專利名稱:半導(dǎo)體差壓發(fā)信器的制作方法
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體差壓發(fā)信器，它是在單晶硅片上利用擴(kuò)散法形成壓敏電阻元件，利用這種單晶硅片制成擴(kuò)散型測(cè)量膜片，在其兩側(cè)分別加以高壓和低壓的流體壓力，由膜片發(fā)出對(duì)應(yīng)于兩流體壓力差的電信號(hào)，同時(shí)又具有保護(hù)上述膜片不受加壓或沖擊壓破壞的結(jié)構(gòu)。
例如，特開(kāi)昭53-79582號(hào)公報(bào)中所公布的這種差壓發(fā)信器，作為檢測(cè)元件的擴(kuò)散型膜片接合在構(gòu)成受壓部分的構(gòu)件上，再利用高低壓2片受壓膜片和1片中心膜片構(gòu)成保護(hù)上述擴(kuò)散型膜片不受過(guò)載的手段。即利用上述高壓受壓膜片將導(dǎo)入被測(cè)高壓流體的高壓流體室和充有非壓縮性硅油等流體的高壓受壓室隔離起來(lái)，被測(cè)高壓流體的壓力通過(guò)高壓受壓膜片傳給高壓受壓室內(nèi)的硅油。同樣，設(shè)有由低壓受壓膜片隔離的導(dǎo)入被測(cè)低壓流體的低壓流體室和充有硅油的低壓受壓室。再利用上述中心膜片隔離起來(lái)，設(shè)有高壓隔離室和低壓隔離室，并在上述擴(kuò)散型膜片的兩側(cè)設(shè)有高壓測(cè)定室和低壓測(cè)定室。高壓隔離室和高壓測(cè)定室分別通過(guò)細(xì)導(dǎo)通路通至上述高壓受壓室，另外，低壓隔離室和低壓測(cè)定室分別通過(guò)細(xì)導(dǎo)通路至上述低壓受壓室。因而，高壓受壓室、高壓隔離室和高壓測(cè)定室相互導(dǎo)通，并在其內(nèi)充滿硅油，導(dǎo)入高壓流體室內(nèi)的高壓流體的高壓通過(guò)硅油傳到高壓測(cè)定室并加在擴(kuò)散型膜片的一側(cè)上，傳至低壓流體室內(nèi)的低壓同樣通過(guò)硅油傳至低壓測(cè)定室并加在擴(kuò)散型膜片的另一側(cè)上。上述高低壓受壓室、高低壓隔離室當(dāng)高低兩流體壓力的差壓非常大時(shí)可起緩沖作用，從而可保護(hù)擴(kuò)散型膜片不受過(guò)載。
這種眾所周知的差壓式發(fā)信器在很多領(lǐng)域都得到了令人滿意的結(jié)果，但還存在以下一些缺點(diǎn)。卽由于上述測(cè)定室和受壓室是通過(guò)細(xì)導(dǎo)通路直接連接起來(lái)的，所以當(dāng)沖擊壓加在受壓室上時(shí)，其沖擊壓也會(huì)直接傳到測(cè)定室，這很可能損傷差壓式檢測(cè)元件或造成故障。另外若高低受壓膜片采用波紋管式的，則安裝時(shí)需要較大的空間，因此，難于將差壓式檢測(cè)元件配置在受壓部分構(gòu)件的中心，從差壓式檢測(cè)元件取出輸出信號(hào)的導(dǎo)體的配置變得很復(fù)雜;并且難于將連接上述受壓室和測(cè)定室的導(dǎo)通路設(shè)置在受壓部分構(gòu)件的內(nèi)部，所以必須在受壓部分構(gòu)件的外側(cè)迂迥設(shè)置導(dǎo)管，結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，其結(jié)果導(dǎo)致制造成本提高、尺寸變大等等缺點(diǎn)。
為了消除這些缺點(diǎn)，本發(fā)明者提出了特開(kāi)昭59-203936號(hào)公報(bào)中公佈的那種結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器。在這種半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器中，一對(duì)受壓膜片、中心膜片和作為差壓檢測(cè)元件的擴(kuò)散型膜片全都沿著受壓部分的中心軸并與之同軸而緊湊地加以配置，并且不論在高壓側(cè)還是低壓側(cè)，受壓室和測(cè)定室都不能直接連接，而要通過(guò)隔離室進(jìn)行連接。因此，卽使沖擊波加在受壓室上，由于隔離室的緩沖作用，傳至測(cè)定室的壓力會(huì)受到限制，從而可防止差壓式檢測(cè)元件的損傷和故障。另外，由于受壓部分構(gòu)件中各構(gòu)件的配置都很緊湊，使得從差壓式檢測(cè)元件取出輸出信號(hào)的導(dǎo)體的配置也可變得簡(jiǎn)單，尺寸也可變小。但是，已經(jīng)查明，在這種差壓式發(fā)信器中還有如下一些缺點(diǎn)。
