一種管路一致性校驗(yàn)器及其使用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中藥液輸送管路、工藝氣體輸送管路等對(duì)管路要求較 高的領(lǐng)域，具體的說是一種用于識(shí)別相同工藝單元管路一致性的管路一致性校驗(yàn)器及其使 用方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 管路系統(tǒng)是各類復(fù)雜機(jī)械設(shè)備不可缺少的重要組成部分，管路排布與連接直接影 響設(shè)備的性能與可靠性，嚴(yán)重的問題會(huì)導(dǎo)致機(jī)械設(shè)備的功能難W實(shí)現(xiàn)，甚至引起重大安全 事故。例如半導(dǎo)體TRACK設(shè)備的藥液輸送系統(tǒng)，如果存在折管等問題就會(huì)導(dǎo)致關(guān)內(nèi)氣泡的 產(chǎn)生，影響其工藝性能。再如，某些設(shè)備內(nèi)存在相同工藝單元，工藝氣體輸送管路流阻的不 同會(huì)直接影響相同工藝單元的工作效果。諸如此類。
[0003] 因此，對(duì)管路系統(tǒng)的檢驗(yàn)與分析是管路設(shè)計(jì)與安裝過程中比較重要的一部分。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明提供一種管路一致性校驗(yàn)器及其使用方 法。
[0005] 本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種管路一致性校驗(yàn)器，包括H通 手閥、空氣過濾器、空氣干燥器、調(diào)壓閥、第一壓力表、第二壓力表和調(diào)速閥；所述H通手閥 連接壓縮空氣氣源，還連接空氣過濾器；所述空氣過濾器連接空氣干燥器；所述空氣干燥 器連接調(diào)壓閥；所述調(diào)壓閥用于連接被測管路；所述調(diào)速閥用于連接被測管路的另一端； 所述第一壓力表連接調(diào)壓閥，用于測量此處的壓力值；所述第二壓力表連接調(diào)速閥，用于測 量此處的壓力值。
[0006] 還包括消音器，連接所述調(diào)速閥。
[0007] -種管路一致性校驗(yàn)器的使用方法，包括W下步驟：
[0008] 步驟1 ;連接所述校驗(yàn)器與被測管路；
[0009] 步驟2 ;開啟H通手閥，調(diào)整調(diào)壓閥和調(diào)速閥，使第一壓力表與第二壓力表的讀數(shù) 在同一數(shù)量級(jí)；記錄第一壓力表和第二壓力表讀數(shù)，鎖死調(diào)速閥位置并關(guān)閉H通手閥；
[0010] 步驟3 ;將所述校驗(yàn)器與另一被測管路連接；
[0011] 步驟4;調(diào)整調(diào)壓閥使第二壓力表的讀數(shù)與步驟2所記錄的第二壓力表讀數(shù)相同， 記錄此時(shí)第一壓力表的讀數(shù)；
[0012] 步驟5 ;若被測管路有多組，重復(fù)步驟3和步驟4 ;如果只有一組被測管路，步驟1 中的被測管路作為參考的標(biāo)準(zhǔn)管路；
[0013] 步驟6:數(shù)據(jù)處理，根據(jù)下式定量分析被測管路之間的管路一致性：
[0014]
[001 引
[0016] 其中，hfi代表第一壓力表的讀數(shù)，hf2代表第二壓力表的讀數(shù)，ef2代表第二壓力表 下游的流阻系數(shù)，由前面測試步驟可知其為橫值，￡ 代表被測管路的流阻系數(shù)，V為流速， g為重力加速度。
[0017] 本發(fā)明具有W下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：
[0018] 1.結(jié)構(gòu)簡單，易學(xué)易用，便于在在工程現(xiàn)場使用。
[0019] 2.由于增加了凈化環(huán)節(jié)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備中藥液輸送管路的裝配檢驗(yàn)，不污 染管路，對(duì)管路損傷小。
【附圖說明】
[0020] 圖1為本發(fā)明中管路一致性校驗(yàn)器的原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021] 下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0022] 理論基礎(chǔ)與系統(tǒng)原理設(shè)計(jì)：
[0023] 流體在管路中流動(dòng)會(huì)產(chǎn)生兩類壓力損失(或稱為水頭損失）；沿程損失和局部損 失，根據(jù)流體力學(xué)理論其基本符合公式1所示規(guī)律。
[0024]
[002引其中；1^為沿程損失系數(shù)，2 ^為局部損失系數(shù)的化e為總損失系數(shù)，V代表d 流速。
[0026] 如果將一段管路分為兩部分，公式1可寫成公式2的形式，如下
[0027]
....................(公式2)
[0028] 如果已知管段1的損失系數(shù)e并測量兩個(gè)管段的壓力損失(或稱為水頭損失)， 那么就可W獲得被測管段的損失系數(shù)了。據(jù)此設(shè)計(jì)了該管路一致性校驗(yàn)器的原理圖，如附 圖1.
