基于光纖耦合激光和頻技術(shù)的痕量汞濃度檢測(cè)方法及裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于光纖耦合激光和頻技術(shù)的痕量汞濃度檢測(cè)方法及裝置。其裝置包括數(shù)據(jù)采集卡，兩只激光二極管驅(qū)動(dòng)，兩只帶尾纖的不同波長的二極管激光器，1分2拉錐透鏡光纖，偏硼酸鋇晶體（BBO），石英透鏡，分光棱鏡，兩面反射鏡，分光鏡，參考池，樣品池，兩只光電倍增管，兩只濾波片，計(jì)算機(jī)。所涵蓋的技術(shù)主要是多元線性回歸算法，自動(dòng)電路控制波長反饋技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)汞蒸氣濃度的在線連續(xù)檢測(cè)。
【專利說明】
基于光纖閒合激光和頻技術(shù)的痕量親濃度檢測(cè)方法及裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于工業(yè)排放煙氣檢測(cè)工業(yè)排放煙氣中元素隸濃度的檢測(cè)領(lǐng)域，具體涉及 一種基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 隸是一種對(duì)人體非常有害的元素。攝入隸過多容易引起身體疾病，并對(duì)神經(jīng)系統(tǒng) 有很大損害。大氣中的隸主要來自人工排放與自然排放。自然排放主要包括湖泊揮發(fā)與火 山爆發(fā)。人工排放主要來自工業(yè)煙氣的排放。我國的能源主要來自煤的燃燒，而我國的煤 礦中含有較高含量的隸。因而，煙氣排放中的隸蒸汽是我國隸污染的主要來源。傳統(tǒng)的隸 蒸汽測(cè)量技術(shù)采用濕化學(xué)法。盡管送種方法具有很高的靈敏度，但耗時(shí)長，無法作為實(shí)時(shí)的 監(jiān)測(cè)手段。光學(xué)方法中，又W冷原子吸收法和冷原子英光光譜法較為常見。冷原子吸收法 的裝置使用隸燈作為光源，W相應(yīng)譜線的吸收率來推算隸蒸汽的濃度。送種方法雖然簡便 易行，但是問題也很突出，包括（1)隸燈的使用壽命短，一般只有2000個(gè)小時(shí)；（2)隸燈的 發(fā)光功率不穩(wěn)定，W此推算出的隸蒸汽濃度有較大誤差。冷原子英光光譜法同樣使用隸燈 作為光源，因而也具有W上兩個(gè)缺點(diǎn)。同時(shí)由于英光對(duì)隸蒸汽密度有要求，因而一般還要配 備氣體富集裝置，即在使用時(shí)還需要配備載氣(一般是氮?dú)??；谌?yīng)的隸蒸汽濃度 測(cè)量，相當(dāng)于自帶參考路，因而可W規(guī)避隸燈功率變化帶來的影響，但隸燈壽命的問題同樣 沒有解決。
[0003] 專利號(hào)為化201210055105,公開了一種基于二極管激光的隸氣連續(xù)監(jiān)測(cè)裝置及監(jiān) 測(cè)方法，其缺點(diǎn)包括：（1)系統(tǒng)對(duì)震動(dòng)敏感，光源、反射鏡、消色差透鏡的扭動(dòng)都會(huì)降低禪合 效率進(jìn)而減小合成紫外光的功率，從而降低系統(tǒng)靈敏度；（2)同時(shí)，由于采用兩向色鏡，激 光束的模式大小不匹配，系統(tǒng)紫外光合成效率低；（3)采用數(shù)據(jù)采集分析器計(jì)算濃度時(shí)，只 選取個(gè)別點(diǎn)進(jìn)行1/1。計(jì)算，無法連續(xù)采集數(shù)據(jù)，容易受噪聲影響降低準(zhǔn)確度；（4)信號(hào)發(fā) 生器作為單獨(dú)模塊增加了分析系統(tǒng)的體積；（5)系統(tǒng)沒有設(shè)置閉環(huán)反饋，當(dāng)激光器出現(xiàn)波 長漂移時(shí)無法自適應(yīng)調(diào)節(jié)回最佳狀態(tài)，需要人工設(shè)置，降低了系統(tǒng)的自動(dòng)化測(cè)量能力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 1、本發(fā)明的目的。
