè)光刻膠上光的能量密度，進(jìn)而提高了光譜信號(hào)的強(qiáng)度。
[0067]如圖4所示，采集單元212包括光纖探頭2121和采集透鏡2122。光纖探頭2121通過光纖004與控制模塊連接，用于在控制模塊的控制下，通過采集透鏡2122采集光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊。采集單元能夠采集被待測(cè)光刻膠的表面反射的光，以及被待測(cè)光刻膠與陣列基板之間的臨界面反射的光，采集單元采集到光譜信號(hào)后，再將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊，由控制模塊對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行解析，進(jìn)而檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)。由于光譜信號(hào)的強(qiáng)度與待測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量有關(guān)，所以控制模塊可以根據(jù)光譜信號(hào)的強(qiáng)度檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)。該裝置通過采集透鏡實(shí)現(xiàn)了對(duì)光譜信號(hào)的高效收集的效果。此外，根據(jù)光纖探頭和待測(cè)光刻膠之間的距離，可以適當(dāng)調(diào)節(jié)光纖探頭和采集透鏡之間的距離，從而進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)對(duì)光譜信號(hào)的高效收集。
[0068]具體的，如圖3所示，控制模塊100包括處理單元110、分光轉(zhuǎn)換單元120和供電單元130。
[0069]處理單元110用于控制分光轉(zhuǎn)換單元120，以使分光轉(zhuǎn)換單元120控制至少一個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)檢測(cè)子模塊210的采集單元采集光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至分光轉(zhuǎn)換單元120。示例的，處理單元可以為微處理器。
[0070]分光轉(zhuǎn)換單元120用于對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行分光處理和光電轉(zhuǎn)換處理，得到電信號(hào)，并將電信號(hào)傳輸至處理單元110。示例的，分光轉(zhuǎn)換單元可以為光譜儀，該光譜儀為近紅外光譜儀。光譜儀的數(shù)量與檢測(cè)子模塊的數(shù)量可以相同，即每個(gè)檢測(cè)子模塊單獨(dú)由一個(gè)光譜儀來控制，一個(gè)光譜儀控制一個(gè)檢測(cè)子模塊，使得檢測(cè)控制過程更加靈活。另外，分光處理過程指的是利用色散現(xiàn)象將波長(zhǎng)范圍很寬的復(fù)合光分散成許多波長(zhǎng)范圍狹小的單色光的過程。
[0071]處理單元110還用于根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠002的指定參數(shù)。處理單元110可采用分析軟件對(duì)電信號(hào)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行建模和定量分析，檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)。分光轉(zhuǎn)換單元根據(jù)光譜信號(hào)得到的電信號(hào)攜帶有光譜信號(hào)的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，光譜信號(hào)的強(qiáng)度數(shù)據(jù)用于確定待測(cè)光刻膠的厚度，該電信號(hào)還攜帶有待測(cè)光刻膠中指定成分的特征光譜數(shù)據(jù)，指定成分的特征光譜數(shù)據(jù)用于確定指定成分的含量。
[0072]供電單元130用于給至少一個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)檢測(cè)子模塊210的發(fā)光單元供電。
[0073]進(jìn)一步的，如圖3所示，該裝置還包括固定模塊300。固定模塊300用于將檢測(cè)模塊200設(shè)置在控制模塊100指定的位置上。該固定模塊300用于將檢測(cè)模塊200固定在待測(cè)光刻膠002的當(dāng)前指定位置的上方;控制模塊100還用于在檢測(cè)模塊200檢測(cè)完待測(cè)光刻膠002的指定位置的指定參數(shù)后，控制固定模塊300帶動(dòng)檢測(cè)模塊200，移動(dòng)至待測(cè)光刻膠002的下一個(gè)指定位置的上方。該裝置通過固定模塊將檢測(cè)模塊設(shè)置在控制模塊指定的位置上，以便于該裝置檢測(cè)完待測(cè)光刻膠的一個(gè)位置的指定參數(shù)后，直接去檢測(cè)待測(cè)光刻膠的下一個(gè)位置的指定參數(shù)，實(shí)現(xiàn)快速檢測(cè)的效果。
[0074]具體的，如圖3所示，固定模塊300包括探頭固定單元310和移動(dòng)支架320，控制模塊100還包括支架控制單元140。