1)受壓部分是由在其一側(cè)形成凹部的第1構(gòu)件和配合在此凹部?jī)?nèi)的第2構(gòu)件構(gòu)成的，中心膜片在上述第1構(gòu)件的凹部?jī)?nèi)安裝在第1構(gòu)件和第2構(gòu)件之間，第1構(gòu)件和第2構(gòu)件沿著上述凹部的內(nèi)周緣部分焊接起來(lái)。因此，當(dāng)?shù)?構(gòu)件和第2構(gòu)件的結(jié)合強(qiáng)度不足時(shí)，中心膜片不能保持穩(wěn)定，從而可能在差壓測(cè)定中產(chǎn)生誤差。
2)裝有擴(kuò)散型膜片的差壓傳感器組合體配合在上述第1構(gòu)件凹部?jī)?nèi)形成的第2小凹部?jī)?nèi)，并用焊接法固定在第1構(gòu)件上，但由于差壓傳感器組合體兩側(cè)所受的兩流體壓力的不平衡，會(huì)使差壓式傳感器組合體在上述第2小凹部?jī)?nèi)沿中心軸方向移動(dòng)，從而對(duì)差壓測(cè)定有影響。
本發(fā)明的目的在于消除如上所述的缺點(diǎn)并提供改進(jìn)的半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器。卽以提供這樣的半導(dǎo)體差壓發(fā)信器為目的，一對(duì)受壓膜片、中心膜片和擴(kuò)散型膜片全都與特開(kāi)昭59-203936號(hào)相同地沿著受壓部分的中心軸并與之同軸進(jìn)行配置，在高壓側(cè)和低壓側(cè)，受壓室和測(cè)定室都是通過(guò)隔離室來(lái)連接的，在這種結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器中，提高構(gòu)成受壓部分的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件的結(jié)合強(qiáng)度，并保持中心膜片在其間的穩(wěn)定。
另一個(gè)目的是在本發(fā)明的理想實(shí)施例子中，附加這樣一種結(jié)構(gòu)，它能阻止由于差壓傳感器組合體兩側(cè)所受的兩流體壓力的不平衡引起的差壓式傳感器組合體沿中心軸向的移動(dòng)。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器具有下述的結(jié)構(gòu)特征。卽形成受壓部分的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件分別在受壓部分的中心軸方向上具有相對(duì)的側(cè)面，兩側(cè)面的邊緣部分形成互補(bǔ)形狀，將兩側(cè)面對(duì)接起來(lái)，在其中間安裝中心膜片，在將第1構(gòu)件和第2構(gòu)件組合起來(lái)形成受壓部分時(shí)，其邊界線顯露在受壓部分的外表面上，并沿著其邊界線將兩構(gòu)件焊接起來(lái)。
此外，在本發(fā)明的理想實(shí)施例子中，將裝有差壓檢側(cè)元件的差壓傳感器組合體插入上述第1構(gòu)件與上述第2構(gòu)件相對(duì)的側(cè)面上的凹部?jī)?nèi)，并配合在該凹部?jī)?nèi)，當(dāng)利用焊接在第1構(gòu)件上的金屬板來(lái)保持差壓傳感器組合體時(shí)，將此金屬板焊接在差壓式傳感器組合體上，同時(shí)在差壓式傳感器組合體上設(shè)置與上述金屬板接合的接合部分，以防止由于差壓式傳感器組合體兩側(cè)所受的兩流體壓力的不平衡引起的該組合體的移動(dòng)。