[0005] 針對(duì)W上不足，本發(fā)明提出一種基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)方 法及裝置。
[0006] 2、本發(fā)明所采用的技術(shù)方案。
[0007] 基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，包括數(shù)據(jù)采集卡（1 )，兩只 激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-1，2-2 )，一個(gè)BBO晶體（5 )，一個(gè)分光棱鏡（7 )，一個(gè)兩面反射鏡（8-1， 8-2)，一個(gè)分光鏡（9)，參考池（10-1)，樣品池（10-2)，兩只濾波片（11-1，11-2)，探測(cè)器 (12-1，12-2)，還包括兩只帶尾纖的不同波長的二極管激光器（3-1，3-2)，1分2拉錐透鏡光 纖（4)，其中1分2透鏡光纖的單頭端自帶透鏡，一個(gè)石英準(zhǔn)直透鏡（6);兩只二極管激光器 (3-1，3-2)輸出的光直接禪合到I分2透鏡光纖（4)的雙頭端中，將聚焦點(diǎn)打在BBO晶體表 面上，經(jīng)過BBO晶體后將存在H束光，紅光、藍(lán)光W及經(jīng)BBO晶體（5)后產(chǎn)生的紫外光，H束 光經(jīng)過石英準(zhǔn)直透鏡（6)后準(zhǔn)直，再經(jīng)過分光棱鏡（7)后，由于色散分開，其中紫外光經(jīng)過 反射鏡改變方向，光線經(jīng)過分光鏡后被分成兩束，分別通過參考池和樣品池后再分別通過 濾波片后進(jìn)入第一、第二探測(cè)器（12-1，12-2)。
[0008] 數(shù)據(jù)采集卡輸出的雙路模擬信號(hào)，一路為銀齒波調(diào)制信號(hào)或H角波信號(hào)，頻率范 圍10~10曲Z，控制紅色激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-2)，從而調(diào)制紅色激光器（3-2)輸出波長與光 強(qiáng)，另一路微調(diào)藍(lán)色激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-1 )，從而調(diào)節(jié)藍(lán)色激光器（3-1)出射模式。
[0009] 藍(lán)光激光器輸出功率不小于IOmW,紅光激光器輸出功率不小于20mW。
[0010] 兩只激光器的輸出波長Al, Az滿足1/A i+1/A 2=1/253.7的關(guān)系，其中，波長的 單位為納米（nm)。
[0011] 第一、第二探測(cè)器（12-1，12-2)為光電倍增管。
[0012] 1分2拉錐透鏡光纖（4)使用材料為烙融石英，兩路分光比為50 ;50,拉錐透鏡光 纖輸出端焦距5~25mm。
[0013] 參考池長度為1~10mm，內(nèi)部隸蒸汽濃度與參考池長度乘積為10~IOOy g/m2,樣品 池長度為1~0.1 m,具體長度根據(jù)測(cè)量精度而改變。
[0014] 基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的方法，第一、第二探測(cè)器（12-1， 12-2)產(chǎn)生的信號(hào)被數(shù)據(jù)采集卡接收并傳送至計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，具體算法描述如下： (1) 兩路原始信號(hào)仍呈現(xiàn)銀齒波，但在銀齒的相同位置會(huì)出現(xiàn)大小不一的吸收峰，首先 對(duì)兩路信號(hào)非吸收區(qū)域進(jìn)行擬合，得到原始光強(qiáng)信號(hào)； (2) 原始光強(qiáng)信號(hào)與原始信號(hào)相減，得到歸一化吸收信號(hào)； (3) 對(duì)歸一化信號(hào)進(jìn)行多元線性回歸，得到樣品路吸收信號(hào)相對(duì)參考路吸收信號(hào)的比 值，多元線性回歸過程如下： S=AiR+A2+A；3X 其中S代表樣品路的歸一化吸收信號(hào)，R代表參考路的歸一化吸收信號(hào)，X代表窗口 X 軸坐標(biāo)，V A2、As為最佳適配參數(shù)； (4) 由所得的參數(shù)Al,根據(jù)下式計(jì)算得到樣品的濃度信息
