靈敏度檢查系統(tǒng)和靈敏度檢查方法
【專利說明】靈敏度檢查系統(tǒng)和靈敏度檢查方法
【背景技術】
[0001] 1.技術領域
[0002] 本發(fā)明涉及檢查用于檢測加速度的靜電電容傳感器的靈敏度的靈敏度檢查系統(tǒng)， 且涉及靈敏度檢查方法。
[0003] 2.【背景技術】
[0004] 對于檢測加速度的加速度檢測設備，例如，在JP-A-2006-153754中描述了設置為 電容類型的設備（下文稱為靜電電容傳感器）。該靜電電容傳感器具有排布在可移動電極 附近的固定電極，來檢測固定電極和可移動電極之間的電容變化，藉此檢測加速度。
[0005] -般而言，由于制造各部件時引起的各部件之間的特性差異，在所制造的加速度 檢測設備的輸出之間展現(xiàn)出散亂。因此，為了消除輸出中的這種散亂，在運輸前執(zhí)行對于每 一個加速度檢測設備的靈敏度調(diào)節(jié)。在JP-A-2006-153754、JP-A-9-251031、2006/16671A、 JP-A-2004-093552、和JP-A-8-240611的每一個中描述了對于這樣的加速度檢測設備的靈 敏度調(diào)節(jié)有關的現(xiàn)有技術。JP-A-2006-153754和JP-A-9-251031的每一個公開了通過使用 搖晃器來調(diào)節(jié)加速度檢測設備的靈敏度。國際公開No. 2006/16671、JP-A-2004-093552、和 JP-A-8-240611的每一個公開了通過將加速度檢測設備放置為檢查對象的同時使該設備傾 斜來在用同時施加到了多個方向的重力加速度來檢測多個方向的每一個的加速度的加速 度檢測設備中執(zhí)行的靈敏度調(diào)節(jié)。
[0006] 專利文獻 I :JP-A-2006-153754
[0007] 專利文獻 2 :JP-A-9-251031
[0008] 專利文獻3 :國際公開No. 2006/16671
[0009] 專利文獻 4 :JP-A-2004-178236
[0010] 專利文獻 5 : JP-A-8-240611
[0011] 申請人從對于檢測多個方向的每一個的加速度的靜電電容傳感器的靈敏度調(diào)節(jié) 所需的成本減少的角度研究了現(xiàn)有技術。在JP-A-2006-153754和JP-A-9-251031的每一 個所公開的靈敏度調(diào)節(jié)中，對于靈敏度調(diào)節(jié)使用搖晃器增加了用于靈敏度調(diào)節(jié)的系統(tǒng)的制 造成本。在國際公開No. 2006/16671中所公開的靈敏度調(diào)節(jié)中，通過"基于所累積的輸出數(shù) 據(jù)來確定輸出數(shù)據(jù)的參考點"來執(zhí)行調(diào)節(jié)。此舉增加了測量次數(shù)。在JP-A-2004-093552中 所公開的校準中，當施加了 IG的加速度時，存在將傳感器的輸出設置為1的限制。此舉窄 化了校準的應用。此外，在JP-A-8-240611中，沒有公開具體校準步驟。
[0012] 在考慮到上述環(huán)境的情況下做出本發(fā)明，本發(fā)明具有提供減少對于檢測多個方向 的每一個的加速度的靜電電容傳感器的靈敏度調(diào)節(jié)所需成本的技術的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013] 根據(jù)本發(fā)明的靈敏度檢查系統(tǒng)是檢查靜電電容傳感器的靈敏度的靈敏度檢查系 統(tǒng)。該靜電電容傳感器設置有傳感器單元、檢測單元、和修正單元。該傳感器單元具有可移 動電極、至少一個第一固定電極、以及第二固定電極，該至少一個第一固定電極排布成從被 視為與該可移動電極相對的方向的第一方向與該可移動電極相對，且該第二固定電極排布 成從被包括在一平面內(nèi)的第二方向與該可移動電極相對，其中該平面的方向不同于包括該 第一方向的平面的方向。檢測單元檢測該可移動電極和該第一固定電極之間的第一電容以 及該可移動電極和該第二固定電極之間的第二電容。修正單元修正由該檢測單元檢測到的 檢測結果且輸出經(jīng)修正的結果。
