本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

掃描隧道顯微鏡（STM）是通過(guò)以探針和樣品表面的隧穿電流作為反饋信號(hào)來(lái)對(duì)樣品的形貌進(jìn)行表征。根據(jù)量子效應(yīng)，隧穿電流與探針和樣品表面之間的距離成指數(shù)關(guān)系因而以隧穿電流作為反饋信號(hào)使得掃描隧道顯微鏡具有極高的空間分辨能力，能實(shí)現(xiàn)樣品的實(shí)空間原子級(jí)成像。同時(shí)，通過(guò)改變隧穿條件還能對(duì)樣品表面的電子結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)微區(qū)測(cè)量。近年來(lái)，人們利用隧道磁阻效應(yīng)，還成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品磁化方向的測(cè)量，即自旋極化掃描隧道顯微鏡，因此，它逐漸成為表征固體表面形貌、電子態(tài)密度以及磁性納米結(jié)構(gòu)的重要手段。而在掃描過(guò)程中，若針尖發(fā)生微小的偏移時(shí)，則會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)生極大的變化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是解決了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)，采用該掃描結(jié)構(gòu)，在確保檢測(cè)數(shù)據(jù)的精確性的同時(shí)，能夠引入更多的實(shí)驗(yàn)可能性。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)，包括基座、沿水平方向可拆卸地安裝在所述基座上的探針安裝臺(tái)，所述掃描結(jié)構(gòu)還包括若干電極組，每個(gè)所述電極組均包括沿豎直方向插設(shè)在所述探針安裝臺(tái)上的電極、安裝在所述基座上且位于所述探針安裝臺(tái)下方的彈性件，所述彈性件抵壓在所述電極上，所述彈性件具有導(dǎo)電性能且與所述基座相絕緣設(shè)置。

優(yōu)選地，所述彈性件為具有導(dǎo)電性能的彈性簧片。

優(yōu)選地，所述彈性件包括彈性本體、固設(shè)在所述彈性本體一端上的可彎折的彎折部，所述彈性件通過(guò)所述彎折部朝向所述彈性本體方向彎折后抵壓在所述電極上。

優(yōu)選地，所述基座上還固設(shè)有沿豎直方向延伸的、用于安裝所述彈性件的固定件，所述固定件與所述彈性件相絕緣設(shè)置。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述固定件為沿豎直方向固設(shè)在所述基座上的螺栓。

更進(jìn)一步優(yōu)選地，所述彈性件上設(shè)有卡口部，所述卡口部上設(shè)有與所述螺栓的外螺紋相配合的內(nèi)螺紋，通過(guò)所述卡口部，所述彈性件與所述螺栓相固定連接。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述固定件的徑向外側(cè)部上還套設(shè)有絕緣片，通過(guò)所述絕緣片使得所述固定件與所述彈性件相絕緣設(shè)置。

優(yōu)選地，所述基座上開設(shè)有沿水平方向延伸的、用于安裝所述探針安裝臺(tái)的卡槽，所述探針安裝臺(tái)沿所述卡槽的槽道延伸方向可拆卸地卡設(shè)在所述卡槽內(nèi)。

優(yōu)選地，所述探針安裝臺(tái)上還固設(shè)有方便所述探針安裝臺(tái)拆卸的夾持部。

優(yōu)選地，所述基座呈“U”型。

由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型的掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)，通過(guò)在探針安裝臺(tái)的下方增加彈性件，使彈性件抵緊在電極上，從而有效地將探針安裝臺(tái)固定在基座上，確保了探針針尖與樣品表面間距的精確性，使得檢測(cè)數(shù)據(jù)更為準(zhǔn)確、可靠同時(shí)使得探針安裝臺(tái)的安裝方式更為簡(jiǎn)單、方便；

2、采用具有導(dǎo)電性的彈性件，在固定探針的同時(shí)還可與電極進(jìn)行導(dǎo)通，引入了更多的實(shí)驗(yàn)可能性，如在電極間增加電阻絲，以實(shí)現(xiàn)在探針附近形成可更換的加熱裝置；或是在電極間增加線圈，以實(shí)現(xiàn)在探針附近增加磁場(chǎng)；還可在電極間設(shè)置可更換的光源，或是增加微波發(fā)射裝置；同時(shí)還可通過(guò)彈性件與電極導(dǎo)通后與探針一起形成三極管。

