具有交叉敏感度的傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種裝置和方法。具體而言，這些實(shí)施例涉及使用該裝置和方法進(jìn)行感測(cè)。
【背景技術(shù)】
[0002]為了處理表示真實(shí)世界參數(shù)的數(shù)據(jù)，需要感測(cè)該參數(shù)并將所感測(cè)的值轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)。
[0003]因此需要改進(jìn)的傳感器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種裝置，包括:包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度；以及對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)中的至少一個(gè)參數(shù)敏感的第二傳感器。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種方法，包括:處理來(lái)自包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器的輸出，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度;并且處理來(lái)自對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)中的至少一個(gè)參數(shù)敏感的第二傳感器的輸出。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種裝置，包括:包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度，其中第一參數(shù)是形變并且第二參數(shù)是氣態(tài)分析物的濃度；以及對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)中的至少一個(gè)參數(shù)敏感的第二傳感器。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種方法，包括:處理來(lái)自包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器的輸出，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度，其中第一參數(shù)是形變并且第二參數(shù)是氣態(tài)分析物的濃度;并且處理來(lái)自對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)中的至少一個(gè)參數(shù)敏感的第二傳感器的輸出。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種裝置，包括:至少一個(gè)處理器；以及包括計(jì)算機(jī)程序代碼的至少一個(gè)存儲(chǔ)器，該至少一個(gè)存儲(chǔ)器和計(jì)算機(jī)程序代碼被配置為與至少一個(gè)處理器一起使得該=裝置至少執(zhí)行:
[0009]處理來(lái)自包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器的輸出，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度，其中第一參數(shù)是形變并且第二參數(shù)是氣態(tài)分析物的濃度;并且
[0010]處理來(lái)自對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)中的至少一個(gè)參數(shù)敏感的第二傳感器的輸出。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種裝置，包括:包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度;并且其中第一傳感器對(duì)第一和第二參數(shù)中的一個(gè)參數(shù)的敏感度通過將第一和第二參數(shù)中的另一參數(shù)保持為常量而被控制。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的各種但不一定是所有的實(shí)施例，提供了一種方法，包括:處理來(lái)自包括對(duì)第一參數(shù)和第二參數(shù)敏感的傳感材料的第一傳感器的輸出，其中對(duì)第一參數(shù)的敏感度改變對(duì)第二參數(shù)的敏感度;其中第一傳感器對(duì)第一和第二參數(shù)中的一個(gè)參數(shù)的敏感度通過將第一和第二參數(shù)中的另一參數(shù)保持為常量而被控制。
【附圖說明】
[0013]為了更好地理解對(duì)于理解簡(jiǎn)要描述有用的各個(gè)示例，現(xiàn)在將只是通過示例的方式來(lái)參考附圖，在附圖中:
[0014]圖1示出了被配置為檢測(cè)第一參數(shù)pi和/或第二參數(shù)p2的裝置的示例；
[0015]圖2A至2D示出了從裝置到處理電路的不同輸出的示例；
[0016]圖3示出了包括一個(gè)或多個(gè)傳感器的裝置的示例；
[0017]圖4示出了裝置中的傳感材料的示例的截面。