其中Lkw為參考?xì)馐议L度，L 為樣品氣室長度，C KW為參考?xì)馐抑须`蒸氣的濃度。
[0015] 通過計(jì)算機(jī)對(duì)藍(lán)色激光二極管的電流進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，當(dāng)參考路的歸一化吸收信號(hào) 不足10%時(shí)，數(shù)據(jù)采集卡將對(duì)藍(lán)色激光二極管的注入電流進(jìn)行掃描，調(diào)節(jié)藍(lán)光波長，從而調(diào) 節(jié)合成紫外光的波長，改變吸收峰的大小。
[0016] 系統(tǒng)記錄不同輸入電流情況下所得到的參考路吸收峰大小，并在掃描結(jié)束后選擇 吸收峰最大時(shí)的輸入電流重新輸入到藍(lán)色激光二極管驅(qū)動(dòng)中。
[0017] 3、本發(fā)明的有益效果。
[0018] (1)、由于采用了二極管激光器，因而壽命比基于隸燈的隸氣測(cè)量裝置要長很多； (2)、由于使用帶尾纖的激光二極管W及1分2拉錐透鏡光纖，即光纖禪合結(jié)構(gòu)，使得兩 束激光的出射模斑大小相同，在聚焦到BBO晶體后最大程度的滿足相位匹配條件，從而極 大提高了紫外光的輸出功率； (3) 、由于使用帶尾纖的激光二極管W及1分2拉錐透鏡光纖可W將光聚焦到光纖出射 端前一定距離（5~25mm)，準(zhǔn)確地控制焦點(diǎn)在BBO晶體表面上，使得系統(tǒng)更加穩(wěn)定，可W-定 程度上避免震動(dòng)的影響； (4) 、采用數(shù)據(jù)采集卡能夠連續(xù)快速采集，使得系統(tǒng)能夠每砂給出一個(gè)實(shí)時(shí)濃度數(shù)據(jù)， 降低了噪聲對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響； (5) 、數(shù)據(jù)采集卡兼具產(chǎn)生信號(hào)及數(shù)據(jù)采集功能，減少了系統(tǒng)的體積，同時(shí)也便于對(duì)原 始信號(hào)和反饋信號(hào)進(jìn)行比對(duì)分析，獲得測(cè)量數(shù)據(jù)； (6) 、提出了一種基于多元線性回歸的算法，該算法較傳統(tǒng)的比值算法，標(biāo)準(zhǔn)偏差更小， 準(zhǔn)確性更高，并且能夠排除如二氧化硫、二氧化氮?dú)怏w的干擾； (7) 、設(shè)置閉環(huán)反饋能自適應(yīng)對(duì)藍(lán)色激光二極管的電流進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，當(dāng)參考路的歸一 化吸收信號(hào)不足10%時(shí)，數(shù)據(jù)采集卡將對(duì)藍(lán)色激光二極管的注入電流進(jìn)行掃描，調(diào)節(jié)藍(lán)光 波長，從而調(diào)節(jié)合成紫外光的波長，改變吸收峰的大小。
[0019] 本發(fā)明采用自動(dòng)電路控制波長反饋技術(shù)，可W達(dá)到的最低檢測(cè)限低于lug/m3,響 應(yīng)時(shí)間低于10s，充分滿足工業(yè)廢氣排放中隸含量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的要求，適用于工業(yè)廢氣中對(duì)隸 蒸氣排放進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的領(lǐng)域。
[0020]
【附圖說明】