第1圖示出本發(fā)明的半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器的一個(gè)實(shí)施例子的斷面圖。
在同一圖中所示的差壓式發(fā)信器的受壓部分主要是由第1構(gòu)件10和第2構(gòu)件11構(gòu)成的。在受壓部分的第1構(gòu)件10和第2構(gòu)件11的外側(cè)面上，設(shè)有撓性較大的高壓側(cè)受壓膜片12和低壓側(cè)受壓膜片13，在上述受壓部分的第1構(gòu)件10和第2構(gòu)件11的側(cè)面上，形成與上述各受壓膜片12、13形狀相同的波形面，并將各個(gè)受壓膜片12和13沿著它們的外邊緣焊接在上述第1構(gòu)件10和第2構(gòu)件11上，從而在受壓構(gòu)件和受壓膜片之間形成2個(gè)受壓室，即形成高壓側(cè)受壓室14和低壓側(cè)受壓室15。在受壓部分的第1構(gòu)件10與第2構(gòu)件11的相對(duì)側(cè)面上，焊接中心膜片16。將此中心膜片16焊接好之后，再將第2構(gòu)件11沿著其外邊緣焊接在第1構(gòu)件10上。第1構(gòu)件10與第2構(gòu)件11的相對(duì)側(cè)面的邊緣部分形成互補(bǔ)形狀，當(dāng)兩者對(duì)接好之后，其邊界線顯露在受壓部分的外周面上，并沿著此邊界線將兩者焊接起來(lái)。另外，在兩側(cè)面上形成淺凹部，在第2構(gòu)件11和中心膜片16的一面之間形成高壓側(cè)隔離室17。該高壓側(cè)隔離室17和上述高壓側(cè)受壓室14，通過(guò)大致設(shè)在第2構(gòu)件11中央的第1高壓側(cè)導(dǎo)壓通路19連通起來(lái)。另外，在第1構(gòu)件10的側(cè)面上，在上述淺凹部中進(jìn)一步形成深凹部，將差壓式傳感器組合體100配合在其中并焊接在凹部周壁上。當(dāng)將組合體100配合在該凹部?jī)?nèi)之后，上述中心膜片16的另一面和第1構(gòu)件的淺凹部及組合體100的外側(cè)面之間形成低壓側(cè)隔離室18。上述差壓式傳感器組合體100是由擴(kuò)散型膜片構(gòu)成的半導(dǎo)體差壓式傳感器21、支座22、密封附件23、陶瓷基片24和密封栓25所構(gòu)成的，上述半導(dǎo)體差壓式傳感器21通過(guò)支座22焊接在密封附件23上。在此密封附件23上固定有取出半導(dǎo)體差壓式傳感器21的電信號(hào)用的陶瓷基片24和密封栓25。半導(dǎo)體差壓式傳感器21和陶瓷基片24的電連接采用引線接合法，但在圖中沒(méi)有表示出來(lái)。
將上述半導(dǎo)體差壓式傳感器組合體100焊接在第1構(gòu)件10上后它與第1構(gòu)件10之間所形成的高壓側(cè)測(cè)定室26，通過(guò)設(shè)在第1構(gòu)件上的高壓側(cè)導(dǎo)壓通路28與上述中心膜片16和第2構(gòu)件11所形成的上述高壓側(cè)隔離室17相連通。此外，在半導(dǎo)體差壓式傳感器21的另一面，首先在半導(dǎo)體差壓式傳感器21的膜片凹部面與上述支座22之間形成低壓側(cè)測(cè)定室27，該低壓側(cè)測(cè)定室27通過(guò)支座22的通孔卽第2低壓側(cè)導(dǎo)壓通路29與上述低壓側(cè)隔離室18相連通。在此中心膜片16與第1構(gòu)件10之間，將板狀附件30的外周面焊接在第1構(gòu)件10的內(nèi)周面上，同時(shí)將上述板狀附件30的內(nèi)周面與密封附件23的外周面焊接起來(lái)。從而低壓側(cè)受壓室15和上述低壓側(cè)隔離室18通過(guò)設(shè)在第1構(gòu)件10內(nèi)的第1低壓側(cè)導(dǎo)壓通路20相連通。并且上述的第2高壓側(cè)導(dǎo)壓通路28和第1低壓側(cè)導(dǎo)壓通路20在形成時(shí)不在受壓構(gòu)件10內(nèi)交錯(cuò)。
