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一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀的制作方法

文檔序號:11072855閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀,包括脈沖激光器(1),分束鏡(2),激光能量計探頭(3)、數(shù)字延遲脈沖發(fā)生器(12)、數(shù)據(jù)采集卡(13)、激光能量計(14)和計算機(15);分束鏡(2)位于脈沖激光器(1)的出光光路上,激光能量計探頭(3)位于分束鏡(2)的透射光路上,激光能量計(14)與激光能量計探頭(3)連接;其特征在于,它還包括第一會聚透鏡(4)和光電倍增管(11),第一會聚透鏡(4)位于分束鏡(2)的反射光路上,等離子體信號采集光學系統(tǒng)用于在被測對象的一側(cè)、從水平方向?qū)す獾入x子體(5)信號進行采集,所述激光等離子體(5)由位于第一會聚透鏡(4)焦點處的待測樣品產(chǎn)生;

所述等離子體信號采集系包括依次排列的第二會聚透鏡(6)、可調(diào)狹縫(7)、第三會聚透鏡(8)、窄帶濾光片(9)和第四會聚透鏡(10),其中可調(diào)狹縫(7)的寬度能夠在0~10mm范圍連續(xù)調(diào)節(jié),可調(diào)狹縫(7)用于對等離子體的發(fā)射光信號進行空間選擇;光電倍增管(11)的入光口位于第四會聚透鏡(10)的焦點處,用于對等離子體的光信號進行有效探測和光電轉(zhuǎn)換;所述光電倍增管(11)的出口端分別與數(shù)字延遲脈沖發(fā)生器(12)和數(shù)據(jù)采集卡(13)相連,數(shù)字延遲脈沖發(fā)生器(12)還與脈沖激光器(1)和計算機(15)相連,數(shù)據(jù)采集卡(13)與計算機(15)連接,數(shù)據(jù)采集卡(13)用于采集所轉(zhuǎn)化的電信號并傳輸?shù)接嬎銠C(15)進行顯示和分析。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀,其特征在于,所述脈沖激光器(1)為納秒級、皮秒級或飛秒級,激光輸出波長從紫外到近紅外范圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀,其特征在于,所述脈沖激光器(1)的激光單脈沖能量在0~800mJ范圍靈活調(diào)節(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀,其特征在于,所述會聚透鏡(4、6、8、10)均對200nm~1100nm波段的光信號具有較高的透射率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一所述一種低成本高靈敏激光探針元素分析儀,其特征在于,所述窄帶濾光片(9)包含不同波段的窄帶濾光片,均安裝在濾光片輪的卡槽中,并濾光片輪在步進電機的控制下進行轉(zhuǎn)動,以實現(xiàn)對窄帶濾光片的選擇。

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