[0021] 圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 圖2藍(lán)線和綠線為采樣得到的兩路原始信號(hào)，紅線為擬合的原始光強(qiáng)。
[0023] 圖3為計(jì)算得到的參考路和樣品路的相對(duì)吸收。
[0024] 圖4為多元線性回歸的實(shí)施過程。
[00巧]1-數(shù)據(jù)采集卡，2-1藍(lán)色激光二極管驅(qū)動(dòng)，2-2紅色激光二極管驅(qū)動(dòng)，3-1藍(lán)色二 極管激光器，3-2紅色二極管激光器，4- 1分2拉錐透鏡光纖，5- BBO晶體，6-石英準(zhǔn)直透 鏡，7-分光棱鏡,8-1第一反射鏡，8-2第二反射鏡，9-分光鏡，10-1參考池，10-2樣品池， 11-1第一濾波片，11-2第二濾波片，12-1第一探測(cè)器，12-2第二探測(cè)器，13-計(jì)算機(jī)。
[0026]
【具體實(shí)施方式】
[0027] 為了使專利局的審查員尤其是公眾能夠更加清楚地理解本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)和有 益效果，
【申請(qǐng)人】將在下面W實(shí)施例的方式作詳細(xì)說明，但是對(duì)實(shí)施例的描述均不是對(duì)本發(fā) 明方案的限制，任何依據(jù)本發(fā)明構(gòu)思所作出的僅僅為形式上的而非實(shí)質(zhì)性的等效變換都應(yīng) 視為本發(fā)明的技術(shù)方案范疇。 實(shí)施例
[0028] 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳述。如圖1所示，本發(fā)明專利采用的數(shù)據(jù)采集 卡1應(yīng)具有雙路同步采集及雙路模擬輸出功能。采集功能可W通過計(jì)算機(jī)編程。數(shù)據(jù)采集 卡輸出的雙路模擬信號(hào)，一路為銀齒波調(diào)制信號(hào)或H角波信號(hào)，頻率范圍10~lOkHz，控制紅 色激光器驅(qū)動(dòng)2-2, W此改變激光器的注入電流從而調(diào)制激光器3-2輸出波長與光強(qiáng)。另一 路可微調(diào)藍(lán)色激光器驅(qū)動(dòng)2-1，從而調(diào)節(jié)藍(lán)色激光3-1出射模式。
[0029] 兩只激光器的波長滿足W下條件：
其中齡，:挺為兩只二極管激光器的波長，單位為納米。如405納米與677納米。
[0030] 兩只激光二極管輸出的光直接禪合到1分2拉錐透鏡光纖4的雙頭端中。！分2 拉錐透鏡光纖4的單頭端自帶透鏡，可W將光聚焦到光纖出射端前一定距離（5~25mm)。
[0031] 聚焦點(diǎn)精確打在BBO晶體5表面上。經(jīng)過BBO晶體后將存在H束光，紅光、藍(lán)光W 及經(jīng)BBO晶體后產(chǎn)生的紫外光。H束光經(jīng)過烙融石英透鏡6后準(zhǔn)直。再經(jīng)過分光棱鏡7后 由于色散分開。其中紫外光經(jīng)過反射鏡8-1改變方向，使得光路折疊在有限的機(jī)箱空間中。 反光鏡的固定架涂覆有黑色消光材料，同時(shí)起到光隔離的作用，可W阻擋紅光和藍(lán)光，使得 系統(tǒng)更加集成。光線經(jīng)過分光鏡9后被分成兩束，分別通過參考池10-1和樣品池10-2。兩 束光線再分別通過濾波片11后進(jìn)入光電倍增管12被探測(cè)到。
[0032] 參考池10-1長度為2~4mm，內(nèi)部隸蒸汽濃度與參考池長度乘積為20~60ug/m2。 [003引樣品池10-2長度為20~2m，具體長度根據(jù)測(cè)量精度而改變。
[0034] 光電倍增管12產(chǎn)生的信號(hào)被數(shù)據(jù)采集卡1接收并傳送至計(jì)算機(jī)13進(jìn)行數(shù)據(jù)處 理，具體算法描述如下。
