碳化硅質(zhì)量檢測的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和光伏晶片切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]一般小微型硅片生產(chǎn)企業(yè)其原材料控制環(huán)節(jié)檢測設(shè)備不完善。對碳化硅的檢測不能完全控制，在原料不佳的情況下可能導(dǎo)致娃片損失，影響生廣效率，提尚成品娃片的生廣成本。
[0003]對于硅片生產(chǎn)企業(yè)的原材料的質(zhì)量檢測，一般包括兩方面的內(nèi)容:一方面是碳化硅粒型的檢測，另一方面是潔凈度的檢測。而目前一般用于光伏晶體硅切割的砂漿，粘度較高(室溫條件210-250mPa.S)。對于碳化硅與切割液的匹配性不好判斷是否是碳化硅的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要針對與企業(yè)由于不能對原材料進(jìn)行有效的檢測，而使用不合格的原材料，導(dǎo)致硅片損失的問題，提供一種事先對原材料進(jìn)行檢測的碳化硅質(zhì)量檢測的方法。
[0005]為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的提供的一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，包括碳化硅粒度檢測及碳化硅潔凈度檢測，其中
[0006]所述碳化硅粒度檢測包括以下步驟:
[0007]取第一預(yù)設(shè)質(zhì)量的第一待測碳化硅樣品及第二預(yù)設(shè)質(zhì)量的純凈水；
[0008]在室溫條件下將所取的第一待測碳化硅樣品和純凈水放入到帶刻度的量筒中，并充分?jǐn)嚢璧谝活A(yù)設(shè)時(shí)間；
[0009]停止攪拌，并記錄量筒中的液體的初始液位；
[0010]每隔第二預(yù)設(shè)時(shí)間記錄一次量筒中固液分離界面的高度，直至所述固液分離界面穩(wěn)定后得到最終固液分離液位；
[0011 ] 將所述最終固液分離液位和所述初始液位作比值，得到第一結(jié)果；
[0012]判斷所述第一結(jié)果是否大于等于預(yù)設(shè)值，若是，則所述第一待測碳化硅樣品粒度合格，若否，則所述第一待測碳化硅樣品粒度不合格；
[0013]且所述第二預(yù)設(shè)質(zhì)量大于等于所述第一預(yù)設(shè)質(zhì)量的三倍；
[0014]所述碳化硅潔凈度檢測包括以下步驟:
[0015]取第三預(yù)設(shè)質(zhì)量的第二待測碳化硅樣品及第四預(yù)設(shè)質(zhì)量的純凈水；
[0016]將所取的第二待測碳化硅樣品及純凈水放入到容器中攪拌均勻；
[0017]將攪拌均勻的溶液煮沸第三預(yù)設(shè)時(shí)間后冷卻到室溫；
[0018]查看冷卻后是否有結(jié)團(tuán)狀物質(zhì)吸附于容器內(nèi)壁，若是，則所述第二待測碳化硅樣品的潔凈度不合格；
[0019]其中所述第四預(yù)設(shè)質(zhì)量大于等于所述第三預(yù)設(shè)質(zhì)量的三倍。
[0020]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述第一預(yù)設(shè)質(zhì)量為20-25克，所述第二預(yù)設(shè)質(zhì)量為100+5克。
[0021]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述第一預(yù)設(shè)時(shí)間為2-3分鐘。
[0022]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述第二預(yù)設(shè)時(shí)間為30秒。
[0023]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述第三預(yù)設(shè)質(zhì)量與所述第一預(yù)設(shè)質(zhì)量相等，所述第四預(yù)設(shè)質(zhì)量與所述第二預(yù)設(shè)質(zhì)量相等。
[0024]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述第三預(yù)設(shè)時(shí)間為3分鐘。
[0025]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述碳化硅潔凈度檢測還包括以下步驟:
[0026]在所述第三預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)查看上層液面是否有大量泡沫出現(xiàn)，若是，則所述第二待測碳化硅樣品的潔凈度不合格。
[0027]作為一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，所述碳化硅潔凈度檢測還包括以下步驟:
[0028]將冷卻后的溶液放置、沉淀；
[0029]沉淀后查看容器中的上層清液是否呈現(xiàn)黑色，若是，則所述第二待測碳化硅樣品不合格。
[0030]本發(fā)明的有益效果包括:
[0031]本發(fā)明提供的一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法，其能夠在簡單的實(shí)驗(yàn)條件下檢測出不合格的碳化硅原材料，從而有效避免由于原材料的缺陷造成生產(chǎn)的硅片損失。使硅片生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)加工之前對原材料進(jìn)行有效的控制，提高生產(chǎn)效率。且檢測成本低，檢測效率尚O
【附圖說明】
[0032]圖1為本發(fā)明一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法的一具體實(shí)施例中碳化硅粒度檢測流程圖；
[0033]圖2為本發(fā)明一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法的一具體實(shí)施例中碳化硅粒度檢測中初始液位示意圖；
[0034]圖3為本發(fā)明一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法的一具體實(shí)施例中碳化硅粒度檢測中固液分離液位示意圖；
[0035]圖4為本發(fā)明一種碳化硅質(zhì)量檢測的方法的一具體實(shí)施例中碳化硅潔凈度檢測流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的碳化硅質(zhì)量檢測的方法的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0037]本發(fā)明一實(shí)施例的碳化硅質(zhì)量檢測的方法，包括碳化硅粒度檢測及碳化硅潔凈度檢測。
[0038]其中，如圖1所示，碳化硅粒度檢測包括以下步驟:
[0039]S101，取第一預(yù)設(shè)質(zhì)量的第一待測碳化硅樣品及第二預(yù)設(shè)質(zhì)量的純凈水。其中，所述第一預(yù)設(shè)質(zhì)量和所述第二預(yù)設(shè)質(zhì)量滿足的條件為所選取的純凈水能夠完全溶解所取的碳化硅樣品。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，選擇純凈水的質(zhì)量大于等于第一待測碳化硅樣品質(zhì)量的3倍即能夠滿足條件。較佳地，考慮到試驗(yàn)樣品的量及實(shí)驗(yàn)的時(shí)間，可選擇20-25克的碳化硅樣品，即第一預(yù)設(shè)質(zhì)量為20-25克，取100克的純凈水，即第二預(yù)設(shè)質(zhì)量為100克。
[0040]S102，在室溫條件下將所取的第一待測碳化硅樣品和純凈水放入到帶刻度的量筒中，并充分?jǐn)嚢璧谝活A(yù)設(shè)時(shí)間。此步驟的主要目的是將第一待測碳化硅樣品與純凈水充分混合，整個(gè)過程在室溫下進(jìn)行即可，實(shí)驗(yàn)條件要求低，方便進(jìn)行。
[0041]此處需要說明的是，在進(jìn)行檢測時(shí)，直接放入帶刻度的量筒中是為了在記錄液體液面時(shí)方便，當(dāng)然，也可以直接將液體放入到?jīng)]有刻度的容器中。
[0042]S103，停止攪拌，并記錄量筒中的液體的初始液位X。，如圖2中所示的001位置。此處需要說明的是，在上一步驟中使用帶刻度的量筒則此步驟中可直接讀取量筒上的刻度。但是若在上一步驟(S102)中使用沒有刻度的容器成裝液體時(shí)，可通過外部的測量工具測量成裝的液體的液面高度Xtl。
[0043]S104，每隔第二預(yù)設(shè)時(shí)間記錄一次量筒中固液分離界面的高度，直至所述固液分離界面穩(wěn)定后得到最終固液分離液位X1，如圖3中所示的002位置。其中第二預(yù)設(shè)時(shí)間可根據(jù)實(shí)際檢測經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行設(shè)定。作為一種可實(shí)施方式，可設(shè)置第二預(yù)設(shè)時(shí)間為30秒，記錄初始液位Xtl后，每隔30秒記錄一次液面的高度變化。直到液面高度沒有變化后得到最終固液分離液位X1。其中，可在連續(xù)兩次或者3次記錄量筒中的固液分離界面都相同后，判定固液分離界面穩(wěn)定。當(dāng)然，如果時(shí)間允許，也可多測量幾次后確定固液分離界面穩(wěn)定。
[0044]此處還需要說明的是，所述固液分離界面穩(wěn)定，即為碳化硅顆粒全部沉淀到了量筒的底部。
[0045]S105，將所述最終固液分離液位和所述初始液位作比值，得到第一結(jié)果\氣。
[0046]S106，判斷所述第一結(jié)果是否大于等于預(yù)設(shè)值Xd，即X1Atl^ Xd是否成立，若是，則所述第一待測碳化硅樣品粒度合格，若否，則所述第一待測碳化硅樣品粒度不合格。
[0047]所述預(yù)設(shè)值Xd可根據(jù)經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)后的合格的碳化硅原材料來確定。如對于型號(hào)1200#的碳化硅，取第一預(yù)設(shè)質(zhì)量為25克，取第二預(yù)設(shè)質(zhì)量為100克時(shí)，對于200ml的量筒，預(yù)設(shè)值&可以為I %。如初始液位X 0? 107ml，最終固液分離液位X $ 8 %時(shí)，則原材料合格。
[0048]所述碳化硅潔凈度檢測，如圖4所示，包括以下步驟:
[0049]S201，取第三預(yù)設(shè)質(zhì)量的第二待測碳化硅樣品及第四預(yù)設(shè)質(zhì)量的純凈水。本步驟和步驟S