附圖說(shuō)明

附圖1為本實(shí)用新型所述的掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1、基座；2、探針安裝臺(tái)；21、夾持部；3、探針；4、電極；41、凸起；5、彈性件（彈性簧片）；50、彈性本體；51、彎折部；6、固定件（螺栓）。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的闡述。

參見圖1所示，一種掃描隧道顯微鏡的掃描結(jié)構(gòu)，包括“U”形狀的基座1、可沿水平方向拆卸地安裝在基座1上的探針安裝臺(tái)2，該掃描結(jié)構(gòu)還包括若干電極組，每個(gè)電極組均包括沿豎直方向插設(shè)在探針安裝臺(tái)2上的電極4、安裝在基座1上且位于探針安裝臺(tái)2下方的彈性件5，具體的，在探針安裝臺(tái)2上開設(shè)有若干沿豎直方向延伸的電極安裝孔，而后將電極4插設(shè)在該電極安裝孔內(nèi)完成安裝，同時(shí)電極4與探針安裝臺(tái)2間相絕緣設(shè)置。這里，該彈性件5抵壓在電極4上，該彈性件5具有導(dǎo)電性能且與基座1相絕緣設(shè)置。

這里，通過(guò)設(shè)置彈性件5，并使彈性件5抵壓在電極4上從而將探針安裝臺(tái)2固定在基座1上，有效地防止了在檢測(cè)過(guò)程中，探針安裝臺(tái)2發(fā)生偏移導(dǎo)致檢測(cè)精確性下降的情況發(fā)生。

具體的，這里的彈性件5為具有導(dǎo)電性能的彈性簧片5，該彈性簧片5包括彈性本體50、固設(shè)在彈性本體50一端上的可彎折的彎折部51，彈性簧片5通過(guò)彎折部51朝向彈性本體50方向彎折后抵壓在電極4上。

本例中，通過(guò)設(shè)置具有導(dǎo)電性能的彈性件5，不僅能夠方便的將探針安裝臺(tái)2進(jìn)行固定，同時(shí)，如在該彈性件5上設(shè)置引線，即能將電極4上的信號(hào)引出，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)、分析甚至還能為探針3提供更多的實(shí)驗(yàn)條件，如：在電極4間增加電阻絲，以實(shí)現(xiàn)在探針3附近形成可更換的加熱裝置；或是在電極4間增加線圈，以實(shí)現(xiàn)在探針3附近增加局部磁場(chǎng)；還可在電極4間設(shè)置可更換的光源，或是增加微波發(fā)射裝置，采用該掃描結(jié)構(gòu)，能夠引入更多的實(shí)驗(yàn)可能，同時(shí)增加的附件是可更換的，使得各實(shí)驗(yàn)間可靈活更換。

這里，為了方便彈性件5抵壓在電極4上，在電極4的下端可設(shè)置一與電極4相導(dǎo)通的凸起41，彈性件5通過(guò)抵壓在該凸起41上即可與電極4相導(dǎo)通。若電極組有兩組，通過(guò)分別在探針3上及兩個(gè)電極組中的彈性件5上引出引線，還能制成一三極管。

本例中，為了便于彈性件5的安裝，在基座1上還固設(shè)有沿豎直方向延伸的固定件6，該固定件6與彈性件5相絕緣設(shè)置，具體的，該固定件6為沿豎直方向固設(shè)在基座1上的螺栓6，相應(yīng)的，彈性件5上可設(shè)置卡口部，卡口部上設(shè)有與該螺栓6的外螺紋相配合的內(nèi)螺紋，通過(guò)卡口部，該彈性件5與螺栓6相固定連接。這里，在固定件6的徑向外側(cè)部上還套設(shè)有絕緣片，通過(guò)設(shè)置絕緣片從而使固定件6與彈性件5相絕緣設(shè)置。

為了方便探針安裝臺(tái)2安裝，本例中，該基座1上開設(shè)有沿水平方向延伸的的卡槽，探針安裝臺(tái)2安裝時(shí)，通過(guò)沿卡槽的槽道延伸方向可拆卸地卡設(shè)在卡槽內(nèi)。為了方便探針安裝臺(tái)2的拆裝，這里，該探針安裝臺(tái)2上還固設(shè)有夾持部21。

上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。