[002引實(shí)施過程：
[0030] 步驟1:按附圖1所示原理圖連接管路一致性校驗(yàn)器與被測管路（9)。
[0031] 步驟2:開啟H通手閥2,調(diào)整調(diào)壓閥10和調(diào)速閥7,使第一壓力表5與第二壓力 表6的讀數(shù)相差若干倍；記錄第一壓力表5和第二壓力表6讀數(shù)，鎖死調(diào)試閥10位置。關(guān) 閉H通手閥2。
[0032] 步驟3:重復(fù)步驟1，將管路一致性校驗(yàn)器與另一被測管路9連接。
[0033] 步驟4:調(diào)整調(diào)壓閥10使第一壓力表5的讀數(shù)與步驟2所記錄讀數(shù)相同，記錄此 時(shí)第一壓力表5讀數(shù)。
[0034] 步驟5:若有多組被測管路9,重復(fù)步驟3和步驟4。如果只有一組被測試測管路 9,布置1中的被測管路9實(shí)際是一段作為參考的標(biāo)準(zhǔn)管路。
[00巧]步驟6:數(shù)據(jù)處理，根據(jù)公式2定量分析被測管路9之間的管路一致性。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種管路一致性校驗(yàn)器，其特征在于，包括三通手閥（2)、空氣過濾器（3)、空氣干燥 器（4)、調(diào)壓閥（10)、第一壓力表（5)、第二壓力表（6)和調(diào)速閥（7);所述三通手閥（2)連接 壓縮空氣氣源（1)，還連接空氣過濾器（3);所述空氣過濾器（3)連接空氣干燥器（4);所述 空氣干燥器（4)連接調(diào)壓閥（10);所述調(diào)壓閥（10)用于連接被測管路（9);所述調(diào)速閥（10) 用于連接被測管路（9)的另一端；所述第一壓力表（5)連接調(diào)壓閥（10)，用于測量此處的壓 力值；所述第二壓力表（6)連接調(diào)速閥（7)，用于測量此處的壓力值。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管路一致性校驗(yàn)器，其特征在于，還包括消音器（8)，連 接所述調(diào)速閥。3. -種根據(jù)權(quán)利要求1所述管路一致性校驗(yàn)器的使用方法，其特征在于，包括以下步 驟： 步驟1 :連接所述校驗(yàn)器與被測管路（9); 步驟2 :開啟三通手閥（2)，調(diào)整調(diào)壓閥（10)和調(diào)速閥（7)，使第一壓力表（5)與第二壓 力表（6)的讀數(shù)在同一數(shù)量級(jí)；記錄第一壓力表（5)和第二壓力表（6)讀數(shù)，鎖死調(diào)速閥（7) 位置并關(guān)閉三通手閥（2); 步驟3 :將所述校驗(yàn)器與另一被測管路（9)連接； 步驟4 :調(diào)整調(diào)壓閥（10)使第二壓力表（6)的讀數(shù)與步驟2所記錄的第二壓力表（6) 讀數(shù)相同，記錄此時(shí)第一壓力表（5)的讀數(shù)； 步驟5 :若被測管路（9)有多組，重復(fù)步驟3和步驟4 ;如果只有一組被測管路（9)，步驟 1中的被測管路（9)作為參考的標(biāo)準(zhǔn)管路； 步驟6:數(shù)據(jù)處理，根據(jù)下式定量分析被測管路（9)之間的管路一致性：其中，hfl代表第一壓力表（5)的讀數(shù)，hf2代表第二壓力表（6)的讀數(shù)，ε f2代表第二壓 力表（6)下游的流阻系數(shù)，由前面測試步驟可知其為橫值，ε fl代表被測管路（9)的流阻系 數(shù)，V為流速，g為重力加速度。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中藥液輸送管路、工藝氣體輸送管路等對(duì)管路要求較高的領(lǐng)域，具體的說是一種用于識(shí)別相同工藝單元管路一致性的管路一致性校驗(yàn)器及其使用方法。本發(fā)明將電路的分析方法引入到管路分析之中，簡單明了的獲得表達(dá)該測試方法。本發(fā)明通過測量實(shí)驗(yàn)管段中某一固定流阻管段在特定壓力損失情況下被檢測管段的壓力損失，進(jìn)而可以確定被測管段與已知管段的流阻關(guān)系；因此，以同樣的實(shí)驗(yàn)條件測試若干管路，就可以了解各管路的流阻一致性了。該方法特別適用于半導(dǎo)體設(shè)備的液路測試，對(duì)于查找管路安裝故障、抑制流阻突變所引起的管路內(nèi)氣泡有特殊應(yīng)用。
【IPC分類】G01D21/00
【公開號(hào)】CN104977037
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410148381
【發(fā)明人】劉瑩
【申請(qǐng)人】沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年10月14日
【申請(qǐng)日】2014年4月14日