[0035] (1)兩路原始信號(hào)仍呈現(xiàn)銀齒波，但在銀齒的相同位置會(huì)出現(xiàn)大小不同的吸收峰。 首先對(duì)兩路信號(hào)非吸收區(qū)域進(jìn)行擬合，得到原始光強(qiáng)信號(hào)，如圖2中所示。
[0036] (2)原始光強(qiáng)信號(hào)與原始信號(hào)相減，得到歸一化吸收信號(hào)，如圖3所示。
[0037] (3)對(duì)歸一化信號(hào)進(jìn)行多元線性回歸，得到樣品路吸收信號(hào)相對(duì)參考路吸收信號(hào) 的比值，如圖4所示。多元線性回歸過程如下： S=AiR+A2+A3X 其中S代表樣品路的歸一化吸收信號(hào)，R代表參考路的歸一化吸收信號(hào)，X代表窗口 X 軸坐標(biāo)。VA2、As為最佳適配參數(shù)。
[003引（4)由所得的參數(shù)Al,根據(jù)下式計(jì)算得到樣品的濃度信息
其中為參考?xì)馐议L度，L 為樣品氣室長度，為參考?xì)馐抑须`蒸氣的濃度。 [0039] 系統(tǒng)可W對(duì)藍(lán)光激光二極管的電流進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)。當(dāng)參考路的歸一化吸收信號(hào)不 足10%時(shí)，采集卡將對(duì)藍(lán)光激光二極管的注入電流進(jìn)行掃描，調(diào)節(jié)藍(lán)光波長，即調(diào)節(jié)合成紫 外光的波長，從而改變吸收峰的大小。系統(tǒng)自帶的程序?qū)?huì)記錄不同輸入電流情況下所得 到的參考路吸收峰大小，并在掃描結(jié)束后選擇吸收峰最大時(shí)的輸入電流重新輸入到藍(lán)色激 光二極管驅(qū)動(dòng)中去。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，包括數(shù)據(jù)采集卡（I )， 兩只激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-1，2-2)，一個(gè)BBO晶體（5)，一個(gè)分光棱鏡（7)，一個(gè)兩面反射鏡 (8-1，8-2)，一個(gè)分光鏡（9)，參考池（10-1)，樣品池（10-2)，兩只濾波片（11-1，11-2)，探測(cè) 器（12-1，12-2)，其特征在于： 還包括兩只帶尾纖的不同波長的二極管激光器（3-1，3-2)，1分2拉錐透鏡光纖（4)，其 中1分2透鏡光纖的單頭端自帶透鏡，一個(gè)石英準(zhǔn)直透鏡（6); 兩只二極管激光器（3-1,3-2)輸出的光直接禪合到1分2透鏡光纖（4)的雙頭端中， 將聚焦點(diǎn)打在BBO晶體表面上，經(jīng)過BBO晶體后將存在H束光，紅光、藍(lán)光W及經(jīng)BBO晶體 (5)后產(chǎn)生的紫外光，H束光經(jīng)過石英準(zhǔn)直透鏡（6)后準(zhǔn)直，再經(jīng)過分光棱鏡（7)后，由于色 散分開，其中紫外光經(jīng)過反射鏡改變方向，光線經(jīng)過分光鏡后被分成兩束，分別通過參考池 和樣品池后再分別通過濾波片后進(jìn)入第一、第二探測(cè)器（12-1，12-2)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，其特 征在于：數(shù)據(jù)采集卡輸出的雙路模擬信號(hào)，一路為銀齒波調(diào)制信號(hào)或H角波信號(hào)，頻率范圍 10~10曲Z，控制紅色激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-2)，從而調(diào)制紅色激光器（3-2)輸出波長與光強(qiáng)， 另一路微調(diào)藍(lán)色激光二極管驅(qū)動(dòng)（2-1 )，從而調(diào)節(jié)藍(lán)色激光器（3-1)出射模式。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置， 其特征在于；藍(lán)光激光器輸出功率不小于IOmW,紅光激光器輸出功率不小于20mW。