[0075]支架控制單元140分別與處理單元110和移動(dòng)支架320連接，用于在處理單元110的控制下，控制移動(dòng)支架320移動(dòng)。探頭固定單元310與移動(dòng)支架320連接，用于固定檢測(cè)模塊200。其中，支架控制單元140通過控制線與移動(dòng)支架320連接。支架控制單元140通過信號(hào)線與處理單元110連接。處理單元通過支架控制單元控制移動(dòng)支架移動(dòng)，進(jìn)而使多個(gè)檢測(cè)子模塊同時(shí)移動(dòng)。當(dāng)處理單元完成一次檢測(cè)分析過程后，處理單元向支架控制單元發(fā)出指示信號(hào)，以使支架控制單元根據(jù)該指示信號(hào)控制移動(dòng)支架移動(dòng)。示例的，移動(dòng)支架320可以設(shè)置有相應(yīng)的導(dǎo)軌005，這樣，移動(dòng)支架可以在支架控制單元的控制下，沿著導(dǎo)軌005移動(dòng)。此外，圖3中的001為電源線，002為待測(cè)光刻膠，004為光纖，A為待測(cè)光刻膠的指定位置。
[0076]本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置的固定模塊是移動(dòng)式的，在檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)時(shí)，可以固定陣列基板，使處理單元通過支架控制單元控制移動(dòng)支架移動(dòng)。此外，固定模塊還可以是固定式的，在檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)時(shí)，可以移動(dòng)陣列基板，以使待測(cè)光刻膠移動(dòng)。
[0077]圖5示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置01的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示，控制模塊100包括一個(gè)分光轉(zhuǎn)換單元120，檢測(cè)模塊200包括至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊210，采集單元還包括光纖切換器2123。圖5以檢測(cè)子模塊是四個(gè)為例進(jìn)行說明。
[0078]如圖5所示，光纖切換器2123的一端與分光轉(zhuǎn)換單元120連接，光纖切換器2123的另一端與至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)檢測(cè)子模塊210的采集單元連接。光纖切換器2123用于控制至少兩個(gè)采集單元按照順序依次輪流工作。本發(fā)明實(shí)施例中，當(dāng)分光轉(zhuǎn)換單元為一個(gè)，檢測(cè)子模塊為至少兩個(gè)時(shí)，可以通過光纖切換器控制采集單元按照順序依次輪流工作。當(dāng)一個(gè)采集單元完成一次采集過程并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊后，光纖切換器迅速控制下一個(gè)采集單元完成采集過程，從而實(shí)現(xiàn)了采用一個(gè)分光轉(zhuǎn)換單元控制多個(gè)檢測(cè)子模塊檢測(cè)的效果。
[0079]進(jìn)一步的，如圖5所示，控制模塊100還包括顯示單元150。處理單元110與顯示單元150連接，用于根據(jù)電信號(hào)確定電信號(hào)對(duì)應(yīng)的光譜圖，該光譜圖用于確定待測(cè)光刻膠002的指定參數(shù)；顯示單元150用于輸出該光譜圖。該裝置通過顯示單元顯示光譜圖，從而使得操作人員可以根據(jù)光譜圖檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)。此外，圖5中的其他標(biāo)號(hào)的含義可以參考圖3進(jìn)行說明，在此不再贅述。
[0080]圖6-1示出了近紅外光源照射三種不同厚度的待測(cè)光刻膠后形成的近紅外漫反射的光譜圖。圖6-1中，橫坐標(biāo)表示波長(zhǎng)，單位為nm(納米)，縱坐標(biāo)表示吸光度。曲線a表示厚度為Imm(毫米)的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫反射的光譜圖，曲線b表示厚度為3mm的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫反射的光譜圖，曲線c表示厚度為5_的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫反射的光譜圖。由于光在不同厚度的光刻膠中傳輸?shù)墓獬?即光在媒質(zhì)中通過的路程和該媒質(zhì)折射率的乘積)不同，所以光照射不同厚度的光刻膠后形成的光譜圖中光譜信號(hào)的強(qiáng)度和光譜信號(hào)的形狀不同，因此，結(jié)合圖6-1所示的光譜圖，根據(jù)近紅外光譜結(jié)合算法，即可反演得到待測(cè)光刻膠的厚度。此外，由于待測(cè)光刻膠中指定成分的特征光譜對(duì)應(yīng)的近紅外光譜波段不同，所以，根據(jù)待測(cè)光刻膠中指定成分的特征光譜，結(jié)合定量分析算法即可得到待測(cè)光刻膠中相應(yīng)成分的含量。
[0081]圖6-2示出了近紅外光源照射三種不同厚度的待測(cè)光刻膠后形成的近紅外漫透射的光譜圖。圖6-2中，橫坐標(biāo)表示波長(zhǎng)，縱坐標(biāo)表示吸光度，曲線a表示厚度為Imm的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫透射的光譜圖，曲線b表示厚度為3_的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫透射的光譜圖，曲線c表示厚度為5mm的待測(cè)光刻膠對(duì)應(yīng)的近紅外漫透射的光譜圖。根據(jù)圖6-2所示的光譜圖檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)的過程可以參考圖6-1的相關(guān)檢測(cè)過程，在此不再贅述。
[0082]進(jìn)一步的，如圖6-3所示，探頭固定單元310靠近待測(cè)光刻膠002的位置設(shè)置有光學(xué)窗片311，光學(xué)窗片311用于阻擋外界氣體或塵埃進(jìn)入檢測(cè)模塊200。該裝置采用光學(xué)窗片實(shí)現(xiàn)了防止外界氣體或塵埃進(jìn)入檢測(cè)模塊的效果。示例的，該光學(xué)窗片可以為近紅外光學(xué)窗片。
