本公開(kāi)涉及一種光檢測(cè)器及分光測(cè)定裝置

背景技術(shù)：

1、已知一種分光測(cè)定裝置，其包含：光入射部，其使被測(cè)定光入射；衍射光柵，其將從光入射部入射的被測(cè)定光分光；以及光檢測(cè)器，其檢測(cè)由衍射光柵分光的被測(cè)定光。在這樣的分光測(cè)定裝置中，即使檢測(cè)分光了的被測(cè)定光中規(guī)定次數(shù)的光(例如，一次光)，固定次數(shù)以外的光(例如，二次光以上的高次光)也有時(shí)重疊于規(guī)定次數(shù)的光。因此，有時(shí)將用于去除規(guī)定次數(shù)以外的光的濾光構(gòu)件配置于光檢測(cè)器的前段(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專(zhuān)利文獻(xiàn)

4、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2020-76712號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明所欲解決的問(wèn)題

2、然而，如果在光檢測(cè)器的前段配置濾光構(gòu)件，則雜散光有可能增加。例如，因被測(cè)定光在濾光構(gòu)件的內(nèi)部發(fā)生多重反射，或在濾光構(gòu)件與光檢測(cè)器的窗部之間發(fā)生多重反射，雜散光有可能增加。抑制這樣的雜散光的影響，在生成正確的光譜數(shù)據(jù)上極為重要。

3、本公開(kāi)的目的在于，提供一種光檢測(cè)器及分光測(cè)定裝置，其可檢測(cè)分光了的被測(cè)定光中的規(guī)定次數(shù)的光。

4、解決問(wèn)題的技術(shù)手段

5、本公開(kāi)的一個(gè)方面的光檢測(cè)器為，[1]“一種光檢測(cè)器，其中，是檢測(cè)沿規(guī)定方向分光的被測(cè)定光中的規(guī)定次數(shù)的光的光檢測(cè)器，具備：封裝，其具有開(kāi)口；窗部，其將所述開(kāi)口密封，并使所述規(guī)定次數(shù)的光透過(guò)；以及光檢測(cè)元件，其配置于所述封裝內(nèi)，具有與所述窗部相對(duì)的受光區(qū)域，并檢測(cè)所述規(guī)定次數(shù)的光，所述受光區(qū)域包含：在所述規(guī)定方向上排列的多個(gè)光檢測(cè)通道，所述窗部包含：光透過(guò)構(gòu)件，其具有光入射面及光出射面；以及線性可變?yōu)V光涂層，其形成于所述光入射面及所述光出射面中的一方，并且沿所述規(guī)定方向透過(guò)波長(zhǎng)變化”。

6、在上述[1]所述的分光測(cè)定裝置中，將封裝體的開(kāi)口密封的窗部包含：光透過(guò)構(gòu)件；及線性可變?yōu)V光涂層，其透過(guò)波長(zhǎng)沿被測(cè)定光分光的規(guī)定方向變化。由此，可對(duì)于被測(cè)定光中所含的多個(gè)波長(zhǎng)分量的各個(gè)，抑制規(guī)定次數(shù)以外的次數(shù)的光入射至光檢測(cè)元件。另外，在上述[1]所述的光檢測(cè)器中，線性可變?yōu)V光涂層形成于光透過(guò)構(gòu)件的光入射面及光出射面中的一方。例如，在單一的透過(guò)波長(zhǎng)的濾光涂層形成于光透過(guò)構(gòu)件的光入射面及光出射面的各個(gè)的情況下，在形成于光入射面的濾光涂層與形成于光出射面的濾光涂層之間，被測(cè)定光可能發(fā)生多重反射。然而，在上述[1]所述的光檢測(cè)器中，可抑制因多重反射所致的雜散光的產(chǎn)生。根據(jù)以上所述，根據(jù)上述[1]所述的光檢測(cè)器，可檢測(cè)分光了的被測(cè)定光中的規(guī)定次數(shù)的光。