[0014] 該靈敏度檢查系統(tǒng)具有輸出獲取單元、第一轉換單元、和第二轉換單元。輸出獲取 單元從傾斜地進入檢查狀態(tài)的該靜電電容傳感器獲取第一輸出和第二輸出，其中該第一輸 出的值是基于該第一電容的值，且該第二輸出的值是基于該第二電容的值。第一轉換單元 將第一輸出轉換為第一經(jīng)轉換輸出，其中第一經(jīng)轉換輸出的值等于當該第一方向的第一參 考加速度被施加到了該靜電電容傳感器時的輸出的值。該轉換是通過將該第一輸出的值乘 以第一比值做出的，該第一比值是基于當作為具有規(guī)定值的第一方向的加速度的第一參考 加速度被作為用于檢查的參考加速度進行了施加時的該第一電容的值的該靜電電容傳感 器的輸出的理論值與基于當在檢查狀態(tài)中施加第一方向的加速度時的該第一電容的值的 該靜電電容傳感器的輸出的理論值之間的比值。第二轉換單元將第二輸出轉換為第二經(jīng)轉 換輸出，其中第二經(jīng)轉換輸出的值等于當該第二方向的第二參考加速度被施加到了該靜電 電容傳感器時的輸出的值。該轉換是通過將該第二輸出的值乘以第二比值做出的，該第二 比值是基于當作為具有規(guī)定值的第二方向的加速度的第二參考加速度被作為用于檢查的 參考加速度進行了施加時的該第二電容的值的該靜電電容傳感器的輸出的理論值與基于 當在檢查狀態(tài)中施加第二方向的加速度時的該第二電容的值的該靜電電容傳感器的輸出 的理論值之間的比值。
[0015] 根據(jù)本發(fā)明的靈敏度檢查方法是檢查靜電電容傳感器的靈敏度的靈敏度檢查方 法。該靜電電容傳感器設置有傳感器單元、檢測單元、和校正單元。該傳感器單元具有可移 動電極、至少一個第一固定電極、以及第二固定電極，該至少一個第一固定電極排布成從被 視為與該可移動電極相對的方向的第一方向與該可移動電極相對，且該第二固定電極排布 成從被包括在一平面內(nèi)的第二方向與該可移動電極相對，其中該平面的方向不同于包括該 第一方向的平面的方向。檢測單元檢測該可移動電極和該第一固定電極之間的第一電容以 及該可移動電極和該第二固定電極之間的第二電容。修正單元修正由該檢測單元檢測到的 檢測結果且輸出經(jīng)修正的結果。
[0016] 靈敏度檢查方法包括如下步驟：使該靜電電容傳感器傾斜地進入檢查狀態(tài)；從該 靜電電容傳感器獲取第一輸出和第二輸出，其中該第一輸出的值是基于該第一電容的值， 且該第二輸出的值是基于該第二電容的值；通過將所述第一輸出的值乘以第一比值來將所 述第一輸出轉換為第一經(jīng)轉換輸出，其中該第一經(jīng)轉換輸出的值對應于當該第一方向的第 一參考加速度被施加到了該靜電電容傳感器時的輸出的值，其中該第一比值是基于當作為 具有規(guī)定值的第一方向的加速度的第一參考加速度被作為用于檢查的參考加速度進行了 施加時的該第一電容的值的該靜電電容傳感器的輸出的理論值與基于當在該檢查狀態(tài)中 施加該第一方向的加速度時的該第一電容的值的該靜電電容傳感器的輸出的理論值之間 的比值；以及通過將該第二輸出的值乘以第二比值來將該第二輸出轉換為第二經(jīng)轉換輸 出，其中該第二經(jīng)轉換輸出的值對應于當該第二方向的第二參考加速度被施加到了該靜電 電容傳感器時的輸出的值，其中該第二比值是基于當作為具有規(guī)定值的第二方向的加速度 的第二參考加速度被作為用于檢查的參考加速度進行了施加時的該第二電容的值的該靜 電電容傳感器的輸出的理論值與基于當在該檢查狀態(tài)中施加該第二方向的加速度時的該 第二電容的值的該靜電電容傳感器的輸出的理論值之間的比值。