4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置， 其特征在于；兩只激光器的輸出波長Al, A,滿足1/A i+1/A 2=1/253.7的關(guān)系，其中，波長 的單位為納米。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，其特 征在于：第一、第二探測(cè)器（12-1，12-2)為光電倍增管。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，其特 征在于；1分2拉錐透鏡光纖（4)使用材料為烙融石英，兩路分光比為50 ;50,拉錐透鏡光纖 輸出端焦距5~25mm。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的裝置，其特 征在于；參考池長度為1~10mm，內(nèi)部隸蒸汽濃度與參考池長度乘積為10~IOOy g/m2,樣品 池長度為0. 1~Im,具體長度根據(jù)測(cè)量精度而改變。8. -種基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的方法，其特征在于：第一、第 二探測(cè)器（12-1，12-2)產(chǎn)生的信號(hào)被數(shù)據(jù)采集卡接收并傳送至計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，具體 算法描述如下： 兩路原始信號(hào)仍呈現(xiàn)銀齒波，但在銀齒的相同位置會(huì)出現(xiàn)大小不一的吸收峰，首先對(duì) 兩路信號(hào)非吸收區(qū)域進(jìn)行擬合，得到原始光強(qiáng)信號(hào)； 原始光強(qiáng)信號(hào)與原始信號(hào)相減，得到歸一化吸收信號(hào)； 對(duì)歸一化信號(hào)進(jìn)行多元線性回歸，得到樣品路吸收信號(hào)相對(duì)參考路吸收信號(hào)的比值， 多元線性回歸過程如下： S=AiR+A2+A；3X 其中S代表樣品路的歸一化吸收信號(hào)，R代表參考路的歸一化吸收信號(hào)，X代表窗口 X 軸坐標(biāo)，V A2、As為最佳適配參數(shù)； 由所得的參數(shù)Al,根據(jù)下式計(jì)算得到樣品的濃度信息Csgm其中Lkw為參考?xì)馐议L度，L 為樣品氣室長度，C KW為參考?xì)馐抑须`蒸氣的濃度。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的方法，其特 征在于：通過計(jì)算機(jī)對(duì)藍(lán)色激光二極管的電流進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，當(dāng)參考路的歸一化吸收信號(hào) 不足10%時(shí)，數(shù)據(jù)采集卡將對(duì)藍(lán)色激光二極管的注入電流進(jìn)行掃描，調(diào)節(jié)藍(lán)光波長，從而調(diào) 節(jié)合成紫外光的波長，改變吸收峰的大小，送一過程持續(xù)到參考路的歸一化吸收信號(hào)超過 !0〇/〇為止。10. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的基于光纖禪合激光和頻技術(shù)的痕量隸濃度檢測(cè)的方法， 其特征在于；系統(tǒng)記錄不同輸入電流情況下所得到的參考路吸收峰大小，并在掃描結(jié)束后 選擇吸收峰最大時(shí)的輸入電流重新輸入到藍(lán)色激光二極管驅(qū)動(dòng)中。
【文檔編號(hào)】G01N21/17GK105987877SQ201510070356
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月11日
【發(fā)明人】婁秀濤, 林宏澤, 萬莉, 王俊楠, 羅成, 何賽靈
【申請(qǐng)人】蘇州瑞藍(lán)環(huán)?？萍加邢薰?br>