如上所述，上述半導(dǎo)體差壓傳感器21的電信號(hào)可以從密封栓25取出來(lái)。然后此電信號(hào)通過(guò)與第1構(gòu)件10的半導(dǎo)體差壓傳感器21的中心線成直角方向設(shè)置的引線通路33和上述板狀附件30的缺口部分，利用接線印制電路板34很容易地被引到外部。如前所述，引線通路33和高壓側(cè)測(cè)定室26及低壓側(cè)隔離室18之間的密封，是利用第1構(gòu)件10與密封附件23的焊接以及第1構(gòu)件10與密封附件23和板狀附件的焊接來(lái)完成的。
在這種結(jié)構(gòu)中所形成的各個(gè)室和各個(gè)通路都充滿非壓縮性流體如硅油。這種油是從分為上述第1低壓側(cè)導(dǎo)壓通路20和第2高壓側(cè)導(dǎo)壓通路28的導(dǎo)壓通路注入的，然后利用密封栓31、32閉塞之后加以焊接和密封。因此，上述高壓側(cè)受壓膜片的外側(cè)所受的呈高壓的外部壓力，通過(guò)硅油并經(jīng)過(guò)高壓側(cè)受壓室→高壓側(cè)隔離室→高壓側(cè)測(cè)定室的路徑進(jìn)行傳遞，加在差壓傳感器21的一側(cè)。另一方面，上述低壓側(cè)受壓膜片的外側(cè)所受的呈低壓的外部壓力經(jīng)過(guò)低壓側(cè)受壓室→低壓側(cè)隔離室→低壓側(cè)測(cè)定室的路徑進(jìn)行傳遞，并加在差壓傳感器21的另一側(cè)，兩個(gè)外部壓力的差壓由差壓式傳感器檢測(cè)出來(lái)。這里高壓側(cè)外部壓力、低壓側(cè)外部壓力都遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于大氣壓力，例如，高壓側(cè)約為100kg/cm2，低壓側(cè)約為99-100kg/cm2，差壓通常在0-0.8kg/cm2的范圍內(nèi)。
在如此構(gòu)成的差壓發(fā)信器中，當(dāng)沖擊的壓力加到任何一方的受壓膜片12、13面上時(shí)，首先沖擊壓傳到受壓室14(15)，又從受壓室14(15)傳到隔離室17(18)，然后通過(guò)第2導(dǎo)壓通路28(29)傳到測(cè)定室26(27)。也就是說(shuō)，由于采取由中心膜片16形成的隔離室17(18)二次傳到測(cè)定室26(27)這樣的結(jié)構(gòu)，一定可以避免沖擊壓所造成的半導(dǎo)體差壓式傳感器21的故障和損傷。
其次，當(dāng)在受壓膜片12、13的兩面上發(fā)生過(guò)大的差壓時(shí)，高壓側(cè)受壓膜片12或低壓側(cè)受壓膜片13的某一方便浮貼在受壓構(gòu)件側(cè)面所形成的面上。另一方面，中心膜片16具有對(duì)應(yīng)于隔離室體積的適當(dāng)?shù)膭傂裕瑓u使吸收受壓室的容積變化，也不會(huì)浮貼在隔離室17或18的側(cè)面上，因此，該膜片可以阻止過(guò)大的流體壓力通過(guò)密封液體傳到半導(dǎo)體差壓傳感器21的任何一面，從而半導(dǎo)體差壓式傳感器21不會(huì)遭到破壞。
其次，關(guān)于這種半導(dǎo)體差壓式發(fā)信器的組裝工序說(shuō)明如下。首先將差壓式傳感器組合體100配合在受壓構(gòu)件10的凹部?jī)?nèi)并加以焊接，隨后將板狀附件30與組合體100的密封附件23焊接在第1構(gòu)件10上，再將中心膜片16焊接在第1構(gòu)件10上，將第2構(gòu)件11焊接在第1構(gòu)件10上，最后將受壓膜片12和13焊接在受壓部分上。也就是說(shuō)，發(fā)信器的各個(gè)構(gòu)件僅從一方順次軸向進(jìn)行焊接，這樣就可簡(jiǎn)單地完成這個(gè)工序。
根據(jù)上述的本發(fā)明的實(shí)施例子，與以往的發(fā)信器相比，則具有下列效果。