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明，提供了減少對于檢測多個方向的每一個的加速度的靜電電容傳感器 的靈敏度調(diào)節(jié)所需的成本的技術。
【附圖說明】
[0018] 圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例1的靈敏度檢查系統(tǒng)的示例的框圖；
[0019] 圖2是示出靜電電容傳感器的配置的示例的平面圖；
[0020] 圖3是沿著圖2的線A-A取得的截面圖；
[0021] 圖4是示出在靜電電容傳感器的配置的示例中的檢測單元中所設置的檢測X方向 或Y方向加速度值的檢測電路的電路配置的示例的圖；
[0022] 圖5是示出在靜電電容傳感器的配置的另一個示例中的檢測單元中所設置的檢 測X方向或Y方向加速度值的檢測電路的電路配置的示例的圖；
[0023] 圖6是示出在靜電電容傳感器的配置的又一個示例中的檢測單元中所設置的檢 測Z方向加速度值的檢測電路的電路配置的示例的圖；
[0024] 圖7是示出在靜電電容傳感器的配置的又一個示例中的檢測單元中所設置的檢 測Z方向加速度值的檢測電路的電路配置的示例的圖；
[0025] 圖8是示出靜電電容傳感器處于標準狀態(tài)的情況的透視圖；
[0026] 圖9是從圖8中Y方向所見的其中圖8所示的靜電電容傳感器的外殼進入檢查狀 態(tài)的側視圖；
[0027] 圖10是示出在施加到了靜電電容傳感器的第一方向的加速度a和對應于該加速 度的靜電電容傳感器的輸出Λ C之間的關系的圖，其中該關系是基于第一理論公式獲得的 關系所獲得的；
[0028] 圖11是示出當圖2和圖3中所示的X方向的加速度被施加到了靜電電容傳感器 的可移動電極時該可移動電極的移動的示圖；
[0029] 圖12是示出當圖3中所示的Z方向的加速度被施加到了靜電電容傳感器的可移 動電極時該可移動電極的移動的示圖；
[0030] 圖13是示出靈敏度檢查系統(tǒng)的硬件配置的示例的框圖；
[0031] 圖14是示出由實施例1的靈敏度檢查系統(tǒng)所執(zhí)行的處理的流程的示例的流程 圖；
[0032] 圖15是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例2的靈敏度檢查系統(tǒng)的示例的框圖。
[0033] 圖16是示出由本發(fā)明的實施例2的靈敏度檢查系統(tǒng)所執(zhí)行的處理的流程的示例 的流程圖；
[0034] 圖17是示出靜電電容傳感器的輸出所要求滿足的規(guī)定的示例的表；
[0035] 圖18是示出用于設置靜電電容傳感器的設置臺的透視圖；和
[0036] 圖19是示出其中靜電電容傳感器在該設置臺上被設置的狀態(tài)的示例的視圖。
【具體實施方式】
[0037] 在下文中，將參考附圖來解釋本發(fā)明的實施例。在所有附圖中，用類似附圖標號和 標記來標示類似部件，且適當?shù)厥÷云浣忉尅?br>[0038] 此外，在下文解釋中，下文將在圖2中示出的檢測單元200和修正單元300的每一 個部件沒有被圖示為形成為硬件單元的框而是被圖示為形成為功能單元的框。檢測單元 200和修正單元300的每一個可由硬件和軟件的任意組合所實