[0018]圖5A和58示出了其中第一傳感器對(duì)第一和第二參數(shù)中的一個(gè)參數(shù)的敏感度通過將第一和第二參數(shù)中的另一參數(shù)第一參數(shù)是形變?yōu)槌Ａ慷豢刂疲?br>[0019]圖6描繪了來(lái)自裝置的輸出隨形變和氣態(tài)分析物的濃度的變化；
[0020]圖7示出了包括處理器和存儲(chǔ)器的處理電路的示例；以及[0021 ]圖8示出了包括溫度補(bǔ)償電路的裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0022]圖1示出了裝置10的示例。裝置10被配置為檢測(cè)第一參數(shù)pi和/或第二參數(shù)p2，并且可以被稱為傳感器裝置10(未被使用時(shí))和感測(cè)裝置10(正在使用時(shí))。
[0023]裝置10可以是包括處理電路2的更大型裝置的一部分。
[0024]裝置10包括第一傳感器20和第二傳感器30。
[0025]第一傳感器20包括對(duì)第一參數(shù)pi和第二參數(shù)(p2)敏感的傳感材料(sensingmaterial)22。傳感材料22對(duì)第一參數(shù)pi的敏感度改變傳感材料22對(duì)第二參數(shù)的敏感度。
[0026]第二傳感器30對(duì)第一參數(shù)pi和第二參數(shù)p2中的至少一個(gè)敏感。
[0027]第一傳感器20對(duì)第一參數(shù)pi的敏感度與第二傳感器30對(duì)第一參數(shù)pi的敏感度不同，并且/或者第一傳感器20對(duì)第二參數(shù)p2的敏感度與第二傳感器30對(duì)第二參數(shù)p2的敏感度不問。
[0028]在一些示例但不一定是所有示例中，第一參數(shù)pi可以是裝置10的形變(D)并且第二參數(shù)p2可以是裝置10處的氣態(tài)分析物(gaseous analyte)的濃度。
[0029]氣態(tài)分析物可以是水。第二參數(shù)p2則可以是相對(duì)濕度(relative humidity ,RH) ο
[0030]裝置10可以結(jié)合其它氣態(tài)分析物被使用，例如NH3、N02、C12以及包括甲醇和乙醇的有機(jī)溶劑。
[0031 ] 形變(D)可以例如是拉伸(stretching)形變(deformat1n)和/或彎曲(bending)形變和/或扭曲(twisting)形變。
[0032]在一些示例但不一定是所有示例中，第二傳感器30可以包括對(duì)第一參數(shù)pi和第二參數(shù)P2敏感的傳感材料22。
[0033]圖6示出了傳感材料22的敏感度可以怎樣隨形變和/或氣態(tài)分析物的濃度(在該示例中是相對(duì)濕度)變化的示例。y軸表示傳感器輸出值并且X軸表示氣態(tài)分析物的濃度(相對(duì)濕度)。第一組散點(diǎn)圖是當(dāng)傳感材料22為扁平狀態(tài)時(shí)在映射所測(cè)量的輸出與變化的相對(duì)濕度的關(guān)系的圖中被做出的。第二組散點(diǎn)圖是當(dāng)傳感材料22變形(彎曲)時(shí)在映射所測(cè)量的輸出與變化的相對(duì)濕度的關(guān)系的圖中被做出的。
[0034]很明顯傳感材料22的輸出響應(yīng)取決于傳感材料22處的相對(duì)濕度和傳感材料22的形變兩者。當(dāng)傳感材料22變形時(shí)，輸出相對(duì)于濕度的變化(對(duì)濕度的敏感度)發(fā)生改變。當(dāng)傳感材料22被暴露于不同的相對(duì)濕度下時(shí)，輸出相對(duì)于形變的變化(對(duì)形變的敏感度)發(fā)生改變。
[0035]類似的散點(diǎn)圖可以針對(duì)其它氣態(tài)分析物被得到，例如之前所描述的那些氣態(tài)分析物。
[0036]圖1還示出了處理電路2。處理電路2被配置為處理來(lái)自第一傳感器20的輸出21并且處理來(lái)自第二傳感器30的輸出31并確定針對(duì)第一參數(shù)pi的值和/或針對(duì)第二參數(shù)p2的值。
[0037]處理電路2可以使用來(lái)自第一傳感器20的輸出21和來(lái)自第二傳感器30的輸出31來(lái)從數(shù)據(jù)庫(kù)查找針對(duì)第一參數(shù)Pl和第二參數(shù)P2的值。
[0038]圖7示出了包括處理器4和存儲(chǔ)器6的處理電路2的一個(gè)示例。
[0039]處理器4被配置為從存儲(chǔ)器6讀取以及向存儲(chǔ)器6寫入。處理器4還可以包括輸出接口和輸入接口，數(shù)據(jù)和/或命令通過輸出接口被處理器4輸出，數(shù)據(jù)和/或命令通過輸入接口被輸入到處理器4中。
[0040]存儲(chǔ)器6存儲(chǔ)包括計(jì)算機(jī)程序指令(計(jì)算機(jī)程序代碼)的計(jì)算機(jī)程序5，該計(jì)算機(jī)程序指令在被載入處理器4時(shí)控制處理電路2的操作。計(jì)算機(jī)程序5的計(jì)算機(jī)程序指令提供使得裝置能夠執(zhí)行圖2A至2D中所示的方法中的一個(gè)或多個(gè)方法的邏輯和例程。處理器4通過讀取存儲(chǔ)器6能夠載入并執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序5。
[0041]該裝置因此包括:至少一個(gè)處理器4;以及包括計(jì)算機(jī)程序代碼5的至少一個(gè)存儲(chǔ)器6，該至少一個(gè)存儲(chǔ)器6和計(jì)算機(jī)程序代碼5被配置為與至少一個(gè)處理器4 一起使得裝置10至少執(zhí)行以下操作:
[0042]處理來(lái)自第一傳感器20的輸出21，第一傳感器20包括對(duì)第一參數(shù)pi和第二參數(shù)p2敏感的傳感材料22，其中