測試真空度的方法和裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種測試真空度的方法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS,Micro-electromechanicalSystems)諧振器是工作在真空 度的器件，目前通過兩片晶片接合（WaferBonding)的技術(shù)可以形成一個真空腔體。但是， 在不同的工藝下，形成的真空腔體的真空度不同，有時候通過上述技術(shù)形成的真空腔體無 法滿足MEMS諧振器工作的要求。
[0003] 可見，包括MEMS諧振器在內(nèi)的需要工作在真空度下的器件所處的真空環(huán)境直接 影響到該器件的性能，然而如何檢測真空腔體的實際真空環(huán)境是一大難題。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)中，檢測真空度的方式往往無法準(zhǔn)確地檢測到真空腔體的實際真空度。 針對上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明實施例提供了一種測試真空度的方法和裝置，以至少解決現(xiàn)有技術(shù)中測試 真空度不準(zhǔn)確的技術(shù)問題。
[0006] 根據(jù)本發(fā)明實施例的一個方面，提供了一種測試真空度的方法，其包括：向待測器 件輸入射頻掃描信號；接收上述待測器件在上述射頻掃描信號的頻率與上述待測器件的固 有頻率一致時發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號；根據(jù)上述輸出信號測試上述待測器件所處環(huán)境 的真空度。
[0007] 可選地，上述接收上述待測器件在上述射頻掃描信號的頻率與上述待測器件的固 有頻率一致時發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號包括：接收上述輸出信號經(jīng)過信號放大器后輸出 的測試信號。
[0008] 可選地，上述根據(jù)上述輸出信號測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度包括：根據(jù) 上述輸出信號計算Q值；根據(jù)計算出的Q值測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度。
[0009] 可選地，上述根據(jù)計算出的Q值測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度包括：若上 述Q值在預(yù)定范圍之內(nèi)，則判斷出上述待測器件所處環(huán)境的真空度滿足與上述預(yù)定范圍對 應(yīng)的預(yù)定要求。
[0010] 可選地，上述向待測器件輸入射頻掃描信號包括：通過網(wǎng)絡(luò)分析儀向上述待測器 件輸入射頻掃描信號。
[0011] 可選地，上述待測器件包括：MEMS器件。
[0012] 根據(jù)本發(fā)明實施例的另一方面，還提供了一種測試真空度的裝置，其包括：傳輸單 元，用于向待測器件輸入射頻掃描信號；接收單元，用于接收上述待測器件在上述射頻掃描 信號的頻率與上述待測器件的固有頻率一致時發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號；測試單元，用 于根據(jù)上述輸出信號測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度。
[0013] 可選地，上述接收單元包括：接收模塊，用于接收上述輸出信號經(jīng)過信號放大器后 輸出的測試信號。
[0014] 可選地，上述測試單元包括：測試模塊，用于根據(jù)上述輸出信號計算Q值；根據(jù)計 算出的Q值測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度。
[0015] 可選地，上述測試模塊用于若上述Q值在預(yù)定范圍之內(nèi)，則判斷出上述待測器件 所處環(huán)境的真空度滿足與上述預(yù)定范圍對應(yīng)的預(yù)定要求。
[0016] 在本發(fā)明實施例中，通過待測器件產(chǎn)生諧振時反饋的測試信號計算Q值，并根據(jù) Q值測試待測器件所處環(huán)境的真空度，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中測試真空度不準(zhǔn)確的技術(shù)問 題，達(dá)到了提高真空度測試準(zhǔn)確度的技術(shù)效果。
【附圖說明】
[0017] 此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本發(fā) 明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：
[0018] 圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的一種可選的測試真空度的方法的流程圖；
[0019] 圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的另一種可選的測試真空度的方法的流程圖；以及
[0020] 圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的一種可選的測試真空度的裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0021] 下文中將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。需要說明的是，在不沖突的 情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0022] 實施例1
[0023] 根據(jù)本發(fā)明實施例的一個方面，如圖1所示，提供了一種測試真空度的方法，其包 括：
[0024] S102,向待測器件輸入射頻掃描信號；