7、本公開(kāi)的一個(gè)方面的光檢測(cè)器也可為，[2]“根據(jù)上述[1]所述的光檢測(cè)器，其中，所述線性可變?yōu)V光涂層形成于所述光入射面”。根據(jù)該[2]所述的光檢測(cè)器，相比于線性可變?yōu)V光涂層配置于光出射面的情況，可容易且可靠地將封裝體與窗部接合。

8、本公開(kāi)的一個(gè)方面的光檢測(cè)器也可為，[3]“根據(jù)上述[1]或[2]所述的光檢測(cè)器，其中，所述規(guī)定次數(shù)的光是一次光”。根據(jù)該[3]所述的光檢測(cè)器，可通過(guò)使線性可變?yōu)V光涂層作為用于將被測(cè)定光中的一次光透過(guò)的高次光截止濾光器而發(fā)揮功能，產(chǎn)生s/n優(yōu)異的光譜數(shù)據(jù)。

9、本公開(kāi)的一個(gè)方面的光檢測(cè)器也可為，[4]“根據(jù)上述[1]至[3]中任一項(xiàng)的光檢測(cè)器，其中，所述線性可變?yōu)V光涂層是，沿所述規(guī)定方向截止波長(zhǎng)變化的線性可變長(zhǎng)通濾光涂層、或沿所述規(guī)定方向透過(guò)波段變化的線性可變帶通濾光涂層”。根據(jù)該[4]所述的光檢測(cè)器，由于以規(guī)定次數(shù)的光為基準(zhǔn)來(lái)抑制高次光的透過(guò)，因此，可抑制因該高次光引起的不自然的峰值出現(xiàn)于光譜數(shù)據(jù)。

10、本公開(kāi)的一個(gè)方面的光檢測(cè)器也可為，[5]“如上述[1]至[4]中任一項(xiàng)的光檢測(cè)器，其中，所述窗部還包含：反射降低層，其形成于所述光入射面及所述光出射面中的另一方”。根據(jù)該[5]所述的光檢測(cè)器，可減少因被測(cè)定光在光出射面與受光區(qū)域之間發(fā)生多重反射而產(chǎn)生的雜散光。

11、本公開(kāi)的一個(gè)方面的分光測(cè)定裝置也可為，[6]“一種分光測(cè)定裝置，其具備：光入射部，其使被測(cè)定光入射；衍射光柵，其將從所述光入射部入射的所述被測(cè)定光分光；解析部，其生成所述被測(cè)定光的光譜數(shù)據(jù)；以及上述[1]至[5]中任一項(xiàng)所述的光檢測(cè)器”。

12、根據(jù)該[6]所述的分光測(cè)定裝置，可在光檢測(cè)器中，檢測(cè)分光了的被測(cè)定光中的規(guī)定次數(shù)的光。

13、發(fā)明的效果

14、根據(jù)本公開(kāi)，可提供一種光檢測(cè)器及分光測(cè)定裝置，其可檢測(cè)分光了的被測(cè)定光中的規(guī)定次數(shù)的光。

技術(shù)特征：

1.一種光檢測(cè)器，其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光檢測(cè)器，其中，

6.一種分光測(cè)定裝置，其具備：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的光檢測(cè)器檢測(cè)沿X軸方向分光的被測(cè)定光中的一次光。光檢測(cè)器具備：封裝，其具有開(kāi)口；窗部，其將開(kāi)口密封，并使一次光透過(guò)；以及光檢測(cè)元件，其配置于封裝體內(nèi)，具有與窗部相對(duì)的受光區(qū)域，并檢測(cè)一次光。受光區(qū)域包含：在X軸方向上排列的多個(gè)光檢測(cè)通道。窗部包含：光透過(guò)構(gòu)件，其具有光入射面及光出射面；以及線性可變?yōu)V光涂層，其形成于光入射面及光出射面中的一方，并沿X軸方向透過(guò)波長(zhǎng)變化。

技術(shù)研發(fā)人員：大冢賢一,荒田育男
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浜松光子學(xué)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9