NAo為被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的物方數(shù)值孔徑。物面掩模606上第一圓孔606a 和第二圓孔606b對(duì)光場(chǎng)有濾波作用，由于它們的直徑Φο小于所述被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的物方 衍射極限分辨率，它們的輸出光場(chǎng)在被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的物方數(shù)值孔徑NAo內(nèi)是標(biāo)準(zhǔn)球面波。 從第一輸入端6A和第二輸入端6B輸入的光被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)球面波分別從第二輸出端6D和 第一輸出端6C輸出。物面掩模606上第一圓孔606a和第二圓孔606b之間的中心距離小 于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的等暈區(qū)的直徑，大于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8像點(diǎn)彌散斑的直徑除以被測(cè)光學(xué) 系統(tǒng)8的放大倍數(shù)，如被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8像點(diǎn)彌散斑的直徑為1μm，等暈區(qū)的直徑為50μm， 放大倍數(shù)為1/5,則第一圓孔606a和第二圓孔606b之間的中心距離小于50μm，大于5μm。
[0056] 圖7是本發(fā)明理想波前發(fā)生單元6的第三個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。理想波前發(fā)生 單元6由第一反射鏡607、第二反射鏡608、聚焦鏡組609、物面掩模606構(gòu)成；兩束準(zhǔn)直光第 一光束6L1和第二光束6L2分別從理想波前發(fā)生單元6的第一輸入端6A、第二輸入端6B輸 入；沿第一光束6L1前進(jìn)方向，依次經(jīng)過第一反射鏡607、聚焦鏡組609和物面掩模606 ;沿 第二光束6L2前進(jìn)方向，依次經(jīng)過第二反射鏡608、聚焦鏡組609和物面掩模606 ;物面掩模 606位于聚焦鏡組609的后焦面上；物面掩模606上第一圓孔606a是理想波前發(fā)生單元6 的第一輸出端6C，第二圓孔606b是理想波前發(fā)生單元6的第二輸出端6D;第一反射鏡607 與第二反射鏡608之間有一個(gè)夾角，使得第一光束6L1通過聚焦鏡組609聚焦在第一輸出 端6C，第二光束6L2通過聚焦鏡組609聚焦在第二輸出端6D。物面掩模606的結(jié)構(gòu)和作用 如本發(fā)明理想波前發(fā)生單元6的第二個(gè)實(shí)施例的說明所述。在從第一輸入端6A和第二輸 入端6B輸入的光被轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)球面波分別從第一輸出端6C和第二輸出端6D輸出。
[0057] 圖8是本發(fā)明像方波前檢測(cè)單元9的幾個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。像方波前檢測(cè)單 元9由像方掩模901、光電傳感器902、支架903構(gòu)成。像方掩模901位于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8 的像面；沿光前進(jìn)方向，在像方掩模901之后放置光電傳感器902 ;支架903是用來支撐像 方掩模901和光電傳感器902的機(jī)械件。
[0058] 圖8(a)中光電傳感器902包括變換光學(xué)鏡組902a和二維探測(cè)器902b。像方掩 模901位于變換光學(xué)鏡組902a的前焦面，二維探測(cè)器902b位于變換光學(xué)鏡組902a的后焦 面。變換光學(xué)鏡組902a是能夠成像的單透鏡。二維探測(cè)器902b是(XD。
[0059] 圖8(b)中支架903包括固定部件903a和精密調(diào)節(jié)部件903b。精密調(diào)節(jié)部件903b 支撐在固定部件903a上，像方掩模901支撐在精密調(diào)節(jié)部件903b上，光電傳感器902支撐 在固定部件903a上。精密調(diào)節(jié)部件903b在系統(tǒng)工作中能夠精密調(diào)整像方掩模901的位置， 實(shí)現(xiàn)精密對(duì)準(zhǔn)；固定部件903a在系統(tǒng)工作時(shí)固定不動(dòng)。精密調(diào)節(jié)部件903b采用具有XYZ 三個(gè)調(diào)節(jié)自由度的壓電陶瓷納米分辨率調(diào)節(jié)臺(tái)。
[0060] 所述的精密對(duì)準(zhǔn)是通過像方掩模901的位置調(diào)整，使理想波前發(fā)生單元6的一個(gè) 輸出端（第一輸出端6C，或第二輸出端6D)通過被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的像點(diǎn)與像方掩模901的 濾波圓孔901a的中心對(duì)準(zhǔn)，另一個(gè)輸出端（第二輸出端6D，或第一輸出端6C)的像點(diǎn)位于 像方掩模901的透光窗口 901b內(nèi)部。
[0061] 圖8(c)中光電傳感器902只包含二維探測(cè)器902b。二維探測(cè)器902b放置在沿光 前進(jìn)方向上像方掩模901之后；并與像方掩模901平行。
[0062]圖8(a)、圖8(c)中支架903只包括固定部件903a，不包括精密調(diào)節(jié)部件903b。