[0025] 可選地，在本實施例中上述待測器件可以為但不限于微型機(jī)電系統(tǒng) (MEMS,Micro-electromechanicalSystems)諧振器，其中，MEMS諧振器是工作在真空環(huán)境 的設(shè)備，真空環(huán)境的真空度將直接影響設(shè)備的性能。例如，向待測的MEMS諧振器中輸入射 頻掃描信號（RF,RadioFrequencySignal)。上述舉例只是一種示例，本申請對此不作限定。
[0026] 可選地，在本實施例中可以但不限于通過網(wǎng)絡(luò)分析儀（NetworkAnalyzer)向待測 器件（例如，MEMS諧振器）輸入射頻掃描信號，其中，網(wǎng)絡(luò)分析儀是測量網(wǎng)絡(luò)參數(shù)的一種新 型儀器，可直接測量有源或無源、可逆或不可逆的雙口和單口網(wǎng)絡(luò)的復(fù)數(shù)散射參數(shù)，并以掃 頻方式給出各散射參數(shù)的幅度、相位頻率特性。例如，自動網(wǎng)絡(luò)分析儀能對測量結(jié)果逐點進(jìn) 行誤差修正，并換算出其他幾十種網(wǎng)絡(luò)參數(shù)，如輸入反射系數(shù)、輸出反射系數(shù)、電壓駐波比、 阻抗（或?qū)Ъ{）、衰減（或增益）、相移和群延時等傳輸參數(shù)以及隔離度和定向度等。
[0027] 例如，結(jié)合圖2所示，通過網(wǎng)絡(luò)分析儀202向MEMS諧振器204輸入射頻掃描信號。
[0028] S104,接收上述待測器件在上述射頻掃描信號的頻率與上述待測器件的固有頻率 一致時發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號；
[0029] 可選地，在本實施例中待測器件接收的輸出信號可以包括但不限于：待測器件的 輸出信號經(jīng)信號放大器206放大后輸出的測試信號。
[0030] 例如，結(jié)合圖2所示，通過網(wǎng)絡(luò)分析儀202向MEMS諧振器204輸入射頻掃描信號， 當(dāng)輸入的射頻掃描信號的頻率與測試儀208中的MEMS諧振器204的固有頻率一致時，MEMS諧振器204將發(fā)生諧振并產(chǎn)生輸出信號,MEMS諧振器輸出信號經(jīng)信號放大器206放大后輸 出的測試信號會在網(wǎng)絡(luò)分析儀202上顯示。其中，在本實施例中網(wǎng)絡(luò)分析儀202上顯示的 信息包括但不限于：諧振頻率。
[0031] S106,根據(jù)上述輸出信號測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度。
[0032] 可選地，在本實施例中可以但不限于通過實際器件功能測試數(shù)據(jù)換算得出信號的 Q值，來判斷設(shè)備的真空度，其中，在本實施例中的Q值可以為但不限于：衡量電感器件的主 要參數(shù)，指電感器在某一頻率的交流電壓下工作時，所呈現(xiàn)的感抗與其等效損耗電阻之比。 可選地，在本實施例中Q值可以但不限于與最大的諧振頻率成正比關(guān)系。
[0033] 可選地，在本實施例中的Q值可以但不限于通過以下公式計算得出：
[0034] df=f2-fI(1)
[0035] 其中，df為測量諧振曲線的頻帶寬度，f2與fl是失諧時，即輸出電壓的幅度下降
對應(yīng)的上下頻率點，其中，f2對應(yīng)上頻率點，H對應(yīng)下頻率點。
[0036] Q=fO/df(2)
[0037] 其中，f0為諧振頻率。可選地，在本實施例中的Q值越大，曲線越尖銳，通頻帶越 窄，真空度越好。
[0038] 可選地，在本實施例中利用Q值測試待測器件所處環(huán)境的真空度可以包括但不限 于：判斷Q值是否在預(yù)定的范圍之內(nèi)。
[0039] 例如，網(wǎng)絡(luò)分析儀202在接收到經(jīng)信號放大器206放大后輸出的測試信號之后，根 據(jù)上述輸出的測試信號計算Q值，并通過判斷Q值是否在預(yù)定的范圍之內(nèi)，進(jìn)而判斷MEMS 諧振器204所處環(huán)境對應(yīng)的真空度。
[0040] 通過本申請?zhí)峁┑膶嵤├?，利用待測器件反饋的輸出信號來測試待測器件所處環(huán) 境的真空度，實現(xiàn)了提高真空度測試準(zhǔn)確度的效果。
[0041] 可選地，上述步驟S104接收上述待測器件在上述射頻掃描信號的頻率與上述待 測器件的固有頻率一致時發(fā)生諧振所產(chǎn)生的輸出信號包括：
[0042] S1，接收上述輸出信號經(jīng)過信號放大器后輸出的測試信號。
[0043] 例如，結(jié)合圖2所示，當(dāng)輸入的射頻掃描信號的頻率與測試儀208中的MEMS諧振 器204的固有頻率一致時，MEMS諧振器204將發(fā)生諧振并產(chǎn)生輸出信號，上述輸出信號將會 經(jīng)過信號放大器206放大后輸出測試信號，網(wǎng)絡(luò)分析儀202將接收上述信號放大器206輸 出的測試信號。
[0044] 可選地，上述步驟S106根據(jù)上述輸出信號測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度 包括：
[0045] Sl，根據(jù)上述輸出信號計算Q值；
[0046] S2,根據(jù)計算出的Q值測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度。
[0047] 例如，結(jié)合圖2所示，網(wǎng)絡(luò)分析儀202在接收到經(jīng)信號放大器206放大后輸出的測 試信號之后，根據(jù)上述輸出的測試信號計算Q值，并通過判斷Q值是否在預(yù)定的范圍之內(nèi)， 進(jìn)而判斷MEMS諧振器204所處環(huán)境對應(yīng)的真空度。
[0048] 可選地，上述根據(jù)計算出的Q值測試上述待測器件所處環(huán)境的真空度包括：
[0049] S1，若上述Q值在預(yù)定范圍之內(nèi)，則判斷出上述待測器件所處環(huán)境的真空度滿足 與上述預(yù)定范圍對應(yīng)的預(yù)定要求。
[0050] 例如，結(jié)合圖2所示，若網(wǎng)絡(luò)分析儀202計算出Q值的范圍為（10