(a)構(gòu)成受壓部分的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件的接合面與受壓部分的中心軸方向相對(duì)，兩者的邊界線顯露在受壓部分的外周面上。由于兩個(gè)構(gòu)件是沿著該邊界線焊接的，焊接后產(chǎn)生的焊接應(yīng)變使兩個(gè)構(gòu)件在中心軸方向上相互牽引，從而可加強(qiáng)對(duì)中心膜片16的挾持作用?，F(xiàn)在就第2圖來(lái)說(shuō)明這一點(diǎn)。第2圖示出第1構(gòu)件10與第2構(gòu)件11接合部分的一局部放大圖，中心膜片16的邊緣部分焊接在第1構(gòu)件10上的52處內(nèi)，同時(shí)通過(guò)第2構(gòu)件11上的凹部50牢固地壓接在第1構(gòu)件10上。第1構(gòu)件與第2構(gòu)件的接合邊界線顯露在受壓部分的外周面上，并在此部分上通過(guò)焊接點(diǎn)51加以溶敷。由于上述的焊接點(diǎn)51的焊接應(yīng)變，第1構(gòu)件10和第2構(gòu)件11在中心軸方向(圖中為左右方向)上產(chǎn)生相互牽引的力，所以中心膜片16牢固地挾持在兩個(gè)構(gòu)件之間，另外，高壓隔離室17和低壓隔離室18的容積也可保持穩(wěn)定，從而可提高差壓測(cè)定的可靠性。
(b)將差壓傳感器組合體100插入第1構(gòu)件10上的凹部?jī)?nèi)，并利用板狀附件30加以密封。如第3圖概略所示，板狀附件30焊接在第1構(gòu)件10的凹部邊緣上，組合體100焊接在板狀附件30上。圖中由于板狀附件30和組合體100的左側(cè)側(cè)面形成低壓隔離室，例如加以低壓側(cè)流體壓力99-100kg/cm2;由于組合體100的右側(cè)側(cè)面形成高壓側(cè)測(cè)定室，例如加以高壓側(cè)流體壓力100kg/cm2?，F(xiàn)在對(duì)于差壓0來(lái)說(shuō)，若高、低側(cè)都加以壓力Pkg/cm2，則對(duì)組合體100的右側(cè)側(cè)面所加的全壓力F2可表示為F2＝ (d22·π)/4 P對(duì)組合體100的左側(cè)側(cè)面所加的全壓力F1可表示為F1＝ (d12·π)/4 P
此外，由于板狀附件30和組合體100在組合體的臺(tái)階部分52上是相互接合的，所以對(duì)板狀附件30的左側(cè)側(cè)面所加的全壓力F3還可通過(guò)臺(tái)階部分52傳給組合體100。F3可表示為F3＝ ((d32-d12)π)/4 P因而對(duì)組合體100在右方向上所加的全壓力為F1+F3＝ (d32·π)/4 P由于已知d3＞d2，所以F1+F3＞F2，從整體來(lái)說(shuō)，對(duì)組合體100加以右向力，但由于組合體100的右側(cè)側(cè)面被第1構(gòu)件的凹部底面所支承，所以可阻止上述右向力所引起的組合體移動(dòng)。
如上所述，本發(fā)明的半導(dǎo)體差壓發(fā)信器由于形成可使中心膜片和差壓傳感器組合體保持穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，所以并不削弱如特開(kāi)昭59-203936號(hào)公報(bào)中所公佈的以往裝置的優(yōu)點(diǎn)，而且具有消除這些以往裝置的缺點(diǎn)的效果。
第1圖為本發(fā)明的半導(dǎo)體差壓發(fā)信器的斷面圖，第2圖為形成第1圖發(fā)信器受壓部分的第1構(gòu)件和第2構(gòu)件的接合部分的一局部放大圖，第3圖為說(shuō)明第1圖發(fā)信器的差壓傳感器組合體所受壓力影響的附圖。
權(quán)利要求