[0083]需要補(bǔ)充說明的是，光刻膠的膜層厚度和質(zhì)量的檢測(cè)工作在薄膜晶體管-液晶顯不器(英文:Thin Film Transistor Liquid Crystal Display;簡(jiǎn)稱:TFT-LCD)行業(yè)的mask工藝(即構(gòu)圖工藝)的涂膠工序中起著非常重要的作用。本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置可用于檢測(cè)光刻膠的膜層厚度和質(zhì)量。采用該裝置檢測(cè)光刻膠的指定參數(shù)時(shí)，將該裝置放置在待測(cè)光刻膠的上方，可以對(duì)待測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量進(jìn)行在線、快速檢測(cè)。由于該裝置設(shè)置有多個(gè)檢測(cè)子模塊，所以該裝置可以同時(shí)對(duì)待測(cè)光刻膠的多個(gè)位置的厚度和指定成分的含量進(jìn)行檢測(cè)。多個(gè)檢測(cè)子模塊相對(duì)于待測(cè)光刻膠是可移動(dòng)的，所以該裝置可以對(duì)待測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量進(jìn)行掃描檢測(cè)。該裝置采用光學(xué)濾波技術(shù)能夠?yàn)V除不需要的波段的光(如UV光)，這樣，不僅消除了 UV光對(duì)待測(cè)光刻膠的影響，還提高了光源照射待測(cè)光刻膠的效率。通過該裝置可以實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)光刻膠涂覆的均一性，降低了后期產(chǎn)品的返工率和報(bào)廢率，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本?？梢?，相較于現(xiàn)有技術(shù)中的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置具有如下優(yōu)點(diǎn):1、該裝置可以檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種，該裝置可以同時(shí)檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量，該裝置可以同時(shí)評(píng)價(jià)光刻膠的厚度和光刻膠的質(zhì)量。2、近紅外光譜儀對(duì)光譜信號(hào)的探測(cè)和解析的時(shí)間是毫秒量級(jí)，所以該裝置可以對(duì)光刻膠進(jìn)行在線、快速檢測(cè)。3、該裝置的檢測(cè)模塊對(duì)外界環(huán)境的要求較低。4、實(shí)際應(yīng)用中，可以根據(jù)陣列基板和光刻膠的尺寸來確定該裝置的檢測(cè)子模塊的數(shù)量，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠多個(gè)位置同時(shí)檢測(cè)的效果。5、該裝置在對(duì)光刻膠的指定參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，無需任何化學(xué)藥劑，整個(gè)檢測(cè)過程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。
[0084]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，由于該裝置能夠采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，再根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種，相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種，可以同時(shí)評(píng)價(jià)光刻膠的厚度和光刻膠的質(zhì)量，豐富了檢測(cè)的參數(shù)，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)在線、快速檢測(cè)，對(duì)外界環(huán)境的要求較低，能夠?qū)饪棠z多個(gè)位置同時(shí)檢測(cè)，降低了后期產(chǎn)品的返工率和報(bào)廢率，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，此外，整個(gè)檢測(cè)過程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。
[0085]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法，該光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法可以應(yīng)用于圖3或圖5所示的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，如圖7所示，該方法包括:
[0086]步驟501、采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠。
[0087]參見圖3或圖5，檢測(cè)模塊200在控制模塊100的作用下采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠002。如圖2所示，檢測(cè)模塊200包括至少一個(gè)檢測(cè)子模塊210，每個(gè)檢測(cè)子模塊210包括發(fā)光單元211和采集單元212。發(fā)光單元211在控制模塊的作用下采用光源照射待測(cè)光刻膠。
[0088]步驟502、采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)。
[0089]參見圖3或圖5，檢測(cè)模塊200在控制模塊100的控制下，采集光源照射待測(cè)光刻膠002后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊100。具體的，如圖2所示，采集單元212在控制模塊的控制下，采集光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至控制模塊。
[0090]步驟503、將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)。
[0091]參見圖3或圖5，控制模塊100將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)?？刂颇K100包括處理單元110、分光轉(zhuǎn)換單元120和供電單元130。其中，處理單元110控制分光轉(zhuǎn)換單元120，以使分光轉(zhuǎn)換單元120控制至少一個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)檢測(cè)子模塊210的采集單元采集光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)傳輸至分光轉(zhuǎn)換單元120。分光轉(zhuǎn)換單元120對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行分光處理和光電轉(zhuǎn)換處理，得到電信號(hào)，并將電信號(hào)傳輸至處理單元110。
[0092]步驟504、根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。
[0093]參見圖3或圖5，控制模塊100根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種。具體的，控制模塊的處理單元110根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠002的指定參數(shù)。示例的，處理單元110可采用分析軟件對(duì)電信號(hào)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行建模和定量分析，檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)。分光轉(zhuǎn)換單元根據(jù)光譜信號(hào)得到的電信號(hào)攜帶有光譜信號(hào)的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，光譜信號(hào)的強(qiáng)度數(shù)據(jù)用于確定待測(cè)光刻膠的厚度，該電信號(hào)還攜帶有待測(cè)光刻膠中指定成分的特征光譜數(shù)據(jù)，指定成分的特征光譜數(shù)據(jù)用于確定指定成分的含量。
[0094]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡(jiǎn)潔，上述方法實(shí)施例中的過程，可以參考前述裝置實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)的裝置和模塊的具體工作過程，在此不再贅述。
[0095]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法，由于該方法能夠采集光源照射待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，再根據(jù)電信號(hào)檢測(cè)待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，該指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種，相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠檢測(cè)光刻膠的厚度和指定成分的含量中的至少一種，可以同時(shí)評(píng)價(jià)光刻膠的厚度和光刻膠的質(zhì)量，豐富了檢測(cè)的參數(shù)，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)在線、快速檢測(cè)，對(duì)外界環(huán)境的要求較低，能夠?qū)饪棠z多個(gè)位置同時(shí)檢測(cè)，降低了后期產(chǎn)品的返工率和報(bào)廢率，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，此外，整個(gè)檢測(cè)過程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。
[0096]在本申請(qǐng)所提供的幾個(gè)實(shí)施例中，應(yīng)該理解到，所揭露的裝置和方法，可以通過其它的方式實(shí)現(xiàn)。例如，以上所描述的裝置實(shí)施例僅僅是示意性的，例如，所述單元的劃分，僅僅為一種邏輯功能劃分，實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)可以有另外的劃分方式，例如多個(gè)單元或組件可以結(jié)合或者可以集成到另一個(gè)系統(tǒng)，或一些特征可以忽略，或不執(zhí)行。另一點(diǎn)，所顯示或討論的相互之間的耦合或直接耦合或通信連接可以是通過一些接口，裝置或單元的間接耦合或通信連接，可以是電性，機(jī)械或其它的形式。
[0097]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置包括:控制模塊和與所述控制模塊連接的檢測(cè)模塊， 所述檢測(cè)模塊用于在所述控制模塊的作用下采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠；所述檢測(cè)模塊還用于在所述控制模塊的控制下，采集所述光源照射所述待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊； 所述控制模塊用于將所述光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，并根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，所述指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)模塊包括至少一個(gè)檢測(cè)子模塊，每個(gè)所述檢測(cè)子模塊包括發(fā)光單元和采集單元， 所述發(fā)光單元用于在所述控制模塊的作用下采用所述光源照射所述待測(cè)光刻膠； 所述采集單元用于在所述控制模塊的控制下，采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述發(fā)光單元包括光源探頭和聚焦透鏡， 所述光源探頭通過電源線與所述控制模塊連接，用于在所述控制模塊的作用下產(chǎn)生光，所述光源探頭產(chǎn)生的光能夠通過所述聚焦透鏡，并集中照射所述待測(cè)光刻膠的指定位置。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述發(fā)光單元還包括濾波片， 所述濾波片用于對(duì)所述光源探頭產(chǎn)生的光進(jìn)行濾光處理，得到處理后的光，經(jīng)過濾光處理后的光能夠通過所述聚焦透鏡，并集中照射所述待測(cè)光刻膠的指定位置。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述采集單元包括光纖探頭和采集透鏡， 所述光纖探頭通過光纖與所述控制模塊連接，用于在所述控制模塊的控制下，通過所述采集透鏡采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述控制模塊。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊包括處理單元、分光轉(zhuǎn)換單元和供電單元； 所述處理單元用于控制所述分光轉(zhuǎn)換單元，以使所述分光轉(zhuǎn)換單元控制所述至少一個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)所述檢測(cè)子模塊的采集單元采集所述光譜信號(hào)，并將所述光譜信號(hào)傳輸至所述分光轉(zhuǎn)換單元； 所述分光轉(zhuǎn)換單元用于對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行分光處理和光電轉(zhuǎn)換處理，得到所述電信號(hào)，并將所述電信號(hào)傳輸至所述處理單元； 所述處理單元還用于根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)； 所述供電單元用于給所述發(fā)光單元供電。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括固定模塊， 所述固定模塊用于將所述檢測(cè)模塊設(shè)置在所述控制模塊指定的位置上。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述固定模塊包括探頭固定單元和移動(dòng)支架，所述控制模塊還包括支架控制單元， 所述支架控制單元分別與所述處理單元和所述移動(dòng)支架連接，用于在所述處理單元的控制下，控制所述移動(dòng)支架移動(dòng)； 所述探頭固定單元與所述移動(dòng)支架連接，用于固定所述檢測(cè)模塊。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊包括一個(gè)分光轉(zhuǎn)換單元，所述檢測(cè)模塊包括至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊，所述采集單元還包括光纖切換器， 所述光纖切換器的一端與所述分光轉(zhuǎn)換單元連接，另一端與所述至少兩個(gè)檢測(cè)子模塊中每個(gè)所述檢測(cè)子模塊的采集單元連接，所述光纖切換器用于控制至少兩個(gè)采集單元按照順序依次輪流工作。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊還包括顯示單元， 所述處理單元與所述顯示單元連接，用于根據(jù)所述電信號(hào)確定所述電信號(hào)對(duì)應(yīng)的光譜圖，所述光譜圖用于確定所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)； 所述顯示單元用于輸出所述光譜圖。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述探頭固定單元靠近所述待測(cè)光刻膠的位置設(shè)置有光學(xué)窗片， 所述光學(xué)窗片用于阻擋外界氣體或塵埃進(jìn)入所述檢測(cè)模塊。12.一種光刻膠的參數(shù)檢測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括: 采用光源照射陣列基板上的待測(cè)光刻膠； 采集所述光源照射所述待測(cè)光刻膠后產(chǎn)生的光譜信號(hào)； 將所述光譜信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)； 根據(jù)所述電信號(hào)檢測(cè)所述待測(cè)光刻膠的指定參數(shù)，所述指定參數(shù)包括厚度和指定成分的含量中的至少一種。
【文檔編號(hào)】G01N21/27GK106053355SQ201610311869
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年5月11日
【發(fā)明人】錢娟娟, 馬超, 黃勝, 徐海濤, 江濤, 張慧文, 齊發(fā)
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司