[0063] 當(dāng)支架903中包括精密調(diào)節(jié)部件903b時(shí)，所述的像方精密調(diào)節(jié)臺(tái)10是能夠調(diào)節(jié) 像方波前檢測(cè)單元9位置的多自由度位移臺(tái)或調(diào)整架；通過像方精密調(diào)節(jié)臺(tái)10的調(diào)節(jié)，可 以使理想波前發(fā)生單元6的輸出端（第一輸出端6C和第二輸出端6D)通過被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8 的像點(diǎn)與像方掩模901對(duì)準(zhǔn)，即進(jìn)入支架903的精密調(diào)節(jié)部件903b的精密對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)范圍。
[0064] 當(dāng)支架903只包括固定部件903a，不包括精密調(diào)節(jié)部件903b時(shí)，所述的精密對(duì)準(zhǔn) 由像方精密調(diào)節(jié)臺(tái)10單獨(dú)實(shí)現(xiàn)。
[0065] 圖9是本發(fā)明像方掩模901的幾個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0066] 圖9 (a)、圖9(b)中像方掩模901包括一個(gè)透光窗口901b和一個(gè)濾波圓孔901a; 濾波圓孔901a是直徑Φi小于所述被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的像方衍射極限分辨率的透光小孔，滿 足Φ?〈λΛ2ΝΑ?)，其中λ為光源波長(zhǎng)，NAi為被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的像方數(shù)值孔徑。透光窗口 901b是能夠無遮擋的分別透過所述的理想波前發(fā)生單元6的第一輸出端6C和第二輸出端 6D經(jīng)被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8成像后的像點(diǎn)彌散斑的透光區(qū)域，圖9 (a)中透光窗口 901b是"回"字 形，圖9(b)中透光窗口 901b是圓環(huán)形。像方掩模901中透光窗口 901b和濾波圓孔901a 的部分是透光區(qū)域，其他部分為有遮光層不透光區(qū)。濾波圓孔901a位于透光窗口 901b內(nèi) 側(cè)的不透光區(qū)域的中心。透光窗口 901b有兩個(gè)邊沿，內(nèi)側(cè)邊沿901b_Sl距離濾波圓孔901a 較近，濾波圓孔901a的中心與透光窗口 901b內(nèi)側(cè)邊沿901b_Sl之間的最短距離略大于被 測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的像點(diǎn)彌散斑半徑。
[0067] 所述的遮光層可以是鉻、鋁等金屬層，或Mo/Si多層膜等對(duì)透過光線有明顯衰減 的膜層。
[0068] 圖9(c)中像方掩模901的透光窗口 901b由兩個(gè)分離的區(qū)域組成，第一透光窗口 區(qū)域901bl和第二透光窗口區(qū)域901b2,像方掩模901還包含一個(gè)濾波圓孔901a;濾波圓孔 901a的特征與圖9(a)、圖9(b)中的濾波圓孔901a相同；第一透光窗口區(qū)域901bl和第二 透光窗口區(qū)域901b2都是能夠無遮擋的分別透過所述的理想波前發(fā)生單元6的第一輸出端 6C和第二輸出端6D經(jīng)被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8成像后的像點(diǎn)彌散斑的四邊形透光區(qū)域。像方掩模 901中第一透光窗口區(qū)域901bl、第二透光窗口區(qū)域901b2、濾波圓孔901a的部分是透光區(qū) 域，其他部分為有遮光層不透光區(qū)。第一透光窗口區(qū)域901bl和第二透光窗口區(qū)域901b2分 別位于濾波圓孔901a左右兩側(cè)。第一透光窗口區(qū)域901bl和第二透光窗口區(qū)域901b2均 只有1個(gè)邊沿，分別為901bl_Sl、901b2_Sl，濾波圓孔901a的中心與邊沿901bl_Sl、901b2_ S1之間的最短距離均略大于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的像點(diǎn)彌散斑半徑。
[0069] 圖9 (d)中像方掩模901包括一個(gè)透光窗口 901b，第一濾波圓孔901al和第二濾 波圓孔901a2 ;第一濾波圓孔901al和第二濾波圓孔901a2的特征與圖9(a)、圖9(b)中的 濾波圓孔901a相同；透光窗口 901b是能夠無遮擋的分別透過所述的理想波前發(fā)生單元6 的第一輸出端6C和第二輸出端6D經(jīng)被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8成像后的像點(diǎn)彌散斑的四邊形透光區(qū) 域。像方掩模901中透光窗口 901b，第一濾波圓孔901al和第二濾波圓孔901a2的部分是 透光區(qū)域，其他部分為有遮光層不透光區(qū)。第一濾波圓孔901al和第二濾波圓孔901a2分別 位于透光窗口 901b左右兩側(cè)。透光窗口 901b只有1個(gè)邊沿901b_Sl，第一濾波圓孔901al 和第二濾波圓孔901a2與邊沿901b_Sl之間的最短距離均略大于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)8的像點(diǎn)彌 散斑半徑。
[0070]圖10是本發(fā)明點(diǎn)衍射干涉波像差測(cè)量?jī)x一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。光源1是單 模光纖輸出的激光器。分光器2是光纖親合器。第一光強(qiáng)與偏振態(tài)調(diào)節(jié)器3由可調(diào)衰減器 301和偏振控制器302組成，可調(diào)衰減器301和偏振控制器302都采用光纖器件，沿光前進(jìn) 方向，可調(diào)衰減器301連接在偏振控制器302之前；可調(diào)衰減器301由依次連接的光纖、光