1.半導(dǎo)體差壓發(fā)信器設(shè)置有將第一構(gòu)件(10)和第2構(gòu)件(11)接合起來(lái)，形成具有與中心線大致垂直的第1、第2側(cè)面和連接這兩個(gè)側(cè)面的外周面的形狀，上述第1構(gòu)件(10)和第2構(gòu)件(11)相互接合在橫切上述中心線的分割部分內(nèi)形成邊緣密閉的空間，這樣的受壓部分；安裝在上述第1側(cè)面上并與該第1側(cè)面之間形成第1受壓室(15)的第1受壓膜片(13)；安裝在上述第2側(cè)面上并與該第2側(cè)面之間形成第2受壓室(14)的第2受壓膜片(12)；插入上述第1構(gòu)件與上述分割部分相接的側(cè)面上凹部?jī)?nèi)的、具有與上述中心線大致垂直配置的膜片式差壓傳感器(21)的、并由該壓差傳感器形成分割的第1測(cè)定室(27)和第2測(cè)定室(26)的差壓傳感器組合體(100)；固定上述組合體(100)用的，配合在上述凹部周壁和上述組合體(100)之間并焊接在該周壁和組合體(100)上的板狀附件(30)；在上述受壓部分的分割部分內(nèi)，與上述中心線大致垂直挾持在上述第1構(gòu)件(10)和第2構(gòu)件(11)中的、分割上述第1構(gòu)件(10)和第2構(gòu)件(11)之間的上述空間并形成第1隔離室(18)和第2隔離室(17)的中心膜片；將上述第1受壓室(15)、第1隔離室(18)和第1測(cè)定室(27)順次用細(xì)導(dǎo)通路(20、29)連接起來(lái)，同時(shí)向各個(gè)室內(nèi)充填非壓縮性流體，上述第1受壓膜片(13)所受的第1外部壓力通過(guò)上述流體傳到上述第1測(cè)定室(27)，并加在上述差壓傳感器(21)的一個(gè)側(cè)面上，另外，將上述第2受壓室(14)、第2隔離室(17)和第2測(cè)定室(26)順次用細(xì)導(dǎo)通路(19、28)連接起來(lái)，同時(shí)向各個(gè)室內(nèi)充填非壓縮性流體，上述第2受壓膜片(12)所受的第2外部壓力通過(guò)上述流體傳到上述第2測(cè)定室(26)，并加在上述差壓式傳感器(21)的另一側(cè)面上，因此，由上述差壓傳感器將上述第1外部壓力和第2外部壓力的差壓檢測(cè)出來(lái)，其特征在于，上述第1構(gòu)件(10)和第2構(gòu)件(11)在上述分割部分內(nèi)的各個(gè)接合面在其邊緣部分形成互補(bǔ)的形狀，兩個(gè)構(gòu)件接合時(shí)的邊界線顯露在上述受壓部分的外周面上，沿著該邊界線將兩個(gè)構(gòu)件焊接起來(lái)。
2.根據(jù)權(quán)項(xiàng)1所述的半導(dǎo)體差壓發(fā)信器，其特征在于，將上述差壓傳感器組合體(100)和上述板狀附件(30)利用接合面相互接合起來(lái)，以便使與上述板狀附件(30)相接的上述隔離室(17或18)內(nèi)的流體加到該板狀附件(30)上的壓力傳到上述差壓式傳感器組合體(100)上。
專利摘要
接合二個(gè)構(gòu)件形成受壓部，中心膜片介于其間，在兩構(gòu)件的接合部設(shè)置由上述中心膜片隔開(kāi)的第1、第2隔離室，再在其中一個(gè)構(gòu)件上，設(shè)置由膜片狀半導(dǎo)體差壓傳感器隔開(kāi)的第1、第2測(cè)定室，上述第1隔離室與第1測(cè)定室導(dǎo)通，內(nèi)部充有流體，上述第2隔離室與第2測(cè)定室導(dǎo)通，內(nèi)部充有流體，在這種半導(dǎo)體差壓發(fā)信器中，上述兩構(gòu)件的接合邊界線顯露在受壓部的外周面上，并沿該邊界線焊接起來(lái)。
文檔編號(hào)G01L13/06GK85101369SQ85101369
公開(kāi)日1987年1月10日 申請(qǐng)日期1985年4月1日
發(fā)明者山本芳己, 松岡祥隆, 高橋幸夫, 飛田朋之, 長(zhǎng)須章 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立制作所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan